JP2006278397A - 歪量子井戸構造及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板1上に形成され、InP基板1の格子定数に対して1.5%以上の圧縮歪を有する井戸層5と、井戸層5とは異なる格子定数を有する障壁層4とを積層し、III−V族混晶からなる歪井戸層構造10であって、井戸層5はSbを有し、その組成を井戸層5中の全V族元素に対して0.01%〜0.2%として、井戸層5の3次元成長およびこれに起因した欠陥の発生を抑制するようにした。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の第1の実施例に係る歪量子井戸構造を示す概略断面図である。同図では、井戸層として圧縮歪を有するInGaAsSbを用い、障壁層としてInGaAsを用いた。
2 InPバッファ層
3 InGaAsPガイド層
4 InGaAs障壁層
5 InGaAsSb井戸層
6 InGaAsPガイド層
7 InPキャップ層
10 歪量子井戸構造
Claims (7)
- 基板上に形成され、上記基板の格子定数に対して1.5%以上の圧縮歪を有する井戸層と、上記井戸層とは異なる格子定数を有する障壁層とを積層し、III−V族混晶からなる歪量子井戸構造であって、
上記井戸層はSbを有し、その組成を該井戸層中の全V族元素に対して0.01%〜0.2%とした
ことを特徴とする歪量子井戸構造。 - 請求項1に記載された歪量子井戸構造であって、
上記井戸層は、InGaAsSb、又はInGaAsPSb、又はInGaAsNSbから形成される
ことを特徴とする歪量子井戸構造。 - 請求項1または請求項2に記載された歪量子井戸構造であって、
上記基板は、InPから形成される
ことを特徴とする歪量子井戸構造。 - 請求項1乃至請求項3の何れかに記載された歪量子井戸構造であって、
上記井戸層は、有機金属気相エピタキシー法で形成される
ことを特徴とする歪量子井戸構造。 - 基板上に形成され、上記基板の格子定数に対して1.5%以上の圧縮歪を有する井戸層と、上記井戸層とは異なる格子定数を有する障壁層とを積層し、III−V族混晶からなる歪量子井戸構造の製造方法であって、
上記井戸層を結晶成長させるときに、上記井戸層中のSb組成が該井戸層中の全V族元素に対して0.01%〜0.2%となるように、SbまたはSb化合物を供給した
ことを特徴とする歪量子井戸構造の製造方法。 - 請求項5に記載された歪量子井戸構造の製造方法であって、
上記井戸層は、InGaAsSb、又はInGaAsPSb、又はInGaAsNSbから形成される
ことを特徴とする歪量子井戸構造の製造方法。 - 請求項5または請求項6に記載された歪量子井戸構造の製造方法であって、
上記基板は、InPから形成される
ことを特徴とする歪量子井戸構造の製造方法。
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