JP2006329814A

JP2006329814A - ボード上に実装された回路の検査方法

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Publication number: JP2006329814A
Application number: JP2005153838A
Authority: JP
Inventors: Masashi Yamazaki; 雅志山▲崎▼; Hideki Kabune; 秀樹株根; Toshiro Nishimura; 寿郎西村
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2005-05-26
Filing date: 2005-05-26
Publication date: 2006-12-07
Also published as: US20060270069A1; CN1869724A; DE102006024721A1; US7728601B2; CN100526899C

Abstract

【課題】電子回路をボードに設置した状態で電子回路間のマージン検査。
【解決手段】ボード上に構成される第一回路と、第一回路と電気的に接続し、第二信号を入出力する第二回路と、検査信号を入力する信号生成手段と、第一回路の出力と第二回路の入力とを比較し検査結果を出力するマージン検査手段とからなる。第一回路は、第二回路からの信号を入力される入力回路と、マージン検査手段に信号を出力信号として出力する出力部を備えるとともに第一電源に接続され、第二回路は、信号生成手段から検査信号を入力される入力部と、第一回路へ信号を出力する出力回路を備えるものである。検査は、第一電源、またはおよび第二電源の電圧を変更し、入力部およびマージン検査手段へ検査信号を入力し、出力部より出力された出力信号をマージン検査手段に入力し、マージン検査手段において出力信号と検査信号とを比較し、結果に基づいて検査結果を出力する。
【選択図】図２

Description

本発明は、ボード上に実装されたＩＣをはじめとする電子回路の検査方法に関する。

電気（電子）製品の多くは、ＩＣがボード上に実装された構成である。一般的に、ＩＣは樹脂でパッケージされている。従来、このパッケージ品は樹脂がＩＣチップを保護し、広い間隔で端子が出ているため、品質検査が容易であった。

近年、電気（電子）製品のニーズから高機能化・小型化が急速に進んでいる。このような状況から、実装部品のサイズの小型化が求められている。このため、小型ＩＣ（パッケージ品やベアチップ［パッケージ前の裸のチップ］）が普及し、端子サイズやピッチがより小さくなり、品質検査が困難となってきている。

ＩＣの重要な品質検査として、入力端子のマージン検査がある。この検査を行うには、ＩＣの端子に検査用端子を接触させて電圧を印加し、その電圧を変動させてＯＮ／ＯＦＦ動作の範囲を判定する手法が知られているが、前述のような小型化ＩＣはこの手法による検査は困難である。この問題を解決するため、あらかじめボード上に検査ランドを設け、部品実装後のオンボード状態でＩＣ検査を行う方法が特開平５−７２２８０号公報に示されている。しかし、検査専用のランドを設けるにはＩＣの実装スペースとは別にスペースが必要となり、ボードの小型化、製品小型化の妨げとなる。
特開平５−７２２８０号公報

本発明の課題は、電子回路をボードに設置した状態で、ボード上に検査を行うためだけのスペース、たとえば検査専用のランド、を設けることなく電子回路間のマージン検査を行う手法を提供することにある。

上記課題を解決するために請求項１に記載の発明は、ボード上に構成され第一電気信号を入出力する第一電子回路（１１）と、前記ボード上に構成され、前記第一電子回路（１１）と電気的に接続し、第二電気信号を入出力する第二電子回路（１２）と、検査信号を入力する信号生成手段と、前記第一電子回路（１１）の出力と前記第二電子回路（１２）の入力とを比較し、前記第一電子回路（１１）またはおよび前記第二電子回路（１２）の状態を検査結果として出力するマージン検査手段とからなり、前記第一電子回路（１１）は、前記第二電子回路（１２）からの信号を入力される入力回路（１４）と、前記マージン検査手段に信号を出力信号として出力する出力部（２４）を備えるとともに、出力電圧を変更可能な第一電源（１３）に接続され、前記第二電子回路（１２）は、前記信号生成手段から前記検査信号を入力される入力部（３２）と、前記第一電子回路（１１）へ信号を出力する出力回路（１５）とを備えるものであり、前記マージン検査手段による検査は、前記第一電源（１３）の電圧を変更する第一工程と、前記第一工程の後に、前記入力部（３２）および前記マージン検査手段へ前記検査信号を入力する第二工程と、前記第二工程の後に、前記出力部（２４）より出力される前記出力信号を前記マージン検査手段に入力する第三工程と、前記第三工程の後に、前記マージン検査手段において前記出力信号と前記検査信号とを比較し、比較の結果に基づいて前記検査結果を出力する第四工程とを有することを特徴とする。

これにより、電子回路をボードに設置した状態で、ボード上に検査を行うためだけのスペース、たとえば検査専用のランド、を設けることなく電子回路間のマージン検査を行うことができる。

請求項２に記載の発明は、前記第二電子回路（１２）は、出力電圧を変更可能な第二電源（１８）に接続されており、前記第一工程において、前記第一電源（１３）に加え、前記第二電源（１８）の電圧を変更することを特徴とする。

これにより、信号を生成する第二電子回路の電圧が変動した場合においても、第一電子回路が正常に動作可能かどうかを調べることができる。

請求項３に記載の発明は、前記第一電源（１３）およびまたは前記第二電源（１８）の電圧は、最大保証電圧と最小保証電圧との間で変更されることを特徴とする。

これにより、最大保証電圧と最小保証電圧との間における電子回路間のマージン検査を実施することができる。

請求項４に記載の発明は、前記マージン検査手段は、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが所定の関係である場合に、前記検査結果をマージンが十分であると出力するものであり、前記第一電源（１３）および前記第二電源（１８）をともに前記最大保証電圧に設定した場合に、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが前記所定の関係であるならば、前記第一電子回路（１１）と前記第二電子回路（１２）との間のマージンが十分であると前記検査結果を出力することを特徴とする。

第一電源および第二電源をともに最大保証電圧に設定した場合は、入力部の入力閾値電圧が高く、検査信号の電圧も高くなる。この時、検査信号がＨｉやＬｏといった複数値を持つ信号であるなら、検査信号がＬｏであるときの信号電圧と入力閾値電圧との電位差が少なくなる。また、入力部を備える第一電子回路がヒステリシスな特性を持つとき、検査信号がＬｏであるときの信号電圧と入力閾値電圧との電位差は更に少なくなる。本発明を用いることにより、このように第一電源および第二電源をともに最大保証電圧に設定した場合における第一電子回路と第二電子回路のマージン検査、すなわち両電子回路が正常に動作可能な電位差が確保されているかどうかを確認できる。

