JP2006317737A - 露光用マスク - Google Patents
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Abstract
【課題】 2種以上のパターンを1回のフォトリソグラフィー工程で同時形成するための露光用マスクを提供する。
【解決手段】 透明基板と、この透明基板の少なくとも一方の面に所望の透光部を設けるように形成された遮光層と、透光部の所望の部位に配設された短波長カット膜とを備え、短波長カット膜は高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された多層膜とし、露光マスクの短波長カット膜を備えた透光部を透過した光を、短波長側(紫外光域側)がカットされたものとし、短波長カット膜を備えていない透光部を透過した光との分光スペクトルの相違が生じるようにした。
【選択図】 図1
【解決手段】 透明基板と、この透明基板の少なくとも一方の面に所望の透光部を設けるように形成された遮光層と、透光部の所望の部位に配設された短波長カット膜とを備え、短波長カット膜は高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された多層膜とし、露光マスクの短波長カット膜を備えた透光部を透過した光を、短波長側(紫外光域側)がカットされたものとし、短波長カット膜を備えていない透光部を透過した光との分光スペクトルの相違が生じるようにした。
【選択図】 図1
Description
本発明は、1回のフォトリソグラフィー工程で2種以上のパターンを同時に形成するための露光用マスクに関する。
通常のフォトマスクを介したフォトリソグラフィー工程では、2回以上の工程を経ないと形成できないような2種以上のパターン(例えば、形状は同じでも、厚みが異なるパターン)を同時に形成するための露光用マスクとして、半導体素子のパターン形成等に使用するグレイトーンマスクが知られている(特許文献1、2)。このグレイトーンマスクは、透明基板上に、半透過膜あるいは露光機の解像限界以下の微細スリットからなるグレイトーン部と、透光部と、遮光部とを形成したものであり、感光性物質に対するグレイトーン部と透光部との露光量の違いを生じさせ、その後の現像によって2種のパターンを同時形成するものである。
特開平10−163174号公報
特開2002−189280号公報
従来のグレイトーンマスクは、半透過膜あるいは微細スリットにより透過光の光量を変え露光量を制御するものであり、製造工程では、半透過膜を高い膜厚精度で制御して形成すること、微細スリットを高精細に形成することが要求され、製造管理が難しく、製造コストの低減に限界があり、また、形成するパターンの厚み精度にも限界があった。このため、2種以上のパターンを所望の高い厚み精度で確実に形成できる新たな露光マスクが要望されていた。
本発明は、上記のような実情に鑑みてなされたものであり、2種以上のパターンを1回のフォトリソグラフィー工程で同時形成するための露光用マスクを提供することを目的とする。
本発明は、上記のような実情に鑑みてなされたものであり、2種以上のパターンを1回のフォトリソグラフィー工程で同時形成するための露光用マスクを提供することを目的とする。
上記のような目的を達成するために、本発明は、透明基板と、該透明基板の少なくとも一方の面に所望の透光部を設けるように形成された遮光層と、前記透光部の所望の部位に配設された短波長カット膜とを備え、該短波長カット膜は高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された多層膜であるような構成とした。
本発明の他の態様として、カット対象波長域の中心波長が異なる2種以上の前記短波長カット膜を備えるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記短波長カット膜は、所望の前記透光部の一部を被覆するように配設されているような構成とした。
本発明の他の態様として、前記短波長カット膜は、両最外層が高屈折率層である多層膜、あるいは、両最外層が低屈折率層である多層膜であり、カット対象波長域の中心波長をλ(nm)としたときに、高屈折率層の厚みはλ/4n1(n1は高屈折率層の屈折率)であり、低屈折率層の厚みはλ/4n2(n2は低屈折率層の屈折率)であるような構成とした。
本発明の他の態様として、カット対象波長域の中心波長が異なる2種以上の前記短波長カット膜を備えるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記短波長カット膜は、所望の前記透光部の一部を被覆するように配設されているような構成とした。
本発明の他の態様として、前記短波長カット膜は、両最外層が高屈折率層である多層膜、あるいは、両最外層が低屈折率層である多層膜であり、カット対象波長域の中心波長をλ(nm)としたときに、高屈折率層の厚みはλ/4n1(n1は高屈折率層の屈折率)であり、低屈折率層の厚みはλ/4n2(n2は低屈折率層の屈折率)であるような構成とした。
