JP2006294660A - 半導体集積回路装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 押圧具9および金属シート45の平面における輪郭を押さえリング4の内周の輪郭に沿ったものとし、たとえば押さえリング4の内周の輪郭4Aが円形である場合には、押圧具9および金属シート45の輪郭9A(45A)を前記輪郭4Aに沿った円形にする。
【選択図】 図26
Description
(a)複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する複数の第1電極が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)第1配線が形成された第1配線基板と、前記複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する第2配線が形成され、前記第2配線が前記第1配線と電気的に接続し前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、前記第1配線基板の前記第1シートと対向する第1の面に前記第1シートを固定する第1固定治具と、平面で前記第1固定治具の内側に配置され、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された第1領域を裏面より押圧する押圧機構とを有する第1カードを用意する工程、
(c)前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う工程。
(a)複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する複数の第1電極が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)第1配線が形成された第1配線基板と、前記複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する第2配線が形成され、前記第2配線が前記第1配線と電気的に接続し前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、前記第1配線基板の前記第1シートと対向する第1の面に前記第1シートを固定する第1固定治具と、平面で前記第1固定治具の内側に配置され、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された第1領域を裏面より押圧する押圧機構とを有する第1カードを用意する工程、
(c)前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う工程。
前記第2固定治具の第3の輪郭は、前記第1シートからの応力が働く前記第1固定治具の内側の第2の輪郭に沿った形である。
半導体ウエハの主面に形成された複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する第2配線が形成され、前記第2配線が前記第1配線と電気的に接続し前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、
前記第1配線基板の前記第1シートと対向する第1の面に前記第1シートを固定する第1固定治具と、
平面で前記第1固定治具の内側に配置され、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された第1領域を裏面より押圧する押圧機構とを有し、
前記第1シートからの応力が働く前記押圧機構の第1の輪郭は、前記第1シートからの前記応力が働く前記第1固定治具の内側の第2の輪郭に沿った形であるプローブカード。
前記押圧機構の前記第1の輪郭および前記第1固定治具の内側の前記第2の輪郭は、円形または楕円形である。
前記半導体ウエハは、複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する前記複数の第1電極が形成され、
前記半導体集積回路の電気的検査時には、前記複数の接触端子の前記先端を2つ以上の前記チップ領域における前記複数の第1電極に接触させ、
前記押圧機構の前記第1の輪郭は、前記複数の接触端子が接する前記2つ以上の前記チップ領域を囲む。
前記押圧機構の前記第1の輪郭および前記第1固定治具の内側の前記第2の輪郭は、多角形かつ前記多角形の角部が面取りされた形である。
前記第1シートの前記裏面には、前記第1領域に対応する位置に前記第1領域を平坦に保つ第2固定治具が貼付され、
前記第2固定治具の第3の輪郭は、前記第1シートからの前記応力が働く前記第1固定治具の内側の前記第2の輪郭に沿った形である。
前記半導体ウエハは、複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する前記複数の第1電極が形成され、
前記半導体集積回路の電気的検査時には、前記複数の接触端子の前記先端を2つ以上の前記チップ領域における前記複数の第1電極に接触させ、
前記第2固定治具の前記第3の輪郭は、前記複数の接触端子が接する前記2つ以上の前記チップ領域を囲む。
平面において、前記押圧機構と前記第1固定治具との間に拡張機構が配置され、
前記拡張機構は前記第1シートを裏面より押圧することによって前記第1シートの前記第1領域の弛みを伸ばし、その後、前記押圧機構が前記第1シートの前記第1領域を裏面より押圧する。
半導体ウエハの主面に形成された複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する第2配線が形成され、前記第2配線が前記第1配線と電気的に接続し前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、
前記第1配線基板の前記第1シートと対向する第1の面に前記第1シートを固定する第1固定治具と、
平面で前記第1固定治具の内側に配置され、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された第1領域を裏面より押圧する押圧機構とを有し、
前記第1シートの前記裏面には、前記第1領域に対応する位置に前記第1領域を平坦に保つ第2固定治具が貼付され、
前記第2固定治具の第3の輪郭は、前記第1シートからの応力が働く前記第1固定治具の内側の第2の輪郭に沿った形であるプローブカード。
前記第1固定治具の内側の前記第2の輪郭および前記第2固定治具の前記第3の輪郭は、円形または楕円形である。
前記半導体ウエハは、複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する前記複数の第1電極が形成され、
前記半導体集積回路の電気的検査時には、前記複数の接触端子の前記先端を2つ以上の前記チップ領域における前記複数の第1電極に接触させ、
前記第2固定治具の前記第3の輪郭は、前記複数の接触端子が接する前記2つ以上の前記チップ領域を囲む。
前記第1固定治具の内側の前記第2の輪郭および前記第2固定治具の前記第3の輪郭は、多角形かつ前記多角形の角部が面取りされた形である。
平面において、前記押圧機構と前記第1固定治具との間に拡張機構が配置され、
前記拡張機構は前記第1シートを裏面より押圧することによって前記第1シートの前記第1領域の弛みを伸ばし、その後、前記押圧機構が前記第1シートの前記第1領域を裏面より押圧する。
(1)半導体集積回路装置の製造技術を用いて形成された薄膜プローブを用いて行うプローブ検査において、探針(プローブ)とその探針が対応するテストパッドとを所望の接触圧力で接触させることができる。
(2)半導体集積回路装置の製造技術を用いて形成された薄膜プローブを用いて行うプローブ検査において、探針とその探針が対応するテストパッドとを精度良く接触させることができる。
図1は本実施の形態1のプローブカードの下面の要部平面図であり、図2は図1中のA−A線に沿った断面図である。
図32は本実施の形態2のプローブカードの要部断面図である。
2 薄膜シート(薄膜プローブ、第1シート)
3 プランジャ
3A ばね
4 押さえリング(第1固定治具)
4A 輪郭(第2の輪郭)
5 開口部
6 接着リング
7、7A、7B、7C、7D プローブ(接触端子)
8 ポゴ座
9 押圧具(押圧機構)
9A 輪郭(第1の輪郭)
9B 角部
10 チップ(チップ領域)
11、12 パッド(第1電極)
14、15 画素電極
16、18 ガラス基板
17 液晶層