請求項５に記載の発明は、前記マージン検査手段は、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが所定の関係である場合に、前記検査結果をマージンが十分であると出力するものであり、前記第一電源（１３）および前記第二電源（１８）をともに前記最小保証電圧に設定した場合に、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが前記所定の関係であるならば、前記第一電子回路（１１）と前記第二電子回路（１２）との間のマージンが十分であると前記検査結果を出力することを特徴とする。

第一電源および第二電源をともに最小保証電圧に設定した場合は、入力部の入力閾値電圧が低く、検査信号の電圧が低くなる。この時、検査信号がＨｉやＬｏといった複数値を持つ信号であるなら、検査信号がＨｉであるときの信号電圧と入力閾値電圧との電位差が少なくなる。また、入力部を備える第一電子回路がヒステリシスな特性を持つとき、検査信号がＨｉであるときの信号電圧と入力閾値電圧との電位差は更に少なくなる。本発明を用いることにより、このように第一電源および第二電源をともに最小保証電圧に設定した場合における第一電子回路と第二電子回路のマージン検査、すなわち両電子回路が正常に動作可能な電位差が確保されているかどうかを確認できる。

請求項６に記載の発明は、前記マージン検査手段は、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが所定の関係である場合に、前記検査結果をマージンが十分であると出力するものであり、前記第一電源（１３）を前記最大保証電圧に設定し、前記第二電源（１８）を前記最小保証電圧に設定した場合に、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが前記所定の関係であるならば、前記第一電子回路（１１）と前記第二電子回路（１２）との間のマージンが十分であると前記検査結果を出力することを特徴とする。

第一電源を最大保証電圧に設定し、第二電源を最小保証電圧に設定した場合は、入力部の入力閾値電圧が高く、検査信号の電圧が低くなる。この時、検査信号がＨｉやＬｏといった複数値を持つ信号であるなら、検査信号がＨｉであるときの信号電圧と入力閾値電圧との電位差が少なくなる。また、入力部を備える第一電子回路がヒステリシスな特性を持つとき、検査信号がＨｉであるときの信号電圧と入力閾値電圧との電位差は更に少なくなる。本発明を用いることにより、このように第一電源を最大保証電圧に設定し、第二電源を最小保証電圧に設定した場合における第一電子回路と第二電子回路のマージン検査、すなわち両電子回路が正常に動作可能な電位差が確保されているかどうかを確認できる。

請求項７に記載の発明は、前記マージン検査手段は、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが所定の関係である場合に、前記検査結果をマージンが十分であると出力するものであり、前記第一電源（１３）を前記最小保証電圧に設定し、前記第二電源（１８）を前記最大保証電圧に設定した場合に、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが前記所定の関係であるならば、前記第一電子回路（１１）と前記第二電子回路（１２）との間のマージンが十分であると前記検査結果を出力することを特徴とする。

第一電源を最小保証電圧に設定し、第二電源を最大保証電圧に設定した場合は、入力部の入力閾値電圧が低く、検査信号の電圧が高くなる。この時、検査信号がＨｉやＬｏといった複数値を持つ信号であるなら、検査信号がＬｏであるときの信号電圧と入力閾値電圧との電位差が少なくなる。また、入力部を備える第一電子回路がヒステリシスな特性を持つとき、検査信号がＬｏであるときの信号電圧と入力閾値電圧との電位差は更に少なくなる。本発明を用いることにより、このように第一電源を最小保証電圧に設定し、第二電源を最大保証電圧に設定した場合における第一電子回路と第二電子回路のマージン検査、すなわち両電子回路が正常に動作可能な電位差が確保されているかどうかを確認できる。

請求項８に記載の発明は、前記第一電子回路（１１）は、前記第一電源（１３）に接続される前記入力回路（１４）および前記出力回路（１５）を複数備え、前記第二電子回路（１２）は、前記第二電源（１８）に接続される前記入力回路（１４）および前記出力回路（１５）を複数備え、前記マージン検査手段は、前記第一電子回路（１１）の前記検査信号と前記第二電子回路（１２）の前記出力信号とを比較し、またはおよび、前記第一電子回路（１１）の前記出力信号と前記第二電子回路（１２）の前記検査信号とを比較することで、前記検査結果を出力することを特徴とする。

これにより、複数の電子回路間のマージン検査を一度に行うことができる。

以下、本発明の実施の形態を説明する。

図１を用いてボード上に構成されたＩＣ間インターフェースのマージン検査手法の原理図を示す。図１に示すように、ボード（１０）上にはＩＣ１（１１）とＩＣ２（１２）とが実装されている。ＩＣ１（１１）は第一電源（１３）と第一入力回路（１４）と第二出力回路（１６）とを備え、ＩＣ２（１２）は第二電源（１８）と第一出力回路（１５）と第二入力回路（１７）とを備えている。また、第一電源（１３）と第二電源（１８）は、それぞれ独立して電圧を調整することができる。さらに、ＩＣ１（１１）の第一入力回路（１４）とＩＣ２（１２）の第一出力回路（１５）とがボード（１０）上の第一配線（１９）で接続され、ＩＣ１（１１）の第二出力回路（１６）とＩＣ２（１２）の第二入力回路（１７）とが第二配線（２０）で接続されている。

さらに、図示しない信号生成器によって生成された検査信号が、各出力回路と図示しないマージン検査手段とに入力される。また、各入力回路から出力される出力信号も、図示しないマージン検査手段に入力される。マージン検査手段は、検査信号と出力信号とを比較して、例えば検査信号と出力信号とが一致した場合に、ＩＣ間のインターフェースのマージンが十分であると判定する。

