JP2006300883A - 顕微ラマン微小パーティクル発見装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 照明光の輝度を上げても光学顕微鏡の視野のサーマルドリフトが生じにくく、ウェーハ上の微小な異物も確実に検出・同定できる顕微ラマン微小パーティクル発見装置を提供する。
【解決手段】 ウェーハW上の異物の形状を観察するための光学顕微鏡13と、レーザー光源2と、レーザービームLBを光学顕微鏡13によるウェーハW表面上の観察視野に導き該観察視野上の異物に絞り照射するとともに、当該レーザービームLBによって励起された異物からのラマン散乱光を分光するラマン分光部12と、光学顕微鏡13内にて観察視野を照らし出すための照明機構30とを備える。照明機構30は、第一端部側に観察視野に向けて照明光を照出する照明光照出部を有するとともに、第二端側が観察視野から光学顕微鏡13外に延出するライトガイド部32と、該ライトガイド部32の第二端側に照明光を供給する光源23とを有してなる。
【選択図】 図1
【解決手段】 ウェーハW上の異物の形状を観察するための光学顕微鏡13と、レーザー光源2と、レーザービームLBを光学顕微鏡13によるウェーハW表面上の観察視野に導き該観察視野上の異物に絞り照射するとともに、当該レーザービームLBによって励起された異物からのラマン散乱光を分光するラマン分光部12と、光学顕微鏡13内にて観察視野を照らし出すための照明機構30とを備える。照明機構30は、第一端部側に観察視野に向けて照明光を照出する照明光照出部を有するとともに、第二端側が観察視野から光学顕微鏡13外に延出するライトガイド部32と、該ライトガイド部32の第二端側に照明光を供給する光源23とを有してなる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、顕微ラマン微小パーティクル発見装置に関する。
測定機器を用いた半導体ウェーハの評価方法として、ウェーハ表面をレーザー光により走査し、パーティクル等の異物からの光散乱強度を測定する光散乱法が知られている。半導体ウェーハの表面に微小な異物が付着していると、集積回路の焼き付け工程で、パターンの正しい焼き付けが阻害され、歩留まりの低下につながる。このような異物付着を製造工程から排除するには、異物の種別を同定することが、その混入原因を探る上で重要である。
集積回路の焼付けパターンは非常に微細であり、ウェーハに付着する異物は、たとえ微小なものであっても集積回路チップ全体の良否を支配することになる。このような微小な異物を確実に検出・同定する方法に、顕微ラマン分光法がある。これは、顕微鏡にプローブ用可視光レーザービームを導入し、ウェーハ上の異物を光学顕微鏡で観察しつつ、発見された異物に対し、その視野上で一定波長のプローブ用可視光レーザービームを集光する。当該異物の構成物質がラマン活性を有している場合には、その物質特有のラマンシフトパターンを示すので、該散乱光を分光器にてスペクトル分析することにより、異物の構成物質を同定可能である。このような半導体ウェーハの評価用の顕微ラマン微小パーティクル発見装置が特許文献1に開示されている。
従来の顕微ラマン微小パーティクル発見装置では、光学顕微鏡による観察視野を、光学顕微鏡に内蔵されたハロゲンランプ等の光源により照らして異物の観察及び分析を行っていた。普通用いられている100W前後の内蔵型ハロゲンランプは光量がそれほど高くないので、高倍率では視野を十分に明るくできず、微小な異物(特に、0.2μm以下)の検出が困難になる問題があった。顕微鏡の視野上で異物を正確に検出できなければ、これに測定プローブとなるレーザー光を照射することができず、ラマン分光による異物の同定も不可能となる。
この場合、光源の光量を上げるために、出力の高い高輝度タイプのランプに交換すれば微小な異物をより同定しやすくなると考えられる。しかし、従来のごとく、光源が光学顕微鏡に内蔵されていると、光源の発生熱により顕微鏡の視野がサーマルドリフトを起こしやすくなる問題がある。すなわち、装置内で温度変化が生じると、測定中に光源からの発生熱によりステージ等が延び、レーザープローブの照射位置が微妙にずれてしまう問題がある。特に小さい異物の場合、レーザープローブの照射スポットから異物が外れてしまい、測定途中でデータが取れなくなってしまうこともありえる。この場合、低倍率にすれば視野全体の照明光量が増えるので、小さい異物を何とか検出できることもある。しかし、その状態から高倍率に切替えてレーザープローブを当てようとすると、上記のサーマルドリフトのため異物が移動し、レーザープローブを確実に照射できない。
