JP2006331471A - 光情報記録再生装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 従来よりも光ディスク半径方向のチルトマージンを拡大できる光情報記録再生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 光源からの光束を複数のトラックを有する光記録媒体上に近接場効果を利用した微小な光スポットとして集光し、情報の記録再生を行う光情報記録再生装置において、光源からの光束を集光する対物レンズと、該対物レンズと光記録媒体の間に配設され、光記録媒体と光束の波長の1/2以下に近接して保持されるSolid Immersion Lens(SIL)1と、を具備し、SILの記録媒体側の底面の形状が、記録媒体のトラック側に相対的に長く、トラック方向と直交する半径方向に短い形状であることを特徴とする。
【選択図】 図1

Description

本発明は、光ディスク装置などの光情報記録再生装置に関し、特に、近接場記録のSolid Immersion Lens(以下SILと省略する)が光ディスクの反りや傾き(チルト)のためにディスク面に衝突しにくいようなSILの底面の形状に関するものである。
光ディスクの記録密度を向上させるためには、記録再生に用いる光の波長を短くし、対物レンズの開口数(NA)を大きくして、光ディスク記録面上の光スポット径を小さくすることが求められる。
従来より、対物レンズの先玉を記録面上に記録波長の数分の1(例えば、1/2)以下に近接させて、いわゆるSILを構成し、NAを空気中においても1以上とする試みがなされてきた。
例えば、それらは、非特許文献1に記載の“High−density Near−Field Readout over 50GB Capacity Using Solid Immersion Lens with High Refractive Index”などに詳しい。
図6から図8を用いて、従来の技術について説明する。
図6を用いて、従来例の近接場記録用の光ピックアップの構成について説明する。
半導体レーザ3から出射された光束は、コリメータレンズ4で平行光束とされ、ビームエキスパンダ5に入射する。
ビームエキスパンダ5は、後記する対物レンズ11やSIL13で発生する球面収差を補正するためのレンズで、球面収差に応じて2枚のレンズ間隔を制御可能なように構成されている。
グレーティング6は、トラッキング用のサブビームを発生させるためのものである。
ビームスプリッタ(BS)7及び偏光ビームスプリッタ(PBS)8を透過した光束は、1/4波長板9を通過し直線偏光から円偏光に変換される。
ビームスプリッタ7で反射された光束の一部を受光し、半導体レーザ3の出射パワーを制御するための光検出器を設けても良い。
はね上げミラー10で進路を90度折り曲げられた光束は、対物レンズの後玉レンズ11に入射する。
対物レンズは後玉レンズ11とSIL(先玉レンズ)13からなり、それらはフォーカスとトラッキング方向に二つのレンズを一体に駆動する2軸アクチュエータ12上に実装されている。
SIL13には、図7(a)及び図7(b)に示すように二つのタイプがある。
図7(a)は、対物レンズの後玉レンズ11により絞り込まれた光束を半球レンズのSIL13−aの底面に集光するものである。
光束は半球レンズの球面に垂直に入射し、半球がない場合と同じ光路を経て底面に集光されるので、半球レンズの屈折率分だけ波長が短くなるのと同じこととなり、光スポット径を縮小する効果がある。
すなわち、半球レンズの屈折率をN、後玉レンズ11の開口数をNAとすると、光ディスク14の記録面上ではN×NA相当の光スポットが得られる。
例えば、NA=0.75の対物レンズ11にN=2の半球レンズのSILを組み合わせれば、実効NAをNAeffとして、NAeff=1.5に達する。
半球レンズ13−aの厚み誤差は、10μm程度許容できるので量産しやすく、視野角も広く取れるのでトラッキング用のサブビームを配置するのも容易である。
図7(b)は、後玉レンズ11により絞り込まれた光束を超半球レンズのSIL13−bの底面に集光するものである。
底面は、超半球SIL13−bの中心からR/Nだけ隔たった面である。