電子回路に接続された電源電圧が変動した場合に、この電子回路が出力する信号の電圧が変動することが知られている。以下の実施例において、マージンとは、電子回路に信号が入力されたとき、電子回路が正常に作動する電子回路の閾値と信号との電位差と定義する。さらに、マージンが十分である、とは、信号の電圧が変動したとしても、信号の電圧と電子回路の閾値電圧との差が十分に確保されている状態である。なお、電子回路とは、ＣＭＯＳ回路をはじめとするデジタル回路、オペアンプを用いた増幅回路をはじめとするアナログ回路の両信号形式の回路を含む。

この回路構成において、第二電源（１８）の電圧を変動させることで、第一出力回路（１５）の出力電圧を変化させる。第一出力回路（１５）の出力電圧の変化により、第一入力回路（１４）の入力電圧も第一配線（１９）を通じて変化する。これにより、第二電源（１８）の電圧を変化させて、第一入力回路（１４）の動作マージンを検査することができる。

同様に第一電源（１３）を変動させ、第二入力回路の動作マージンを検査する。このように、第一電源（１３）、またはおよび、第二電源（１８）を変化させることで、ＩＣ間のインターフェースのマージン検査を実現することができる。

インターフェースのマージン検査を行う際には、図２に示すような入力回路がＣＭＯＳ回路（２１）で構成されている場合が多い。図２のＩＣ１（１１）の第一入力回路（１４）は、ｐ−ＭＯＳ（２２）とｎ−ＭＯＳ（２３）とで構成されたＣＭＯＳ回路（２１）である。ｐ−ＭＯＳ（２２）とｎ−ＭＯＳ（２３）の閾値（ＯＮ／ＯＦＦ動作電圧）は第一電源（１３）の電圧に依存し、その閾値は第一電源（１３）の電圧に比例するため、第一電源（１３）の電圧が大きい場合は閾値が高く、小さい場合は低くなる。通常、バッテリーの変動や周辺回路の影響により、ＩＣの電源は変動する。このため、第一電源（１３）と第二電源（１８）の双方の電圧を変動させ、閾値の変動が所定の範囲内に収まるかどうか、ＣＭＯＳのマージン検査を行う必要がある。なお、閾値の変動が所定の範囲内に収まる場合には、マージンが確保されているとみなすことができる。

以後、具体的な回路例を用いて、マージン検査方法の実施形態を説明する。

〔実施例１〕
図３から図６を用いて、実施例１について説明する。

図３は、オンボードでのＣＭＯＳ入出力回路の回路図であり、この回路に実装された電子回路間のマージン検査を行う。ＩＣ１（１１）は電圧を調整できる第一電源（１３）とＣＭＯＳ回路（２１）とからなる第一入力回路（１４）を備え、ＩＣ２（１２）は電圧を調整できる第二電源（１８）とＣＭＯＳ回路（２１）からなる第一出力回路（１５）とを備える。また、ＩＣ１（１１）とＩＣ２（１２）とは第一配線（１９）で接続されている。第一入力回路（１４）は、出力信号を出力する第一入力回路出力部（２４）と、配線１（１９）を通じて変動検査信号を入力される第一入力回路入力部（２５）とを備える。

第一出力回路（１５）は、第一配線（１９）を通じて変動検査信号を出力する第一出力回路出力部（３１）と、検査信号を入力する第一出力回路入力部（３２）とを備える。なお、検査終了後、これらの第一入力回路出力部（２４）および第一出力回路入力部（３２）は、製品の動作信号の入出力に使用される。また、ＣＭＯＳ回路（２１）はＬｏ信号を入力されるとＨｉ信号を出力し、Ｈｉ信号を入力されるとＬｏ信号を出力する仕様であるとする。

図４のフローチャートを用いて、本構成におけるマージン検査の手順を示す。まず、ステップＳ４０１にて、第一電源（１３）と第二電源（１８）とを入れる。ステップＳ４０１に続くステップＳ４０２では、第一電源（１３）をＩＣ１（１１）の最小保証電圧Ｖ１Ｌに、第二電源（１８）をＩＣ２（１２）の最大保証電圧Ｖ２Ｈに設定する。ステップＳ４０２に続くステップＳ４０３では、第一出力回路（１５）の第一出力回路入力部（３２）にＬｏレベルの信号を入力してからＨｉレベルの信号を入力する、またはＨｉレベルの信号を入力してからＬｏレベルの信号を入力する。この検査信号は、第一出力回路出力部（３１）から変動検査信号として出力され、第一配線（１９）を通じて、第一入力回路入力部（２５）へ入力される。ステップＳ４０３に続くステップＳ４０４では第一入力回路出力部（２４）をモニタし、第一入力回路出力部（２４）の出力信号が第一出力回路入力部（３２）に入力した検査信号と一致するかを条件に分岐判定を行う。この分岐判定は、図５に示すように、第一電源（１３）の電圧が低いためＣＭＯＳ入力閾値（５１）が低く、第二電源（１８）の電圧が高いため検査信号のＬｏレベルが高い場合でも、検査信号のＬｏレベルがＣＭＯＳ入力閾値（５１）以下であり、かつ、検査信号のＨｉレベルがＣＭＯＳ入力閾値（５１）以上であるかどうかを判定している。ステップＳ４０４において、出力信号と検査信号とが一致すると判定されたならステップＳ４０５へ進む。ステップＳ４０５では第一電源（１３）をＩＣ１（１１）の最大保証電圧Ｖ１Ｈに設定し、第二電源（１８）をＩＣ２（１２）の最小保証電圧Ｖ２Ｌに設定する。ステップＳ４０５に続くステップＳ４０６では、第一出力回路入力部（３２）に検査信号を入れる。ステップＳ４０６に続くステップＳ４０７では、第一入力回路出力部（２４）の出力信号が検査信号と一致するかを条件に分岐判定を行う。この分岐判定は、図６に示すように、第一電源（１３）の電圧が高いためＣＭＯＳ入力閾値（５１）が高く、第二電源（１８）の電圧が低いため検査信号のＨｉレベルが低い場合でも、検査信号のＨｉレベルがＣＭＯＳ入力閾値（５１）以上であり、かつ、検査信号のＬｏレベルがＣＭＯＳ入力閾値（５１）以下であるかどうかを判定している。ステップＳ４０７において、出力信号と検査信号とが一致すると判定されたならステップＳ４０８へ進む。ステップＳ４０７に続くステップＳ４０８では、ＩＣ１（１１）とＩＣ２（１２）間のインターフェースのマージンは十分であると判定し、判定結果を出力する。

