JP2006319282A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006319282A JP2006319282A JP2005143121A JP2005143121A JP2006319282A JP 2006319282 A JP2006319282 A JP 2006319282A JP 2005143121 A JP2005143121 A JP 2005143121A JP 2005143121 A JP2005143121 A JP 2005143121A JP 2006319282 A JP2006319282 A JP 2006319282A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trench
- cleaning
- semiconductor device
- manufacturing
- mixed solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 46
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 26
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 40
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims abstract description 26
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 13
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 16
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 12
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 16
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 229910018125 Al-Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018520 Al—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 210000001316 polygonal cell Anatomy 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7801—DMOS transistors, i.e. MISFETs with a channel accommodating body or base region adjoining a drain drift region
- H01L29/7802—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors
- H01L29/7813—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors with trench gate electrode, e.g. UMOS transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7801—DMOS transistors, i.e. MISFETs with a channel accommodating body or base region adjoining a drain drift region
- H01L29/7802—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors
- H01L29/7811—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors with an edge termination structure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Element Separation (AREA)
Abstract
【解決手段】トレンチを形成した後、希フッ酸を用いて洗浄する。続いて、NH4OH:H2O2:H2O=0.1:1:5の混合溶液(液温:60〜80℃)を用いて5〜10分の洗浄を行い、HF:H2O=1:100の希フッ酸を用いて常温で5〜10分の洗浄を行い、HCl:H2O2:H2O=1:1:6の混合溶液(液温:50〜80℃)を用いて5〜10分の洗浄を行う。その後、トレンチの深さが3μmを超える場合には、NH4OH:H2O2:H2O=0.1:1:5の混合溶液(液温:60〜80℃)を用いて5〜10分の洗浄を行う。
【選択図】 図1
Description
12 ゲート電極
17 絶縁膜(ゲート酸化膜)
Claims (7)
- トレンチ構造を有する半導体装置を製造するにあたって、
半導体基板に3μmを超える深さのトレンチを形成する第1の工程と、
前記トレンチ内の露出面を希フッ酸を用いて洗浄する第2の工程と、
前記トレンチ内の露出面を、NH4OHとH2O2とH2Oの混合溶液を用いて洗浄する第3の工程と、
前記トレンチ内の露出面を希フッ酸を用いて洗浄する第4の工程と、
前記トレンチ内の露出面を、HClとH2O2とH2Oの混合溶液を用いて洗浄する第5の工程と、
前記トレンチ内の露出面を、NH4OHとH2O2とH2Oの混合溶液を用いて洗浄する第6の工程と、
を順に行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第3の工程における前記混合溶液の組成比は、NH4OH:H2O2:H2O=0.1:1:5であり、液温が60℃以上80℃以下であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第4の工程における前記希フッ酸の組成比は、HF:H2O=1:100であり、液温が常温であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第5の工程における前記混合溶液の組成比は、HCl:H2O2:H2O=1:1:6であり、液温が50℃以上80℃以下であることを特徴とする請求項2または3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第6の工程における前記混合溶液の組成比は、NH4OH:H2O2:H2O=0.1:1:5であり、液温が60℃以上80℃以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の工程、前記第3の工程、前記第4の工程、前記第5の工程および前記第6の工程では、各混合溶液による処理時間が5分以上10分以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第6の工程の後にさらに、前記トレンチ内に絶縁膜を形成し、該絶縁膜を介して前記トレンチ内を制御用ゲート電極材料で埋めることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005143121A JP2006319282A (ja) | 2005-05-16 | 2005-05-16 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005143121A JP2006319282A (ja) | 2005-05-16 | 2005-05-16 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006319282A true JP2006319282A (ja) | 2006-11-24 |
Family
ID=37539650
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005143121A Pending JP2006319282A (ja) | 2005-05-16 | 2005-05-16 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006319282A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102290368A (zh) * | 2010-06-16 | 2011-12-21 | 株式会社电装 | 半导体装置的制造方法 |
US8242605B2 (en) | 2009-06-29 | 2012-08-14 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0582792A (ja) * | 1991-09-25 | 1993-04-02 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH08316479A (ja) * | 1995-03-14 | 1996-11-29 | Mitsubishi Electric Corp | 絶縁ゲート型半導体装置およびその製造方法 |
JPH1187281A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-03-30 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | シリコンウエーハの洗浄方法 |
JP2001230236A (ja) * | 2000-02-14 | 2001-08-24 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 微細デバイスの製造方法 |
JP2002329696A (ja) * | 2001-05-02 | 2002-11-15 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2003522406A (ja) * | 2000-01-22 | 2003-07-22 | テッド アルバート ロクスリィ | シリコン・ウエハの洗浄方法及び洗浄装置 |
JP2003332270A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-21 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2003347265A (ja) * | 2003-04-18 | 2003-12-05 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2004063479A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-02-26 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2005032792A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
-
2005
- 2005-05-16 JP JP2005143121A patent/JP2006319282A/ja active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0582792A (ja) * | 1991-09-25 | 1993-04-02 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH08316479A (ja) * | 1995-03-14 | 1996-11-29 | Mitsubishi Electric Corp | 絶縁ゲート型半導体装置およびその製造方法 |
JPH1187281A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-03-30 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | シリコンウエーハの洗浄方法 |
JP2003522406A (ja) * | 2000-01-22 | 2003-07-22 | テッド アルバート ロクスリィ | シリコン・ウエハの洗浄方法及び洗浄装置 |
JP2001230236A (ja) * | 2000-02-14 | 2001-08-24 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 微細デバイスの製造方法 |
JP2002329696A (ja) * | 2001-05-02 | 2002-11-15 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2003332270A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-21 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004063479A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-02-26 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2003347265A (ja) * | 2003-04-18 | 2003-12-05 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2005032792A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8242605B2 (en) | 2009-06-29 | 2012-08-14 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
CN102290368A (zh) * | 2010-06-16 | 2011-12-21 | 株式会社电装 | 半导体装置的制造方法 |
US20120000484A1 (en) * | 2010-06-16 | 2012-01-05 | Denso Corporation | Manufacturing method of semiconductor device |
DE102011077410A1 (de) | 2010-06-16 | 2012-01-19 | Denso Corporation | Herstellungsverfahren für Halbleitervorrichtung |
JP2012023339A (ja) * | 2010-06-16 | 2012-02-02 | Denso Corp | 半導体装置の製造方法 |
CN102290368B (zh) * | 2010-06-16 | 2015-02-25 | 株式会社电装 | 半导体装置的制造方法 |
US9011604B2 (en) | 2010-06-16 | 2015-04-21 | Denso Corporation | Manufacturing method of semiconductor device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4961668B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5574923B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US20140361339A1 (en) | Pmos transistors and fabrication methods thereof | |
JP2006073740A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2007066944A (ja) | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 | |
JP2010040653A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
CN1700430A (zh) | 半导体装置的制造方法 | |
WO2013145022A1 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
TW201308443A (zh) | 半導體裝置之製造方法 | |
JP2010166024A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
WO2013077068A1 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2019046834A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2009141307A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2024091772A (ja) | 炭化珪素半導体装置および炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP6318914B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法および炭化珪素半導体装置 | |
JP2009200103A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2006319282A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010141028A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5458608B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2006229135A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
TW201234599A (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
JP2010129820A (ja) | 半導体装置 | |
US8853089B2 (en) | Manufacturing method of semiconductor substrate | |
JP5055687B2 (ja) | 半導体ウエハの製造方法 | |
JP4826036B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080415 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20091112 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20091112 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20091112 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20110422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111018 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111020 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111219 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120117 |