21A、21B、21C、21D 金属膜
22 ポリイミド膜
23 配線
24 スルーホール
25 ポリイミド膜
26 配線
27 ポリイミド膜
28 スルーホール
31 ウエハ
32 酸化シリコン膜
33 穴
34 酸化シリコン膜
35、37、38 導電性膜
42、43 導電性膜
45 金属シート(第2固定治具)
45A 輪郭(第3の輪郭)
45B 角部
46 開口部
48 エラストマ
50 拡張機構
Claims (12)
- 以下の工程を含む半導体集積回路装置の製造方法:
(a)複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する複数の第1電極が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)第1配線が形成された第1配線基板と、前記複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する第2配線が形成され、前記第2配線が前記第1配線と電気的に接続し前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、前記第1配線基板の前記第1シートと対向する第1の面に前記第1シートを固定する第1固定治具と、平面で前記第1固定治具の内側に配置され、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された第1領域を裏面より押圧する押圧機構とを有する第1カードを用意する工程、
(c)前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う工程。
ここで、前記第1シートからの応力が働く前記押圧機構の第1の輪郭は、前記第1シートからの前記応力が働く前記第1固定治具の内側の第2の輪郭に沿った形である。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記押圧機構の前記第1の輪郭および前記第1固定治具の内側の前記第2の輪郭は、円形または楕円形である。 - 請求項2記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記(c)工程において、前記複数の接触端子は2つ以上の前記チップ領域と接触し、
前記押圧機構の前記第1の輪郭は、前記複数の接触端子が接する前記2つ以上の前記チップ領域を囲む。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記押圧機構の前記第1の輪郭および前記第1固定治具の内側の前記第2の輪郭は、多角形かつ前記多角形の角部が面取りされた形である。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記第1シートの前記裏面には、前記第1領域に対応する位置に前記第1領域を平坦に保つ第2固定治具が貼付され、
前記第2固定治具の第3の輪郭は、前記第1シートからの前記応力が働く前記第1固定治具の内側の前記第2の輪郭に沿った形である。 - 請求項5記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記(c)工程において、前記複数の接触端子は2つ以上の前記チップ領域と接触し、
前記第2固定治具の前記第3の輪郭は、前記複数の接触端子が接する前記2つ以上の前記チップ領域を囲む。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
平面において、前記押圧機構と前記第1固定治具との間に拡張機構が配置され、
前記拡張機構は前記第1シートを裏面より押圧することによって前記第1シートの前記第1領域の弛みを伸ばし、その後、前記押圧機構が前記第1シートの前記第1領域を裏面より押圧する。 - 以下の工程を含む半導体集積回路装置の製造方法:
(a)複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する複数の第1電極が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)第1配線が形成された第1配線基板と、前記複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する第2配線が形成され、前記第2配線が前記第1配線と電気的に接続し前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、前記第1配線基板の前記第1シートと対向する第1の面に前記第1シートを固定する第1固定治具と、平面で前記第1固定治具の内側に配置され、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された第1領域を裏面より押圧する押圧機構とを有する第1カードを用意する工程、
(c)前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う工程。
ここで、前記第1シートの前記裏面には、前記第1領域に対応する位置に前記第1領域を平坦に保つ第2固定治具が貼付され、
前記第2固定治具の第3の輪郭は、前記第1シートからの応力が働く前記第1固定治具の内側の第2の輪郭に沿った形である。 - 請求項8記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記第1固定治具の内側の前記第2の輪郭および前記第2固定治具の前記第3の輪郭は、円形または楕円形である。 - 請求項9記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記(c)工程において、前記複数の接触端子は2つ以上の前記チップ領域と接触し、
前記第2固定治具の前記第3の輪郭は、前記複数の接触端子が接する前記2つ以上の前記チップ領域を囲む。 - 請求項8記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記第1固定治具の内側の前記第2の輪郭および前記第2固定治具の前記第3の輪郭は、多角形かつ前記多角形の角部が面取りされた形である。 - 請求項8記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
平面において、前記押圧機構と前記第1固定治具との間に拡張機構が配置され、
前記拡張機構は前記第1シートを裏面より押圧することによって前記第1シートの第1領域の弛みを伸ばし、その後、前記押圧機構が前記第1シートの前記第1領域を裏面より押圧する。
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JP2008298678A (ja) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Micronics Japan Co Ltd | 電気的接続装置 |
US7688086B2 (en) | 2005-11-11 | 2010-03-30 | Renesas Technology Corp. | Fabrication method of semiconductor integrated circuit device and probe card |
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WO1998058266A1 (fr) * | 1997-06-17 | 1998-12-23 | Advantest Corporation | Carte d'essai |
JPH11248749A (ja) * | 1997-10-13 | 1999-09-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 集積回路素子のプローブ装置 |
JP2001159643A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-06-12 | Hitachi Ltd | 接続装置および検査システム |
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2005
- 2005-04-06 JP JP2005109350A patent/JP4769474B2/ja not_active Expired - Fee Related
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