本発明では、露光マスクの短波長カット膜を備えた透光部を透過した光は、短波長側(紫外光域側)がカットされたものとなり、短波長カット膜を備えていない透光部を透過した光とは分光スペクトルが異なるものであり、本発明の露光マスクを介して露光することにより、使用する感光性物質の感光波長域における分光スペクトルが異なる光を、感光性物質の所望の部位にそれぞれ照射することができ、分光スペクトルの相違に応じた反応を感光性物質に生じさせることができ、その後の現像によって、厚みや端部の断面形状が異なるパターンが形成され、従来の半透過膜あるいは微細スリットにより露光量を変えてパターン厚みを制御するグレイトーンマスクに比べて、本発明の露光マスクは製造管理が容易であり、形成するパターンの厚み制御がより容易である。
以下、本発明の最良の実施形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の露光マスクの一実施形態を示す斜視図であり、図2は図1に示される露光マスクのA−A矢示断面図である。図1および図2において、露光マスク1は、透明基板2と、この透明基板2上に配設された遮光層3とを備え、遮光層3は透光部4を有しており、透光部4の所望の部位には短波長カット膜5(斜線を付した部位)を備えている。この露光マスク1では、複数の透光部4のうち、所望の透光部4のみが短波長カット膜5により被覆されている。
透明基板2としては、石英ガラス、パイレックスガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジット材、あるいは透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材を用いることができる。この中で特に石英ガラスは、熱膨脹率の小さい素材であり寸法安定性および高温加熱処理における作業性に優れている。
図1は、本発明の露光マスクの一実施形態を示す斜視図であり、図2は図1に示される露光マスクのA−A矢示断面図である。図1および図2において、露光マスク1は、透明基板2と、この透明基板2上に配設された遮光層3とを備え、遮光層3は透光部4を有しており、透光部4の所望の部位には短波長カット膜5(斜線を付した部位)を備えている。この露光マスク1では、複数の透光部4のうち、所望の透光部4のみが短波長カット膜5により被覆されている。
透明基板2としては、石英ガラス、パイレックスガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジット材、あるいは透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材を用いることができる。この中で特に石英ガラスは、熱膨脹率の小さい素材であり寸法安定性および高温加熱処理における作業性に優れている。
遮光層3は、例えば、クロム等の金属薄膜(厚み200〜5000Å程度)、クロム等からなる遮光膜と酸窒化クロム等からなる反射防止膜との積層膜、等であってよく、スパッタリング法、真空蒸着法等により形成した薄膜をパターニングして透光部4を形成することができる。また、カーボン微粒子等の遮光性粒子を含有させたポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等の樹脂層を形成し、この樹脂層をパターニングして透光部4を有する遮光層3としてもよい。さらに、カーボン微粒子、金属酸化物等の遮光性粒子を含有させた感光性樹脂層を形成し、この感光性樹脂層をパターニングして透光部4を有する遮光層3を形成してもよい。
露光マスク1を構成する短波長カット膜5は、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された多層膜である。具体的には、両最外層が高屈折率層である多層膜、あるいは、両最外層が低屈折率層である多層膜であり、カット対象波長域の中心波長をλ(nm)としたときに、高屈折率層の厚みdHはλ/4n1(n1は高屈折率層の屈折率)であり、低屈折率層の厚みdLはλ/4n2(n2は低屈折率層の屈折率)として設定することができる。このような高屈折率層としては、例えば、TiO2(n1=2.4)、Ta2O5(n1=2.1)、Nb2O5(n1=2.2)等を挙げることができ、低屈折率層としては、例えば、SiO2(n2=1.46)、MgF2(n2=1.38)等を挙げることができる。
また、高屈折率層の光学的膜厚をH(H=n1×dH)とし、低屈折率層の光学的膜厚をL(L=n2×dL)としたときに、H/Lが0.7〜1.3の範囲となるように高屈折率層の厚みdHと低屈折率層の厚みdLを設定することができる。
また、高屈折率層の光学的膜厚をH(H=n1×dH)とし、低屈折率層の光学的膜厚をL(L=n2×dL)としたときに、H/Lが0.7〜1.3の範囲となるように高屈折率層の厚みdHと低屈折率層の厚みdLを設定することができる。
このような短波長カット層5は、例えば、マスクを介したスパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理蒸着法により、所望の透光部4を被覆するように高屈折率層と低屈折率層を交互に積層して形成することができる。
