JP2006279048A - イメージセンサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】イメージセンサは第1導電型の半導体基板、基板の所定深さに形成されて半導体基板を第1導電型の上部基板領域及び下部基板領域に分離する第2導電型のディープウェル、入射光に対応して電荷を蓄積する複数の単位画素と、を含み、各単位画素は、各単位画素別に分離された第1導電型のイオン注入領域をそれぞれ含み、複数の単位画素のうち少なくとも一つの単位画素は、第1導電型のイオン注入領域下部に位置して第1導電型のイオン注入領域外側に延長されて隣接画素の第1導電型のイオン注入領域と電気的に分離された第1導電型の上部基板領域を含む。また、イメージセンサの製造方法が提供される。
【選択図】図5A
Description
<実験例1>
10 画素配列部
20 タイミングジェネレータ
30 ロウデコーダ
40 ロウドライバ
50 相関二重サンプラ
60 アナログデジタルコンバータ
70 ラッチ部
80 カラムデコーダ
100 単位画素
101 下部基板領域
102 ディープウェル
103 上部基板領域
104 第1分離ウェル
106 素子分離領域
108 第2分離ウェル
110 光電変換部
110R レッド光電変換部
110G グリーン光電変換部
110B ブルー光電変換部
120 電荷検出部
130 電荷伝送部
140 リセット部
150 増幅部
160 選択部
Claims (22)
- 第1導電型の半導体基板と、
前記基板の所定深さに形成されて前記半導体基板を前記第1導電型の上部基板領域及び下部基板領域に分離する第2導電型のディープウェルと、
入射光に対応して電荷を蓄積する複数の単位画素と、を含み、
前記各単位画素は、前記各単位画素別に分離された第1導電型のイオン注入領域をそれぞれ含み、
前記複数の単位画素のうち少なくとも一つの単位画素は、前記第1導電型のイオン注入領域下部に位置して前記第1導電型のイオン注入領域外側に延長されて隣接画素の前記第1導電型のイオン注入領域と電気的に分離された第1導電型の上部基板領域を含むことを特徴とするイメージセンサ。 - 前記少なくとも一つの単位画素は前記複数の単位画素に入射する入射光のうち最も長波長の入射光に対応して電荷を蓄積することを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサ。
- 前記第1導電型の上部基板領域は第2導電型の第1分離ウェルにより画定されることを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサ。
- 前記複数の単位画素は、レッド領域の波長、グリーン領域の波長及びブルー領域の波長の入射光に対応して電荷を蓄積するレッド単位画素、グリーン単位画素及びブルー単位画素を含み、前記少なくとも一つの単位画素はレッド単位画素であることを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサ。
- 前記グリーン及びブルー単位画素は前記第1導電型のイオン注入領域のみを含むことを特徴とする請求項4に記載のイメージセンサ。
- 前記レッド単位画素に含まれる前記第1導電型の上部基板領域の面積が、前記グリーン及びブルー単位画素に含まれる前記第1導電型の上部基板領域の面積より広いことを特徴とする請求項4に記載のイメージセンサ。
- 前記グリーン単位画素に含まれる前記第1導電型の上部基板領域の面積は、前記ブルー単位画素に含まれる前記第1導電型の上部基板領域の面積より広いことを特徴とする請求項6に記載のイメージセンサ。
- 前記レッド、グリーン及びブルー単位画素はベイヤー型に配列されたことを特徴とする請求項4に記載のイメージセンサ。
- 前記第1導電型のイオン注入領域は第2導電型の第2分離ウェルにより前記各単位画素別に分離されることを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサ。
- 前記第2導電型の第2分離ウェルは前記第1導電型のイオン注入領域と実質的に同じであるかさらに深い位置まで形成されることを特徴とする請求項9に記載のイメージセンサ。
- 前記第1導電型の上部基板領域は少なくとも一部が前記第2分離ウェルとオーバーラップすることを特徴とする請求項9に記載のイメージセンサ。
- 第1導電型の半導体基板を提供する段階と、
前記半導体基板を前記第1導電型の上部基板領域及び下部基板領域に分離する第2導電型のディープウェルを前記半導体基板の所定深さに形成する段階と、
入射光に対応して電荷を蓄積する複数の単位画素を形成する段階と、を含み、
前記各単位画素は、前記各単位画素別に分離された第1導電型のイオン注入領域をそれぞれ含み、
前記複数の単位画素のうち少なくとも一つの単位画素は、前記第1導電型のイオン注入領域下部に位置して前記第1導電型のイオン注入領域外側に延長されて隣接画素の前記第1導電型のイオン注入領域と電気的に分離された第1導電型の上部基板領域を含むことを特徴とするイメージセンサの製造方法。 - 前記少なくとも一つの単位画素は前記複数の単位画素に入射する入射光のうち最も長波長の入射光に対応して電荷を蓄積することを特徴とする請求項12に記載のイメージセンサの製造方法。
- 前記第1導電型の上部基板領域は第2導電型の第1分離ウェルにより画定されることを特徴とする請求項12に記載のイメージセンサの製造方法。
- 前記複数の単位画素は、レッド領域の波長、グリーン領域の波長及びブルー領域の波長の入射光に対応して電荷を蓄積するレッド単位画素、グリーン単位画素及びブルー単位画素を含み、前記少なくとも一つの単位画素はレッド単位画素であることを特徴とする請求項12に記載のイメージセンサの製造方法。
- 前記グリーン及びブルー単位画素は前記第1導電型のイオン注入領域のみを含むことを特徴とする請求項15に記載のイメージセンサの製造方法。
- 前記レッド単位画素に含まれる前記第1導電型の上部基板領域の面積が、前記グリーン及びブルー単位画素に含まれる前記第1導電型の上部基板領域の面積より広いことを特徴とする請求項15に記載のイメージセンサの製造方法。
- 前記グリーン単位画素に含まれる前記第1導電型の上部基板領域の面積は、前記ブルー単位画素に含まれる前記第1導電型の上部基板領域の面積より広いことを特徴とする請求項17に記載のイメージセンサの製造方法。
- 前記レッド、グリーン及びブルー単位画素はベイヤー型に配列されたことを特徴とする請求項15に記載のイメージセンサの製造方法。
