JP2006310418A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1エミッタ電極8と、第1ベース電極6と、第1コレクタ電極7とを第1領域の上方に有する第1トランジスタQ1を具備し、第1ベース電極6と第1ベース領域の間を接続するベース引出しポリシリコン9は、第1領域の外に設けられる第2領域の上方を通過させ、抵抗値を付加する。
【選択図】図1
Description
しかし、この2トランジスタ型のバイポーラアンチヒューズにおいてヒューズを書き込みしようとしたところ、当該接合を破壊するために印加する電圧が周辺素子の耐圧を超えてしまいバイポーラトランジスタの接合を破壊するのと同時に周辺素子をも破壊してしまうことを見出した。また、バイポーラトランジスタQ1の接合を破壊するために大電流を流すと接合を破壊しないパイポーラトランジスタQ2の接合も破壊される可能性があることを見出した。
第1エミッタ領域と、第1ベース領域と、第1コレクタ領域とを第1素子分離領域で囲まれた第1領域に有し、第1エミッタ電極と、第1ベース電極と、第1コレクタ電極とを第1領域の上方に有する第1トランジスタを具備し、第1ベース電極と第1ベース領域の間を接続する第1配線は、第1領域の外に設けられる第2領域の上方を通過する。
更に望ましくは、第1コレクタ電極と第1ベース電極は、第1配線の上層の配線層で接続される。
更に望ましくは、第1トランジスタは、第1エミッタ電極と、第1ベース電極と、第1コレクタ電極とを第1領域の上方に更に有する。
更に望ましくは、第1ベース電極と第1コレクタ電極の間に抵抗素子を設ける。
Claims (19)
- 第1導電型の不純物領域である第1エミッタ領域と、前記第1導電型と異なる第2導電型の不純物領域である第1ベース領域と、前記第1導電型の不純物領域である第1コレクタ領域とを第1素子分離領域で囲まれた第1領域に有し、前記第1エミッタ領域と接続される第1エミッタ電極と、前記第1ベース領域と接続される第1ベース電極と、前記第1コレクタ領域と接続される第1コレクタ電極とを前記第1領域の上方に有する第1トランジスタを具備し、
前記第1ベース電極と前記第1ベース領域の間を接続する第1配線は、前記第1領域の外に設けられる第2領域の上方を通過することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1において、
前記第1配線は、ポリシリコンで形成されることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1において、
前記第1コレクタ電極と前記第1ベース電極は、前記第1配線の上層の配線層で接続されることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1において、
前記半導体装置は、前記第1導電型の不純物領域である第2エミッタ領域と、前記第2導電型の不純物領域である第2ベース領域と、前記第1導電型の不純物領域である第2コレクタ領域とを第2素子分離領域で囲まれた第3領域に有し、前記第2エミッタ領域と接続される第2エミッタ電極と、前記第2ベース領域と接続される第2ベース電極と、前記第2コレクタ領域と接続される第2コレクタ電極とを前記第3領域の上方に有する第2トランジスタを具備し、
前記第1エミッタ電極と前記第2コレクタ電極は、前記第1配線より上層の配線層により接続され、
前記第1コレクタ電極と前記第1ベース電極は、前記第1配線より上層の配線層で接続され、
前記第2エミッタ電極と前記第2ベース電極は、前記第1配線より上層の配線層で接続されることを特徴とする半導体装置。 - 請求項4において、前記第1領域は、前記第3領域より小さいことを特徴とする半導体装置。
- 請求項4において、
前記第1エミッタ電極、前記第1ベース電極及び前記第1コレクタ電極は、第1方向に並んで配置され、
前記第2エミッタ電極、前記第2ベース電極及び前記第2コレクタ電極は、前記第1方向と交差する第2方向に並んで配置されることを特徴とする半導体装置。 - 請求項4において、
前記半導体装置は、
前記第1導電型の不純物領域である第3エミッタ領域と、前記第2導電型の不純物領域である第3ベース領域と、前記第1導電型の不純物領域である第3コレクタ領域とを第3素子分離領域で囲まれた第4領域に有し、前記第3エミッタ領域と接続される第3エミッタ電極と、前記第3ベース領域と接続される第3ベース電極と、前記第3コレクタ領域と接続される第3コレクタ電極とを前記第4領域の上方に有する第3トランジスタと、
前記第1導電型の不純物領域である第4エミッタ領域と、前記第2導電型の不純物領域である第4ベース領域と、前記第1導電型の不純物領域である第4コレクタ領域とを第4素子分離領域で囲まれた第5領域に有し、前記第4エミッタ領域と接続される第4エミッタ電極と、前記第4ベース領域と接続される第4ベース電極と、前記第4コレクタ領域と接続される第4コレクタ電極とを前記第5領域の上方に有する第4トランジスタとを更に具備し、