このような露光マスク1では、短波長カット膜5を備えた透光部4を透過した光の短波長側(紫外光域側)がカットされ、短波長カット膜5を備えていない透光部4を透過した光との間に分光スペクトルの相違が生じる。例えば、露光光源から照射され、短波長カット膜5を備えていない透光部4を透過した光L1の分光スペクトルが図3(A)に示すような場合、短波長カット膜5を備えた透光部4を透過した光L2は、図3(B)に示されるように、短波長側(紫外光域側)がカットされた光となる。そして、感光性物質の感光波長域が図3(C)で示されるものである場合、短波長カット膜5を備えた透光部4を透過した光L2は、感光性物質の感光波長域の一部である短波長域がカットされた光となる。したがって、露光マスク1を介して感光性物質を露光した場合、上記の光L1が照射される部位と、光L2が照射される部位との間に、分光スペクトルの相違に応じた感光反応の差を生じさせることができる。そして、その後の現像によって、厚みの異なるパターンが形成されるが、上記の感光反応の差は、短波長カット膜5の設計により確実に制御することができるので、形成されたパターンの厚み制御の精度が高いものとなる。
このような露光マスク1では、短波長カット膜5を備えた透光部4を透過した光の短波長側(紫外光域側)がカットされ、短波長カット膜5を備えていない透光部4を透過した光との間に分光スペクトルの相違が生じる。例えば、露光光源から照射され、短波長カット膜5を備えていない透光部4を透過した光L1の分光スペクトルが図3(A)に示すような場合、短波長カット膜5を備えた透光部4を透過した光L2は、図3(B)に示されるように、短波長側(紫外光域側)がカットされた光となる。そして、感光性物質の感光波長域が図3(C)で示されるものである場合、短波長カット膜5を備えた透光部4を透過した光L2は、感光性物質の感光波長域の一部である短波長域がカットされた光となる。したがって、露光マスク1を介して感光性物質を露光した場合、上記の光L1が照射される部位と、光L2が照射される部位との間に、分光スペクトルの相違に応じた感光反応の差を生じさせることができる。そして、その後の現像によって、厚みの異なるパターンが形成されるが、上記の感光反応の差は、短波長カット膜5の設計により確実に制御することができるので、形成されたパターンの厚み制御の精度が高いものとなる。
図4は、本発明の露光マスクの他の実施形態を示す斜視図である。図4において、露光マスク11は、透明基板12と、この透明基板12上に配設された遮光層13とを備え、遮光層13は複数の透光部14を有しており、各透光部14の一部には短波長カット膜15(斜線を付した部位)を備えている。この露光マスク11では、各透光部14の約半分が短波長カット膜15で被覆されている。
この露光マスク11を構成する透明基板12は、上述の露光マスク1の透明基板2と同様のものを使用することができる。また、露光マスク11を構成する遮光層13、短波長カット膜15は、上述の露光マスク1の遮光層3、短波長カット膜5と同様に形成することができる。
この露光マスク11を構成する透明基板12は、上述の露光マスク1の透明基板2と同様のものを使用することができる。また、露光マスク11を構成する遮光層13、短波長カット膜15は、上述の露光マスク1の遮光層3、短波長カット膜5と同様に形成することができる。
このような露光マスク11では、各透光部14のうち、短波長カット膜15で被覆された部位を透過した光の短波長側(紫外光域側)がカットされ、各透光部14の短波長カット膜15が存在しない部位を透過した光との間に分光スペクトルの相違が生じる。したがって、露光マスク11を介して感光性物質を露光した場合、上記の分光スペクトルの相違に応じた反応を感光性物質に生じさせることができ、その後の現像によって、領域の半分が厚みや端部の断面形状が異なるパターンが形成される。
図5は、本発明の露光マスクの他の実施形態を示す斜視図である。図5において、露光マスク21は、透明基板22と、この透明基板22上に配設された遮光層23とを備え、遮光層23は複数の透光部24を有しており、各透光部24内には十字形状のパターンを有する短波長カット膜25(斜線を付した部位)を備えている。
この露光マスク21を構成する透明基板22は、上述の露光マスク1の透明基板2と同様のものを使用することができる。また、露光マスク21を構成する遮光層23、短波長カット膜25は、上述の露光マスク1の遮光層3、短波長カット膜5と同様に形成することができる。
この露光マスク21を構成する透明基板22は、上述の露光マスク1の透明基板2と同様のものを使用することができる。また、露光マスク21を構成する遮光層23、短波長カット膜25は、上述の露光マスク1の遮光層3、短波長カット膜5と同様に形成することができる。
このような露光マスク21では、各透光部24のうち、短波長カット膜25で被覆された部位を透過した光の短波長側(紫外光域側)がカットされ、各透光部24の短波長カット膜25が存在しない部位を透過した光との間に分光スペクトルの相違が生じる。したがって、露光マスク21を介して感光性物質を露光した場合、上記の分光スペクトルの相違に応じた反応を感光性物質に生じさせることができ、その後の現像によって、厚みの異なる十字形状の領域を有するパターンが形成される。