- 前記第1導電型のイオン注入領域は第2導電型の第2分離ウェルにより前記各単位画素別に分離されることを特徴とする請求項12に記載のイメージセンサの製造方法。
- 前記第2導電型の第2分離ウェルは前記第1導電型のイオン注入領域と実質的に同じであるかさらに深い位置まで形成されることを特徴とする請求項20に記載のイメージセンサの製造方法。
- 前記第1導電型の上部基板領域は少なくとも一部が前記第2分離ウェルとオーバーラップすることを特徴とする請求項20に記載のイメージセンサの製造方法。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010520614A (ja) * | 2007-03-01 | 2010-06-10 | テー,ヒョク,ナム | 画素間分離されたイメージセンサ |
JP2010245100A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Nikon Corp | 固体撮像素子 |
US8553115B2 (en) | 2009-12-09 | 2013-10-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion apparatus and imaging system using the same |
JP2013219382A (ja) * | 2006-10-13 | 2013-10-24 | Intellectual Venturesii Llc | 改善されたカラークロストークを有するイメージセンサ |
US8884319B2 (en) | 2011-02-25 | 2014-11-11 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device with isolation insulating layer containing air gap |
US9773833B2 (en) | 2015-03-27 | 2017-09-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion apparatus and camera |
CN111081727A (zh) * | 2018-10-19 | 2020-04-28 | 佳能株式会社 | 光电转换设备、光电转换系统和能够移动的物体 |
JP2020098853A (ja) * | 2018-12-18 | 2020-06-25 | キヤノン株式会社 | 光電変換素子、光電変換素子の製造方法 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070164196A1 (en) * | 2007-03-09 | 2007-07-19 | Tay Hiok N | Image sensor with pixel wiring to reflect light |
KR100936105B1 (ko) * | 2007-12-28 | 2010-01-11 | 주식회사 동부하이텍 | 이미지센서 및 그 제조방법 |
JP5793688B2 (ja) * | 2008-07-11 | 2015-10-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 固体撮像装置 |
KR101550435B1 (ko) * | 2009-01-14 | 2015-09-04 | 삼성전자주식회사 | 후면 수광 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
CN102468310B (zh) * | 2010-11-17 | 2014-08-20 | 联咏科技股份有限公司 | 影像传感器 |
US9865642B2 (en) * | 2015-06-05 | 2018-01-09 | Omnivision Technologies, Inc. | RGB-IR photosensor with nonuniform buried P-well depth profile for reduced cross talk and enhanced infrared sensitivity |
US10644187B2 (en) | 2015-07-24 | 2020-05-05 | Artilux, Inc. | Multi-wafer based light absorption apparatus and applications thereof |
TWI713556B (zh) | 2015-07-24 | 2020-12-21 | 光澄科技股份有限公司 | 半導體光吸收結構及光吸收裝置 |
CN110581190B (zh) * | 2019-08-23 | 2021-11-02 | 北京大学 | 一种适应亚微米像素的utbb光电探测器、阵列和方法 |
CN111182247B (zh) * | 2020-01-06 | 2022-06-21 | Oppo广东移动通信有限公司 | 一种像素结构、图像传感器及终端 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000150848A (ja) * | 1998-11-09 | 2000-05-30 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JP2000299453A (ja) * | 1999-02-09 | 2000-10-24 | Sony Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2003298038A (ja) * | 2002-04-05 | 2003-10-17 | Canon Inc | 光電変換素子及びそれを用いた固体撮像装置 |
JP2004172278A (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | カラー固体撮像装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR0186195B1 (ko) * | 1995-12-11 | 1999-05-01 | 문정환 | 컬러선형 전하결합소자 및 이의 구동방법 |
JPH11289076A (ja) | 1998-04-02 | 1999-10-19 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
