JP2004519686A - 長さ測定接触子 - Google Patents

長さ測定接触子 Download PDF

Info

Publication number
JP2004519686A
JP2004519686A JP2002581916A JP2002581916A JP2004519686A JP 2004519686 A JP2004519686 A JP 2004519686A JP 2002581916 A JP2002581916 A JP 2002581916A JP 2002581916 A JP2002581916 A JP 2002581916A JP 2004519686 A JP2004519686 A JP 2004519686A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spring
contact
length measuring
contact pin
guide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002581916A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3943503B2 (ja
Inventor
ヘルクト・ペーター
ベーゲ・ルートヴィヒ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of JP2004519686A publication Critical patent/JP2004519686A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3943503B2 publication Critical patent/JP3943503B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/22Feeler-pin gauges, e.g. dial gauges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/002Details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/002Details
    • G01B3/008Arrangements for controlling the measuring force

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Surgical Instruments (AREA)
  • Golf Clubs (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

比較的大きな測定領域を有する、即ち、大きな接触ピン(2)のストロークを有する長さ測定接触子において、接触ピン(2)を予緊張するため、複数の螺旋バネ(7,8)が相前後して配設されている。2つの螺旋バネ(7,8)の間には、ボールガイド(4)が存在し、このボールガイドには、一方では、接触ピン(2)が長手方向Xに摺動可能に支承されており、またボールガイドは、他方では、基体(1)に、長手方向Xに摺動可能に支承されている。

