JP2006292381A - 超音波流量計 - Google Patents

Abstract

【課題】計測流路内を伝播する超音波に不要な反射波が重畳されることを防止して流量の計測精度を向上させることのできる超音波流量計を提供する。
【解決手段】被計測流体が流れる計測流路１０と、計測流路に設けられて被計測流体を通す測定配管１３と、測定配管の一方の開口端に対向する計測流路の壁面に配置された第１超音波送受波器１４と、測定配管の他方の開口端に対向する計測流路の壁面に第１超音波送受波器に対向するように配置された第２超音波送受波器１５と、第１超音波送受波器の周囲および第２超音波送受波器の周囲の計測流路の壁面に配置されて、第１超音波送受波器または第２超音波送受波器から射出された超音波の反射を減衰させる吸音材１６と、第１超音波送受波器と第２超音波送受波器との間で送受される超音波の伝播時間に基づいて計測流路に流れる被計測流体の流量を算出する制御回路１７とを備えている。
【選択図】図１

Description

本発明は、超音波を用いて流体の流量を計測する超音波流量計に関し、特に測定精度を向上させる技術に関する。

従来、流体の流路の上流側と下流側に一定の距離をおいて一対の超音波送受波器を配置し、それらの間で相互に超音波を繰り返して送受信し、上流側から下流側への超音波の伝播時間の積算値と、下流側から上流側への超音波の伝播時間の積算値との差に基づいて流体の流量を測定する超音波流量計が知られている。このような超音波流量計では、超音波送受波器間で直接に送受される直接波以外に、例えば壁などからの反射波が存在すると計測に誤差を生じる。

このような問題を解決する超音波流量計として、圧力損失を高めずに計測流路での不要な伝播波を低減して正規の伝播波の受信波形を正確に検出し、伝播時間をより高精度に計測して流速または流量の計測精度を高めることのできる超音波流量計測装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

この超音波流量計測装置は、図１３に示すように、被測定流体が流れる計測流路１０と、この計測流路１０に流体の流れ方向に対して所定角度を持たせて配置された２つの超音波送受信器１４、１５と、計測流路１０内を伝播する超音波の不要伝播波を減衰させる第一の不要伝播波減衰手段（吸音材）１６と、２つの超音波送受信器１４、１５間の超音波の伝播時間を計測する計測制御部１７ａと、計測制御部１７ａからの信号に基づいて流量を算出する演算部１７ｂとを備えている。

この超音波流量計測装置では、正規の超音波伝播路から逸脱した不要な伝播波を第一の不要伝播波減衰手段（吸音材）１６により減衰させ、正規の伝播波の比率を高めノイズ成分の少ない受信波形を受信側の超音波送受信器１４、１５で検出して、伝播時間のより高精度な計測により流速または流量の計測精度を向上し、計測可能な流速または流量の計測範囲を拡大している。
特開２００１−３１１６３６号公報

上述した従来の超音波流量計は、計測流路に吸音材を配置することにより計測流路内を伝播する超音波の不要伝播波を減衰させるように構成されているが、超音波送受波器が取り付けられた計測流路の壁面からの不要な反射波は抑制できない。その結果、計測流路内を伝播する超音波に不要な反射波が重畳されてしまい、流量の計測精度を向上させることができないという問題がある。

本発明は、上述した問題を解消するためになされたものであり、その課題は、計測流路内を伝播する超音波に不要な反射波が重畳されることを防止して流量の計測精度を向上させることのできる超音波流量計を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明に係る超音波流量計は、被計測流体が流れる計測流路と、計測流路に設けられて被計測流体を通す測定配管と、測定配管の一方の開口端に対向する計測流路の壁面に配置された第１超音波送受波器と、測定配管の他方の開口端に対向する計測流路の壁面に第１超音波送受波器に対向するように配置された第２超音波送受波器と、第１超音波送受波器の周囲および第２超音波送受波器の周囲の計測流路の壁面に配置されて、第１超音波送受波器または第２超音波送受波器から射出された超音波の反射を減衰させる吸音材と、第１超音波送受波器と第２超音波送受波器との間で送受される超音波の伝播時間に基づいて計測流路に流れる被計測流体の流量を算出する制御回路とを備えたことを特徴とする。

