JP2006293312A - 電気泳動表示装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】製造工程を単純化しつつ、フルカラーを実現することができる電気泳動表示装置を提供する。
【解決手段】電気泳動表示装置は、第1基板上に形成されている第1電極と、第1基板に対向する第2基板上に形成されている第2電極と、第1電極と第2電極との間を複数の領域に分離する隔壁と、各領域内に含まれ、赤色、緑色及び青色のいずれか一色で着色された複数の帯電粒子とを備える。
【選択図】図3

Description

本発明は、電気泳動表示装置に関し、特に、別途のカラーフィルタなしで全ての色を実現することができる電気泳動表示装置に関する。
電気泳動表示装置(electrophoric display)は、対向する2つの電極の間に形成される電位差によって2つの電極の間に位置した帯電粒子(charged particles)が反対極性の電極に移動する電気泳動(electrophoresis)現象を利用して文字などの画像を表示する平板表示装置である。
このような電気泳動表示装置は、反射率とコントラスト比が高く、紙のように安定した感じの画像を表示できるメリットがある。さらに、液晶表示装置とは異なって、偏光板、配向膜及び液晶などが不要と言う利点もある。
しかし、電気泳動表示装置は、白色及び黒色粒子を所定の形態の微小カプセル(microcapsule)内に分散させる複雑な工程が要求され、製造工程及び生産コストの面で不利であり、フルカラーを実現するためには別途のカラーフィルタを備える必要がある。
本発明は、前記問題点を解決するためのものであって、製造工程を単純化しつつ、フルカラーを実現することができる電気泳動表示装置を提供する。
本発明による電気泳動表示装置は、第1基板上に形成されている第1電極と、前記第1基板に対向する第2基板上に形成されている第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間を複数の領域に分離する隔壁と、前記各領域内に含まれ、赤色、緑色及び青色のいずれか一色で着色された複数の帯電粒子を備える。
ここで、隣接する前記各領域には、赤色、緑色及び青色のいずれか一色で着色された複数の帯電粒子が各々含まれている構成とすることができる。
また、前記各領域は、複数の黒色帯電粒子をさらに含む構成とすることができる。
さらに、前記黒色帯電粒子は、前記赤色、緑色及び青色のいずれか一色で着色された複数の帯電粒子と反対電荷を有する構成とすることができる。
また、前記第1電極が前記各領域毎に分離されており、各領域毎に別途の電圧が印加されるように構成できる。
前記第1基板上には、互いに交差するゲート線及びデータ線、半導体を備え、前記ゲート線及び前記データ線と電気的に接続されている薄膜トランジスタが形成されている構成とすることができる。
さらに、前記薄膜トランジスタと前記第1電極との間には、有機物質からなる保護膜をさらに有する構成とすることができる。
また、前記データ線上に前記隔壁が形成されているように構成できる。
前記第2電極は、前記各領域毎に中心部が凹んだ形態を有する構成とすることができる。
さらに、前記第2基板と前記第2電極との間に層間膜をさらに有する構成とすることができる。
前記層間膜は、前記各領域毎に中心部が凹んだ形態を有する構成とすることができる。
本発明に係る電気泳動表示装置は、第1基板上に形成されている第1電極と、前記第1基板に対向する第2基板上に形成され凹部を有する第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間を複数の領域に分離する隔壁と、前記各領域内に含まれ、流体内に分散している複数の着色帯電粒子とを備える。
ここで、前記凹部は、前記各領域毎に形成されている構成とすることができる。
また、前記第2基板と前記第2電極との間に形成され、凹凸を有する層間膜をさらに有し、前記第2電極の凹部は、前記層間膜の凹凸によって形成される構成とすることができる。
さらに、前記第1基板上に互いに交差するゲート線及びデータ線と半導体を備え、前記ゲート線及び前記データ線と電気的に接続されている薄膜トランジスタが形成されている構成とすることができる。
隔壁によって分離された領域でそれぞれの着色粒子を含むことによって、追加工程が不要で、かつ別途のカラーフィルタなしで多様な色を表現することができ、一側の電極に凹部を有することによってより改善された広視野角特性を実現することができる。
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施形態を、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施することができるように詳細に説明する。しかし、本発明は、多様な形態で実現することができ、ここで説明する実施形態に限定されない。
