JP2006286754A - 金属−セラミックス接合基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 セラミックス基板10、110の一方の面に、接合面の面積が80mm2以上の大きい銅板14、114と、各々の接合面の面積が80mm2未満であり且つ互いに1mm以下の間隔で離間して配置された複数の小さい銅板14、114とがろう材12、112を介して接合するとともに、大きい銅板の周縁部に段差が設けられて薄肉部が形成され、あるいは、大きい銅板の周縁からろう材がはみ出してフィレット部が形成されている。また、セラミックス基板の他方の面に接合した銅板の周縁部に段差が設けられて薄肉部が形成され、あるいはセラミック基板の他方の面に接合した銅板の周縁からろう材がはみ出してフィレット部が形成されている。
【選択図】 図1H
Description
図1A〜図1Hは、実施例1の金属−セラミックス接合基板の製造工程を示している。
図2A〜図2Hは、実施例2の金属−セラミックス接合基板の製造工程を示している。
図3A〜図3Fは、比較例の金属−セラミックス接合基板の製造工程を示している。
12、112、212 ろう材
14、114、214 銅板
16、116、216 エッチングレジスト
18、118 エッチングレジスト
20、120、220 めっき
Claims (7)
- セラミックス基板の両面に金属板が接合した金属−セラミックス接合基板において、セラミックス基板の一方の面に、接合面の面積が80mm2以上の大きい金属板と、各々の接合面の面積が80mm2未満であり且つ互いに1mm以下の間隔で離間して配置された複数の小さい金属板とが接合し、前記大きい金属板の周縁部に段差が設けられて薄肉部が形成されていることを特徴とする、金属−セラミックス接合基板。
- 前記セラミックス基板の他方の面に接合した金属板の周縁部に段差が設けられて薄肉部が形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の金属−セラミックス接合基板。
- 前記セラミックス基板の両面に接合した金属板が、ろう材を介して前記セラミックス基板に接合していることを特徴とする、請求項1または2に記載の金属−セラミックス接合基板。
- セラミックス基板の両面にろう材を介して金属板が接合した金属−セラミックス接合基板において、セラミックス基板の一方の面に、接合面の面積が80mm2以上の大きい金属板と、各々の接合面の面積が80mm2未満であり且つ互いに1mm以下の間隔で離間して配置された複数の小さい金属板とが接合し、前記大きい金属板の周縁からろう材がはみ出してフィレット部が形成されていることを特徴とする、金属−セラミックス接合基板。
- 前記セラミックス基板の他方の面に接合した金属板の周縁からろう材がはみ出してフィレット部が形成されていることを特徴とする、請求項4に記載の金属−セラミックス接合基板。
- 前記セラミックス基板の他方の面に接合した金属板が、放熱用の金属ベース板に固定されていることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれかに記載の金属−セラミックス接合基板。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載の金属−セラミックス接合基板を用いたパワーモジュール。
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