Description

【0001】
本発明は、特許請求項1の上位概念による長さ測定接触子に関する。
【0002】
この様式の長さ測定接触子は、製造技術において材料を測定するために使用される。例えば、厚さ、幅、長さ、深さ、並びに内径又は外径を算定することができる。
【0003】
米国特許第5,072,174号明細書には、特許請求項の上位概念の特徴を有する長さ測定接触子が記載されている。接触ピンは、ボールガイドの形をしたガイド要素によって、基体における長手方向に摺動可能に支承されている。測定すべき材料に接触するために必要な接触圧力は、螺旋バネによって発生させられ、この螺旋バネは、一方の端部で接触ピンに、また、他方の端部で基体に固定されている。
【0004】
螺旋バネの長さは、少なくとも接触ピンのストロークに相当しなければならないが、しかしながら、長い螺旋バネは、側方に折れ曲がる傾向がある。所望の接触ピンのストロークが大きくなればなるほど、接触の際に接触ピンによって導入される横断力をレバー作用に基づいて吸収できるようにするために、増々長くボールガイドも構成しなければならない。これにより、比較的大きな測定領域−即ち接触ピンのストローク−を有する長さ測定接触子は、比較的長く構成されている。
【0005】
長さ測定接触子の全長を短縮するため、米国特許第4,347,492号明細書によれば、互いに間隔を置いた2つのボールガイドが設けられている。これら両方のボールガイドの間には、接触ピンの位置を検出するための検出装置が配設されている。螺旋バネは、接触ピンの孔内に存在し、これは、比較的太い接触ピンを前提とする。接触ピンの大きなストロークが必要とされる場合、また、長い螺旋バネを使用する場合、ここでも折れ曲がりの問題があり、これは、螺旋バネと接触ピンとの間の摩擦を生じさせる。
【0006】
本発明の課題は、可能な接触ピンのストロークが比較的大きい場合でも、コンパクトで安定に構成されている、もしくは、ガイド要素が測定工程に不利な影響を与えない長さ測定接触子を提供することである。
【0007】
この課題は、特許請求項1の特徴によって解決される。
【0008】
本発明の利点は、螺旋バネが場所を節約するように配設されており、かつ、接触ピンが全ストロークにわたって横断力が安定するように支承されている点にある。長い螺旋バネを、その間に配設されるガイド要素を有する複数の短いバネ内に分割することによって、螺旋バネの折れ曲がりが回避される。僅かな圧縮力又は引張り力Fを発生させ、その細いコイル、従って僅かなバネ定数であるにもかかわらず折れ曲がらない螺旋バネを使用する可能性がある。これにより、寿命及び測定精度に影響する好ましくない接触ピンと螺旋バネのコイルとの間の摩擦が回避される。この配設は、今や、接触ピンに固定されたスケールが測定作動中に螺旋バネの少なくとも一方のコイル内に没入するように選択することもできる。
【0009】
本発明によって得られる別の利点は、限定されたガイド要素の運動である。螺旋バネは、ガイド要素を常に限定的にバネの間に、即ち、バネ特性が同じ場合に力のつり合いに基づいてバネの間の中心に保持する。
【0010】
本発明の有利な形態は、従属する特許請求項に記載されている。
【0011】
実施例を、図面と関連した以下の説明で詳細に説明する。
【0012】
図1及び2を基にして、以下に、本発明により形成された長さ測定接触子の実施例を説明する。これらの図は、概略的に基体1から成る全長さ測定接触子の横断面図を示し、この長さ測定接触子内には、棒状の接触ピン2が測定方向Xに摺動可能に支承されている。
【0013】
図2に図示された材料5に接触するため、接触ピン2の端部は、球状に接触要素6として形成されている。接触工程において、接触ピン2は、その接触要素6でもって測定すべき材料5の表面に対して力Fで圧迫される。この力Fは、螺旋バネ7及び8によって発生させられ、これらの螺旋バネは、測定方向Xに相前後して配設されており、かつ、接触要素6は材料5を圧迫する。場所を節約する構成のために、螺旋バネ7,8のコイルは、丸い接触ピン2の周囲の周りに延在する。接触ピン2の接触運動の際に、接触ピン2と螺旋バネ7,8との間の摩擦を回避するため、周囲にわたって自由空間が接触ピン2と螺旋バネ7,8のコイルとの間に設けられている。
【0014】
基体1に対する接触ピン2の線形の摺動を測定するため、検出装置9が設けられている。この検出装置は、公知の方法で、スケール91と、スケール91の測定目盛りを走査するための走査ユニット92とから成る。スケール91は接触ピン2に、また走査ユニット92は向かい合って位置するように基体1に固定されている。走査ユニット92によって、位置に依存した電気的な信号が発生させられ、これらの信号は、表示ユニット又は評価ユニットに供給される。スケール91の測定目盛りは、光電的、容量的、磁気的、又は誘導的に走査可能に形成することができる。特に場所を節約する構成のため、スケール91は、スケールが接触ピン2のストローク運動の際に螺旋バネ8のコイル内へと没入できるように寸法設定されている。このため、固定の走査ユニット92と螺旋バネ8の後方の端部との間の軸方向の間隔は、可能な接触ピン2のストロークもしくは検出装置9の測定領域よりも小さい。
【0015】
基体1内での接触ピン2のガイドは、測定方向Xに互いに間隔を置いて配設された複数のガイド要素によって行なわれ、これらのガイド要素は、特にボールガイド3及び4として形成されている。これらボールガイドの一方3は、基体1の接触側の端部に配設されている。接触の際に接触ピン2によって導入される横断力を良好に吸収することができるようにするため、このボールガイドから間隔を置いて少なくとも1つの別のボールガイド4が配設されている。特に場所を節約する構成のために、この別のボールガイド4は、両方の螺旋バネ7と8との間に配設されている。この場合、第1の螺旋バネ7は、一方の端部で接触ピン2に支持され、また、他方の端部でボールガイド4に支持される。このボールガイド4の向かい合って位置する側には、同様に第2の螺旋バネ8の一方の端部が支持され、その際、この螺旋バネ8の他方の端部は基体1に支持される。
【0016】
ボールガイド3及び4のそれぞれは、その内部に回転可能に支承されたボール32及び42を有するボールケージ31及び41から成り、これらのボールは、一方の側では基体1の内面において、また、他方の側では接触ピンの表面において回転する。螺旋バネ7及び8が圧縮バネであるので、これらの螺旋バネは、これらの螺旋バネがボールケージ31,41に軸方向に測定方向Xに支持されることによって、ボールケージ31及び41に固定されている。支持領域内では、ボールケージ31,41がポット形の部分33,43,44を備え、この部分は、螺旋バネ7,8を取り囲む。
