JP2006266903A - 接触式変位測長器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の直線方向に往復移動が可能な第1の移動体2と、第1の移動体2を駆動する駆動部3と、第1の移動体2の移動に連動して第1の直線方向に平行な第2の直線方向に往復移動が可能な第2の移動体4と、第2の移動体4の先端に交換可能に取り付けられた測定子8と、測定子8が被測定物に当接した状態のときに被測定物に及ぼす測定力を第2の移動体4の後端において検出する測定力検出部9と、第2の移動体4の移動量を測定子8と測定力検出部9の間において検出する位置検出部10と、測定力検出部9の出力に応じて測定力を一定に保つように第1の移動体2の移動量を制御する制御装置300と、を備える。
【選択図】 図2
Description
3,73,83 駆動部
4 第2の移動体
5 支持部
6 第1のコイルばね
7 第2のコイルばね
8 測定子
9,59,69 測定力検出部
10 位置検出部
21 コア
29 差動トランス本体
52 薄板
54 歪みゲージ
62,63 導電体
200 検出器
300 制御装置
Claims (8)
- 第1の直線方向に往復移動が可能な第1の移動体と、
前記第1の移動体を駆動する駆動部と、
前記第1の移動体の移動に連動して前記第1の直線方向とは異なる第2の直線方向に往復移動が可能な第2の移動体と、
前記第2の移動体の先端に取り付けられた測定子と、
前記測定子が被測定物に当接した状態のときに該被測定物に及ぼす測定力を前記第2の移動体の後端において検出する測定力検出部と、
前記第2の移動体の移動量を前記測定子と前記測定力検出部の間において検出する位置検出部と、
前記測定力検出部の出力に応じて前記測定力を一定に保つように前記第1の移動体の移動量を制御する制御装置と、
を備えることを特徴とする接触式変位測長器。 - 前記第2の直線方向は、前記第1の直線方向に平行であることを特徴とする請求項1に記載の接触式変位測長器。
- 前記第2の移動体を前記第2の直線方向に移動可能に支持する支持部は、前記第1の移動体と一体化されており、前記第2の移動体は前記支持部に、同第2の移動体に前記第2の直線方向の一方の向きの力を付与する第1のコイルばねと、同第2の移動体に前記一方の向きと逆向きの力を付与する第2のコイルばねを介して支持されていることを特徴とする請求項1または2に記載の接触式変位測長器。
- 前記測定力検出部は、前記第1の移動体に固定された差動トランス本体と、前記第2の移動体の後端に設けられたコアよりなる差動トランスを備えており、前記第1のコイルばねと前記第2のコイルばねの変形によって前記第2の移動体とともに前記コアが移動し、そのコアの移動量を前記差動トランス本体で検出することによって、測定力を検出することを特徴とする請求項3に記載の接触式変位測長器。
- 前記測定力検出部は、前記第1の移動体に固定されているとともに前記第2の移動体の後端に固定された薄板と、該薄板に貼り付けられた歪みゲージを備えており、前記第1のコイルばねと前記第2のコイルばねの変形によって前記第2の移動体が移動し、その第2の移動体の移動によって前記薄板が歪み、その薄板の歪み量を前記歪みゲージで検出することによって、測定力を検出することを特徴とする請求項3に記載の接触式変位測長器。
- 前記測定力検出部は、前記第1の移動体に固定された第1の導電体と、該第1の導電体から離れ、かつ前記第2の移動体の後端に固定された第2の導電体を備えており、前記第1のコイルばねと前記第2のコイルばねの変形によって前記第2の移動体が移動し、その第2の移動体の移動によって前記第1の導電体と前記第2の導電体の間の距離が変化し、その導電体間の距離の変化に伴って変化する静電容量の変化量を検出することによって、測定力を検出することを特徴とする請求項3に記載の接触式変位測長器。
- 前記制御装置は、前記第2の移動体の姿勢に応じて変化する測定力を補正する補正手段を備えていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の接触式変位測長器。
- 前記測定子は、前記第2の移動体に着脱可能に取り付けられることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の接触式変位測長器。
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JPH07270305A (ja) | 摩擦試験装置および摩擦試験方法 |
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