一方、ステップＳ４０４、ステップＳ４０７において、出力信号と検査信号とが一致しないと判定されたならステップＳ４０９へ進む。ステップＳ４０９では、ＩＣ１（１１）とＩＣ２（１２）間のインターフェースのマージンが不足していると判定結果を出力する。

なお、図４のフローチャート中の、ステップＳ４０２とステップＳ４０５における電圧設定については、順番を変えて行っても良い。さらに、ステップＳ４０２とステップＳ４０５において行った電圧設定について、保証電圧範囲に限らず電圧を変化させて第一入力回路出力部（２４）をモニタすることでＣＭＯＳ回路（２１）の閾値を調べることができる。

以上のように、ＩＣ１（１１）に接続された第一電源（１３）と、ＩＣ２（１２）に接続された第二電源（１８）の電圧を変動させることにより、ＩＣ１（１１）とＩＣ２（１２）との間のインターフェースのマージンが十分であるか否かを、マージン検査用の特別な回路やランドを設けることなくマージン検査を実施することができる。

〔実施例２〕
図７を用いて実施例２について説明する。この実施例２における前述の実施例１との構成上の相違点は、本実施例２ではＩＣ１（１１）の第一入力回路（１４）がコンパレータ（７１）を備える点である。なお、実施例１と同等の構成については、実施例１と同様の符号を付し、本実施例２における説明を省略する。

図７に示すように、ＩＣ１（１１）は、電圧を調整できる第一電源（１３）と、コンパレータ（７１）および第一抵抗（７２）および第二抵抗（７３）からなる第一入力回路（１４）とを備えている。第一入力回路（１４）は、第一配線（１９）側から第一入力回路入力部（２５）へ変動検査信号を入力され、第一入力回路出力部（２４）から出力信号を出力する。また、コンパレータ（７１）の基準電圧、すなわち入力閾値は、第一抵抗（７２）と第二抵抗（７３）とを用いて第一電源（１３）を分圧することにより設定されている。

この構成に対しても、実施例１で用いた図４に記載のフローチャートを用いることでＩＣ１（１１）の第一入力回路（１４）と、ＩＣ２（１２）の第一出力回路（１５）との間のインターフェースのマージン検査を実施可能である。

〔実施例３〕
図８を用いて実施例３について説明する。この実施例３における前述の実施例１との構成上の相違点は、本実施例３ではＩＣ２（１２）の第一出力回路（１５）がコンパレータ（７１）を備える点である。なお、前述の実施例と同等の構成については、各実施例と同様の符号を付し、本実施例３における説明を省略する。

図８に、ボード（１０）に設置されたＣＭＯＳ入力−コンパレータ出力回路からなる回路を表す。前述の実施例と同様に、ＩＣ１（１１）とＩＣ２（１２）との間におけるインターフェースのマージン検査を行う。

ＩＣ１（１１）は電圧を調整できる第一電源（１３）とＣＭＯＳ回路（２１）からなる第一入力回路（１４）とを備え、ＩＣ２（１２）は電圧を調整できる第二電源（１８）とコンパレータ（７１）および第一抵抗（７２）および第二抵抗（７３）からなる第一出力回路（１５）とを備える。

コンパレータ（７１）の基準、すなわち入力閾値は、第二電源（１８）を第一抵抗（７２）と第二抵抗（７３）とにより分圧することで得られる。また、ＩＣ１（１１）とＩＣ２（１２）とは第一配線（１９）で接続されている。

〔実施例４〕
図９および図１０を用いて実施例４について説明する。この実施例４における前述の実施例２との構成上の相違点は、基準電圧を決定する電源がＩＣ１（１１）およびＩＣ２（１２）の外部に設けられている点である。なお、前述の実施例と同等の構成については、各実施例と同様の符号を付し、本実施例４における説明を省略する。

図９に基準電圧を決定する電源を、ＩＣ１（１１）およびＩＣ２（１２）の外部に設けてある回路を表す。本実施例では、図９の構成におけるＩＣ１（１１）とＩＣ２（１２）との間におけるインターフェースのマージン検査を行う。

図９に示すように、ＩＣ１（１１）は電圧を調整できる第一電源（１３）とコンパレータ（７１）からなる第一入力回路（１４）とを備え、コンパレータ（７１）の入力閾値は外部電源（９１）を元に構成されている。また、ＩＣ２（１２）は、電圧を調整できる第二電源（１８）とＣＭＯＳ回路（２１）からなる第一出力回路（１５）とを備えており、第一配線（１９）でＩＣ１（１１）とＩＣ２（１２）とが接続されている。さらに、コンパレータ（７１）の基準は、第一抵抗（７２）と第二抵抗（７３）で外部電源（９１）を分圧することで得られる。

図１０のフローチャートを用いて、図９の構成におけるマージン検査方法を説明する。まず、ステップＳ１００１においてＩＣ１（１１）の第一電源（１３）とＩＣ２（１２）の第二電源（１８）と外部電源（９１）の電源を入れる。ステップＳ１００１に続くステップＳ１００２では、第一電源（１３）をコンパレータ（７１）の同相電圧範囲を考慮した電圧Ｖ１に、第二電源（１８）をＩＣ２（１２）の最小保証電圧Ｖ２Ｌに設定する。ステップＳ１００２に続くステップＳ１００３では、第一出力回路（１５）の第一出力回路入力部（３２）にＨｉレベル／Ｌｏレベルの検査信号を入れる。ステップＳ１００３に続くステップＳ１００４では、第一入力回路出力部（２４）から出力された出力信号が検査信号と一致するかを条件に分岐判定を行う。出力信号と検査信号とが一致すると判定されたならステップＳ１００５へ進む。ステップＳ１００４に続くステップＳ１００５では、第二電源（１８）をＩＣ２（１２）の最大保証電圧Ｖ２Ｈに設定する。ステップＳ１００５に続くステップＳ１００６では、第一出力回路入力部（３２）に検査信号を入れる。ステップＳ１００６に続くステップＳ１００７では、第一入力回路出力部（２４）の出力信号と検査信号とが一致するかを条件に分岐判定を行う。出力信号と検査信号とが一致すると判定されたならステップＳ１００８へ進む。