底面における光軸と光束のなす角をθtとすると、SILに入射する光線が光軸となす角度θiとの間には、(1)式の関係が成り立つ。
sinθt=N×sinθi…(1)式
sinθiは、後玉レンズ11のNAに他ならないから、屈折率NのSIL中に集光されることを勘案すると、光ディスク14の記録面上ではN×NA相当の光スポットが得られる。
SIL13−bに光束が入射可能な条件から、後玉レンズ11のNAは、(1)式より1/N以下に制限される。
SIL13−bにN=2の硝材を用いれば、後玉レンズ11に比較的低いNA、例えば、NA=0.45の対物レンズを用いても、NAeff=1.8相当の光スポットを得ることが可能である。
ただし、半球レンズ13−bの厚み誤差は1μm程度しか許容できないのが難点である。
いずれのSILにおいても、SIL底面と光ディスク14の距離が光源の波長405nmの数分の1以下、例えば、100nm以下の近距離にある場合のみ、SIL底面からエバネッセント光として記録面に作用し、NAeffの光スポット径による記録再生が可能である。
この距離を保つために後記するギャップサーボが用いられる。
光ディスク14で反射された光束は逆回りの円偏光となり、SIL13及び対物レンズ11に入射して、平行光束に再び変換される。
1/4波長板9を通過し、往路とは直交する方向の直線偏光とされた光束は、PBS8で反射され、集光レンズ1(15)を経由して光検出器1(16)上に集光されて情報の光ディスク14上の情報が再生される。
一方、SIL13の底面で反射された光束のうち、全反射をしないNAeff<1の光束については、上記の光ディスク14からの反射光と同様に、入射と逆回りの円偏光として反射される。
全反射を起こすNAeff≧1の光束については、P偏光成分とS偏光成分の間に次式で示す位相差δを生じ、円偏光からずれて楕円偏光となる。
tan(δ/2)=cosθi×√(N×sin2θi−1)/(N×sin2θi)…(2)式
したがって、1/4波長板9を通過すると往路と同じ方向の偏光成分を含むことになる。
この偏光成分は、PBS8を透過しBS7で反射され、集光レンズ2(17)を経由して光検出器2(18)上に集光される。
この光束は、SIL底面と光ディスクの距離が近づくに従い単調減少するので、エラー信号として用いることができる。
あらかじめ目標の閾値を決めておけば、ギャップサーボを行うことにより、SIL底面と光ディスクの距離を100nm以下の所望の距離に保つことができる。
ギャップサーボに関しては、前記の論文に詳しい。
また、この光束は、光ディスク14上の記録情報による変調を受けていないので、記録情報の有無に関わらず、安定したギャップエラー信号を得ることができる。
Japan Journal Applied Physics 誌 42巻(2003) P.1101−1104
しかし、光ディスク14は、温度や湿度などの変化のために主としてディスク半径方向にチルトを発生しやすい。
SIL底面と光ディスク14が近接することにより、両者の間に相対傾きがあると接触の危険性が高まる。
両者が接触すると、SIL底面又は光ディスク面に擦過痕が生じて、以後正確な情報の記録再生が困難となってしまう。
図8(a)は従来例のSILの鳥瞰図であり、図8(b)はSIL底面付近の拡大図である。
前記の論文によれば、上記の問題を軽減するために工夫がなされていて、SILの側面は光軸と70°の角度をなす円錐状の斜面となるように切削されていて、底面の有効部はφ40μmまで狭められている。
このような工夫にもかかわらず、SIL底面と光ディスク14が100nm程度まで近接すると、相対傾きが0.28°以上であると両者の接触が危ぶまれる。
SIL底面と光ディスク14が50nm程度まで近接すると、許容される相対傾きは僅か0.14°となる。
通常のプラスチック製の光ディスク基板が温度や湿度などの変化のためにチルトする値は0.5°程度あるため、この方式の録再方法を実用化するためには大きな障害となる。
そこで、本発明は、チルトの値が0.5°程度になっても、光ディスク14とSIL13が接触しないような光情報記録再生装置を提供することを目的とする。