図6は、本発明の露光マスクの他の実施形態を示す斜視図である。図6において、露光マスク31は、透明基板32と、この透明基板32上に配設された遮光層33とを備え、遮光層33は透光部34を有しており、透光部34の所望の部位には短波長カット膜35(斜線を付した部位)を備えている。この露光マスク31では、透光部34内に複数のライン形状パターンで短波長カット膜35が配設されている。
この露光マスク31を構成する透明基板32は、上述の露光マスク1の透明基板2と同様のものを使用することができる。また、露光マスク31を構成する遮光層33、短波長カット膜35は、上述の露光マスク1の遮光層3、短波長カット膜5と同様に形成することができる。
この露光マスク31を構成する透明基板32は、上述の露光マスク1の透明基板2と同様のものを使用することができる。また、露光マスク31を構成する遮光層33、短波長カット膜35は、上述の露光マスク1の遮光層3、短波長カット膜5と同様に形成することができる。
このような露光マスク31では、透光部34のうち、短波長カット膜35で被覆された部位を透過した光の短波長側(紫外光域側)がカットされ、透光部34の短波長カット膜35が存在しない部位を透過した光との間に分光スペクトルの相違が生じる。したがって、露光マスク31を介して感光性物質を露光した場合、上記の分光スペクトルの相違に応じた反応を感光性物質に生じさせることができ、その後の現像によって、厚みの異なるライン形状の領域を有するパターンが形成される。
図7は、本発明の露光マスクの他の実施形態を示す斜視図である。図7において、露光マスク41は、透明基板42と、この透明基板42上に配設された遮光層43とを備え、遮光層43は複数の透光部44を有しており、複数の透光部44のうち、所望の透光部44には短波長カット膜45(斜線を付した部位)を備えている。この露光マスク41では、短波長カット膜45が2種の短波長カット膜からなる。すなわち、カット対象波長域の中心波長が異なる第1の短波長カット膜45aと第2の短波長カット膜45bからなる。
上記の第1の短波長カット膜45aと第2の短波長カット膜45bは、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された多層膜であり、基本的に、上述の短波長カット膜5と同様に形成することができる。但し、第2の短波長カット膜45bの短波長カット領域は、第1の短波長カット膜45aの短波長カット領域よりも、感光性物質の感光波長域を広く含むように設定する。
上記の第1の短波長カット膜45aと第2の短波長カット膜45bは、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された多層膜であり、基本的に、上述の短波長カット膜5と同様に形成することができる。但し、第2の短波長カット膜45bの短波長カット領域は、第1の短波長カット膜45aの短波長カット領域よりも、感光性物質の感光波長域を広く含むように設定する。
このような露光マスク41を使用することにより、例えば、露光光源から照射され短波長カット膜45が存在しない透光部44を透過した光L1の分光スペクトルが図8(A)に示すような場合、第1の短波長カット膜45aで被覆された透光部44を透過した光L2は、図8(B)に示されるように、短波長域がカットされた光となる。また、第2の短波長カット膜45bで被覆された透光部44を透過した光L3は、図8(C)に示されるように、短波長域がカットされた光であり、かつ、短波長域が光L2に比べ更に狭い光となる。すなわち、露光マスク41を透過した光L1、光L2、光L3の各分光スペクトルが異なるものとなる。そして、感光性物質の感光波長域が図8(D)で示されるものである場合、第1の短波長カット膜45aで被覆された透光部44を透過した光L2は、感光性物質の感光波長域の一部である短波長域がカットされた光となる。また、第2の短波長カット膜45bで被覆された透光部44を透過した光L3は、感光性物質の感光波長域の一部である短波長域が、光L2に比べて大きくカットされた光となる。
したがって、露光マスク41を介して感光性物質を露光した場合、上記の光L1が照射される部位と、光L2が照射される部位と、光L3が照射される部位との間に、分光スペクトルの相違に応じた感光反応の差を生じさせることができる。そして、その後の現像によって、厚みや断面形状の異なるパターンが形成される。
尚、この露光マスク41を構成する透明基板42は、上述の露光マスク1の透明基板2と同様のものを使用することができる。また、露光マスク41を構成する遮光層43は、上述の露光マスク1の遮光層3と同様に形成することができる。
尚、この露光マスク41を構成する透明基板42は、上述の露光マスク1の透明基板2と同様のものを使用することができる。また、露光マスク41を構成する遮光層43は、上述の露光マスク1の遮光層3と同様に形成することができる。