ステップＳ１００７に続くステップＳ１００８では、ＩＣ１（１１）の第一入力回路（１４）と、ＩＣ２（１２）の第一出力回路（１５）との間のインターフェースのマージンは十分であると判定し、検査結果を出力する。

一方、ステップＳ１００４、ステップＳ１００７において、出力信号と検査信号とが一致しないと判定されたなら、ステップＳ１００９へ進む。ステップＳ１００９では、ＩＣ１（１１）の第一入力回路（１４）と、ＩＣ２（１２）の第一出力回路（１５）との間のインターフェースのマージンが不足していると判定結果を出力する。

なお、図１０のフローチャートにおける、ステップＳ１００２とステップＳ１００５における電圧設定については、順番を変えて行っても良い。

〔実施例５〕
図１１を用いて実施例５について説明する。この実施例５における前述の実施例３との構成上の相違点は、本実施例ではＩＣ２（１２）の内の第一出力回路（１５）に増幅素子（１１１）を備える点である。なお、前述の実施例と同等の構成については、各実施例と同様の符号を付し、本実施例５における説明を省略する。

図１１に、ボード（１０）に設置されたＣＭＯＳ入力−アナログ出力回路からなる回路を表す。図１１に示すように、ＩＣ１（１１）が電圧を調整できる第一電源（１３）とデジタル形式の第一入力回路（１４）であるＣＭＯＳ回路（２１）とを備え、ＩＣ２（１２）が電圧を調整できる第二電源（１８）とアナログ形式の増幅素子（１１１）からなる回路を備えている。

この構成に対しても、実施例１で用いた方法と同様の方法で、ＩＣ１（１１）の第一入力回路（１４）と、ＩＣ２（１２）の増幅素子（１１１）からなる回路との間のインターフェースのマージン検査を実施可能である。

〔実施例６〕
図１２から図１６を用いて実施例６について説明する。この実施例６における前述の実施例１との構成上の相違点は、本実施例ではＩＣ１（１１）の第一入力回路（１４）内部のＣＭＯＳ回路（２１）がヒステリシス特性を持つ点である。なお、前述の実施例と同等の構成については、各実施例と同様の符号を付し、本実施例６における説明を省略する。

図１２のフローチャートを用いて、図３の構成において第一入力回路（１４）内部のＣＭＯＳ回路（２１）がヒステリシス特性を持つ場合のマージン検査の手順を示す。まず、ステップＳ１４０１にて、第一電源（１３）と第二電源（１８）とを入れる。ステップＳ１４０１に続くステップＳ１４０２では、第一電源（１３）をＩＣ１（１１）の最小保証電圧Ｖ１Ｌに、第二電源（１８）をＩＣ２（１２）の最大保証電圧Ｖ２Ｈに設定する。ステップＳ１４０２に続くステップＳ１４０３では、第一出力回路（１５）の第一出力回路入力部（３２）に対して、Ｈｉレベル／Ｌｏレベルの検査信号を入れる。この検査信号は、第一出力回路出力部（３１）から変動検査信号として出力され、配線（１９）を通じて、第一入力回路入力部（２５）へ入力される。ステップＳ１４０３に続くステップＳ１４０４では第一入力回路出力部（２４）をモニタし、第一入力回路出力部（２４）の出力信号が第一出力回路入力部（３２）に入力した検査信号と一致するかを条件に分岐判定を行う。この分岐判定は、図１３に示すように、第一電源（１３）の電圧が低いためＣＭＯＳ入力閾値が低く、第二電源（１８）の電圧が高いため検査信号のＬｏレベルが高い場合でも、検査信号のＬｏレベルがＬｏ側のＣＭＯＳ入力閾値（１５１）以下であり、検査信号のＨｉレベルがＨｉ側のＣＭＯＳ入力閾値（１５２）以上であるかどうかを判定している。出力信号と検査信号とが一致すると判定されたならステップＳ１４０５へ進む。ステップＳ１４０５では第一電源（１３）をＩＣ１（１１）の最小保証電圧Ｖ１Ｌに設定し、第二電源（１８）をＩＣ２（１２）の最小保証電圧Ｖ２Ｌに設定する。ステップＳ１４０５に続くステップＳ１４０６では、第一出力回路入力部（３２）に検査信号を入れる。ステップＳ１４０６に続くステップＳ１４０７では、第一入力回路出力部（２４）の出力信号が検査信号と一致するかを条件に分岐判定を行う。この分岐判定は、図１４に示すように、第一電源（１３）の電圧が低いためＣＭＯＳ入力閾値が低く、第二電源（１８）の電圧が低いため検査信号のＨｉレベルが低い場合でも、検査信号のＬｏレベルがＬｏ側のＣＭＯＳ入力閾値（１５１）以下であり、検査信号のＨｉレベルがＨｉ側のＣＭＯＳ入力閾値（１５２）以上であるかどうかを判定している。出力信号と検査信号とが一致すると判定されたならステップＳ１４０８へ進む。ステップＳ１４０７に続くステップＳ１４０８では、第一電源（１３）をＩＣ１（１１）の最大保証電圧Ｖ１Ｈに、第二電源（１８）をＩＣ２（１２）の最小保証電圧Ｖ２Ｌに設定する。ステップＳ１４０８に続くステップＳ１４０９では、第一出力回路入力部（３２）に検査信号を入れる。ステップＳ１４０９に続くステップＳ１４１０では、第一入力回路出力部（２４）の出力信号が検査信号と一致するかを条件に分岐判定を行う。この分岐判定は、図１５に示すように、第一電源（１３）の電圧が高いためＣＭＯＳ入力閾値が高く、第二電源（１８）の電圧が低いため検査信号のＨｉレベルが低い場合でも、検査信号のＬｏレベルがＬｏ側のＣＭＯＳ入力閾値（１５１）以下であり、検査信号のＨｉレベルがＨｉ側のＣＭＯＳ入力閾値（１５２）以上であるかどうかを判定している。出力信号と検査信号とが一致すると判定されたならステップＳ１４１１へ進む。ステップＳ１４１０に続くステップＳ１４１１では、第一電源（１３）をＩＣ１（１１）の最大保証電圧Ｖ１Ｈに、第二電源（１８）をＩＣ２（１２）の最大保証電圧Ｖ２Ｈに設定する。ステップＳ１４１１に続くステップＳ１４１２では、第一出力回路入力部（３２）に検査信号を入れる。ステップＳ１４１２に続くステップＳ１４１３では、第一入力回路出力部（２４）の出力信号が検査信号と一致するかを条件に分岐判定を行う。この分岐判定は、図１６に示すように、第一電源（１３）の電圧が高いためＣＭＯＳ入力閾値が高く、第二電源（１８）の電圧が高いため検査信号のＬｏレベルが高い場合でも、検査信号のＬｏレベルがＬｏ側のＣＭＯＳ入力閾値（１５１）以下であり、検査信号のＨｉレベルがＨｉ側のＣＭＯＳ入力閾値（１５２）以上であるかどうかを判定している。出力信号と検査信号とが一致すると判定されたならステップＳ１４１４へ進む。ステップＳ１４１３に続くステップＳ１４１４では、ＩＣ１（１１）とＩＣ２（１２）間のインターフェースのマージンは十分であると判定し、判定結果を出力する。