本発明は、上記課題を解決するための手段として、光源からの光束を複数のトラックを有する光記録媒体上に近接場効果を利用した微小な光スポットとして集光し、情報の記録再生を行う光情報記録再生装置において、前記光源からの光束を集光する対物レンズと、前記対物レンズと前記光記録媒体の間に配設され、前記光記録媒体と前記光束の波長の1/2以下に近接して保持されるSolid Immersion Lens(SIL)と、を具備し、前記SILの前記記録媒体側の底面の形状が、前記記録媒体のトラック側に相対的に長く、前記トラック方向と直交する半径方向に短い形状であることを特徴とする。
また、本発明は、前記底面は凸形状の上面であり、前記凸形状は円上に形成されていることを特徴とする。
また、本発明は、前記対物レンズに近い前記SILの光束入射側の面と、前記SILの前記記録媒体側に隣接する底面との間が、最周辺光束を遮らない角度の円錐状の斜面で結ばれていることを特徴とする。
また、本発明は、前記底面の形状は矩形であり、前記矩形の長辺を一端として、前記円錐状の斜面の一部が前記角度よりもさらにきつい角度の斜面になるように切削されていることを特徴とする。
また、本発明は、前記SILの前記記録媒体側に隣接する底面の前記光記録媒体のトラック側に相対的に長い方向の寸法が、20μmから100μmの範囲であることを特徴とする。
また、本発明は、前記光源からの光束をトラッキング用のサブビームに分割する手段を備え、前記サブビームの分割方向が、前記SIL底面の長手方向と一致することを特徴とする。
本発明によれば、従来よりも光ディスク半径方向のチルトマージンを拡大することができる。
これにより、近接場光を用いた高密度記録を通常のプラスチック製の安価な光ディスク基板を用いて安定に行うことができるようになった。
また、本発明のSIL底面形状の長手方向にトラッキング用のサブビームを配することにより、光ディスク半径方向のチルトマージンを拡大しつつ、かつ安定なトラッキングを行うことが可能となった。
以下、添付図面を参照して本発明を実施するための最良の実施の形態を説明する。
[実施例1]
図1を用いて本発明の第1の実施例について説明する。
図1(a)は、本発明のSIL1の全体を示した鳥瞰図である。図1(b)は、本発明のSIL底面を拡大した鳥瞰図である。図1(c)は本発明のSIL底面を拡大した正面図である。
図1(a)〜(c)において、1−1はSILの底面、1−2はSILの球面、1−3はSILの円錐斜面である。
SILの底面1−1は、矢印で示した光記録媒体のトラック方向が長手方向となっていて、トラック方向と直交する方向(光記録媒体の半径方向)は、SILの底面よりも一段高さが下がるように加工されている。
本実施例では、SIL底面の有効部は40μm×20μm(トラック方向×半径方向)とされている。
これは、通常のプラスチック製の光ディスク基板が温度や湿度などの変化のために、主として半径方向にチルトを発生するためである。
これより、SIL底面と光ディスク14が100nm程度まで近接しても、相対傾きが0.56°程度までディスクとSIL底面の接触は避けられる。
また、SIL底面と光ディスク14が50nm程度まで近接しても、許容される相対傾きは0.28°程度まで拡大される。
本実施例では、SIL底面に設けられた上記段差は1μmである。
段差はSIL底面の周縁部が光ディスクに接触するのが避けられれば、必要十分なので、必要以上に大きく取る必要はない。
例えば、SIL底面と光ディスク14が100nm程度まで近接して、相対傾きが0.56°となっても、SIL周縁部は光ディスクから800nmの距離を保っている。
上記段差は、500nm〜2μm程度の範囲で加工しやすさを優先して選択すればよい。
SILの側面は、従来例と同様にNAに応じた周辺光束が遮られないように、光軸と70°の角度をなす円錐状の斜面となるように切削されている。
また、SIL底面の寸法はSIL底面への光ビームの位置合わせ精度に依存していて、従来、通常φ20μmからφ100μm程度に選択されていた。
本発明は、SIL底面への光ビームの位置合わせ精度に応じて、光ディスクトラック方向を従来例と同様な大きさ(20μmから100μm)とし、それと直交する半径方向をトラック方向よりも小さな寸法とすることで達成される。
次に、本発明のSILの製造方法について、以下に簡単に説明する。
(1)SIL球面1−3を研磨加工する。