KR20010061078A (ko) | 1999-12-28 | 2001-07-07 | 박종섭 | 정확한 컬러이미지 구현을 위한 이미지센서 제조 방법 |
JP2001291858A (ja) * | 2000-04-04 | 2001-10-19 | Sony Corp | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP3840203B2 (ja) * | 2002-06-27 | 2006-11-01 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及び固体撮像装置を用いたカメラシステム |
KR20040065332A (ko) | 2003-01-13 | 2004-07-22 | 주식회사 하이닉스반도체 | 이온주입영역을 소자분리막으로 사용한 시모스 이미지센서및 그 제조방법 |
US6812539B1 (en) * | 2003-04-10 | 2004-11-02 | Micron Technology, Inc. | Imager light shield |
KR100690884B1 (ko) * | 2005-04-28 | 2007-03-09 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
-
2005
- 2005-03-28 KR KR1020050025482A patent/KR100642760B1/ko active IP Right Grant
-
2006
- 2006-03-27 JP JP2006086234A patent/JP5207594B2/ja active Active
- 2006-03-27 US US11/389,728 patent/US7579637B2/en active Active
- 2006-03-28 CN CNB2006100714543A patent/CN100563016C/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000150848A (ja) * | 1998-11-09 | 2000-05-30 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JP2000299453A (ja) * | 1999-02-09 | 2000-10-24 | Sony Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2003298038A (ja) * | 2002-04-05 | 2003-10-17 | Canon Inc | 光電変換素子及びそれを用いた固体撮像装置 |
JP2004172278A (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | カラー固体撮像装置 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013219382A (ja) * | 2006-10-13 | 2013-10-24 | Intellectual Venturesii Llc | 改善されたカラークロストークを有するイメージセンサ |
JP2010520614A (ja) * | 2007-03-01 | 2010-06-10 | テー,ヒョク,ナム | 画素間分離されたイメージセンサ |
JP2010245100A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Nikon Corp | 固体撮像素子 |
US8553115B2 (en) | 2009-12-09 | 2013-10-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion apparatus and imaging system using the same |
US9276036B2 (en) | 2009-12-09 | 2016-03-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion apparatus and imaging system using the same |
US8884319B2 (en) | 2011-02-25 | 2014-11-11 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device with isolation insulating layer containing air gap |
US9048158B2 (en) | 2011-02-25 | 2015-06-02 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device with isolation insulating layer containing air gap |
US9773833B2 (en) | 2015-03-27 | 2017-09-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion apparatus and camera |
CN111081727A (zh) * | 2018-10-19 | 2020-04-28 | 佳能株式会社 | 光电转换设备、光电转换系统和能够移动的物体 |
CN111081727B (zh) * | 2018-10-19 | 2023-12-01 | 佳能株式会社 | 光电转换设备、光电转换系统和能够移动的物体 |
JP2020098853A (ja) * | 2018-12-18 | 2020-06-25 | キヤノン株式会社 | 光電変換素子、光電変換素子の製造方法 |
JP7305343B2 (ja) | 2018-12-18 | 2023-07-10 | キヤノン株式会社 | 光電変換素子、光電変換素子の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060103660A (ko) | 2006-10-04 |
JP5207594B2 (ja) | 2013-06-12 |
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