KR20060103660A - 이미지 센서 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (22)
- 제1 도전형의 반도체 기판;상기 기판의 소정 깊이에 형성되어 상기 반도체 기판을 상기 제1 도전형의 상부 기판 영역 및 하부 기판 영역으로 분리하는 제2 도전형의 깊은 웰; 및다수의 단위 화소들로, 각 단위 화소는 입사광에 대응하여 전하를 축적하며 상기 각 단위 화소별로 분리된 제1 도전형의 이온 주입 영역을 각각 포함하고, 적어도 하나의 단위 화소는 상기 제1 도전형의 이온 주입 영역 하부에 위치하고 상기 제1 도전형의 이온 주입 영역 외측으로 연장되며 인접화소의 상기 제1 도전형의 이온 주입 영역과 전기적으로 분리된 제1 도전형의 상부 기판 영역을 포함하는 이미지 센서.
- 제 1항에 있어서,상기 적어도 하나의 단위 화소는 상기 다수의 단위 화소들에 입사되는 입사광 중 가장 긴 파장의 입사광에 대응하여 전하를 축적하는 이미지 센서.
- 제 1항에 있어서,상기 제1 도전형의 상부 기판 영역은 제2 도전형의 제1 분리웰에 의해 정의되는 이미지 센서.
- 제 1항에 있어서,상기 다수의 단위 화소들은 레드 영역의 파장, 그린 영역의 파장 및 블루 영역의 파장의 입사광에 대응하여 전하를 축적하는 레드 단위 화소, 그린 단위 화소 및 블루 단위 화소를 포함하고, 상기 적어도 하나의 단위 화소는 레드 단위 화소인 이미지 센서.
- 제 4항에 있어서,상기 그린 및 블루 단위 화소는 상기 제1 도전형의 이온 주입 영역만을 포함하는 이미지 센서.
- 제 4항에 있어서,상기 레드 단위 화소에 포함되는 상기 제1 도전형의 상부 기판 영역의 면적이, 상기 그린 및 블루 단위 화소에 포함되는 상기 제1 도전형의 상부 기판 영역의 면적보다 넓은 이미지 센서.
- 제 6항에 있어서,상기 그린 단위 화소에 포함되는 상기 제1 도전형의 상부 기판 영역의 면적은, 상기 블루 단위 화소에 포함되는 상기 제1 도전형의 상부 기판 영역의 상부 기판 영역의 면적보다 넓은 이미지 센서.
- 제 4항에 있어서,상기 레드, 그린 및 블루 단위 화소는 베이어(Bayer)형으로 배열된 이미지 센서.
- 제 1항에 있어서,상기 제1 도전형의 이온 주입 영역은 제2 도전형의 제2 분리웰에 의해 상기 각 단위 화소별로 분리되는 이미지 센서.
- 제 9항에 있어서,상기 제2 도전형의 제2 분리웰은 상기 제1 도전형의 이온 주입 영역과 실질적으로 같거나 더 깊은 위치까지 형성되는 이미지 센서.
- 제 9항에 있어서,상기 제1 도전형의 상부 기판 영역은 적어도 일부가 상기 제2 분리웰과 오버랩되는 이미지 센서.
- 제1 도전형의 반도체 기판을 제공하는 단계;상기 반도체 기판을 상기 제1 도전형의 상부 기판 영역 및 하부 기판 영역으로 분리하는 제2 도전형의 깊은 웰을 상기 반도체 기판의 소정 깊이에 형성하는 단계; 및다수의 단위 화소들을 형성하는 단계로, 각 단위 화소는 입사광에 대응하여 전하를 축적하며 상기 각 단위 화소별로 분리된 제1 도전형의 이온 주입 영역을 각각 포함하고, 적어도 하나의 단위 화소는 상기 제1 도전형의 이온 주입 영역 하부에 위치하고 상기 제1 도전형의 이온 주입 영역 외측으로 연장되며 인접화소의 상기 제1 도전형의 이온 주입 영역과 전기적으로 분리된 제1 도전형의 상부 기판 영역을 포함하는 이미지 센서의 제조 방법.
- 제 12항에 있어서,상기 적어도 하나의 단위 화소는 상기 다수의 단위 화소들에 입사되는 입사광 중 가장 긴 파장의 입사광에 대응하여 전하를 축적하는 이미지 센서의 제조 방법.
- 제 12항에 있어서,상기 제1 도전형의 상부 기판 영역은 제2 도전형의 제1 분리웰에 의해 정의되는 이미지 센서의 제조 방법.
- 제 12항에 있어서,상기 다수의 단위 화소들은 레드 영역의 파장, 그린 영역의 파장 및 블루 영역의 파장의 입사광에 대응하여 전하를 축적하는 레드 단위 화소, 그린 단위 화소 및 블루 단위 화소를 포함하고, 상기 적어도 하나의 단위 화소는 레드 단위 화소인 이미지 센서의 제조 방법.
- 제 15항에 있어서,상기 그린 및 블루 단위 화소는 상기 제1 도전형의 이온 주입 영역만을 포함하는 이미지 센서의 제조 방법.
- 제 15항에 있어서,상기 레드 단위 화소에 포함되는 상기 제1 도전형의 상부 기판 영역의 면적이, 상기 그린 및 블루 단위 화소에 포함되는 상기 제1 도전형의 상부 기판 영역의 면적보다 넓은 이미지 센서의 제조 방법.
- 제 17항에 있어서,상기 그린 단위 화소에 포함되는 상기 제1 도전형의 상부 기판 영역의 면적은, 상기 블루 단위 화소에 포함되는 상기 제1 도전형의 상부 기판 영역의 상부 기판 영역의 면적보다 넓은 이미지 센서의 제조 방법.
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- 제 20항에 있어서,상기 제2 도전형의 제2 분리웰은 상기 제1 도전형의 이온 주입 영역과 실질적으로 같거나 더 깊은 위치까지 형성되는 이미지 센서의 제조 방법.
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