JP2006286814A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空雰囲気に保持されるチャンバー1と、チャンバー1内に互いに平行に配置された第1および第2の電極2,18と、第1および第2の電極2,18の間に高周波電界を形成して処理ガスのプラズマを生成するプラズマ生成機構10とを有する容量結合型のプラズマ処理装置100において、第2の電極18は、その少なくとも第1の電極2との対向部分が、導体からなりフローティング状態かまたは接地されている第1の分割片18c1および第2の分割片18c2に分割されており、第1の分割片18c1および第2の分割片18c2の間に電圧を印加する可変直流電源をさらに有する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明に係るプラズマ処理装置の一実施形態であるプラズマエッチング装置を示す断面図である。
まず、図1のプラズマエッチング装置100のゲートバルブ24を開にして搬送アームにてエッチング対象層を有するウエハWをチャンバー1内に搬入し、支持テーブル2上に載置した後、搬送アームを退避させてゲートバルブ24を閉にし、排気装置20の真空ポンプにより排気管19を介してチャンバー1内を所定の真空度にする。
この実施形態では、図10に示すように、上部電極18の絶縁膜18bの表面に、同心円状に内側から3つの分割片18c3,18c4,18c5を形成し、図11に示すように、可変直流電源30の負極を最外側の分割片18c5に給電線30dを介して接続し、正極を中間の分割片18c4および最内側の分割片18c3にそれぞれ給電線30cから分岐する給電線30eおよび30fを介して接続し、給電線30eおよび30fに介在されたリレースイッチ36,37により、分割片18c3,18c4のいずれか、または両方に切り替え可能となっている。なお、給電線30cにはローパスフィルター(LPF)35が介在されており、給電線30dにはローパスフィルター(LPF)38と直流電圧をオン・オフするためのリレースイッチ39が介在されている。
まず、上部電極として本体の対向表面に250μmのY2O3溶射皮膜を形成し、その上に同心円状にSiからなる内側分割片および外側分割片を形成したものを用い、内側分割片および外側分割片の一方を接地し、他の分割片に所定の直流電圧を印加した状態で、ウエハのプラズマ処理を行った。ウエハとしては300mmウエハを用い、上部電極としては直径340mmのものを用いた。プラズマ処理は図1に示す装置を用いて行い、チャンバー内圧力:0.67Pa、処理ガス:O2ガス、流量:200mL/min、高周波電力の周波数:100MHz、高周波電力:200W、500W、800W、1200Wの条件で行った。
1b;導電性表面層
2;支持テーブル(第1の電極)
5;フォーカスリング
10,26;高周波電源
15;処理ガス供給装置
18;上部電極、シャワーヘッド(第2の電極)
18a;本体
18b;絶縁膜
18c1,18c2,18c3,18c4,18c5:分割片
30,40;可変直流電源
31,33,35,38;ローパスフィルター(LPF)
32,34,36,37,39;リレースイッチ
100;プラズマエッチング装置
W;半導体ウエハ(被処理基板)
Claims (20)
- 真空雰囲気に保持されるチャンバーと、
前記チャンバー内に互いに対向して設けられた第1および第2の電極と、
前記第1および第2の電極の間に高周波電界を形成して処理ガスのプラズマを生成するプラズマ生成機構と
を有する容量結合型のプラズマ処理装置であって、
前記プラズマ生成機構は、前記第1の電極に接続された高周波電源を有し、
前記第1の電極は、被処理基板を支持するとともに、前記高周波電源から高周波電力が印加され、
前記第2の電極は、その少なくとも前記第1の電極との対向部分が複数の分割片に分割されており、これら分割片は導体を有し、フローティング状態かまたは接地されており、
前記複数の分割片の少なくとも一つに直流電圧を印加する直流電源をさらに有することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記直流電源は、前記複数の分割片の少なくとも2つの間に電圧を印加することを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記直流電源は、可変直流電源であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 真空雰囲気に保持されるチャンバーと、
前記チャンバー内に互いに対向して設けられた第1および第2の電極と、
前記第1および第2の電極の間に高周波電界を形成して処理ガスのプラズマを生成するプラズマ生成機構と
を有する容量結合型のプラズマ処理装置であって、
前記プラズマ生成機構は、前記第1の電極に接続された高周波電源を有し、
前記第1の電極は、被処理基板を支持するとともに、前記高周波電源から高周波電力が印加され、
前記第2の電極は、その少なくとも前記第1の電極との対向部分が第1の分割片および第2の分割片に分割されており、これら第1および第2の分割片は導体を有し、それぞれフローティング状態かまたは接地されており、
