JP2006317181A - 加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加速度センサチップ1と、加速度センサチップ1の一表面に対向配置され重り部12の過度な変位を規制する平板状のストッパ2と、ストッパ2の周部と加速度センサチップ1のフレーム部11との間に設けられたスペーサ部材8と、スペーサ部材8を覆いストッパ2の周部と加速度センサチップ1のフレーム部11とを接着する接着剤からなる接着部6とを備える。加速度センサチップ1のフレーム部11には、ゲージ抵抗たるピエゾ抵抗Rに電気的に接続された金属配線16のうちスペーサ部材8と重なる部分を保護する保護膜17が上記一表面側に形成されている。
【選択図】 図1
Description
図1に示す本実施形態の加速度センサについて説明するにあたって、まず、加速度センサチップ1について図2を参照しながら説明する。
本実施形態の加速度センサの基本構成は実施形態1と略同じであって、図7(a),(b),に示すように、スペーサ部材8を球状の粒子により構成し、ストッパ2の四隅近傍それぞれにおいて複数個のスペーサ部材8が配置されている点が相違する。本実施形態におけるスペーサ部材8mp粒径は、上記ギャップ長に応じて、10μm〜20μm程度の範囲内で適宜設定すればよい。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
2 ストッパ
6 接着部
8 スペーサ部材
11 フレーム部
12 重り部
13 撓み部
14 スリット
15 パッド
16 金属配線
17 保護膜
18 コンタクト部
21 拡散層配線
R ピエゾ抵抗
Claims (6)
- 枠状のフレーム部の内側に配置される重り部が一表面側において可撓性を有する撓み部を介してフレーム部に揺動自在に支持され撓み部にゲージ抵抗が設けられた加速度センサチップと、加速度センサチップの前記一表面に対向配置され重り部の過度な変位を規制する平板状のストッパと、ストッパの周部と加速度センサチップのフレーム部との間に設けられたスペーサ部材と、スペーサ部材を覆いストッパの周部と加速度センサチップのフレーム部とを接着する接着剤からなる接着部とを備え、加速度センサチップのフレーム部には、ゲージ抵抗に電気的に接続された金属配線のうちスペーサ部材と重なる部分を保護する保護膜が前記一表面側に形成されてなることを特徴とする加速度センサ。
- 前記保護膜は、有機材料により形成されてなることを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。
- 前記有機材料は、ポリイミドからなることを特徴とする請求項2記載の加速度センサ。
- 前記ポリイミドは、感光性ポリイミドからなることを特徴とする請求項3記載の加速度センサ。
- 前記保護膜は、表面が平坦化されてなることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の加速度センサ。
- 前記スペーサ部材は、球状の粒子であることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の加速度センサ。
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-
2005
- 2005-05-10 JP JP2005137620A patent/JP2006317181A/ja active Pending
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