図面は、各種層及び領域を明確に表現するために、厚さを拡大して示している。明細書全体を通じて類似した部分については同一の参照符号を付けている。層、膜、領域、板などの部分が、他の部分の“上に”あるとする時、これは他の部分の“すぐ上に”ある場合に限らず、その中間に更に他の部分がある場合も含む。逆に、ある部分が他の部分の“すぐ上に”あるとする時、これは中間に他の部分がない場合を意味する。
まず、図1を参照して本発明の一実施形態による電気泳動表示装置の駆動原理について説明する。
図1は、本発明の一実施形態による電気泳動表示装置の駆動原理を概略的に示した模式図である。
図1のように、本発明の一実施形態による電気泳動表示装置は、プラス(+)及びマイナス(−)電界を形成するための下部電極190及び上部電極270と、下部電極190と上部電極270との間の領域を分離するための複数の隔壁360を備える。隔壁360によって分離された複数の領域には、絶縁性流体(fluid)310と、絶縁性流体310に分散され、陽性(positive)または陰性(negative)で帯電された複数の赤色粒子300a、緑色粒子300b及び青色粒子300c(以下、着色粒子と言う)が順に充填されている。
本実施形態による電気泳動表示装置は、対向する下部電極190と上部電極270に電圧を印加して電極両端に電位差(+/−)を形成する場合、陽性または陰性で帯電されている着色粒子300a、300b、300cが電気泳動現象によって反対極性の電極に移動する。この時、着色粒子300a、300b、300cが観察者側の電極に移動する場合、観察者は、着色粒子300a、300b、300cに反射された光によって、赤色、緑色、青色またはこれらの混合色で表現された画像を見ることができる。
以下、図2及び図3を参照して、本発明の一実施形態による電気泳動表示装置についてより詳細に説明する。
図2は、本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板を備える電気泳動表示装置の構造を示した配置図であり、図3は、図2の電気泳動表示装置のIII-III'線に沿った断面図である。
本発明の一実施形態による電気泳動表示装置は、薄膜トランジスタ表示板100、対向表示板200、及びこれらの間で隔壁360によって分離される複数の領域に充填され、着色粒子300a、300b、300cを有する絶縁性流体310を備える。
まず、薄膜トランジスタ表示板100には、透明ガラスなどからなる下部基板110上にゲート電極124を有する複数のゲート線121が形成されている。
ゲート線121は、ゲート信号を伝達し、主に図2横方向に延設されている。各ゲート線121の一部は、複数のゲート電極124をなし、他の層または外部駆動回路と接続するための面積が広い端部129を有する。
ゲート線121は、アルミニウムやアルミニウム合金(Al−alloy)などのアルミニウム系金属、銀や銀合金(Ag−alloy)などの銀系金属、銅や銅合金(Cu−alloy)などの銅系金属、モリブデンやモリブデン合金(Mo−alloy)などのモリブデン系金属、クロム(Cr)、タンタル(Ta)及びチタニウム(Ti)などで形成することができる。さらに、これらは、物理的性質が異なる2つの導電膜(図示せず)を含む多重膜構造を有する構成とすることもできる。そのうちの1つの導電膜は、信号遅延や電圧降下を減らすことができるように低い比抵抗(resistivity)の金属、例えばアルミニウム系金属、銀系金属または銅系金属などで形成される。これとは異なって、他の導電膜は他の物質、特にITOまたはIZOとの物理的、化学的及び電気的接触特性が優れた物質、例えばモリブデン系金属、クロム、チタニウム、タンタルなどで形成される。このような組み合わせの好適な例としては、クロム下部膜とアルミニウム(合金)上部膜、またはアルミニウム(合金)下部膜とモリブデン(合金)上部膜がある。しかし、これに限定されず、多様な金属または導電体から構成することができる。
ゲート線121の側面は、基板110に対して傾斜しており、その傾斜角は約30〜80度とすることができる。
ゲート線121上には、窒化ケイ素(SiNx)または酸化ケイ素(SiO2)からなるゲート絶縁膜140が形成されている。
ゲート絶縁膜140上には、水素化非晶質シリコン(非晶質シリコンはa−Siと略称する)または多結晶シリコンなどからなる複数の線状半導体151が形成されている。線状半導体151は、主に図2縦方向に延設されており、ゲート電極124側に延設された複数の突出部154を有する。