(2)所望のNAに応じて、SILの光軸方向の厚みを設定し、切削加工する。半球ならば、球面1−3を半分に切断し、超半球ならば、半径RよりもR/N大きな厚みを設定し、球面1−3を切断する。(NはSILの屈折率)。
(3)SIL底面を研磨する。
(4)SIL底面にフォトレジストを塗布する。
(5)フォトレジストにパターニングし、残したい幅1−1(例えば20μm)をSILの直径上に形成する。
(6)反応性イオンエッチングなどを用いて、エッチング面1−4と段差を形成する。
(7)底面がφ40μm程度となるまで、SIL円錐面を切削加工する。
(8)SIL底面1−1上のレジストを除去する。
以上により、実施例1のSILを容易に製造することができる。
本発明の実施例1によれば、プラスチック製の光ディスク基板が温度や湿度などの変化のために、半径方向にチルトを発生しても、従来例との比較で2倍程度チルトマージンを拡大することができる。
[実施例2]
図2を用いて本発明の第2の実施例について説明する。図2(a)は、本発明のSIL2の全体を示した鳥瞰図である。図2(b)は、本発明のSIL底面を拡大した鳥瞰図である。図2(c)は本発明のSIL底面を拡大した正面図である。
図2(a)〜(c)において、2−1はSILの底面、2−2はSILの球面、2−3はSILの円錐斜面、2−4はSILの切削面である。
SILの底面2−1は、矢印で示した光記録媒体のトラック方向が長手方向となっていて、トラック方向と直交する方向(光記録媒体の半径方向)は、SIL切削面2−4が底面2−1に連なって加工されている。
SILの側面は、従来例と同様にNAに応じた周辺光束が遮られないように、光軸と70°の角度をなす円錐状の斜面となるように切削されている。
さらに、SILのディスク半径方向に設けられた切削面2−4は、光軸と75°の角度をなすバイトでディスクトラックに沿って切削されている。
本実施例では、SIL底面の有効部は40μm×20μm(トラック方向×半径方向)とされている。
これは、通常のプラスチック製の光ディスク基板が温度や湿度などの変化のために、主として半径方向にチルトを発生するためである。
これより、実施例1と同様にSIL底面と光ディスク14が100nm程度まで近接しても、相対傾きが0.56°程度までディスクとSIL底面の接触は避けられる。
また、SIL底面と光ディスク14が50nm程度まで近接しても、許容される相対傾きは0.28°程度まで拡大される。
次に、本発明のSILの製造方法について、以下に簡単に説明する。
(1)SIL球面2−3を研磨加工する。
(2)所望のNAに応じて、SILの光軸方向の厚みを設定し、切削加工する。半球ならば、球面2−3を半分に切断し、超半球ならば、半径RよりもR/N大きな厚みを設定し、球面2−3を切断する。(NはSILの屈折率)
(3)SIL底面を研磨する。
(4)SIL底面がφ40μm程度となるまで、SIL円錐面を切削加工する。
(5)光軸と75°の角度をなすバイトで、SIL底面2−1の短手方向の幅が20μmとなるように、トラック方向にSIL円錐面を切削する。
以上により、実施例2のSILを容易に製造することができる。
本発明の実施例2によれば、プラスチック製の光ディスク基板が温度や湿度などの変化のために、半径方向にチルトを発生しても、従来例との比較で2倍程度チルトマージンを拡大することができる。
[実施例3]
図3から図5を用いて、本発明の第3の実施例について説明する。
図3を用いて、本発明の近接場記録用の光ピックアップの構成について説明する。
従来例を説明するための図6と同様の部材には同様の番号が付してある。
半導体レーザ3から出射された光束は、コリメータレンズ4で平行光束とされ、ビームエキスパンダ5に入射する。
ビームエキスパンダ5は、後記する対物レンズやSILで発生する球面収差を補正するためのレンズで、球面収差に応じて2枚のレンズ間隔を制御可能なように構成されている。
グレーティング6はトラッキング用のサブビームを発生させるためのものである。
ビームスプリッタ(BS)7及び偏光ビームスプリッタ(PBS)8を透過した光束は、1/4波長板9を通過し直線偏光から円偏光に変換される。
ビームスプリッタ7で反射された光束の一部を受光し、半導体レーザ3の出射パワーを制御するための光検出器(図示しない)を設けても良い。