本発明に係る超音波流量計によれば、第１超音波送受波器または第２超音波送受波器から射出された超音波の反射を減衰させる吸音材を、第１超音波送受波器の周囲および第２超音波送受波器の周囲の計測流路の壁面に配置したので、第１超音波送受波器と第２超音波送受波器との間で直接に送受される直接波以外の不要波は吸音材で吸収される。従って、第１超音波送受波器と第２超音波送受波器との間で送受される超音波に不要な反射波が重畳されることがないので、流量の計測精度が劣化することを防止できる。

以下、本発明の実施例を、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下では、背景技術の欄で説明した構成部分と同一または相当する部分には背景技術の欄で使用した符号と同一の符号を付して説明する。

図１は、本発明の実施例１に係る超音波流量計の構造を示す図であり、図１（ａ）は側断面図、図１（ｂ）は平断面図である。この超音波流量計の内部には流体が流れる計測流路１０が形成されている。外部から供給された流体は、図１（ａ）に破線矢印で示すように、流入口１１から計測流路１０内に導入される。そして、計測流路１０の略中央に設けられた測定配管１３を通過して流出口１２から排出される。

測定配管１３は、扁平状の直管から構成されており、その中空部は、管の軸に直行する面で切断した場合に略矩形状になるように形成されている。測定配管１３の一方の開口端（上流側）１３ａに対向する計測流路１０の壁面には第１超音波送受波器１４が配置されており、測定配管１３の他方の開口端（下流側）１３ｂに対向する計測流路１０の壁面には第２超音波送受波器１５が配置されている。

図１（ｂ）に示すように、第１超音波送受波器１４と第２超音波送受波器１５とは対向し、且つ第１超音波送受波器１４と第２超音波送受波器１５とを結ぶ直線である超音波経路が測定配管１３の内部で流体の流れる方向に対して所定の傾きを有するように配置されている。

第１超音波送受波器１４の周囲（測定配管１３の一方の開口端１３ａの周囲を含む）の計測流路１０の壁面および第２超音波送受波器１５の周囲（測定配管１３の他方の開口端１３ｂの周囲を含む）の計測流路１０の壁面には、図１に斜線で示すように、吸音材１６が配置されている。

吸音材１６は、図２に示すように、壁面２０に取り付けられたグラスファイバ、セラミックファイバ、カーボンファイバといった繊維２１によって板状に成形された板状部材で構成されている。吸音材１６の厚さは、超音波の波長の１／４以上とすることができる。吸音材１６の厚さを、例えば１／４波長とすることにより、反射波の伝播経路が１／２波長になり、打ち消しあうことになる。

第１超音波送受波器１４は、制御回路１７から送られてくる駆動パルス信号に応じて超音波を発生し、第２超音波送受波器１５に向けて送信する。また、第１超音波送受波器１４は、第２超音波送受波器１５からの超音波を受信して電気信号に変換し、制御回路１７に送る。

第２超音波送受波器１５は、制御回路１７から送られてくる駆動パルス信号に応じて超音波を発生し、第１超音波送受波器１４に向けて送信する。また、第２超音波送受波器１５は、第１超音波送受波器１４からの超音波を受信して電気信号に変換し、制御回路１７に送る。

制御回路１７は、例えばマイクロコンピュータを含み、第１超音波送受波器１４または第２超音波送受波器１５に駆動パルス信号を送って超音波を発生させるとともに、この超音波を受信した第１超音波送受波器１４または第２超音波送受波器１５から送られてくる受信信号に基づき、第１超音波送受波器１４から第２超音波送受波器１５への超音波の伝播時間（順方向伝播時間）と第２超音波送受波器１５から第１超音波送受波器１４へ超音波の伝播時間（逆方向伝播時間）とを算出する。

そして、これら算出した超音波の順方向伝播時間と逆方向伝播時間との差に基づいて流体の流速を算出し、この算出した流速に計測流路１０の断面積を乗じて体積流量を求める。この求められた体積流量が、測定された流体の流量として外部に出力される。

上記の構成において、第１超音波送受波器１４から第２超音波送受波器１５へ、または、第２超音波送受波器１５から第１超音波送受波器１４へ超音波が送信されるときに、超音波経路を逸脱した超音波は、吸音材１６の表面に入射される。吸音材１６の表面に入射された超音波のエネルギーは、繊維２１の隙間を通るときに繊維２１と気体の摩擦によって熱に変換されるとともに繊維２１の振動エネルギーに変換される。これにより、超音波が吸音され、計測流路１０の壁面２０からの不要な反射波が減衰される。