【0017】
ボールガイド4は、両方の螺旋バネ7と8との間で軸方向に緊張されており、接触ピン2並びに基体1に対して相対的に測定方向Xには可動に、しかしながらこの測定方向に対する横断方向には遊びなく、接触ピン2及び基体1に支承されている。測定方向Xにおける接触ピン2のストローク運動の際には、ボールガイド4の位置が、螺旋バネ7,8の位置に適合し、このボールガイドの位置は、これらの螺旋バネが同じバネ定数を有する場合、常に両方の螺旋バネ7,8の間の中心位置に存在する。
【0018】
図1及び2に示された配設は、比較的短いボールガイド3,4が、接触ピン2の横断力を良好に支持するために十分であるという利点を有する。2つの螺旋バネ7と8との間のボールガイド4によって、ただ1つの長い螺旋バネと比べて、螺旋バネ7,8の折れ曲がりは回避される。何故なら、これらのバネの端部は、ボールガイド4によって良好にガイドされるからである。
【0019】
基体1においてガイド面の位置合わせの誤差を排除するために、基体1が全てのボールガイド3及び4の全領域にわたって1部材から形成されている場合が、特に有利である。
【0020】
ボールガイド3及び4の代わりに、他のガイド要素、例えば、滑り軸受けも使用することができる。この場合、接触側のボールガイド3を、基体1に固着された滑り軸受けによって、又は基体1に固着されたボール循環ガイドによって代替することもできる。これに反し、ボールガイド4が滑り軸受けによって代替される場合、この滑り軸受けは、基体1並びに接触ピン2に対する軸受け体の自由な可動性を軸方向Xに達成するため、並びに遊びがないことをこの軸方向に対する横断方向に達成するために、外側の滑り面を軸受け体と基体1との間に、並びに、内側の滑り面を軸受け体と接触ピン2との間に備えなければならない。
【0021】
両方の螺旋バネ7,8の間で緊張されたボールガイド4又は滑り軸受け軸受け体の形をしたガイド要素は、このガイド要素が螺旋バネ7,8の位置に適合することによって、接触ピン2のストローク運動を行なう。2つの螺旋バネ7,8を使用する場合、それぞれの螺旋バネ7,8は、接触ピン2のストローク運動の2分の1だけ圧縮される。2つの螺旋バネ7,8に加えて、更にまた別の螺旋バネを相前後して配設することもでき、その際、有利なことに、これらの螺旋バネのそれぞれ2つ間に、示された方法で、ガイド要素、特にボールガイド4が配設される。
【0022】
2つの螺旋バネ7,8の間のボールガイド4が相応に横断力が安定するように構成される場合、接触ピン2は、もっぱらこのボールガイド4によって案内することもでき、後で更に1つの例を基にして詳細に説明するように、接触側のボールガイド3が省略される。
【0023】
接触工程を自動化するため、長さ測定接触子に、力を発生させるための空気圧−接続部を設けることができ、この力は、圧縮バネ7,8の接触力Fとは反対に作用し、接触ピン2を材料5から持ち上げる。
【0024】
圧縮バネの代わりに、螺旋バネ7,8は、引張りバネとしても形成することができる。引張りバネによって、接触ピン2は、進入させられた状態ではその静止位置に存在する。接触力Fは、空気圧的に圧搾空気によって公知の方法で、圧搾空気が長さ測定接触子の内部空間内へと導入され、これにより接触ピン2の直線運動が導入されることによって発生させられる。接触が自動的に終了させられるべき場合は、圧搾空気が遮断され、これは、結果として、接触ピン2が引張りバネによって材料5から持ち上げられ、元のその静止位置へと進入する。圧縮バネ7,8の代わりに引張りバネを使用する場合、引張りバネの端部は、接触ピン2、基体1及びガイド要素3,4に固着によって固定されている。この固着は、接着、溶接又は形状閉塞によって行なうことができる。形状閉塞は、特に有利であり、このための例は、図3に図示されている。図3は、接触ピン2における螺旋形の引張りバネ10の端部の固定を示す。固定のため、スリーブ11は接触ピン2の周囲に圧入されている。このスリーブ11は、周囲の1部分にわたって延在するカラー12を備え、このカラーの下には、引張りバネ10の端部がねじ込まれている。カラー12は、同様に延在することができ、即ち、スリーブ11に差し入れることによって製造することができるか、又は、カラー12は、螺旋形にスリーブ11の周囲に1ピッチと共に長手方向Xに延在することができる。
【0025】
図4は、長さ測定接触子の別の実施例を示す。図1及び2による構成と違い、ここでは、接触側のボールガイド3が何ら設けられていない。接触ピン2は、両方の螺旋バネ7及び8によって予緊張されるか、もしくは、静止位置に保持され、接触運動の際に予緊張される。両方の螺旋バネ7,8の間には、ボールガイド4が配設されており、このボールガイドには、このボールガイドに付設された螺旋バネ7,8の端部が支持されるか(圧縮バネの場合)、又は、−図示されているように−引張りバネを使用する場合には、この引張りバネに固定することによって固定されている。この固定のため、ボールケージ41の端部領域は、図3に指示されたそれぞれ1つのカラー12を、螺旋バネ7,8を形状閉塞的に抑留するために備える。更に、螺旋バネの一方7は基体1に支持され、他方の螺旋バネ8は接触ピン2に支持される。両方の螺旋バネ7,8は、有利なことに、同じバネ特性を有し、従って、基体1に対する接触ピン2のそれぞれ位置において、ボールガイド4は、基体1における支持位置と接触ピン2における支持位置との間の中心に存在する。
【0026】
全ての構成において、加速、衝撃又はガイド不正確さによって引き起こされるボールガイド4の永続的な移動は回避される。圧縮バネ又は引張りバネとして構成される両方の螺旋バネ7,8は、測定方向Xにおけるボールガイド4の望ましくないそれぞれの移動が螺旋バネ7,8の復元力によって相殺されることを保証する。これにより、長さ測定接触子の作動能力は保証されている。何故なら、ボールガイド4は、いかなるエンドストッパに対しても移動できず、これにより、接触ピンの運動の制動を生じさせることができるからである。
【図面の簡単な説明】
【図1】
繰り出された接触ピンの最終位置にある長さ測定接触子の断面図を示す。
【図2】
接触位置にある図1による長さ測定接触子を示す。
【図3】
長さ測定接触子の切取り部分を、この長さ測定接触子に固定された引張りバネと共に示す。
【図4】
別の長さ測定接触子の断面図を示す。
【符号の説明】
1 基体
2 接触ピン
3,4 ボールガイド
31,41 ボールケージ
32,42 ボール
33,43,44 ポット形の部分
5 材料
6 接触要素
7,8 螺旋バネ
9 検出装置
91 スケール
92 走査ユニット
10 引張りバネ
11 スリーブ
12 カラー
F 力
X 測定方向