線状半導体151上には、複数の線状及び島状オーミック接触部材161、165が形成されている。線状オーミック接触部材161は、複数の突出部163を有し、突出部163と島状オーミック接触部材165は、線状半導体の突出部154上で対をなしている。線状及び島状オーミック接触部材161、165は、リン(P)のようなn型不純物が高濃度にドーピングされているn+水素化非晶質シリコンなどの物質またはシリサイドで構成することができる。
線状半導体151及びオーミック接触部材161、165は、基板110面に対して傾斜しており、その傾斜角は、約30〜80度とすることができる。
オーミック接触部材161、165及びゲート絶縁膜140上には、複数のデータ線171及びデータ線171から分離されている複数のドレイン電極175が形成されている。
データ線171は、データ信号を伝達し、主に図2縦方向に延設されてゲート線121と交差する。また、各データ線171は、ドレイン電極175側に突出した複数のソース電極173と、他の層または外部駆動回路と接続するための広い面積の端部179を有する。データ信号を生成するデータ駆動回路(図示せず)が基板110上に集積されている場合、データ線171が延設されてデータ駆動回路と直接接続される。
ゲート電極124、ソース電極173及びドレイン電極175は、線状半導体151の突出部154と共に薄膜トランジスタ(TFT)をなし、薄膜トランジスタチャンネルは、ソース電極173とドレイン電極175の間の線状半導体151の突出部154上に形成される。
データ線171及びドレイン電極175は、モリブデン(Mo)、クロム(Cr)、タンタル(Ta)及びチタニウム(Ti)などの耐火性金属またはこれらの合金からなることが好ましく、耐火性金属などの導電膜(図示せず)または低抵抗性導電膜(図示せず)からなる多層膜構造を有する構造とすることもできる。多層膜構造としては、例えば、クロムまたはモリブデン(合金)下部膜とアルミニウム(合金)上部膜の二重膜、モリブデン(合金)下部膜、アルミニウム(合金)中間膜とモリブデン(合金)上部膜の三重膜がある。しかし、データ線171及びドレイン電極175は、これに限定されず多様な金属または導電体で構成できる。
ゲート線121と同様に、データ線171及びドレイン電極175の側面も基板110に対して30〜80度程度傾斜するように構成できる。
オーミック接触部材161、165は、下部の線状半導体151と上部のデータ線171及びドレイン電極175の間にのみ存在し、その間の接触抵抗を低くする。線状半導体151は、ソース電極173とドレイン電極175の間でデータ線171とドレイン電極175で覆われない複数の露出部を有する。
データ線171、ドレイン電極175及び露出した半導体部分上には、保護膜180が形成されている。保護膜180は、窒化ケイ素(SiNx)や酸化ケイ素(SiO2)などの無機絶縁物質、アクリル系またはイミド系などの感光性を有する有機絶縁物質、4.0以下の誘電定数を有し、プラズマ化学気相蒸着(PECVD)で形成されるa−Si:C:O、a−Si:O:Fなどで構成できる。または、保護膜180は、有機膜の優れた絶縁特性を維持しつつ、露出した半導体部分に影響を及ぼさないように、下部無機膜と上部有機膜からなる二重膜構造で形成することもできる。
保護膜180は、ゲート線121及びデータ線171の端部129、179とドレイン電極175の拡張部をそれぞれ露出させる複数のコンタクトホール181、182、185を有する。
保護膜180上には、複数の画素電極190及び複数の接触補助部材81、82が形成されている。これらは、ITOまたはIZOなどの透明な導電物質、またはアルミニウム(Al)、銀(Ag)、またはこれらの合金などの反射性導電物質で構成できる。
画素電極190は、コンタクトホール185を介してドレイン電極175と物理的、電気的に接続されている。
複数の接触補助部材81、82は、それぞれコンタクトホール181、182を介してゲート線121の端部129とデータ線171の端部179に接続されている。接触補助部材81、82は、ゲート線またはデータ線の端部129、179と外部装置との接着性を補完し、それらを保護する。
一方、薄膜トランジスタ表示板100と対向する対向表示板200は、下部基板110と対向する上部基板210と、上部基板210全面に形成され、透明な導電物質からなる共通電極270とを備える。
薄膜トランジスタ表示板100と対向表示板200との間には、各画素領域を分離するための複数の隔壁360が形成されている。隔壁360は、絶縁性有機物質からなることができ、各画素領域を分離しつつ、開口率に影響を及ぼさないために各データ線171上に形成することができる。本実施形態では、隔壁360を柱状に図示したが、各画素領域を分離できるものであれば、特定の形状に限定されない。