以上説明したように、本発明の実施例１に係る超音波流量計によれば、第１超音波送受波器１４または第２超音波送受波器１５から射出された超音波の反射を減衰させる吸音材１６を、第１超音波送受波器１４の周囲および第２超音波送受波器１５の周囲の計測流路１０の壁面２０に配置したので、第１超音波送受波器１４と第２超音波送受波器１５との間で直接に送受される直接波以外の不要波は吸音材１６で吸収される。従って、第１超音波送受波器１４と第２超音波送受波器１５との間で送受される超音波に不要な反射波が重畳されることがないので、流量の計測精度が劣化することを防止できる。

なお、吸音材１６としては、繊維２１によって板状に成形された板状部材の代わりに、多孔質材料を用いることができる。多孔質材料としては、例えばアルミニウム系などの金属多孔質発泡材を用いることができる。

本発明の実施例２に係る超音波流量計は、吸音材を、計測流路の壁面から突出するように設けられた複数の平面状の板によって構成したものである。

図３は、実施例２に係る超音波流量計に使用される吸音材１６の構造を示す図である。この吸音材１６は、図３（ａ）に示すように、壁面２０から突出するように設けられた複数の板２２から構成されている。各板２２は、ゴムなどの柔軟性を有する材料、または壁面２０と同じ材料によって構成することができる。各板２２の厚さは、超音波の波長の１／４以上とすることができる。また、板２２と板２２の間隔は、板２２と板２２の間で反射した超音波による共振が発生しないような間隔、例えば超音波の波長よりも短い３／４波長以下とすることができる。

上記のように構成される吸音材１６によれば、図３（ｂ）に示すように、複数の板２２の切断面ａに入射された超音波は、板２２と板２２の間を通過するときに、板２２と気体の間で摩擦が生じて熱に変換される。これにより、超音波が吸音され、計測流路１０の壁面２０からの不要な反射波が減衰される。

なお、複数の板２２の各々は、図３（ｃ）に示すように、穴２３を有する穴あき板２２ａとすることができる。この構成によれば、さらに吸音効果を高めることができる。

図４は、本発明の実施例２の変形例に係る超音波流量計で使用される吸音材の構造を示す図である。図３（ａ）に示す吸音材は、壁面２０とは別に設けられた平面状の板２２からなるのに対して、図４（ａ）に示す吸音材は、壁面自体から構成される壁面部２０ａからなり、この壁面部２０ａは、基部３１とこの基部３１から突出した複数の平面状の板３２とを一体成形により形成してなる。各板３２は、基部３１と同じ材料によって構成される。このような図４（ａ）に示す吸音材であっても、図３（ａ）に示す吸音材の効果と同様な効果が得られるとともに、壁面部２０ａを一体成形しているので、コストを低減できる。

なお、複数の板３２の各々は、図４（ｃ）に示すように、穴３３を有する穴あき板２２ａとすることができる。この構成によれば、さらに吸音効果を高めることができる。

本発明の実施例３に係る超音波流量計は、吸音材を、計測流路の壁面から突出するように設けられた複数の円筒状の突起物によって構成したものである。

図５は、実施例３に係る超音波流量計に使用される吸音材１６の構造を示す図である。この吸音材１６は、図５（ａ）に示すように、壁面２０から突出するように設けられた複数の円筒状の突起物２４から構成されている。各突起物２４は、ゴムなどの柔軟性を有する材料、または壁面と同じ材料で構成することができる。各突起物２４の高さは超音波の波長の１／４以上とすることができる。

上記のように構成される吸音材１６によれば、図４（ｂ）に示すように、複数の円筒状の突起物２４の切断面ａに入射された超音波は、円筒の中および円筒の間を進むときに摩擦が生じて熱に変換される。これにより、超音波が吸音され、計測流路１０の壁面２０からの不要な反射波が減衰される。

なお、各円筒状の突起物２４は、円筒の側面に穴をあけた穴あき円筒とすることができる。この構成によれば、さらに吸音効果を高めることができる。また、円筒状の突起物２４の代わりに円柱状の突起物を用いることもできる。この構成によっても、超音波が円柱の間を進むときに摩擦が生じて熱に変換されるので、超音波が吸音される。