本発明の課題は、照明光の輝度を上げても光学顕微鏡の視野のサーマルドリフトが生じにくく、ウェーハ上の微小な異物も確実に検出・同定できる顕微ラマン微小パーティクル発見装置を提供することにある。
上記の課題を解決するために、本発明の顕微ラマン微小パーティクル発見装置は、
ウェーハ上の異物を観察するための光学顕微鏡と、
プローブ用可視光レーザービームを発生させるレーザー光源と、
プローブ用可視光レーザービームを光学顕微鏡によるウェーハ表面上の観察視野に導き、該観察視野上の異物に絞り照射するとともに、当該プローブ用可視光レーザービームによって励起された異物からのラマン散乱光を観察視野から外部に取り出すラマン分析用光学系と、
取り出されたラマン散乱光を分光するラマン分光部と、
光学顕微鏡内にて観察視野を照らし出すための照明機構とを備え、
照明機構は、第一端部側に観察視野に向けて照明光を照出する照明光照出部を有するとともに、第二端側が光学顕微鏡外に延出するライトガイド部と、該ライトガイド部の第二端側に照明光を供給する光源とを有してなることを特徴とする。
ウェーハ上の異物を観察するための光学顕微鏡と、
プローブ用可視光レーザービームを発生させるレーザー光源と、
プローブ用可視光レーザービームを光学顕微鏡によるウェーハ表面上の観察視野に導き、該観察視野上の異物に絞り照射するとともに、当該プローブ用可視光レーザービームによって励起された異物からのラマン散乱光を観察視野から外部に取り出すラマン分析用光学系と、
取り出されたラマン散乱光を分光するラマン分光部と、
光学顕微鏡内にて観察視野を照らし出すための照明機構とを備え、
照明機構は、第一端部側に観察視野に向けて照明光を照出する照明光照出部を有するとともに、第二端側が光学顕微鏡外に延出するライトガイド部と、該ライトガイド部の第二端側に照明光を供給する光源とを有してなることを特徴とする。
上記本発明の顕微ラマン微小パーティクル発見装置によると、光学顕微鏡内にて観察視野を照らし出すための照明機構が、第一端部側に観察視野に向けて照明光を照出する照明光照出部を有するとともに、第二端側が観察視野から光学顕微鏡外に延出するライトガイド部を有し、該ライトガイド部の第二端側に照明光を供給する光源を設けた。つまり、発熱の大きい光源を光学顕微鏡の外に配置して、その照明光をライトガイドにより観察視野に導くようにしたから、照明光の輝度を上げても、光源の発生熱に起因した観察視野のサーマルドリフトが生じにくくなり、ウェーハ上の微小な異物を確実に検出・同定できるようになる。
上記のライトガイド部は光ファイバーにて構成することができる。光ファイバーは光源が比較的遠方(例えば光学顕微鏡の観察視野から50cm以上3m以下)にあっても、照明光を大きく減衰させることなく観察視野にこれを導くことができる。また、光ファイバー特有の可撓性を利用することにより、これを任意に変形させた状態で装置の内部ないし周囲に柔軟に配置でき、装置のコンパクト化や、装置囲の配置物との干渉防止等に有効に寄与する。
光学顕微鏡と、レーザー光源と、ラマン分析用光学系とラマン分光部とは本体キャビネットに収納することができる。この場合、上記の照明機構は、該本体キャビネット外に置かれた光源ユニット内に光源を設け、当該光源からの照明光を、光ファイバーにて本体キャビネッ内の光学顕微鏡に導くものとすることができる。光源を本体キャビネット外に配置することで、光源からの発生熱の影響が顕微鏡の観察視野にますます及びにくくなる。
光源ユニットは、ライトガイド部の末端に対向して配置された光源と、該光源のライトガイド部の末端に面しているの反対側に配置された反射鏡とを備えたものとして構成できる。これにより、光源からの直接光束は、反射鏡による反射光束と重ね合わされた状態でライトガイドに導かれ、顕微鏡視野への照射光量をより増加することができる。この効果は、光源からの照明光をライトガイド部の末端に向けて集光する集光部を設けることで一層顕著となる。
光源に使用するランプは、通常のハロゲンランプを使用することが可能である。本発明の採用により、発生熱の大きい高出力ハロゲンランプを用いても、観察視野のサーマルドリフトが生じにくく、かつ、観察視野の照明光量を増加できるので、微小な異物の検出・同定も容易である。他方、光源に使用するランプとしては、メタルハライドランプを使用することが、同じ消費電力でも、ハロゲンランプより光量を増加できるので、さらに望ましい。
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