一方、ステップＳ１４０４、ステップＳ１４０７、ステップＳ１４１０、ステップＳ１４１３において、出力信号と検査信号とが一致しないと判定されたなら、ステップＳ１４１５へ進む。ステップＳ１４１５では、ＩＣ１（１１）とＩＣ２（１２）間のインターフェースのマージンが不足していると判定結果を出力する。

なお、図１２のフローチャート中の、ステップＳ１４０２、ステップＳ１４０５、ステップＳ１４０８、ステップＳ１４１１における電圧設定については、順番を変えて行っても良い。さらに、ステップＳ１４０２、ステップＳ１４０５、ステップＳ１４０８、ステップＳ１４１１において行った電圧設定について、保証電圧範囲に限らず電圧を変化させて第一入力回路出力部（２４）をモニタすることでＣＭＯＳ回路（２１）の閾値を調べることができる。

本実施例で示したように、入力回路（１４）またはおよび出力回路（１５）がヒステリシス特性を持つ場合であっても、マージン検査を実施可能である。また、本検査方法は、後述の実施例７のように複数の入出力回路間の動作判定にも使用可能である。

〔実施例７〕
図１７および図１８を用いて実施例７について説明する。この実施例７における前述の各実施例との構成上の相違点は、本実施例ではＩＣ１（１１）およびＩＣ２（１２）の内部に備えられた複数の入力回路（１４）（１７）（１２１）（１２３）と複数の出力回路（１５）（１６）（１２２）（１２４）との間の各々の入力回路と出力回路間のマージン検査を同時に実施する点である。なお、前述の実施例と同等の構成については、各実施例と同様の符号を付し、本実施例７における説明を省略する。

図１７は、複数の入力回路および出力回路を備えたＩＣ１（１１）とＩＣ２（１２）の回路構成図である。この図１７に示すように、ＩＣ１（１１）は、電圧を調整できる第一電源（１３）と第一入力回路（１４）、第三入力回路（１２１）、第四入力回路（１２３）と第二出力回路（１６）とを備えている。ＩＣ２（１２）は、電圧を調整できる第二電源（１８）と第一出力回路（１５）、第三出力回路（１２２）、第四出力回路（１２４）と第二入力回路（１７）とを備えている。第一入力回路（１４）と第一出力回路（１５）とは第一配線（１９）、第二入力回路（１７）と第二出力回路（１６）とは第二配線（２０）、第三入力回路（１２１）と第三出力回路（１２２）とは第三配線（１３７）、第四入力回路（１２３）と第四出力回路（１２４）とは第四配線（１３８）によって接続されている。

図１８のフローチャートを用いて、図１７の回路におけるマージン検査の方法を説明する。まず、ステップＳ１３０１にて、第一電源（１３）と第二電源（１８）とを入れる。ステップＳ１３０１に続くステップＳ１３０２では、第一電源（１３）をＩＣ１（１１）の最小保証電圧Ｖ１Ｌに、第二電源（１８）をＩＣ２（１２）の最小保証電圧Ｖ２Ｌに設定する。ステップＳ１３０２に続くステップＳ１３０３では、第一出力回路（１５）の第一出力回路入力部（３２）、第二出力回路（１６）の第二出力回路入力部（１２５）、第三出力回路（１２２）の第三出力回路入力部（１３２）、第四出力回路（１２４）の第四出力回路入力部（１３６）の各入力部に対してＨｉレベル／Ｌｏレベルの検査信号を入れる。ステップＳ１３０３に続くステップＳ１３０４では第一入力回路出力部（２４）、第二入力回路出力部（１２８）、第三入力回路出力部（１２９）、第四入力回路出力部（１３３）をモニタし、４つの入力回路の出力部（２４）（１２８）（１２９）（１３３）から出力された４つの出力信号が、４つの出力回路の入力部（３１）（１２５）（１３２）（１３６）に入力した検査信号と一致するかを条件に分岐判定を行う。４つの入力回路の出力部（２４）（１２８）（１２９）（１３３）から出力された出力信号と４つの出力回路の入力部（３１）（１２５）（１３２）（１３６）に入力した検査信号とが一致すると判定されたならステップＳ１３０５へ進む。

ステップＳ１３０５では第一電源（１３）をＩＣ１（１１）の最小保証電圧Ｖ１Ｌに設定し、第二電源（１８）をＩＣ２（１２）の最大保証電圧Ｖ２Ｈに設定する。ステップＳ１３０５に続くステップＳ１３０６では、４つの出力回路の入力部（３１）（１２５）（１３２）（１３６）に検査信号を入れる。ステップＳ１３０６に続くステップＳ１３０７では、４つの入力回路の出力部（２４）（１２８）（１２９）（１３３）の出力信号が、４つの出力回路の入力部（３１）（１２５）（１３２）（１３６）に入力した検査信号と一致するかを条件に分岐判定を行う。４つの入力回路の出力部（２４）（１２８）（１２９）（１３３）の出力信号と４つの出力回路の入力部（３１）（１２５）（１３２）（１３６）の検査信号とが一致すると判定されたならステップＳ１３０８へ進む。