前記第3エミッタ電極と前記第4コレクタ電極は、前記第1配線より上層の配線層により接続され、
前記第3コレクタ電極と前記第3ベース電極は、前記第1配線より上層の配線層で接続され、
前記第4エミッタ電極と前記第4ベース電極は、前記第1配線より上層の配線層で接続され、
前記第1トランジスタと前記第2トランジスタは、第1方向に並んで配置され、
前記第3トランジスタと前記第4トランジスタは、前記第1方向に並んで配置され、
前記第1トランジスタと前記第4トランジスタは、前記第1方向と交差する第2方向に並んで配置され、
前記第2トランジスタと前記第3トランジスタは、前記第2方向に並んで配置され、
前記第2領域は、前記第1領域と前記第5領域との間の領域であり、
前記第3ベース電極と前記第3ベース領域の間を接続する第2配線は、前記第3領域と前記第4領域との間の第6領域の上方を通過することを特徴とする半導体装置。 - 請求項7において、
前記第2エミッタ電極と前記第4エミッタ電極は、前記第1配線より上層の配線層を用いて接続されることを特徴とする半導体装置。 - 第1導電型の不純物領域である第1エミッタ領域と、前記第1導電型と異なる第2導電型の不純物領域である第1ベース領域と、前記第1導電型の不純物領域である第1コレクタ領域とを第1素子分離領域で囲まれた第1領域に有する第1トランジスタと、
前記第1導電型の不純物領域である第2エミッタ領域と、前記第2導電型の不純物領域である第2ベース領域と、前記第1導電型の不純物領域である第2コレクタ領域とを第2素子分離領域で囲まれた第2領域に有する第2トランジスタとを具備し、
前記第1領域の表面積と前記第2領域の表面積は、同じであり、
前記第1トランジスタのベース抵抗は、前記第2トランジスタのベース抵抗より大きいことを特徴とする半導体装置。 - 請求項9において、
前記第1トランジスタは、前記第1ベース領域と前記第1エミッタ領域の接合部分を破壊することで情報を記憶するメモリ部に用いられ、
前記第2トランジスタは、前記メモリ部に記憶された情報によりトリミングを行うデジタル−アナログ変換回路に用いられることを特徴とする半導体装置。 - 請求項10において、
前記第1トランジスタは、前記第1エミッタ領域と接続される第1エミッタ電極と、前記第1ベース領域と接続される第1ベース電極と、前記第1コレクタ領域と接続される第1コレクタ電極とを前記第1領域の上方に更に有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項11において、
前記第1ベース電極と前記第1ベース領域の間を接続する第1配線は、前記第1領域の外に設けられる第2領域の上方を通過することを特徴とする半導体装置。 - 請求項11において、
前記第1エミッタ電極は、前記素子分離領域を越えて設けられることを特徴とする半導体装置。 - 請求項11において、
前記第1トランジスタは、前記第1ベース電極と前記第1ベース領域の間を接続する第1配線を更に有し、
前記第1ベース電極と前記第1コレクタ電極の間には、前記第1配線とは異なる抵抗素子が設けられることを特徴とする半導体装置。 - 第1導電型の不純物領域である第1エミッタ領域と、前記第1導電型と異なる第2導電型の不純物領域である第1ベース領域と、前記第1導電型の不純物領域である第1コレクタ領域とを第1素子分離領域で囲まれた第1領域に有し、前記第1エミッタ領域と接続される第1エミッタ電極と、前記第1ベース領域と接続される第1ベース電極と、前記第1コレクタ領域と接続される第1コレクタ電極とを前記第1領域の上方に有する第1トランジスタと、
前記第1導電型の不純物領域である第2エミッタ領域と、前記第2導電型の不純物領域である第2ベース領域と、前記第1導電型の不純物領域である第2コレクタ領域とを第2素子分離領域で囲まれた第2領域に有し、前記第2エミッタ領域と接続される第2エミッタ電極と、前記第2ベース領域と接続される第2ベース電極と、前記第2コレクタ領域と接続される第2コレクタ電極とを前記第2領域の上方に有する第2トランジスタを具備し、
前記第1エミッタ電極は、前記第2コレクタ電極と接続され、
前記第2エミッタ電極は、前記第2ベース電極と接続されることを特徴とする半導体装置。 - 請求項15において、
前記第1領域の表面積は、前記第2領域の表面積より小さいことを特徴とする半導体装置。 - 請求項16において、
前記第1ベース電極と前記第1コレクタ電極の間に抵抗素子を設けることを特徴とする半導体装置。 - 請求項16において、
前記第1ベース電極と前記第1ベース領域の間を接続する第1配線は、前記第1領域と前記だい2領域の間の第3領域の上方を通過することを特徴とする半導体装置。 - 請求項15において、
前記第1エミッタ電極は、前記第1素子分離領域を越えて設けられることを特徴とする半導体装置。
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