Claims (10)

  1. 少なくとも1つのガイド要素(4)によって基体(1)に対して相対的に測定方向Xにバネ力Fとは反対に摺動可能に支承されている測定対象(5)に接触するための接触要素(6)を有する接触ピン(2)と、基体(1)に対する接触ピン(2)の位置を検出するための検出装置(9)とを有する長さ測定接触子において、
    接触ピン(2)が、測定方向Xに相前後して配設された複数のバネ要素(7,8)を介して予緊張されていること、そして、それぞれ2つのバネ要素(7,8)の間に、ガイド要素(4)が配設されており、このガイド要素に、このガイド要素に面したこれら2つのバネ要素(7,8)の端部領域が固定されており、その際、ガイド要素(4)が、接触ピン(2)及び基体(1)に、測定方向Xに摺動可能に支承されていることを特徴とする長さ測定接触子。
  2. 接触ピン(2)が、2つのバネ要素(7,8)を介して予緊張されており、その際、バネ要素の一方(7)の一方の端部領域が接触ピン(2)に固定されており、また、このバネ要素(7)の他方の端部領域がガイド要素(4)に固定されており、そして、別のバネ要素(8)の一方の端部領域がガイド要素(4)に、また、このバネ要素(8)の他方の端部領域が基体(1)に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の長さ測定接触子。
  3. ガイド要素がボールガイド(4)であることを特徴とする請求項1又は2に記載の長さ測定接触子。
  4. ボールガイド(4)が、ボールケージ(41)とこのボールケージ内に回転可能に支承されたボール(42)とから成ること、そして、バネ要素(7,8)の端部領域が、ボールガイド(4)のボールケージ(41)に固定されていることを特徴とする請求項3に記載の長さ測定接触子。
  5. 接触ピン(2)が、少なくとも1つの別のガイド要素(3)を介して、基体(1)に測定方向(X)に摺動可能に支承されており、この基体には、バネ要素(7,8)のいずれもが固定されていないことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の長さ測定接触子。
  6. 別のガイド要素が、接触ピン(2)と基体(1)との間のボールガイド(3)であることを特徴とする請求項5に記載の長さ測定接触子。
  7. 別のガイド要素(3)が、強固に基体(1)に固着されていることを特徴とする請求項5に記載の長さ測定接触子。
  8. バネ要素が、圧縮バネ(7,8)の形をした螺旋バネであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の長さ測定接触子。
  9. バネ要素が、引張りバネ(10)の形をした螺旋バネであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の長さ測定接触子。
  10. バネ要素(7,8)が同じバネ特性を備え、従って、ガイド要素(4)が、バネ要素(7,8)の間の中心に保持されるように構成されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1つに記載の長さ測定接触子。
JP2002581916A 2001-04-11 2002-03-28 長さ測定接触子 Expired - Lifetime JP3943503B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10118069A DE10118069A1 (de) 2001-04-11 2001-04-11 Längenmesstaster
PCT/EP2002/003478 WO2002084208A1 (de) 2001-04-11 2002-03-28 Längenmesstaster