ステップＳ１３０８では、第一電源（１３）をＩＣ１（１１）の最大保証電圧Ｖ１Ｈに、第二電源（１８）をＩＣ２（１２）の最小保証電圧Ｖ２Ｌに設定する。ステップＳ１３０８に続くステップＳ１３０９では、４つの出力回路の入力部（３１）（１２５）（１３２）（１３６）に検査信号を入れる。ステップＳ１３０９に続くステップＳ１３１０では、４つの入力回路の出力部（２４）（１２８）（１２９）（１３３）の出力信号が、４つの出力回路の入力部（３１）（１２５）（１３２）（１３６）に入力した検査信号と一致するかを条件に分岐判定を行う。４つの入力回路の出力部（２４）（１２８）（１２９）（１３３）の出力信号と４つの出力回路の入力部（３１）（１２５）（１３２）（１３６）の検査信号とが一致すると判定されたならステップＳ１３１１へ進む。

ステップＳ１３１１では、第一電源（１３）をＩＣ１（１１）の最大保証電圧Ｖ１Ｈに、第二電源（１８）をＩＣ２（１２）の最大保証電圧Ｖ２Ｈに設定する。ステップＳ１３１１に続くステップＳ１３１２では、４つの出力回路の入力部（３１）（１２５）（１３２）（１３６）に検査信号を入れる。ステップＳ１３１２に続くステップＳ１３１３では、４つの入力回路の出力部（２４）（１２８）（１２９）（１３３）の出力信号が、４つの出力回路の入力部（３１）（１２５）（１３２）（１３６）に入力した検査信号と一致するかを条件に分岐判定を行う。４つの入力回路の出力部（２４）（１２８）（１２９）（１３３）の出力信号と４つの出力回路の入力部（３１）（１２５）（１３２）（１３６）の検査信号が一致すると判定されたならステップＳ１３１４へ進む。ステップＳ１３１３に続くステップＳ１３１４では、ＩＣ１（１１）とＩＣ２（１２）が備える４つの入力回路（１４）（１７）（１２１）（１２３）と４つの出力回路（１５）（１６）（１２２）（１２４）との間のインターフェースのマージンは十分であると判定し、判定結果を出力する。

一方、ステップＳ１３０４、ステップＳ１３０７、ステップＳ１３１０、ステップＳ１３１３において、４つの入力回路の出力部（２４）（１２８）（１２９）（１３３）の出力信号と４つの出力回路の入力部（３１）（１２５）（１３２）（１３６）の検査信号が一致しないと判定されたなら、ステップＳ１３１５へ進む。ステップＳ１３１５では、ＩＣ１（１１）とＩＣ２（１２）が備える４つの入力回路（１４）（１７）（１２１）（１２３）と４つの出力回路（１５）（１６）（１２２）（１２４）との間のいずれか１つ以上のマージンが不足していると判定し、判定結果を出力する。

本実施例で示したように、図１７に示すＩＣ間の接続に見られる一般的な回路構成に対しても、第一電源（１３）および第二電源（１８）を調整することで、一度に複数の入出力回路間の動作判定、すなわちマージン検査を実施可能である。

なお、図１８に示したフローチャートにおいて、ステップＳ１３０２、ステップＳ１３０５、ステップＳ１３０８、ステップＳ１３１１は、順番を変えて行っても良い。さらに、ステップＳ１３０２、ステップＳ１３０５、ステップＳ１３０８、ステップＳ１３１１の電圧設定において、保証電圧範囲に限らず電圧を変化させてＣＭＯＳによる入力回路（１４）（１７）（１２１）（１２３）の各出力部（２４）（１２８）（１２９）（１３３）をモニタすることでＣＭＯＳの閾値を調べることもできる。

〔その他の実施例〕
前述の各実施例の判定条件において、検査信号と出力信号とが一致した場合に、電子回路間のマージンが確保されていると判定したが、判定条件はこれに限定されない。例えば、片方の電子回路に反転回路を組み込んだ場合、例えば検査信号がＨｉであるなら出力信号はＬｏである、といったように検査信号と出力信号とが逆の値を取ることを判定条件としてもよい。

前述の各実施例では、各電子回路に接続された電源電圧を各々に変化させていたが、全電源を変化させなくとも良い。例えば、図３の構成において、第一電源（１３）のみの電源電圧を調整した場合、第一入力回路（１４）の閾値変動幅を調べることができる。

前述の各実施例では、電子回路間に入力部または出力部を設けたが、パッドや端子を設けても良いし、直接配線を行っても良い。

前述の各実施例において、入力回路と出力回路との間のマージンを判定する際に、検査結果は入出力回路間の全マージンが確保されているか否かのみであったが、これを第一電源（１３）の電圧と第二電源（１８）の電圧毎に場合分けして出力しても良い。例えば、図４のステップＳ４０４の条件判定結果が、検査信号と出力信号とが一致しない、と判定された場合、第一電源（１３）を最小保証電圧Ｖ１Ｌに設定し、第二電源（１８）を最小保証電圧Ｖ２Ｌに設定した場合にマージンが不足する、と出力しても良い。

なお、これらの実施形態は例示的に示すもので、本発明はこれらの形態に限定されるものではない。本発明は、請求項の記載に基づく技術的範囲を逸脱しない限り、さまざまの回路構成で実現することができる。

発明を実施するための最良の形態において用いられるボード上の回路構成例である。発明を実施するための最良の形態において用いられる回路例である。実施例１において用いられるボード上の回路構成である。実施例１において用いられる検査方法の流れを表すフローチャートである。実施例１において用いられる第一電源（１３）の電圧が低く、第二電源（１８）の電圧が高い場合のマージン検査領域を表す図である。実施例１において用いられる第一電源（１３）の電圧が高く、第二電源（１８）の電圧が低い場合のマージン検査領域を表す図である。実施例２において用いられるボード上の回路構成である。実施例３において用いられるボード上の回路構成である。実施例４において用いられるボード上の回路構成である。実施例４において用いられる検査方法の流れを表すフローチャートである。実施例５において用いられるボード上の回路構成である。実施例６において用いられる検査方法の流れを表すフローチャートである。実施例６において用いられる第一電源（１３）の電圧が低く、第二電源（１８）の電圧が高い場合のマージン検査領域を表す図である。実施例６において用いられる第一電源（１３）の電圧が低く、第二電源（１８）の電圧が低い場合のマージン検査領域を表す図である。実施例６において用いられる第一電源（１３）の電圧が高く、第二電源（１８）の電圧が低い場合のマージン検査領域を表す図である。実施例６において用いられる第一電源（１３）の電圧が高く、第二電源（１８）の電圧が高い場合のマージン検査領域を表す図である。実施例７において用いられるボード上の回路構成である。実施例７において用いられる検査方法の流れを表すフローチャートである。