上述のような本発明の露光マスクを適用してパターン形成を行う際に使用する感光性物質としては特に制限はなく、公知のネガ型感光性物質、ポジ型感光性物質を挙げることができる。また、本発明の露光マスクを用いて1回のフォトリソグラフィー工程で2種以上のパターンを同時形成する用途としては、例えば、液晶表示装置における高低2種の柱状凸部の同時形成、複数配向分割型垂直配向モードの液晶表示装置における柱状凸部と液晶配向制御用の突起の同時形成、複数配向分割型垂直配向モードの液晶表示装置における高低2種の柱状凸部と液晶配向制御用の突起の同時形成、半導体素子作製時の厚みの異なるレジストパターンの形成等挙げることができる。
尚、上述の実施形態は一例であり、本発明の露光マスクはこれらの限定されるものではない。例えば、透明基板の両面に遮光層、短波長カット膜を備えるものであってもよい。
尚、上述の実施形態は一例であり、本発明の露光マスクはこれらの限定されるものではない。例えば、透明基板の両面に遮光層、短波長カット膜を備えるものであってもよい。
次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説明する。
[実施例1]
露光用マスクに使用する透明基板として、500mm×600mm、厚さ5mmの石英基板を準備した。この透明基板を定法にしたがって洗浄した後、片側全面にスパッタリング法によりクロム薄膜(厚み1000Å)を形成した。このクロム薄膜上にポジ型感光性レジスト(東京応化工業(株)製 OFPR−800)を塗布し、所定のマスクを介して露光、現像してレジストパターンを形成した。次いで、このレジストパターンをマスクとして、クロム薄膜をエッチングして遮光層を形成した。この遮光層は、直径9μmの円形透光部がピッチ300μmで600個配列したラインを、ピッチ50μmで4800本備えるものであった。
[実施例1]
露光用マスクに使用する透明基板として、500mm×600mm、厚さ5mmの石英基板を準備した。この透明基板を定法にしたがって洗浄した後、片側全面にスパッタリング法によりクロム薄膜(厚み1000Å)を形成した。このクロム薄膜上にポジ型感光性レジスト(東京応化工業(株)製 OFPR−800)を塗布し、所定のマスクを介して露光、現像してレジストパターンを形成した。次いで、このレジストパターンをマスクとして、クロム薄膜をエッチングして遮光層を形成した。この遮光層は、直径9μmの円形透光部がピッチ300μmで600個配列したラインを、ピッチ50μmで4800本備えるものであった。
次いで、上記のガラス板の遮光層形成面側に、円形透光部の配列ラインを1本おきに遮蔽するマスクを配置し、この状態でスパッタリング法により、高屈折率層(屈折率:2.4、厚み:32.6nmのTiO2)と、低屈折率層(屈折率:1.5、厚み:52.2nmのSiO2)を交互に計7層(1層目と最外層が高屈折率層)形成した。これにより、円形透光部の配列ライン1本おきに、波長330nm以下の短波長をカットすることができる短波長カット膜を形成して、図1、図2に示されるような露光用マスクを得た。
次に、300mm×400mm、厚さ0.7mmのガラス基板(コーニング社製1737ガラス)を準備し、このガラス基板上に下記組成のネガ型感光性樹脂組成物をスピンコート法により塗布し、上記の露光用マスクを介して下記の条件で露光した。このネガ型感光性樹脂組成物の感光波長域は250〜380nm(ピーク:310nm)であった。
(突起形成用のネガ型感光性樹脂組成物)
・メタクリル酸メチル−スチレン−アクリル酸共重合体 … 42重量部
・エピコート180S70(三菱油化シェル(株)製) … 18重量部
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート … 32重量部
・開始剤 … 8重量部
(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製 イルガキュア907)
・溶剤 … 300重量部
(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
(突起形成用のネガ型感光性樹脂組成物)
・メタクリル酸メチル−スチレン−アクリル酸共重合体 … 42重量部
・エピコート180S70(三菱油化シェル(株)製) … 18重量部
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート … 32重量部
・開始剤 … 8重量部
(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製 イルガキュア907)
・溶剤 … 300重量部
(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
(露光条件)
・露光波長域 : 250〜500nm
・露光量 : 100mJ/cm2(at365nm)
・露光ギャップ : 150μm
・露光波長域 : 250〜500nm
・露光量 : 100mJ/cm2(at365nm)
・露光ギャップ : 150μm
