JP2006294793A - ステージ装置および露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 対象物6を保持するための保持部5を備えたステージ3と、ステージの保持部と反対側の面で対向し、ステージを2次元方向に移動可能に支持するベース1と、ステージとベースとの間に配置された平面モータと、対象物を保持部から離れた状態で支持するための受け渡しピン7を備え、受け渡しピンの台座8と駆動力伝達部11aと連結部10とは保持部と平面モータの間に配置されることを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
図1により平面モータ(サーフェスモータ)を用いたステージ装置を説明する。ベース1に格子状に複数のコイル2が配置されており、ステージ3の下部に格子状に複数の磁石4が配置されている。コイル2は、X方向に直線部を有する長円形コイルをY方向に並べたコイル層2Aと、Y方向に直線部を有するコイル層2Bを備え、さらにコイル層を有していてもよい。磁石4はN極とS極が交互にベースに対面するように二次元に並べられる。
図3は実施例2におけるウエハ受渡し機構の部分断面図である。図3において図2に対応する部分には同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図4は実施例3におけるウエハ受渡し機構の部分断面図である。図4において図2に対応する部分には同一符号を付して詳細な説明を省略する。
実施例1〜3におけるステージ装置を用いた例示的な露光装置について説明する。露光装置は図6に示すように、照明装置101、レチクルを搭載したレチクルステージ102、投影光学系103、ウエハを搭載したウエハステージ104とを有する。露光装置は、レチクルに形成された回路パターンをウエハに投影露光するものであり、ステップアンドリピート投影露光方式またはステップアンドスキャン投影露光方式であってもよい。
2 コイル
3 ステージ
4 磁石
5 保持手段
6 ウエハ
7a、7b、7c 受け渡しピン
8 台座
9 案内機構
10 連結部
11a、11b 駆動力伝達手段
12 駆動部
13 連結部
14 駆動部支持部材
15 粗動ステージ
16 微動ステージ
24 センサ
25 バーミラー
27x、27y レーザ干渉計
29 切り替え信号
30 駆動信号
31 切り替え手段
101 照明ユニット
102 レチクルステージ
103 投影レンズ
104 ウエハステージ
105 本体構造体
Claims (12)
- 対象物を保持するための保持部を備えたステージと、
前記ステージの前記保持部と反対側の面で対向し、前記ステージを2次元方向に移動可能に支持するベースと、
前記ステージと前記ベースとの間に配置された平面モータと、
前記対象物を前記保持部から離れた状態で支持するための支持部とを備え、
前記支持部は前記保持部と前記平面モータの間に配置されることを
特徴とするステージ装置。 - 前記平面モータは、
前記ベースに設けられた複数のコイルと、
前記ステージの前記保持部と反対側の面に設けられた複数の磁石と、
を備えることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。 - 前記ステージ外部に設けられた駆動部と、
前記駆動部の駆動力を前記支持部に伝える伝達部と、
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のステージ装置。 - 前記伝達部は、前記駆動部からの駆動力の方向を変換して前記支持部に伝達することを特徴とする請求項3に記載のステージ装置。
- 前記支持部を駆動するための駆動部を備え、
前記駆動部は前記保持部と前記平面モータとの間に配置されることを特徴とする請求項1〜4の少なくともいずれかに記載のステージ装置。 - 前記ステージは内部に空間を有し、前記支持部は前記空間内に配置されることを特徴とする請求項1〜5の少なくともいずれかに記載のステージ装置。
- 前記ステージを搭載して、前記ステージが移動する範囲よりも大きな範囲を移動する第2ステージを備えることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のステージ装置。
- 前記ステージは6自由度で移動可能であることを特徴とする請求項1〜7の少なくともいずれかに記載のステージ装置。
- 前記支持部によって支持された対象物を受け取って、ステージ外部へ搬送するための搬送機構を備えることを特徴とする請求項1〜8の少なくともいずれかに記載のステージ装置。
- 請求項1〜9の少なくともいずれかのステージ装置をウエハステージまたはレチクルステージあるいはその双方として備えることを特徴とする露光装置。
- 請求項10の露光装置を用いてウエハを露光する工程と、
前記ウエハを現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。 - 露光装置において、基板をステージに設けられた支持手段から搬送手段に受け渡す受渡し方法であって、
基板を保持した状態でステージを受渡し位置まで移動させる工程と、
前記受渡し位置において、ステージ内部に設けられた支持手段がステージ外部に設けられた駆動手段によって前記基板を保持する保持面から押し出される工程と、
押し出された前記支持手段によって前記基板を支持する工程と、
支持された基板を前記搬送手段が受取る工程と
を備えることを特徴とする受渡し方法。
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