図６は、本発明の実施例３の変形例に係る超音波流量計で使用される吸音材の構造を示す図である。図５に示す吸音材は、壁面２０とは別に設けられた複数の円筒状の突起物２４からなるのに対して、図６に示す吸音材は、壁面自体から構成される壁面部２０ｂからなり、この壁面部２０ｂは、基部３１ａとこの基部３１ａから突出した複数の円筒状の突起部３４とを一体成形により形成してなる。各突起部３４は、基部３１ａと同じ材料によって構成される。このような図６に示す吸音材であっても、図５に示す吸音材の効果と同様な効果が得られるとともに、壁面部２０ｂを一体成形しているので、コストを低減できる。

なお、各円筒状の突起部３４は、円筒の側面に穴をあけた穴あき円筒とすることができる。この構成によれば、さらに吸音効果を高めることができる。また、円筒状の突起部３４の代わりに円柱状の突起物を用いることもできる。この構成によっても、超音波が円柱の間を進むときに摩擦が生じて熱に変換されるので、超音波が吸音される。

本発明の実施例４に係る超音波流量計は、吸音材を、計測流路の壁面から突出するように設けられた複数の円錐状の突起物によって構成したものである。

図７は、実施例４に係る超音波流量計に使用される吸音材１６の構造を示す図である。この吸音材１６は、図７（ａ）に示すように、壁面２０から突出するように設けられた複数の円錐状の突起物２５から構成されている。各突起物２５は、ゴムなどの柔軟性を有する材料、または壁面と同じ材料で構成することができる。各突起物２５の高さは超音波の波長の１／４以上とすることができる。

上記のように構成される吸音材１６によれば、図７（ｂ）に示すように、複数の円錐状の突起物２５の頂点によって形成される面ａに入射された超音波は、円錐状の突起物２５の側面で反射を繰り返す。これにより、超音波が吸音され、計測流路１０の壁面２０からの不要な反射波が減衰される。

なお、各円錐状の突起物２５の側面に穴をあけるように構成することができる。この構成によれば、さらに吸音効果を高めることができる。また、円錐状の突起物２５の代わりに角錐状の突起物を用いることもできる。この構成によっても、上記と同様の作用および効果を奏することができる。

図８は、本発明の実施例４の変形例に係る超音波流量計で使用される吸音材の構造を示す図である。図７に示す吸音材は、壁面２０とは別に設けられた複数の円錐状の突起物２５からなるのに対して、図８に示す吸音材は、壁面自体から構成される壁面部２０ｃからなり、この壁面部２０ｃは、基部３１ｂとこの基部３１ｂから突出した複数の円錐状の突起部３５とを一体成形により形成してなる。各突起部３５は、基部３１ｂと同じ材料によって構成される。このような図８に示す吸音材であっても、図７に示す吸音材の効果と同様な効果が得られるとともに、壁面部２０ｃを一体成形しているので、コストを低減できる。

なお、各円錐状の突起部３５は、円錐の側面に穴をあけた穴あき円錐とすることができる。この構成によれば、さらに吸音効果を高めることができる。

本発明の実施例５に係る超音波流量計は、吸音材を、計測流路の壁面から所定距離をおいて張られた柔軟性を有する、穴の開いた膜によって構成したものである。

図９は、実施例５に係る超音波流量計に使用される吸音材１６の構造を示す図である。この吸音材１６は、図９（ａ）に示すように、壁面２０から所定距離をおいて張られた柔軟性を有する膜２６から構成されている。この膜２６は、例えばゴム、樹脂といった制振性を有する材料から構成できる。この膜２６には、膜２６の内側と外側とで気圧差を生じないように、穴が設けられている。

上記のように構成される吸音材１６によれば、図９（ｂ）に示すように、超音波が膜２６に当たることにより膜２６が振動する。これにより、超音波のエネルギーは膜２６の振動エネルギーに変換されて超音波が吸音され、計測流路１０の壁面２０からの不要な反射波が減衰される。

なお、実施例５の吸音材１６である膜２６は、図３及び図４に示す実施例２及びその変形例、図５及び図６に示す実施例３及びその変形例、図７及び図８に示す実施例４及びその変形例のいずれかの吸音材と組み合わせて用いても良く、この場合には、その効果がより大きくなる。