隔壁360によって分離された各画素領域は、透明な流体(fluid)310と、陽性または陰性に帯電された着色粒子300a、300b、300cとを有する。流体310は、着色粒子300a、300b、300cを分散するための媒質であって、着色粒子300a、300b、300cの移動を妨げない程度の十分に低い粘性及び誘電定数を有する必要がある。
流体20内には、赤色、緑色及び青色のいずれか一色を示し、陽性または陰性の表面電荷を有する着色粒子300a、300b、300cが分散されている。着色粒子300a、300b、300cは、各画素領域に応じて異なる色を有する。例えば、図3のように、連続する3つの画素領域を考慮する場合、1つの画素領域には、例えば複数の赤色粒子300aが充填され、隣接する画素領域には、例えば複数の緑色粒子300bが充填され、それに隣接する画素領域には、例えば青色粒子300cが充填されている。
着色粒子300a、300b、300cは、例えば、酸化チタン(TiO2)からなる白色粒子上に赤色、緑色及び青色の有機顔料を着色して形成する。着色粒子300a、300b、300cは、流体内で十分なコロイド安定性を有しており、互いに固まったり、沈殿することがないようにする。
前記のように、各画素領域内に流体310に分散された着色粒子300a、300b、300cが含まれることによって、観察者は、電界印加時に対向表示板200側に配列される着色粒子300a、300b、300cの色を見ることができる。その結果、別途のカラーフィルタなしでフルカラーを実現することができる。
以下、本発明の他の一実施形態による電気泳動表示装置について説明する。
図4は、本発明の他の一実施形態による電気泳動表示装置の駆動原理を概略的に示した模式図である。
本発明の他の一実施形態による電気泳動表示装置は、図4のように、下部電極190、上部電極270、下部電極190と上部電極270との間を複数の領域に分離するための隔壁360、隔壁360によって分離された全ての領域に充填されている絶縁性流体310、絶縁性流体310に分散され陽性または陰性に帯電されて、各領域に順に充填される複数の着色粒子300a、300b、300c、及び同一領域に含まれた着色粒子300a、300b、300cと反対電荷を有する黒色粒子300dを有する。
帯電されている着色粒子300a、300b、300cと黒色粒子300dは、電気泳動現象によって反対極性の電極に移動する。この場合、同一領域に含まれている着色粒子300a、300b、300cと黒色粒子300dは、互いに反対電荷を有するため、互いに混合されず逆方向に配列される。即ち、単一領域内の着色粒子300aが電気泳動現象によって下部電極190側に移動する時、反対の電荷を有する黒色粒子300dは上部電極270側に移動する。この場合、外部光が黒色粒子300dに吸収されて完全なブラックを表現することができるので、コントラスト比を改善することができる。
本実施形態では、図4の電気泳動表示装置を本発明の他の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板を備える電気泳動表示装置に適用した場合について説明する。
図5及び図6は、本発明の他の一実施形態による電気泳動表示装置を示す断面図である。
本実施形態による電気泳動表示装置は、実施例1と同様に、薄膜トランジスタ表示板100、対向表示板200、及びこれらの間で隔壁360によって分離される複数の領域を備える。
まず、薄膜トランジスタ表示板100には、透明ガラスなどからなる下部基板110上にゲート電極124を有する複数のゲート線121が形成されている。
ゲート線121は、ゲート信号を伝達し、主に図において横方向に延設されている。各ゲート線121は、図下方に突出している複数のゲート電極124と他の層または外部駆動回路と接続するための面積が広い端部129を有する。
ゲート線121上には、窒化ケイ素(SiNx)または酸化ケイ素(SiO2)からなるゲート絶縁膜140が形成されている。
ゲート絶縁膜140上には、水素化非晶質シリコン(非晶質シリコンはa−Si略称する)または多結晶シリコンなどからなる複数の線状半導体151が形成されている。線状半導体151は、主に図縦方向に延設されており、ゲート電極124側に延設された複数の突出部154を有する。
線状半導体151上には、複数の線状及び島状オーミック接触部材161、165が形成されている。線状オーミック接触部材161は、複数の突出部163を有し、突出部163と島状オーミック接触部材165は、線状半導体の突出部154上で対をなしている。線状及び島状オーミック接触部材161、165は、リン(P)のようなn型不純物が高濃度にドーピングされているn+水素化非晶質シリコンなどの物質またはシリサイドで構成することができる。
オーミック接触部材161、165及びゲート絶縁膜140上には、複数のデータ線171及びデータ線171から分離されている複数のドレイン電極175が形成されている。