次いで、水酸化カリウム水溶液を用いてネガ型感光性樹脂組成物を現像し、その後、230℃、30分間の加熱処理を施して、凸形状の2種のパターンを形成した。形成されたパターンの形状を走査型電子顕微鏡により観察した結果、露光マスクの短波長カット膜が存在しない円形透光部に対応する凸形状パターンは、基部の直径が18.6μm、頂部の直径が8.7μm、高さが3.5μmの截頭円錐形状であった。また、露光マスクの短波長カット膜が存在する円形透光部に対応する凸形状パターンは、基部の直径が11.4μm、高さが1.6μmのドーム形状であった。
[実施例2]
実施例1で使用した石英基板と同じ石英基板を準備し、実施例1と同様に遮光層を形成した。
次に、上記のガラス板の遮光層形成面側に、円形透光部の配列ラインを2本おきに露出させる遮蔽マスクを配置し、この状態でスパッタリング法により、高屈折率層(屈折率:2.4、厚み:27.4nmのTiO2)と、低屈折率層(屈折率:1.5、厚み:45.0nmのSiO2)を交互に計15層(1層目と最外層が高屈折率層)形成した。これにより、波長313nm以下の短波長をカットすることができる第1の短波長カット膜を形成した。
実施例1で使用した石英基板と同じ石英基板を準備し、実施例1と同様に遮光層を形成した。
次に、上記のガラス板の遮光層形成面側に、円形透光部の配列ラインを2本おきに露出させる遮蔽マスクを配置し、この状態でスパッタリング法により、高屈折率層(屈折率:2.4、厚み:27.4nmのTiO2)と、低屈折率層(屈折率:1.5、厚み:45.0nmのSiO2)を交互に計15層(1層目と最外層が高屈折率層)形成した。これにより、波長313nm以下の短波長をカットすることができる第1の短波長カット膜を形成した。
次いで、上記の遮蔽マスクを、円形透光部の配列ラインのピッチ方向に沿って50μm移動して配置し、この状態でスパッタリング法により、高屈折率層(屈折率:2.4、厚み:29.2nmのTiO2)と、低屈折率層(屈折率:1.5、厚み:47.9nmのSiO2)を交互に計15層(1層目と最外層が高屈折率層)形成した。これにより、波長330nm以下の短波長をカットすることができる第2の短波長カット膜を形成した。これにより、図7に示されるような露光用マスクを得た。
次に、実施例1と同様に、ガラス基板上にネガ型感光性樹脂組成物をスピンコート法により塗布し、上記の露光用マスクを介して実施例1と同様の条件で露光した。
次に、実施例1と同様に、ガラス基板上にネガ型感光性樹脂組成物をスピンコート法により塗布し、上記の露光用マスクを介して実施例1と同様の条件で露光した。
次いで、水酸化カリウム水溶液を用いてネガ型感光性樹脂組成物を現像し、その後、230℃、30分間の加熱処理を施して、凸形状の3種のパターンを形成した。形成されたパターンの形状を実施例1と同様に観察した結果、露光マスクの短波長カット膜が存在しない円形透光部に対応する凸形状パターンは、基部の直径が18.6μm、頂部の直径が8.7μm、高さが3.5μmの截頭円錐形状であった。また、露光マスクの第1の短波長カット膜が存在する円形透光部に対応する凸形状パターンは、基部の直径が19.3μm、高さが3.2μmで頂部に丸みのある截頭円錐形状であった。また、露光マスクの第2の短波長カット膜が存在する円形透光部に対応する凸形状パターンは、基部の直径が11.4μm、高さが1.6μmのドーム形状であった。
高さの異なる2種以上のパターンを1回のフォトリソグラフィー工程で形成する必要がある種々のパターン形成に利用することができる。
1,11,21,31,41…露光マスク
2,12,22,32,42…透明基板
3,13,23,33,43…遮光層
4,14,24,34,44…透光部
5,15,25,35,45(45a,45b)…短波長カット膜
2,12,22,32,42…透明基板
3,13,23,33,43…遮光層
4,14,24,34,44…透光部
5,15,25,35,45(45a,45b)…短波長カット膜
Claims (4)
- 透明基板と、該透明基板の少なくとも一方の面に所望の透光部を設けるように形成された遮光層と、前記透光部の所望の部位に配設された短波長カット膜とを備え、該短波長カット膜は高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された多層膜であることを特徴とする露光用マスク。
- カット対象波長域の中心波長が異なる2種以上の前記短波長カット膜を備えることを特徴とする請求項1に記載の露光用マスク。
- 前記短波長カット膜は、所望の前記透光部の一部を被覆するように配設されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の露光用マスク。