符号の説明

１０ボード
１１ＩＣ１
１２ＩＣ２
１３第一電源
１４第一入力回路
１５第一出力回路
１６第二出力回路
１７第二入力回路
１８第一電源
１９第一配線
２１ＣＭＯＳ回路
２２ｐ−ＭＯＳ
２３ｎ−ＭＯＳ
２４第一入力回路出力部
２５第一入力回路入力部
３１第一出力回路出力部
３２第一出力回路入力部
５１閾値
７１コンパレータ
７２第一抵抗
７３第二抵抗
９１外部電源
１１１増幅素子
１２１第三入力回路
１２２第三出力回路
１２３第四入力回路
１２４第四出力回路
１２５第二出力回路入力部
１２６第二出力回路出力部
１２７第二入力回路入力部
１２８第二入力回路出力部
１２９第三入力回路出力部
１３０第三入力回路入力部
１３１第三出力回路出力部
１３２第三出力回路入力部
１３３第四入力回路出力部
１３４第四入力回路入力部
１３５第四出力回路出力部
１３６第四出力回路入力部
１３７第三配線
１３８第四配線
１５１Ｌｏ側閾値
１５２Ｈｉ側閾値

Claims

ボード上に構成され第一電気信号を入出力する第一電子回路（１１）と、
前記ボード上に構成され、前記第一電子回路（１１）と電気的に接続し、第二電気信号を入出力する第二電子回路（１２）と、
検査信号を入力する信号生成手段と、
前記第一電子回路（１１）の出力と前記第二電子回路（１２）の入力とを比較し、前記第一電子回路（１１）またはおよび前記第二電子回路（１２）の状態を検査結果として出力するマージン検査手段とからなり、
前記第一電子回路（１１）は、前記第二電子回路（１２）からの信号を入力される入力回路（１４）と、前記マージン検査手段に信号を出力信号として出力する出力部（２４）を備えるとともに、出力電圧を変更可能な第一電源（１３）に接続され、
前記第二電子回路（１２）は、前記信号生成手段から前記検査信号を入力される入力部（３２）と、前記第一電子回路（１１）へ信号を出力する出力回路（１５）とを備えるものであり、
前記マージン検査手段による検査は、前記第一電源（１３）の電圧を変更する第一工程と、
前記第一工程の後に、前記入力部（３２）および前記マージン検査手段へ前記検査信号を入力する第二工程と、
前記第二工程の後に、前記出力部（２４）より出力される前記出力信号を前記マージン検査手段に入力する第三工程と、
前記第三工程の後に、前記マージン検査手段において前記出力信号と前記検査信号とを比較し、比較の結果に基づいて前記検査結果を出力する第四工程とを有することを特徴とする検査方法。
前記第二電子回路（１２）は、出力電圧を変更可能な第二電源（１８）に接続されており、
前記第一工程において、前記第一電源（１３）に加え、前記第二電源（１８）の電圧を変更することを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
前記第一電源（１３）およびまたは前記第二電源（１８）の電圧は、最大保証電圧と最小保証電圧との間で変更されることを特徴とする請求項１から請求項２のいずれかに記載の検査方法。
前記マージン検査手段は、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが所定の関係である場合に、前記検査結果をマージンが十分であると出力するものであり、
前記第一電源（１３）および前記第二電源（１８）をともに前記最大保証電圧に設定した場合に、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが前記所定の関係であるならば、前記第一電子回路（１１）と前記第二電子回路（１２）との間のマージンが十分であると前記検査結果を出力することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査方法。
前記マージン検査手段は、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが所定の関係である場合に、前記検査結果をマージンが十分であると出力するものであり、
前記第一電源（１３）および前記第二電源（１８）をともに前記最小保証電圧に設定した場合に、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが前記所定の関係であるならば、前記第一電子回路（１１）と前記第二電子回路（１２）との間のマージンが十分であると前記検査結果を出力することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の検査方法。
前記マージン検査手段は、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが所定の関係である場合に、前記検査結果をマージンが十分であると出力するものであり、
前記第一電源（１３）を前記最大保証電圧に設定し、前記第二電源（１８）を前記最小保証電圧に設定した場合に、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが前記所定の関係であるならば、前記第一電子回路（１１）と前記第二電子回路（１２）との間のマージンが十分であると前記検査結果を出力することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の検査方法。
前記マージン検査手段は、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが所定の関係である場合に、前記検査結果をマージンが十分であると出力するものであり、
前記第一電源（１３）を前記最小保証電圧に設定し、前記第二電源（１８）を前記最大保証電圧に設定した場合に、前記入力部（３２）に入力した前記検査信号と前記出力部（２４）が出力した前記出力信号とが前記所定の関係であるならば、前記第一電子回路（１１）と前記第二電子回路（１２）との間のマージンが十分であると前記検査結果を出力することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の検査方法。
前記第一電子回路（１１）は、前記第一電源（１３）に接続される前記入力回路（１４）および前記出力回路（１５）を複数備え、
前記第二電子回路（１２）は、前記第二電源（１８）に接続される前記入力回路（１４）および前記出力回路（１５）を複数備え、
前記マージン検査手段は、前記第一電子回路（１１）の前記検査信号と前記第二電子回路（１２）の前記出力信号とを比較し、またはおよび、前記第一電子回路（１１）の前記出力信号と前記第二電子回路（１２）の前記検査信号とを比較することで、前記検査結果を出力することを特徴とする請求項１から請求項７のいずれかに記載の検査方法。