JP2010225870A - 半導体素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一態様による半導体素子は、Si基板11上に設けられ、Sbと、Sb以外のV族元素を含み、膜厚が1nm以上200nm以下の、第1の層12と、第1の層上に設けられSbを含む第2の層13と、を備えている。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態によるSb系半導体受発光素子を図7に示す。
次に、本発明の第2実施形態によるSb系半導体レーザを図9に示す。
次に、本発明の第3実施形態によるSb系半導体面発光レーザ(VCSEL)を図10に示す。
次に、本発明の第4実施形態によるSb系電子デバイスを図11に示す。本実施形態の電子デバイスは、トランジスタであって、高速のキャリア輸送特性を実現するために、InSbをInAlSb層でサンドイッチした量子井戸層を設け、この量子井戸層中をキャリアが移動するように構成した。このInAlSb層の結晶性や表面性はデバイス特性に大きく影響するため、平坦かつ結晶性の良い物が必要になる。しかし、SiとInSb、或いはSiとAlSbとの間には大きな格子不整合が存在し、原子が規則正しく配列した膜を成長することが、従来の結晶成長技術では難しく、転位と呼ばれる欠陥も膜中に多数発生し、結晶性、表面性が悪く、所望の特性を得ることが困難であった。Si基板上のInSbやAlSbの結晶性、表面性はInAlSb層の表面性、結晶性に影響するため、結晶性、表面性の良いInSb、或いはAlSbを得ることが必要である。
11 Si基板
12 GaAsxSb1−x層(バッファ層)
13 Sb系半導体層
41 Si基板
42 GaAsxSb1−x層(バッファ層)
43 n型GaSb層
44 n側電極
45 GaSb層
46 p型GaSb層
47 p電極
61 Si基板
62 GaAsxSb1−x層(バッファ層)
63 n型クラッド層
64 AlGaSb導波路層
65 多重量子井戸層
66 AlGaSb導波路層
67 p型クラッド層
68 p電極
69 n電極
71 Si基板
72 GaAsxSb1−x層(バッファ層)
73 GaSb層
74 DBRミラー構造層
75 AlSbスペーサ層
76 量子井戸層
77 AlSbスペーサ層
78 DBRミラー構造層
79a 電極
79b 電極
81 Si基板
82 GaAsxSb1−x層(バッファ層)
83 AlIn層
84 量子井戸層
85 AlIn層
86 Teドープ層
87a ソース電極
87b ドレイン電極
87c ゲート電極
Claims (9)
- Si基板上に設けられ、Sbと、Sb以外のV族元素を含み、膜厚が1nm以上200nm以下の、第1の層と、
前記第1の層上に設けられSbを含む第2の層と、
を備えていることを特徴とする半導体素子。 - 前記第1の層における、Sb以外の前記V族元素の組成比が10%以上であることを特徴とする請求項1記載の半導体素子。
- Sb以外の前記V族元素はヒ素またはリンであることを特徴とする請求項1または2記載の半導体素子。
- 前記第1の層は有機金属気相成長法によって形成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体素子。
- 前記第2の層は、第1の層上に設けられSbを含むn型コンタクト層と、前記n型コンタクト層の第1の領域上に設けられSbを含む受発光層と、前記受発光層上に設けられSbを含むp型コンタクト層と、を備え、
前記n型コンタクト層の前記第1領域と異なる第2領域上にn側電極が設けられ、前記p型コンタクト層上にp側電極が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体素子。 - 前記第2の層は、前記第1の層上に設けられSbを含むn型クラッド層と、前記n型クラッド層上に設けられSbを含む多重量子井戸層と、前記多重量子井戸層上に設けられSbを含むp型クラッド層と、を備えていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体素子。
- 前記第2の層は、前記第1の層上に設けられSbを含む第1のDBRミラー構造層と、前記第1のDBRミラー構造層上に設けられSbを含む第1のスペーサ層と、前記第1のスペーサ層上に設けられSbを含む多重量子井戸層と、前記多重量子井戸層上に設けられSbを含む第2のスペーサ層と、前記第2のスペーサ層上に設けられSbを含む第2のDBRミラー構造層と、を備えていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体素子。
- 前記第2の層は、前記第1の層上に設けられSbを含む第1の半導体層と、前記第1の半導体層上に設けられInSbを含む量子井戸層と、前記量子井戸層上に設けられSbを含み上層に不純物がドープされた第2の半導体層とを備え、
前記第2の半導体層上に離間してソース電極およびドレイン電極が設けられ、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間の前記第2の半導体層に凹部が設けられ、この凹部にゲート電極が設けられていることを特徴とする半導体素子。 - 前記第2の層は、Sbの他にGa、In、Alの何れかを含むことを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の半導体素子。
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