本発明の実施例６に係る超音波流量計は、吸音材を、計測流路の壁面から順次に所定距離を置いて配置された穴の開いた複数の板によって構成したものである。

図１０は、実施例６に係る超音波流量計に使用される吸音材１６の構造を示す図である。この吸音材１６は、図１０（ａ）に示すように、壁面２０から順次に所定距離を置いて配置された複数の穴２８の開いた複数の板２７から構成されている。各板２７は、例えばゴム、樹脂といった材料から構成することができる。各板２７の穴２８は、超音波の直進を妨げるような位置に配置されている。

上記のように構成される吸音材１６によれば、図１０（ｂ）に示すように、最上層の板２７に入射された超音波は、各板の複数の穴２８を通って曲折しながら伝播する。そのため、超音波は、複数の穴２８を通過するときに、板２７と気体の間で摩擦が生じて熱に変換される。これにより、超音波が吸音され、計測流路１０の壁面２０からの不要な反射波が減衰される。

なお、実施例６の吸音材１６である穴空き板２７は、図３及び図４に示す実施例２及びその変形例、図５及び図６に示す実施例３及びその変形例、図７及び図８に示す実施例４及びその変形例のいずれかの吸音材と組み合わせて用いても良く、この場合には、その効果がより大きくなる。

本発明の実施例７に係る超音波流量計は、吸音材を、計測流路の壁面から突出するように設けられた複数の楔状の突起物によって構成したものである。

図１１は、実施例７に係る超音波流量計に使用される吸音材１６の構造を示す図である。この吸音材１６は、図１１（ａ）に示すように、壁面２０から突出するように設けられた複数の楔状の突起物２９から構成されている。各突起物２９は、ゴムなどの柔軟性を有する材料、または壁面と同じ材料で構成することができる。各突起物２９の高さは超音波の波長の１／４以上とすることができる。

上記のように構成される吸音材１６によれば、図１０（ｂ）に示すように、複数の楔状の突起物２９の頂線によって形成される面ａに入射された超音波は、突起物２９の側面で反射を繰り返す。これにより、超音波が吸音され、計測流路１０の壁面２０からの不要な反射波が減衰される。

また、この吸音材１６によれば、楔状の突起物２９は、型を一方向に引き抜くだけで成型でき、しかも型の引き抜きには大きい力を必要としないので、成型が容易になるという利点がある。

なお、実施例７の吸音材１６である楔状の突起物２９は、図９に示す実施例５、図１０に示す実施例６、壁面２０に張られた多孔質材料のいずれかの吸音材と組み合わせて用いても良く、この場合には、その効果がより大きくなる。

図１２は、本発明の実施例７の変形例に係る超音波流量計で使用される吸音材の構造を示す図である。図１１に示す吸音材は、壁面２０とは別に設けられた複数の楔状の突起物２９からなるのに対して、図１２に示す吸音材は、壁面自体から構成される壁面部２０ｄからなり、この壁面部２０ｄは、基部３１ｃとこの基部３１ｃから突出した複数の楔状の突起部３６とを一体成形により形成してなる。各突起部３６は、基部３１ｃと同じ材料によって構成される。このような図１２に示す吸音材であっても、図１１に示す吸音材の効果と同様な効果が得られるとともに、壁面部２０ｄを一体成形しているので、コストを低減できる。

なお、実施例７の変形例の吸音材１６である楔状の突起部３６は、図９に示す実施例５、図１０に示す実施例６のいずれかの吸音材と組み合わせて用いても良く、この場合には、その効果がより大きくなる。

また、各楔状の突起部３６は、側面に穴をあけた穴あき突起部とすることができる。この構成によれば、さらに吸音効果を高めることができる。

なお、本発明は、実施例１乃至実施例７の超音波流量計に限定されるものではない。例えば、壁面２０に張られた吸音材１６である多孔質材料は、図９に示す実施例５、図１０に示す実施例６のいずれかの吸音材と組み合わせて用いても良く、この場合には、その効果がより大きくなる。

本発明は、超音波ガスメータ等に適用可能である。

本発明の実施例１に係る超音波流量計の構造を示す図である。 本発明の実施例１に係る超音波流量計で使用される吸音材の構造を示す図である。 本発明の実施例２に係る超音波流量計で使用される吸音材の構造を示す図である。 本発明の実施例２の変形例に係る超音波流量計で使用される吸音材の構造を示す図である。 本発明の実施例３に係る超音波流量計で使用される吸音材の構造を示す図である。 本発明の実施例３の変形例に係る超音波流量計で使用される吸音材の構造を示す図である。 本発明の実施例４に係る超音波流量計で使用される吸音材の構造を示す図である。 本発明の実施例４の変形例に係る超音波流量計で使用される吸音材の構造を示す図である。 本発明の実施例５に係る超音波流量計で使用される吸音材の構造を示す図である。 本発明の実施例６に係る超音波流量計で使用される吸音材の構造を示す図である。 本発明の実施例７に係る超音波流量計で使用される吸音材の構造を示す図である。 本発明の実施例７に係る超音波流量計で使用される吸音材の構造を示す図である。 従来の超音波流量計を説明するための図である。

