JP2009141307A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- H01L29/063—Reduced surface field [RESURF] pn-junction structures
- H01L29/0634—Multiple reduced surface field (multi-RESURF) structures, e.g. double RESURF, charge compensation, cool, superjunction (SJ), 3D-RESURF, composite buffer (CB) structures
Abstract
【解決手段】チャンバー内に保護膜形成ガスとエッチングガスを交互に供給しながら、高いエッチング速度でチャンバー内の半導体基板にトレンチを形成する。トレンチ形成後、半導体基板を高温還元性雰囲気中でアニール処理して、トレンチ24の側壁に存在する凹凸を消滅させ、トレンチ側壁を平滑化する。また、そのような方法に従って、n型半導体22に所定のピッチでトレンチ24を形成し、トレンチ24内にp型半導体をエピタキシャル成長させてトレンチ24をp型半導体で埋めることにより、n型半導体領域とp型半導体領域とが交互に繰り返し接合された並列pn構造を有する半導体装置を製造する。
【選択図】図9
Description
3 p型半導体領域
4 並列pn構造
21 n型低抵抗基板
22 n型半導体
23 マスク酸化膜
24 トレンチ
25 p型半導体
Claims (14)
- 第1導電型半導体基板の主面の、トレンチ形成領域を除く領域をマスクで被覆するマスク工程と、
前記マスクを有する前記半導体基板を入れたチャンバー内にエッチングガスと保護膜形成ガスを交互に供給しながら前記マスクの開口部分に露出する半導体部分をエッチングしてトレンチを形成するエッチング工程と、
前記トレンチの形成された前記半導体基板を高温還元性雰囲気中でアニール処理するアニール工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記アニール工程の後に、前記トレンチを第2導電型半導体で埋める埋め込み工程、をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記アニール工程における処理温度は、950℃以上1100℃以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記アニール工程における還元性雰囲気の圧力は、10Torr以上760Torr以下であることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記アニール工程における処理時間は、30秒以上200秒以下であることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記アニール工程における還元性雰囲気は水素ガス雰囲気であることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- n型半導体領域とp型半導体領域とが交互に繰り返し接合された構成の並列pn構造を有する半導体装置の製造方法において、
第1導電型半導体基板の主面の、トレンチ形成領域を除く領域をマスク酸化膜で被覆するマスク工程と、
前記マスクを有する前記半導体基板を入れたチャンバー内にエッチングガスと保護膜形成ガスを交互に供給しながら前記マスク酸化膜の開口部分に露出する半導体部分をエッチングしてトレンチを形成するエッチング工程と、
前記トレンチを第2導電型半導体で埋める埋め込み工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記エッチング工程の対マスク酸化膜選択比が90以上であることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板の主面に占める前記トレンチ形成領域の割合が20%以上50%以下であることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記エッチング工程では、前記トレンチの深さが10μm以上の所定の深さになるまでエッチングを続けることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記エッチング工程では、前記トレンチの側壁が前記半導体基板の主面に対して88度以上90度以下の角度をなして傾き、かつ前記トレンチが前記半導体基板の主面から前記トレンチの底面に向かって狭くなるように、前記トレンチを形成することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記トレンチの開口幅が2μm以上7μm以下であり、かつ隣り合う前記トレンチ間の間隔は、前記トレンチの開口幅に等しいことを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記エッチング工程後、前記埋め込み工程の前に、前記トレンチの形成された前記半導体基板を高温還元性雰囲気中でアニール処理するアニール工程、をさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記埋め込み工程後、前記マスク酸化膜を研磨ストッパ膜として前記半導体基板の主面を研磨する研磨工程、をさらに含むことを特徴とする請求項7または13に記載の半導体装置の製造方法。
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011077410A1 (de) | 2010-06-16 | 2012-01-19 | Denso Corporation | Herstellungsverfahren für Halbleitervorrichtung |
JP2013206991A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Kyushu Institute Of Technology | 半導体装置の製造方法 |
US9299576B2 (en) | 2012-05-07 | 2016-03-29 | Denso Corporation | Method of plasma etching a trench in a semiconductor substrate |
CN107808861A (zh) * | 2016-09-09 | 2018-03-16 | 瑞萨电子株式会社 | 半导体装置以及制造半导体装置的方法 |
JP2018121027A (ja) * | 2017-01-27 | 2018-08-02 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
JP2018137483A (ja) * | 2018-05-23 | 2018-08-30 | Sppテクノロジーズ株式会社 | プラズマ加工方法及びこの方法を用いて製造された基板 |
EP3955310A1 (en) * | 2020-08-11 | 2022-02-16 | Infineon Technologies Austria AG | Method for producing a superjunction device |
CN114649406A (zh) * | 2022-05-18 | 2022-06-21 | 浙江大学 | 多级超级结结构及其自对准制备方法 |