図1は、本発明にかかる顕微ラマン微小パーティクル発見装置の一実施例を示したものである。該顕微ラマン微小パーティクル発見装置1は、ウェーハW上の異物を観察するための光学顕微鏡13と、プローブ用可視光レーザービームLBを発生させるレーザー光源2と、プローブ用可視光レーザービームLBを光学顕微鏡13によるウェーハW表面上の観察視野に導き、該観察視野上の異物に絞り照射するとともに、当該プローブ用可視光レーザービームLB(例えばYAGレーザー:波長532nm)によって励起された異物からのラマン散乱光を観察視野から外部に取り出すラマン分析用光学系5,22と、取り出されたラマン散乱光を分光するラマン分光部12と、光学顕微鏡13内にて観察視野を照らし出すための照明機構28とを備える。照明機構28は、図2に示すように、第一端部側に観察視野に向けて照明光を照出する照明光照出部を有するとともに、第二端側が光学顕微鏡13外に延出するライトガイド部32と、該ライトガイド部32の第二端側に照明光を供給する光源23とを有してなる。本実施形態において、ライトガイド部32は光ファイバーにて構成されている(以下、光ファイバー32ともいう)。また、ウェーハWは、本実施形態においては、シリコン単結晶ウェーハ(シリコンエピタキシャルウェーハを概念として含む)である。
図1は、本発明にかかる顕微ラマン微小パーティクル発見装置の一実施例を示したものである。該顕微ラマン微小パーティクル発見装置1は、ウェーハW上の異物を観察するための光学顕微鏡13と、プローブ用可視光レーザービームLBを発生させるレーザー光源2と、プローブ用可視光レーザービームLBを光学顕微鏡13によるウェーハW表面上の観察視野に導き、該観察視野上の異物に絞り照射するとともに、当該プローブ用可視光レーザービームLB(例えばYAGレーザー:波長532nm)によって励起された異物からのラマン散乱光を観察視野から外部に取り出すラマン分析用光学系5,22と、取り出されたラマン散乱光を分光するラマン分光部12と、光学顕微鏡13内にて観察視野を照らし出すための照明機構28とを備える。照明機構28は、図2に示すように、第一端部側に観察視野に向けて照明光を照出する照明光照出部を有するとともに、第二端側が光学顕微鏡13外に延出するライトガイド部32と、該ライトガイド部32の第二端側に照明光を供給する光源23とを有してなる。本実施形態において、ライトガイド部32は光ファイバーにて構成されている(以下、光ファイバー32ともいう)。また、ウェーハWは、本実施形態においては、シリコン単結晶ウェーハ(シリコンエピタキシャルウェーハを概念として含む)である。
再び、図1に示すように、光学顕微鏡13は、観察用のステージ14に置かれたウェーハWの主表面に対向する対物レンズ15を有し、該対物レンズ15を通過した観察視野からの反射光が、結像レンズ18を介してCCDセンサ19上に観察像を結ぶ。対物レンズ15の光軸(以下、観察光軸という)上には3つのハーフミラーM9,M10及びM11が配置される。ハーフミラーM9は、プローブ用可視光レーザービームLBを観察光軸に合流させる形でウェーハWの主表面に導く一方、ウェーハW表面からのラマン散乱光をラマン分光部12に向けて離脱させるためのものである。プローブ用可視光レーザービームLBは、対物レンズ15で絞られてウェーハW上に照射される。他方、ハーフミラーM10は、照明光HLを観察光軸に合流させる形でウェーハWの主表面に導くためのものである。また、ハーフミラーM11は、観察像の反射光束の一部を観察光軸から離脱させて、観察用の接眼レンズ17に導くためのものである。
顕微ラマン微小パーティクル発見装置1には、観察光軸ウェーハカセット21をセットするためのウェーハカセット台21Bが設けられている。ウェーハカセット台21Bに置かれたウェーハカセット21中のウェーハWは、アーム式のウェーハ搬送機構20によってステージ14に搬送される。ステージ14は、周知のX−Yテーブル等で構成された図示しないウェーハ移動・位置決め機構を備えている。ウェーハW上の異物は予め別の異物検査装置によって検出され、ウェーハW上の存在位置が座標値によって記憶されている。この座標値に基づき、ウェーハW上の各異物は、上記ウェーハ移動・位置決め機構により対物レンズ15の直下位置に移送される。