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004519686A true JP2004519686A (ja) 2004-07-02
JP3943503B2 JP3943503B2 (ja) 2007-07-11

Family

ID=7681223

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002581916A Expired - Lifetime JP3943503B2 (ja) 2001-04-11 2002-03-28 長さ測定接触子

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7121013B2 (ja)
EP (1) EP1379832B1 (ja)
JP (1) JP3943503B2 (ja)
CN (1) CN1229615C (ja)
AT (1) ATE310939T1 (ja)
DE (2) DE10118069A1 (ja)
WO (1) WO2002084208A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006266903A (ja) * 2005-03-24 2006-10-05 Citizen Watch Co Ltd 接触式変位測長器

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4606867B2 (ja) * 2004-12-22 2011-01-05 株式会社荏原製作所 シース型計測器及び軸受、並びに回転機械
JP2007170951A (ja) * 2005-12-21 2007-07-05 Fine Tech Corp 極低測定圧接触式測長装置
US7346997B2 (en) * 2006-04-10 2008-03-25 Martinrea International Inc. Validating device for validating formed parts
EP1852674B1 (de) 2006-05-05 2015-09-09 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Messvorrichtung zur Bestimmung des relativen Versatzes zwischen zwei Bauteilen
JP5179760B2 (ja) * 2007-02-05 2013-04-10 株式会社ミツトヨ 座標測定用補助具、座標測定用プローブ及び座標測定機
CN101339084B (zh) * 2007-07-06 2012-09-19 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 接触式测量装置
EP2665988B1 (en) 2011-01-19 2015-08-12 Renishaw Plc. Analogue measurement probe for a machine tool apparatus
CN103182679B (zh) * 2011-12-29 2015-04-08 上海联合滚动轴承有限公司 一种风电轴承滚道直径的在线测量装置
CN103412349A (zh) * 2013-08-14 2013-11-27 济南二机床集团有限公司 检测到位装置
CN105471193A (zh) * 2015-12-26 2016-04-06 山东中际电工装备股份有限公司 槽楔库原点的检测装置
EP3276310B1 (de) * 2016-07-27 2018-09-19 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Längenmesseinrichtung
CN107462199A (zh) * 2017-08-08 2017-12-12 武汉理工光科股份有限公司 一种可伸缩防偏移的无损支座位移监测装置
CN108311953A (zh) * 2018-03-28 2018-07-24 上海瓦姆石油天然气管业有限公司 一种用于数控加工中心的高精度百分表
CN109916365B (zh) * 2019-03-15 2021-01-15 江苏中兴派能电池有限公司 一种电池组鼓胀保护装置、检测系统及检测方法
GB202001031D0 (en) * 2020-01-24 2020-03-11 Lm Wind Power As Measuring device for measuring unevenness of a surface of an item