データ線171は、データ信号を伝達し、主に図縦方向に延設されてゲート線121と交差する。また、各データ線171は、ドレイン電極175側に突出した複数のソース電極173と他の層または外部駆動回路と接続するための広い面積の端部179を有する。
ゲート電極124、ソース電極173及びドレイン電極175は、線状半導体151の突出部154と共に薄膜トランジスタ(TFT)をなし、薄膜トランジスタチャンネルは、ソース電極173とドレイン電極175との間の線状半導体151の突出部154上に形成される。
データ線171、ドレイン電極175及び露出した半導体部分上には、保護膜180が形成されている。保護膜180は、窒化ケイ素(SiNx)や酸化ケイ素(SiO2)などの無機絶縁物質、アクリル系またはイミド系などの感光性を有する有機絶縁物質、4.0以下の誘電定数を有し、プラズマ化学気相蒸着(PECVD)で形成されるa−Si:C:O、a−Si:O:Fなどから構成することができる。さらに、保護膜180は、有機膜の優れた絶縁特性を維持しつつ、露出した半導体部分に影響を及ぼさないように下部無機膜と上部有機膜からなる二重膜構造で形成することもできる。
保護膜180は、データ線171の端部179とドレイン電極175の拡張部をそれぞれ露出する複数のコンタクトホール182、185を有する。
保護膜180上には、複数の画素電極190及び複数の接触補助部材81、82が形成されている。これらは、ITOまたはIZOなどの透明な導電物質、またはアルミニウム(Al)、銀(Ag)またはこれらの合金などの反射性導電物質から構成することができる。
画素電極190は、コンタクトホール185を介してドレイン電極175と物理的、電気的に接続されている。
複数の接触補助部材81、82は、それぞれコンタクトホール181、182を介してゲート線121の端部129とデータ線171の端部179に接続されている。接触補助部材81、82は、ゲート線またはデータ線の端部129、179と外部装置との接着性を補完し、これらを保護する。
一方、薄膜トランジスタ表示板100と対向する対向表示板200は、図5のように、透明ガラスなどからなる上部基板210、上部基板210上部に形成され、繰り返される凹パターンを有する共通電極270を備える。
または、図6のように、対向表示板200は、透明ガラスなどからなる上部基板210、上部基板210上部に形成され繰り返される凹凸を有する層間膜250、及び層間膜250全面に形成されている共通電極270を備える構成とすることもできる。この場合、感光性有機物質からなる層間膜250を露光して一定に繰り返される凹凸を形成することができ、前記凹凸によって各画素領域毎に繰り返される凹パターンを形成することができる。層間膜250上には、ITOまたはIZOのような透明導電体からなる共通電極270が形成されている。
前記のように、対向表示板200の共通電極270または層間膜250に繰り返される凹パターンが形成することによって、視野角をさらに改善することができる。
また、薄膜トランジスタ表示板100と対向表示板200との間には、各画素領域を分離するための複数の隔壁360が形成されている。
隔壁360によって分離された各画素領域は、透明な流体310、陽性または陰性に帯電された着色粒子300a、300b、300c及び黒色粒子300dを有する。流体310は、着色粒子300a、300b、300c及び黒色粒子300dを分散させるための媒質であって、着色粒子300a、300b、300c及び黒色粒子300dの移動を妨げない程度の十分に低い粘性及び誘電常数を有する必要がある。
黒色粒子300dは、着色粒子300a、300b、300cと反対電荷を有するので、電界印加時に互いに反対電極側に配列される。例えば、1つの画素領域内の着色粒子300aが電気泳動現象によって画素電極190側に移動する時、反対の電荷を有する黒色粒子300dは、共通電極270側に移動することによって外部光が黒色粒子300dに吸収されて完全なブラックを表現することができる。その結果、コントラスト比を改善することができる。
図7は、図6の電気泳動表示装置に電界を印加したときの図6のA部分を拡大して示した断面図である。
電界印加時、共通電極270または層間膜250に繰り返される凹パターンが形成されている場合、共通電極270と反対電荷を有する着色粒子300aは共通電極270の表面に沿って一列に分布する。これにより、各画素の正面だけでなく側面からも着色粒子330aによって反射される程度を調節し、視野角を顕著に向上させることができる。
以上、薄膜トランジスタを用いた能動型(active)駆動方式のみについて例を挙げて説明したが、交差して形成された2つの電極間に電圧を印加する手動型(passive)駆動方式にも同様に適用することができることは勿論である。