はね上げミラー10で進路を90度折り曲げられた光束は、対物レンズの後玉レンズ11に入射する。
対物レンズは後玉レンズ11と実施例1又は2で記載したSIL(先玉レンズ)1又は2からなり、それらはフォーカスとトラッキング方向に二つのレンズを一体に駆動する2軸アクチュエータ12上に実装されている。
SIL1又は2は、図7の(a)又は(b)で説明した二つのタイプどちらでもよい。
本発明の特徴は、SIL1又は2がSIL底面1−1又は2−1の長手方向を光ディスク14のトラック方向に配置していることである。
実施例1及び2で既に記載したように、プラスチック製の光ディスク基板が温度や湿度などの変化のために、半径方向にチルトを発生しても、従来例との比較で2倍程度チルトマージンを拡大することができる。
また、本発明の別の特徴は、トラッキング用のサブビームの配置をSIL1又は2がSIL底面1−1又は2−1の長手方向に一致させたことである。
これにより、SILに画角がついて入射したサブビームがSIL底面1−1又は2−1の長手方向に、問題なく配置される。
特に、半球SILでは、視野角も広く取れるのでトラッキング用のサブビームを配置するのに好適である。
図4に、本発明の第3の実施例の光ディスク14上での光スポットの配置を示す。
この場合、光ディスク14は、書換え型又は追記型でトラッキング用のグルーブ22が設けられている。
情報の記録再生は、ランド21上に行われる。
録再時にメインビーム23はランド21上に配され、サブビーム1(24)、サブビーム2(25)は記録トラックに隣接するグルーブ22上に配される。
メインビーム23、サブビーム24、25からの光束をそれぞれ2分割センサ(図示しない)で受光すれば、位相が180°反転したプッシュプルトラッキング信号が得られる。
サブビーム24、25からのプッシュプル信号を加算し、適当な定数を乗じて、メインビーム23からのプッシュプル信号から減算してやれば、差動プッシュプルトラッキング信号を生成することができる。
対物レンズ11とSILを保持する2軸アクチュエータ12をトラッキングのためディスク半径方向に変位させても、オフセットを発生しない差動プッシュプルトラッキング信号が得られる。
図5に、本発明の第3の実施例の光ディスク14上での光スポットの別の配置を示す。
この場合、光ディスク14は、再生専用型で情報トラック26上にはピット列27が設けられている。
情報再正時にメインビーム28は情報トラック26上に配され、サブビーム1(29)、サブビーム2(30)は情報トラックと±90°の位相でピット列27の周縁部に配される。
サブビーム29、30からの光束をそれぞれセンサ(図示しない)で受光し、それらの出力を減算すれば、いわゆる3ビームトラッキング信号が得られる。
対物レンズ後玉により絞り込まれた光束を半球レンズ又は超半球レンズのSIL1又は2の底面に集光すると、いずれのSILにおいても、SIL底面と光ディスク14の距離が、光源の波長405nmの数分の1以下、例えば100nm以下の近距離にある場合のみ、SIL底面からエバネッセント光として記録面に作用し、NAeffの光スポット径による記録再生が可能である。
この距離を保つためには前記のギャップサーボが用いられる。
光ディスク14で反射された光束は逆回りの円偏光となり、SIL1又は2及び対物レンズ11に入射して平行光束に再び変換される。
1/4波長板9を通過し、往路とは直交する方向の直線偏光とされた光束は、PBS8で反射され、集光レンズ1(15)を経由して光検出器1(16)上に集光されて情報の光ディスク14上の情報が再生される。
光ディスク14に図4に示した書換え型又は追記型のものを使用する場合は、光検出器1(16)を2分割センサ(図示しない)が3組からなる光検出器とすれば、メインビーム23、サブビーム24、25からの光束をそれぞれ2分割センサで受光して、加減算することにより、情報信号の他にも、差動プッシュプルトラッキング信号を生成することができる。
光ディスク14に図5に示した再生専用型のものを使用する場合は、光検出器1(16)を3分割センサ(図示しない)からなる光検出器とすれば、メインビーム28、サブビーム29、30からの光束をそれぞれのセンサで受光して、メインビームを受光するセンサからは情報信号、サブビームを受光する2組のセンサの減算出力からは3ビームトラッキング信号を生成することができる。