US11961921B2 (en) | 2020-08-25 | 2024-04-16 | Lapis Semiconductor Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method for semiconductor device |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07503815A (ja) * | 1992-12-05 | 1995-04-20 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ケイ素の異方性エッチング法 |
JP2000286248A (ja) * | 1999-01-28 | 2000-10-13 | Canon Inc | イオン注入されたホトレジストの残渣の処理方法及び半導体装置の製造方法 |
JP2001196573A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-07-19 | Denso Corp | 半導体基板とその製造方法 |
JP2003179064A (ja) * | 2001-12-10 | 2003-06-27 | Sony Corp | 配線パターンの形成方法 |
JP2004363551A (ja) * | 2003-05-14 | 2004-12-24 | Denso Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2005150399A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2006019610A (ja) * | 2004-07-05 | 2006-01-19 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 半導体ウエハの製造方法 |
JP2006190730A (ja) * | 2005-01-04 | 2006-07-20 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 逆阻止型絶縁ゲート形バイポーラトランジスタの製造方法 |
-
2008
- 2008-02-29 JP JP2008050853A patent/JP2009141307A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07503815A (ja) * | 1992-12-05 | 1995-04-20 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ケイ素の異方性エッチング法 |
JP2000286248A (ja) * | 1999-01-28 | 2000-10-13 | Canon Inc | イオン注入されたホトレジストの残渣の処理方法及び半導体装置の製造方法 |
JP2001196573A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-07-19 | Denso Corp | 半導体基板とその製造方法 |
JP2003179064A (ja) * | 2001-12-10 | 2003-06-27 | Sony Corp | 配線パターンの形成方法 |
JP2004363551A (ja) * | 2003-05-14 | 2004-12-24 | Denso Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2005150399A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2006019610A (ja) * | 2004-07-05 | 2006-01-19 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 半導体ウエハの製造方法 |
JP2006190730A (ja) * | 2005-01-04 | 2006-07-20 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 逆阻止型絶縁ゲート形バイポーラトランジスタの製造方法 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012023339A (ja) * | 2010-06-16 | 2012-02-02 | Denso Corp | 半導体装置の製造方法 |
US9011604B2 (en) | 2010-06-16 | 2015-04-21 | Denso Corporation | Manufacturing method of semiconductor device |
DE102011077410A1 (de) | 2010-06-16 | 2012-01-19 | Denso Corporation | Herstellungsverfahren für Halbleitervorrichtung |
JP2013206991A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Kyushu Institute Of Technology | 半導体装置の製造方法 |
US9299576B2 (en) | 2012-05-07 | 2016-03-29 | Denso Corporation | Method of plasma etching a trench in a semiconductor substrate |
CN107808861B (zh) * | 2016-09-09 | 2023-06-27 | 瑞萨电子株式会社 | 半导体装置以及制造半导体装置的方法 |
CN107808861A (zh) * | 2016-09-09 | 2018-03-16 | 瑞萨电子株式会社 | 半导体装置以及制造半导体装置的方法 |
JP2018121027A (ja) * | 2017-01-27 | 2018-08-02 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
US11127850B2 (en) | 2017-01-27 | 2021-09-21 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP2018137483A (ja) * | 2018-05-23 | 2018-08-30 | Sppテクノロジーズ株式会社 | プラズマ加工方法及びこの方法を用いて製造された基板 |
EP3955310A1 (en) * | 2020-08-11 | 2022-02-16 | Infineon Technologies Austria AG | Method for producing a superjunction device |
US20220052182A1 (en) * | 2020-08-11 | 2022-02-17 | Infineon Technologies Austria Ag | Method for Producing a Superjunction Device |
US11894445B2 (en) * | 2020-08-11 | 2024-02-06 | Infineon Technologies Austria Ag | Method for producing a superjunction device |
US11961921B2 (en) | 2020-08-25 | 2024-04-16 | Lapis Semiconductor Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method for semiconductor device |
CN114649406A (zh) * | 2022-05-18 | 2022-06-21 | 浙江大学 | 多级超级结结构及其自对准制备方法 |
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