このように、隔壁によって分離された領域でそれぞれの着色粒子を含むことによって、追加工程が不要で、かつ別途のカラーフィルタなしで多様な色を表現することができ、一側の電極に凹部を有することによって、より改善された広視野角特性を実現することができる。
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されるものでなく、特許請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者の様々な変形及び改良形態も本発明の権利範囲に属する。
本発明の一実施形態による電気泳動表示装置の駆動原理を概略的に示した模式図である。 図1の電気泳動表示装置を薄膜トランジスタ表示板に適用した電気泳動表示装置の構造を示した配置図である。 図2の電気泳動表示装置のIII-III'線に沿った断面図である。 本発明の他の一実施形態による電気泳動表示装置の駆動原理を概略的に示した模式図である。 本発明の他の一実施形態による電気泳動表示装置を示す断面図である。 本発明の他の一実施形態による電気泳動表示装置を示す断面図である。 図6の電気泳動表示装置に電界印加する時の1つの画素領域を拡大した断面図である。
符号の説明
100 薄膜トランジスタ表示板
110 下部基板
121 ゲート線
124 ゲート電極
140 ゲート絶縁膜
151 半導体
171 データ線
180 保護膜
190 画素電極
200 対向表示板
210 上部基板
250 層間膜
270 共通電極
300a〜300c 着色粒子
300d 黒色粒子
360 隔壁
310 流体

Claims (15)

  1. 第1基板上に形成されている第1電極と、
    前記第1基板に対向する第2基板上に形成されている第2電極と、
    前記第1電極と前記第2電極との間を複数の領域に分離する隔壁と、
    前記各領域内に含まれ、赤色、緑色及び青色のいずれか一色で着色された複数の帯電粒子と、
    を備える電気泳動表示装置。
  2. 隣接する前記各領域には、赤色、緑色及び青色のいずれか一色で着色された複数の帯電粒子が各々含まれていることを特徴とする、請求項1に記載の電気泳動表示装置。
  3. 前記各領域は、複数の黒色帯電粒子をさらに含むことを特徴とする、請求項2に記載の電気泳動表示装置。
  4. 前記黒色帯電粒子は、前記赤色、緑色及び青色のいずれか一色で着色された複数の帯電粒子と反対電荷を有することを特徴とする、請求項3に記載の電気泳動表示装置。
  5. 前記第1電極は前記各領域毎に分離されており、各領域毎に別途の電圧が印加されることを特徴とする、請求項1に記載の電気泳動表示装置。
  6. 前記第1基板上には、互いに交差するゲート線及びデータ線、半導体を備え、前記ゲート線及び前記データ線と電気的に接続されている薄膜トランジスタが形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の電気泳動表示装置。
  7. 前記薄膜トランジスタと前記第1電極との間には、有機物質からなる保護膜をさらに有することを特徴とする、請求項6に記載の電気泳動表示装置。
  8. 前記データ線上に前記隔壁が形成されていることを特徴とする、請求項6に記載の電気泳動表示装置。
  9. 前記第2電極は、前記各領域毎に中心部が凹んだ形態を有することを特徴とする、請求項1に記載の電気泳動表示装置。
  10. 前記第2基板と前記第2電極との間に層間膜をさらに有することを特徴とする、請求項1に記載の電気泳動表示装置。
  11. 前記層間膜は、前記各領域毎に中心部が凹んだ形態を有することを特徴とする、請求項10に記載の電気泳動表示装置。
  12. 第1基板上に形成されている第1電極と、
    前記第1基板に対向する第2基板上に形成され凹部を有する第2電極と、
    前記第1電極と前記第2電極との間を複数の領域に分離する隔壁と、
    前記各領域内に含まれ、流体内に分散している複数の着色帯電粒子と、
    を備えることを特徴とする、電気泳動表示装置。
  13. 前記凹部は、前記各領域毎に形成されていることを特徴とする、請求項12に記載の電気泳動表示装置。
  14. 前記第2基板と前記第2電極との間に形成され、凹凸を有する層間膜をさらに有し、前記第2電極の凹部は、前記層間膜の凹凸によって形成されることを特徴とする、請求項12に記載の電気泳動表示装置。
  15. 前記第1基板上に互いに交差するゲート線及びデータ線と半導体を備え、前記ゲート線及び前記データ線と電気的に接続されている薄膜トランジスタが形成されていることを特徴とする、請求項12に記載の電気泳動表示装置。
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