- 前記短波長カット膜は、両最外層が高屈折率層である多層膜、あるいは、両最外層が低屈折率層である多層膜であり、カット対象波長域の中心波長をλ(nm)としたときに、高屈折率層の厚みはλ/4n1(n1は高屈折率層の屈折率)であり、低屈折率層の厚みはλ/4n2(n2は低屈折率層の屈折率)であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の露光用マスク。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008181038A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-07 | Sony Corp | 露光マスク、パターン形成方法、半導体装置の製造方法、および表示装置の製造方法 |
JP2008216799A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Fujifilm Corp | パターン露光方法及び装置、及びフォトマスク |
JP2010128440A (ja) * | 2008-12-01 | 2010-06-10 | Dainippon Printing Co Ltd | マルチスペクトルマスクおよびカラーフィルタの製造方法 |
WO2010146965A1 (ja) * | 2009-06-20 | 2010-12-23 | シャープ株式会社 | 露光用マスク、フォトリソグラフィ法、基板の製造方法、表示パネルの製造方法 |
JP2011028174A (ja) * | 2009-07-29 | 2011-02-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 階調マスクおよび階調マスクの製造方法 |
JP2012517620A (ja) * | 2009-09-02 | 2012-08-02 | ダブリュアイ−エー・コーポレーション | レーザ反射型マスク及びその製造方法 |
KR101374134B1 (ko) | 2013-07-29 | 2014-03-14 | (주)네프코 | 고출력 레이저를 이용한 패터닝용 고출력 마스크 및 그 제조방법 |
KR101385213B1 (ko) | 2012-07-04 | 2014-04-14 | 주식회사 창강화학 | 광학 마스크 및 이를 포함하는 레이저 열 전사 장치 |
KR101416921B1 (ko) | 2013-03-19 | 2014-07-08 | 주식회사 창강화학 | 광학 마스크 및 이를 포함하는 레이저 열 전사 장치 |
KR101445036B1 (ko) | 2012-05-31 | 2014-09-26 | 주식회사 엘지화학 | 포토마스크, 이를 이용한 패턴 형성 방법, 상기 패턴 형성 방법으로 제조된 패턴을 포함하는 적층체, 상기 패턴 형성 방법으로 제조된 패턴을 포함하는 컬러필터, 및 이를 포함하는 디스플레이 장치 |
CN110320740A (zh) * | 2019-07-22 | 2019-10-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 掩模版 |
CN110989288A (zh) * | 2019-12-20 | 2020-04-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种掩膜版、掩膜版系统及制备、光刻方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62123465A (ja) * | 1985-11-22 | 1987-06-04 | Sharp Corp | フオトマスクの製造方法 |
JPS6380258A (ja) * | 1986-09-24 | 1988-04-11 | Hitachi Micro Comput Eng Ltd | マスク |
JPS63121054A (ja) * | 1986-11-10 | 1988-05-25 | Nec Corp | フオトマスク |
JPH0651495A (ja) * | 1992-06-12 | 1994-02-25 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 2色性フォトマスク及びその製造方法 |
JPH07191215A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Canon Inc | レーザマスクおよびその製造方法 |
JPH07241690A (ja) * | 1994-03-07 | 1995-09-19 | Hitachi Ltd | レーザ加工用誘電体マスクとその製造方法 |
JPH08314116A (ja) * | 1995-03-15 | 1996-11-29 | Toshiba Corp | 露光用マスク及びその製造方法 |
JP2000171625A (ja) * | 1998-12-02 | 2000-06-23 | Canon Inc | ダイクロイックミラー |
JP2003029393A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マスク、それを用いたパターン形成方法およびリソグラフィ方法 |
-
2005