一方、SILの底面で反射された光束のうち、全反射をしないNAeff<1の光束については、上記の光ディスク14からの反射光と同様に、入射と逆回りの円偏光として反射される。
全反射を起こすNAeff≧1の光束については、P偏光成分とS偏光成分の間に前出の(2)式で示す位相差δを生じ、円偏光からずれて楕円偏光となるので、1/4波長板9を通過すると往路と同じ方向の偏光成分を含むことになる。
この偏光成分は、PBS8を透過しBS7で反射され、集光レンズ2(17)を経由して光検出器2(18)上に集光される。
この光束は、SIL底面と光ディスクの距離が近づくに従い単調減少するので、エラー信号として用いることができる。
あらかじめ目標の閾値を決めておけば、ギャップサーボを行うことにより、SIL底面と光ディスクの距離を100nm以下の所望の距離に保つことができる。
また、この光束は、光ディスク14上の記録情報による変調を受けていないので、記録情報の有無に関わらず、安定したギャップエラー信号を得ることができる。
本発明は、近接場効果を利用した光情報記録再生装置に利用することができる。
本発明の実施例1のSILを示す図である。 本発明の実施例2のSILを示す図である。 本発明の一実施例としてのSILを用いた光情報記録再生装置を示すブロック図である。 本発明の一実施例としてのSILを用いた光情報記録再生装置における光スポットの配置を示すための図である。 本発明の一実施例としてのSILを用いた光情報記録再生装置における光スポットの配置を示すための図である。 従来例としてのSILを用いた光情報記録再生装置を示す図である。 従来例のSILを示す図である。 従来例のSILの鳥瞰図である。
符号の説明
1 SIL
2 SIL
3 半導体レーザ
4 コリメータレンズ
5 ビームエキスパンダ
6 グレーティング
7 ビームエキスパンダ
8 偏光ビームエキスパンダ
9 1/4編光板
10 はね上げミラー
11 対物レンズ(後玉レンズ)
12 2軸アクチュエータ
14 光ディスク(記録媒体)
15 集光レンズ
16 光検出器
17 集光レンズ
18 光検出器
21 ランド
22 グループ
23 メインビーム
24 サブビーム1
25 サブビーム2
26 情報トラック
27 ピット
28 メインビーム
29 サブビーム1
28 サブビーム2

Claims (6)

  1. 光源からの光束を複数のトラックを有する光記録媒体上に近接場効果を利用した微小な光スポットとして集光し、情報の記録再生を行う光情報記録再生装置において、
    前記光源からの光束を集光する対物レンズと、
    前記対物レンズと前記光記録媒体の間に配設され、前記光記録媒体と前記光束の波長の1/2以下に近接して保持されるSolid Immersion Lens(SIL)と、を具備し、
    前記SILの前記記録媒体側の底面の形状が、前記記録媒体のトラック側に相対的に長く、前記トラック方向と直交する半径方向に短い形状であることを特徴とする光情報記録再生装置。
  2. 前記底面は凸形状の上面であり、前記凸形状は円上に形成されていることを特徴とする請求項1記載の光情報記録再生装置。
  3. 前記対物レンズに近い前記SILの光束入射側の面と、前記SILの前記記録媒体側に隣接する底面との間が、最周辺光束を遮らない角度の円錐状の斜面で結ばれていることを特徴とする請求項1又は2記載の光情報記録再生装置。
  4. 前記底面の形状は矩形であり、前記矩形の長辺を一端として、前記円錐状の斜面の一部が前記角度よりもさらにきつい角度の斜面になるように切削されていることを特徴とする請求項3記載の光情報記録再生装置。
  5. 前記SILの前記記録媒体側に隣接する底面の前記光記録媒体のトラック側に相対的に長い方向の寸法が、20μmから100μmの範囲であることを特徴とする請求項1記載の光情報記録再生装置。
  6. 前記光源からの光束をトラッキング用のサブビームに分割する手段を備え、前記サブビームの分割方向が、前記SIL底面の長手方向と一致することを特徴とする請求項1記載の光情報記録再生装置。

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