レーザー光源2から出射されたプローブ用可視光レーザービームLBは、ミラーM2を経て平行ビーム形成用のレンズ3,4に導かれ、さらに、ミラーM3を経て接続光学系5内に導入される。接続光学系5においてプローブ用可視光レーザービームLBは、ミラーM5で反射された後、不要波長成分除去用の第一フィルタ7を通過し、ミラーM5及びハーフミラーM12で反射されてレーザー導入光学系22に入る。ここで、さらにミラーM7,M8を経て、ハーフミラーM9で対物レンズ15側に反射され、ウェーハW上に照射される。
一方、ウェーハW表面からの散乱光は、対物レンズ15を経てハーフミラーM9からレーザー導入光学系22内に入り、プローブ用可視光レーザービームLBと同じ経路をたどってハーフミラーM12に入る。ハーフミラーM12を透過した散乱光は、第二フィルタ9により不要なレイリー散乱光が除かれ、レンズ9及び光ファイバ10を経てラマン分光部12に導入される。ラマン散乱光は、元のプローブ用可視光レーザービームLBの波長に対し、その照射を受けた異物の構成物質(ただし、ラマン活性を有するもの)特有の波長シフト(いわゆるラマンシフト)を示すので、ラマン分光部12に設けられたモノクロメータを用いて、当該散乱光の波長別強度分布すなわちラマンスペクトルを測定し、これを予め用意された材料別のラマンスペクトルのデータベース上で照合することにより、異物の種別を同定することができる。なお、ウェーハカセット台21B、ウェーハ搬送機構20、ステージ14、及びラマン分光計12は、制御用コンピュータ29により一括して制御される。
光学顕微鏡13と、レーザー光源2と、ラマン分析用光学系5,22とラマン分光部12(これらを統合して、装置主要部110という)とは、図3に示すように、板金製の本体キャビネット42に収納されている。本実施形態では、本体キャビネット42内の架台41上に装置主要部110が載置され、その最上部には、光学顕微鏡の観察視野周囲を覆う観察チャンバ13cが設けられている。照明機構28は、該本体キャビネット42外に置かれた光源ユニット30内に光源を有し、当該光源からの照明光を、光ファイバー32にて本体キキャビネット内の光学顕微鏡に導くものである。本実施形態では、上記の観察チャンバ13c内に、光ファイバー32の末端に形成された照明光照出部が露出し、その内部を照明光で照らすようになっている。
図4に示すように、光源ユニット30は、光ファイバー32(ライトガイド部)の末端に対向して配置された光源23と、該光源23の光ファイバー32の末端に面しているの反対側に配置された反射鏡24とを備えている。また、光源23からの照明光を光ファイバー32の(第二端部側の)末端に向けて集光する金属板等で構成された集光部25も設けられている。本実施形態では、光ファイバー32は、その周囲が蛇腹状のフレキシブルチューブで覆われるとともに、光源側の第二端部はジョイント部32sを介して光源ユニット30の集光部25に接続されている。他方、照明光照出部となる光ファイバー32の第一端部側にはコネクタ32pが設けられ、該コネクタ32pを介してレンズケース17に接続されている。コネクタ32p内の光ファイバー32の末端から照出される照明光は、このレンズケース17内のレンズ16を経て平行ビーム化され、図1に示すハーフミラーM10でウェーハW側に反射されて観察視野を照らす。
図4において、光源23はメタルハライドランプにて構成されている。メタルハライドランプは、ガラス管内に、電極と、ランプを始動させるための希ガス(Arなど)と、バッファガスの役割を果たす水銀と、所望の光を発する金属ハロゲン化物とを封入したものである。熱電極の発熱により金属ハロゲン化物を蒸発させ、かつ、電極間のグロー放電により熱電子流を発生させる。この熱電子流を、蒸発した金属ハロゲン化物の構成原子と衝突させてこれを励起することにより、金属ハロゲン化物の種別に固有の波長の可視励起光が得られる。金属ハロゲン化物としては、沃化ナトリウム、沃化タリウム、沃化インジウムあるいは沃化スカンジウム等、種々のものが複数適宜組み合わせて使用され、金属ハロゲン化物の種別及び封入比率によって、種々の発光光色を得ることができる。放電制御用の点灯回路(周知)が必要となるが、ハロゲンランプよりも発光効率が高く、同じ消費電力でより大きな発光光量が得られるので、高倍率でも観察視野をより明るく照らし出すことができ、微細な異物をより確実に検出/同定できるようになる。光源ユニット30内には、このメタルハライドランプの点灯回路23dが設けられている。