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2663945A (en) * 1950-09-01 1953-12-29 Standard Gage Co Inc Shockproof dial indicator gauge
US2995825A (en) * 1956-01-19 1961-08-15 Sheffield Corp Gaging device
US4110611A (en) * 1975-12-17 1978-08-29 Candid Logic, Inc. Optical position transducer
US4136458A (en) * 1976-10-01 1979-01-30 The Bendix Corporation Bi-axial probe
IT1088539B (it) * 1976-12-24 1985-06-10 Rolls Royce Sonda per l'uso in apparecchi di misura
US4187614A (en) * 1978-08-04 1980-02-12 Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha Tracer head
DE2948712A1 (de) 1979-12-04 1981-06-11 Schneider & Kern, 7119 Niedernhall Schlitten fuer laengenmessgeraete
ZA807717B (en) 1979-12-15 1981-12-30 System E Controls Ltd Variable inductance transducers
DE3019680A1 (de) * 1980-05-23 1981-12-03 Heyligenstaedt & Co, Werkzeugmaschinenfabrik Gmbh, 6300 Giessen Verfahren zum genauigkeitsdrehen sowie vorrichtung zu seiner durchfuehrung
JPS5914491A (ja) * 1982-07-12 1984-01-25 株式会社山武 ロボツトハンド
IN161120B (ja) * 1983-03-30 1987-10-03 Wyler Ag
CH659024A5 (fr) * 1984-09-20 1986-12-31 Tesa Sa Palpeur pour dispositifs de mesure de grandeurs lineaires comparatives.
US4631831A (en) * 1986-01-31 1986-12-30 Bandag Licensing Corporation Tread depth probe and computer
FI81077C (fi) 1987-06-11 1990-09-10 Outokumpu Oy Luftningsanordning foer avfallsvatten fraon industri och bebyggelse.
DE3719509A1 (de) 1987-06-11 1988-12-22 Mauser Werke Oberndorf Hoehenmessgeraet
CH677144A5 (ja) * 1988-12-21 1991-04-15 Weber Hans R
DD288872A5 (de) 1989-11-02 1991-04-11 Veb Carl Zeiss Jena,De Einkoordinatenmessgeraet
US5491904A (en) * 1990-02-23 1996-02-20 Mcmurtry; David R. Touch probe
DE69108817T2 (de) * 1990-08-17 1995-10-05 Toshiba Kawasaki Kk Verschiebungsmessapparat.
GB9106731D0 (en) 1991-03-28 1991-05-15 Renishaw Metrology Ltd Touch probe
GB9116044D0 (en) * 1991-07-24 1991-09-11 Nat Res Dev Probes
US5414940A (en) 1993-05-19 1995-05-16 Hughes Aircraft Company Contact position sensor using constant contact force control system
DE19907644A1 (de) * 1999-02-23 2000-08-24 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Meßtaster
DE19931226C2 (de) * 1999-07-06 2001-10-18 Mahr Gmbh Führungssystem für einen Taster und Tastsystem
DE19937204C1 (de) * 1999-07-08 2001-02-01 Mahr Gmbh Messtaster

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006266903A (ja) * 2005-03-24 2006-10-05 Citizen Watch Co Ltd 接触式変位測長器

Also Published As

Publication number Publication date
JP3943503B2 (ja) 2007-07-11
US7121013B2 (en) 2006-10-17
CN1229615C (zh) 2005-11-30
US20040154178A1 (en) 2004-08-12
WO2002084208A1 (de) 2002-10-24
EP1379832B1 (de) 2005-11-23
WO2002084208A8 (de) 2003-09-12
DE10118069A1 (de) 2002-10-17
DE50205028D1 (de) 2005-12-29
ATE310939T1 (de) 2005-12-15
CN1502034A (zh) 2004-06-02
EP1379832A1 (de) 2004-01-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2004519686A (ja) 長さ測定接触子
EP0796814B1 (en) Brake for hoist gear
EP1180662B1 (en) Position transducer
US20110083335A1 (en) Detector and measuring device
JP2004506149A (ja) 遊動ベアリング
JP2006047036A (ja) 渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ
EP1244893A1 (en) Axial movement linear gauging head
US6154976A (en) Measuring device
JP4417863B2 (ja) 硬さ試験機
US8049492B2 (en) Position measuring apparatus
KR100806831B1 (ko) 다중좌표 검출 측정 장치
EP1270957A3 (en) Pressure-responsive actuator
JP2008170391A (ja) 変位検出装置
JP2019049492A (ja) 変位検出装置
EP1152208A1 (en) Axial movement linear gauging head
CN111692301A (zh) 张紧装置单元、摆动杆以及张紧装置
JP3084564B2 (ja) タッチプローブ
JP4154082B2 (ja) 測尺装置
JP2000329508A (ja) タッチプローブ
JP3810651B2 (ja) タッチ信号プローブの着座機構
JP2005221446A (ja) 接触式変位測長器
JP2000298013A (ja) 形状測定用プローブ
JP2008039512A (ja) 寸法計測装置
JPH0530706U (ja) 検査装置
JPS6325284B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050114

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070403

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070405

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3943503

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100413

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110413

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120413

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130413

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140413

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250