符号の説明

１０ 計測流路
１１ 流入口
１２ 流出口
１３ 測定配管
１４ 第１超音波送受波器
１５ 第２超音波送受波器
１６ 吸音材
１７ 制御回路
２０ 壁面
２０ａ〜２０ｄ 壁面部
２１ 繊維
２２，３２ 平面状の板
２３，２８，３３ 穴
２４ 円筒状の突起物
２５ 円錐状の突起物
２６ 膜
２７ 穴空き板
２９ 楔状の突起物
３１，３１ａ〜３１ｃ 基部
３４ 円筒状の突起部
３５ 円錐状の突起部
３６ 楔状の突起部

Claims (13)

1. 被計測流体が流れる計測流路と、
   前記計測流路に設けられて前記被計測流体を通す測定配管と、
   前記測定配管の一方の開口端に対向する前記計測流路の壁面に配置された第１超音波送受波器と、
   前記測定配管の他方の開口端に対向する前記計測流路の壁面に前記第１超音波送受波器に対向するように配置された第２超音波送受波器と、
   前記第１超音波送受波器の周囲および前記第２超音波送受波器の周囲の前記計測流路の壁面に配置されて、前記第１超音波送受波器または前記第２超音波送受波器から射出された超音波の反射を減衰させる吸音材と、
   前記第１超音波送受波器と前記第２超音波送受波器との間で送受される超音波の伝播時間に基づいて前記計測流路に流れる被計測流体の流量を算出する制御回路と、
   を備えたことを特徴とする超音波流量計。
2. 前記吸音材は、前記計測流路の壁面に張られた繊維の板状部材からなることを特徴とする請求項１記載の超音波流量計。
3. 前記吸音材は、前記計測流路の壁面から突出するように設けられた複数の平面状の板からなることを特徴とする請求項１記載の超音波流量計。
4. 前記吸音材は、前記計測流路の壁面自体から構成される壁面部からなり、この壁面部は、基部とこの基部から突出した複数の平面状の板とを一体成形により形成してなることを特徴とする請求項１記載の超音波流量計。
5. 前記吸音材は、前記計測流路の壁面から突出するように設けられた複数の円筒状の突起物からなることを特徴とする請求項１記載の超音波流量計。
6. 前記吸音材は、前記計測流路の壁面自体から構成される壁面部からなり、この壁面部は、基部とこの基部から突出した複数の円筒状の突起部とを一体成形により形成してなることを特徴とする請求項１記載の超音波流量計。
7. 前記吸音材は、前記計測流路の壁面から突出するように設けられた複数の円錐状の突起物からなることを特徴とする請求項１記載の超音波流量計。
8. 前記吸音材は、前記計測流路の壁面自体から構成される壁面部からなり、この壁面部は、基部とこの基部から突出した複数の円錐状の突起部とを一体成形により形成してなることを特徴とする請求項１記載の超音波流量計。
9. 前記吸音材は、前記計測流路の壁面から所定距離をおいて張られた柔軟性を有する穴の開いた膜からなることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項記載の超音波流量計。
10. 前記吸音材は、前記計測流路の壁面から順次に所定距離を置いて配置された穴の開いた複数の板からなることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項記載の超音波流量計。
11. 前記吸音材は、前記計測流路の壁面に張られた多孔質材料からなることを特徴とする請求項１又は請求項９又は請求項１０記載の超音波流量計。
12. 前記吸音材は、前記計測流路の壁面から突出するように設けられた複数の楔状の突起物からなることを特徴とする請求項１又は請求項９又は請求項１０又は請求項１１記載の超音波流量計。
13. 前記吸音材は、前記計測流路の壁面自体から構成される壁面部からなり、この壁面部は、基部とこの基部から突出した複数の楔状の突起部とを一体成形により形成してなることを特徴とする請求項１又は請求項９又は請求項１０記載の超音波流量計。

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