上記顕微ラマン微小パーティクル発見装置1によると、光学顕微鏡13の外(具体的には本体キャビネット42の外)に光源ユニット30を設け、これに内蔵された光源からの照明光を光ファイバ32にて光学顕微鏡13に導き、ウェーハW上の観察視野を照らし出すようにした。これにより、照明光の輝度を上げても、光源の発生熱に起因した観察視野のサーマルドリフトが生じにくくなり、さらに、より高輝度のメタルハライドランプを光源として使用しているので、ウェーハW上の微小な(例えば寸法0.2μm以下(下限値は例えば0.15μm)異物も確実に検出でき、かつ、これにプローブ用可視光レーザービームLBを照射すれば、そのラマン散乱光の分光分析により異物の種別を容易に同定できる。
図5及び図6は、鏡面研磨したシリコン単結晶ウェーハの主表面を倍率100倍にて光学顕微鏡観察したときの、同一有機系異物からの暗視野像である。図5では、照明光源としてメタルハライドランプ(出力100W)を使用し、図6では、ハロゲンランプ(出力100W)を使用している。異物の寸法が0.18μmと小さいため、ハロゲンランプを使用した図6の場合、異物を視野上で視認することが非常に困難である。そのため、プローブ用可視光レーザービームLBを異物に照射することも困難となる。これに対し、メタルハライドランプを使用した図5では、異物像が明確に捉えられているため、プローブ用可視光レーザービームLBを異物に容易に照射することができる。
図7は、本発明の顕微ラマン微小パーティクル発見装置による種々の炭素含有異物のラマンスペクトルである。非晶質カーボンと、2種の高分子化合物(アクリロニトリル系コポリマーとエポキシ樹脂を例示)との間で、ラマンシフトのピーク位置が全て明瞭に異なり、これらの異物の種別を容易に同定することが可能である。
1 顕微ラマン微小パーティクル発見装置
2 レーザー光源
5,22 ラマン分析用光学系(接続光学系)
W ウェーハ
12 ラマン分光部
13 光学顕微鏡
LB プローブ用可視光レーザービーム
28 照明機構
32 光ファイバー(ライトガイド部)
2 レーザー光源
5,22 ラマン分析用光学系(接続光学系)
W ウェーハ
12 ラマン分光部
13 光学顕微鏡
LB プローブ用可視光レーザービーム
28 照明機構
32 光ファイバー(ライトガイド部)
Claims (6)
- ウェーハ上の異物を観察するための光学顕微鏡と、
プローブ用可視光レーザービームを発生させるレーザー光源と、
前記プローブ用可視光レーザービームを前記光学顕微鏡による前記ウェーハ表面上の観察視野に導き、該観察視野上の異物に絞り照射するとともに、当該プローブ用可視光レーザービームによって励起された前記異物からのラマン散乱光を前記観察視野から外部に取り出すラマン分析用光学系と、
取り出された前記ラマン散乱光を分光するラマン分光部と、
前記光学顕微鏡内にて前記観察視野を照らし出すための照明機構とを備え、
前記照明機構は、第一端部側に前記観察視野に向けて照明光を照出する照明光照出部を有するとともに第二端側が前記光学顕微鏡外に延出するライトガイド部と、該ライトガイド部の前記第二端側に前記照明光を供給する光源とを有してなることを特徴とする顕微ラマン微小パーティクル発見装置。 - 前記ライトガイド部を光ファイバーにて構成した請求項1記載の顕微ラマン微小パーティクル発見装置。
- 前記光学顕微鏡と、前記レーザー光源と、前記ラマン分析用光学系と前記ラマン分光部とが本体キャビネットに収納され、前記照明機構は、該本体キャビネット外に置かれた光源ユニット内に前記光源を設け、当該光源からの照明光を、前記光ファイバーにて前記本体キャビネッ内の前記光学顕微鏡に導くものである請求項2記載の顕微ラマン微小パーティクル発見装置。
- 前記光源ユニットは、前記ライトガイド部の末端に対向して配置された前記光源と、該光源の前記ライトガイド部の末端に面しているのと反対側に配置された反射鏡とを備えてなる請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の顕微ラマン微小パーティクル発見装置。
- 前記光源からの照明光を前記ライトガイド部の末端に向けて集光する集光部を有する請求項4記載の顕微ラマン微小パーティクル発見装置。
- 前記光源がメタルハライドランプからなる請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の顕微ラマン微小パーティクル発見装置。
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Legal Events
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A02 | Decision of refusal |
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