前記第1の分割片と前記第2の分割片との間に電圧を印加する第1の可変直流電源をさらに有することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記可変直流電源の一方の極が前記第1の分割片に接続されており、他方の極が前記第2の分割片に接続されていることを特徴とする請求項4に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1の分割片および前記第2の分割片の一方が接地されており、一方がフローティング状態であることを特徴とする請求項5に記載のプラズマ処理装置。
- 一方の極が前記第1の分割片および前記第2の分割片の一方に接続され、他方の極が接地されている第2の可変直流電源をさらに有することを特徴とする請求項5に記載のプラズマ処理装置。
- 真空雰囲気に保持されるチャンバーと、
前記チャンバー内に互いに対向して設けられた第1および第2の電極と、
前記第1および第2の電極の間に高周波電界を形成して処理ガスのプラズマを生成するプラズマ生成機構と
を有する容量結合型のプラズマ処理装置であって、
前記プラズマ生成機構は、前記第1の電極に接続された高周波電源を有し、
前記第1の電極は、被処理基板を支持するとともに、前記高周波電源から高周波電力が印加され、
前記第2の電極は、その少なくとも前記第1の電極との対向部分が第1の分割片および第2の分割片に分割されており、これら第1および第2の分割片は導体を有し、
前記第1の分割片に直流電圧を印加する第1の可変直流電源と、
前記第2の分割片に前記第1の分割片とは独立に直流電圧を印加する第2の可変直流電源と
をさらに有することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記第2の電極は、接地された本体を有し、前記第1の分割片および前記第2の分割片は、絶縁膜を介して前記本体に支持されていることを特徴とする請求項4から請求項8のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1の分割片は内側に配置され、前記第2の分割片は外側に配置されることを特徴とする請求項4から請求項9のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1の分割片と前記第2の分割片とは同心円状に配置されることを特徴とする請求項10に記載のプラズマ処理装置。
- 真空雰囲気に保持されるチャンバーと、
前記チャンバー内に互いに対向して設けられた第1および第2の電極と、
前記第1および第2の電極の間に高周波電界を形成して処理ガスのプラズマを生成するプラズマ生成機構と
を有する容量結合型のプラズマ処理装置であって、
前記プラズマ生成機構は、前記第1の電極に接続された高周波電源を有し、
前記第1の電極は、被処理基板を支持するとともに、前記高周波電源から高周波電力が印加され、
前記第2の電極は、その少なくとも前記第1の電極との対向部分が少なくとも3つ以上の分割片に分割されており、これら分割片は導体を有し、フローティング状態かまたは接地されており、
これら3つ以上の分割片の少なくとも2つに直流電圧を印加する直流電源と、
前記直流電源が接続される少なくとも2つの分割片を選択的に切り替える切替機構と
をさらに有することを特徴とすることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記直流電源は一方の極が特定の分割片に接続されており、他方の極が前記切替機構により他の2以上の分割片に切り替え可能に接続されることを特徴とする請求項12に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第2の電極は、接地された本体を有し、前記3つ以上の分割片は、絶縁膜を介して前記本体に支持されていることを特徴とする請求項12または請求項13に記載のプラズマ処理装置。
- 前記3つ以上の分割片は、同心円状に配置されていることを特徴とする請求項12から請求項14のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記直流電源は可変直流電源であることを特徴とする請求項12から請求項15のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記直流電源はバイポーラ電源であることを特徴とする請求項1から請求項16のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記分割片はメッシュ状をなしていることを特徴とする請求項1から請求項17のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 各分割片に対する直流電圧をオン・オフするスイッチをさらに有することを特徴とする請求項1から請求項18のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記直流電源から前記分割片の間に設けられたローパスフィルターをさらに有することを特徴とする請求項1から請求項19のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
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