- 2005-05-13 JP JP2005140674A patent/JP2006317737A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62123465A (ja) * | 1985-11-22 | 1987-06-04 | Sharp Corp | フオトマスクの製造方法 |
JPS6380258A (ja) * | 1986-09-24 | 1988-04-11 | Hitachi Micro Comput Eng Ltd | マスク |
JPS63121054A (ja) * | 1986-11-10 | 1988-05-25 | Nec Corp | フオトマスク |
JPH0651495A (ja) * | 1992-06-12 | 1994-02-25 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 2色性フォトマスク及びその製造方法 |
JPH07191215A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Canon Inc | レーザマスクおよびその製造方法 |
JPH07241690A (ja) * | 1994-03-07 | 1995-09-19 | Hitachi Ltd | レーザ加工用誘電体マスクとその製造方法 |
JPH08314116A (ja) * | 1995-03-15 | 1996-11-29 | Toshiba Corp | 露光用マスク及びその製造方法 |
JP2000171625A (ja) * | 1998-12-02 | 2000-06-23 | Canon Inc | ダイクロイックミラー |
JP2003029393A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マスク、それを用いたパターン形成方法およびリソグラフィ方法 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008181038A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-07 | Sony Corp | 露光マスク、パターン形成方法、半導体装置の製造方法、および表示装置の製造方法 |
JP2008216799A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Fujifilm Corp | パターン露光方法及び装置、及びフォトマスク |
JP2010128440A (ja) * | 2008-12-01 | 2010-06-10 | Dainippon Printing Co Ltd | マルチスペクトルマスクおよびカラーフィルタの製造方法 |
WO2010146965A1 (ja) * | 2009-06-20 | 2010-12-23 | シャープ株式会社 | 露光用マスク、フォトリソグラフィ法、基板の製造方法、表示パネルの製造方法 |
JP2011028174A (ja) * | 2009-07-29 | 2011-02-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 階調マスクおよび階調マスクの製造方法 |
JP2012517620A (ja) * | 2009-09-02 | 2012-08-02 | ダブリュアイ−エー・コーポレーション | レーザ反射型マスク及びその製造方法 |
KR101445036B1 (ko) | 2012-05-31 | 2014-09-26 | 주식회사 엘지화학 | 포토마스크, 이를 이용한 패턴 형성 방법, 상기 패턴 형성 방법으로 제조된 패턴을 포함하는 적층체, 상기 패턴 형성 방법으로 제조된 패턴을 포함하는 컬러필터, 및 이를 포함하는 디스플레이 장치 |
KR101385213B1 (ko) | 2012-07-04 | 2014-04-14 | 주식회사 창강화학 | 광학 마스크 및 이를 포함하는 레이저 열 전사 장치 |
KR101416921B1 (ko) | 2013-03-19 | 2014-07-08 | 주식회사 창강화학 | 광학 마스크 및 이를 포함하는 레이저 열 전사 장치 |
KR101374134B1 (ko) | 2013-07-29 | 2014-03-14 | (주)네프코 | 고출력 레이저를 이용한 패터닝용 고출력 마스크 및 그 제조방법 |
CN110320740A (zh) * | 2019-07-22 | 2019-10-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 掩模版 |
CN110989288A (zh) * | 2019-12-20 | 2020-04-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种掩膜版、掩膜版系统及制备、光刻方法 |
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