JPH07270305A - 摩擦試験装置および摩擦試験方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明の目的は、摩擦力の検出感度と検出応答
性に優れ、実際の磁気ディスク装置の稼働時と同等の条
件で摩擦試験を可能とする装置を提供することにある。 【構成】本発明の摩擦試験装置では、同一支持部材上に
配置した半導体レーザ素子とフォトダイオード素子と球
レンズからなるセンサ部と、磁気ヘッドの支持部材に形
成した反射面とを組み合わせた変位計測機構により、レ
ーザ光の複合共振を利用して磁気ヘッドの支持部材にか
かる力を検出することに特徴がある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク媒体の面上
に磁気ヘッドを押圧し、磁気ヘッドの支持部材にかかる
力を検出することによって、磁気ディスク媒体の回転始
動時、回転時、回転停止時の磁気ディスク媒体と該磁気
ヘッド間に発生する摩擦力を計測する摩擦試験装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】図６は特開平２−２０３２２６号にて開
示されている従来型の摩擦試験装置の摩擦力検出部の構
造図である。磁気ヘッドジンバル４１には磁気ヘッド４
０が固定されており、磁気ヘッドジンバル４１は磁気ヘ
ッドジンバル取り付け金具４２により板ばね４３に取り
付けられている。板ばね４３は板ばね支持金具４７を介
して板ばね取り付け金具４８に固定されており、板ばね
取り付け金具４８は３本のねじからなるレベル調整機構
４６によりフレーム５０に取り付けられている。さらに
板ばね４３の両側面には歪ゲージ４４が取り付けられて
おり、歪ゲージ４４の入出力リード線（図示せず）はま
とめられてコード４５に接続されている。磁気ヘッド４
０が磁気ディスク媒体（図示せず）に押圧された状態で
磁気ディスク媒体が回転すると、磁気ディスク媒体と磁
気ヘッド４０の間には摩擦力が発生する。この摩擦力は
磁気ヘッドジンバル４１を介して板ばね４３に伝えら
れ、板ばね４３は摩擦力の大きさに応じてたわむ。すな
わち、従来型の摩擦試験装置では、板ばね４３のたわみ
量を歪ゲージ４４で計測することによって、磁気ディス
ク媒体と磁気ヘッド４０間の摩擦力を計測する。なお、
従来型の摩擦試験装置の摩擦力検出部にはリミッタ用セ
ットねじ４９が取り付けられている。これは、過大な摩
擦力が発生して板ばね４３が大きくたわんだときの歪ゲ
ージの破壊を防ぐために、板ばね４３のたわみ範囲を制
限するためのものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来型の摩擦試験装置
の摩擦力検出では前述のように、摩擦力によってたわん
だ板ばね４３のたわみ量を歪ゲージ４４で測定する方法
を採用している。したがって、歪ゲージ４４で板ばね４
３のたわみを検出するためには、歪ゲージ４４の検出感
度で規定されるたわみ量が必要であり、このたわみ量は
板ばね４３のスチフネスに依存する。一般的に歪ゲージ
を利用した変位の検出感度は低くいため、板ばね４３の
スチフネスを小さくしてたわみ量を大きくし、摩擦力検
出感度を高める手段がとられている。しかし、この場
合、板ばね４３の共振周波数はスチフネスの平方根に比
例するので、板ばね４３の共振周波数が低下し、摩擦力
検出の応答性も低下する。摩擦力検出感度と応答周波数
は独立に設定することはできないので、摩擦力検出感度
のみを高めることもできず、両者について適当な範囲で
設計がなされている。従来型の摩擦試験装置での典型的
な例では板ばね４３のスチフネスは約８×１０³ Ｎ／
ｍ、変位量検出感度は約０．１μｍ、摩擦力検出感度は
約１ｍＮ、最大応答周波数は約３００Ｈｚである。なお
前述のように、従来型の摩擦試験装置の摩擦力検出部で
リミッタ用セットねじ４９が取り付けられて板ばね４３
のたわみ範囲を制限しているのは、まさに板ばね４３の
スチフネスを小さめにしてたわみ量を大きくして摩擦力
検出感度を高めようとすることに他ならない。しかし、
摩擦力検出感度を高めるため、板ばね４３のスチフネス
を小さめにして板ばね４３をたわみやすくすると、摩擦
力によって磁気ヘッドの位置が変動しやすくなること、
また磁気ディスクに対する磁気ヘッドの姿勢が乱れやす
くなることなどから、実際の磁気ディスク装置の磁気ヘ
ッドと磁気ディスク媒体の摩擦状況とはかけ離れた試験
になる可能性がある。さらに、摩擦力検出の応答性周波
数が低いことは、磁気ディスク媒体の試験回転数にも制
限をもたらす。

【０００４】以上の点から、従来型の摩擦試験装置の摩
擦力検出方法では、（１）摩擦力の検出感度に限界があ
ること、（２）摩擦力検出の応答性に限界があること、
（３）磁気ヘッドの位置の変動および磁気ヘッドの姿勢
の乱れから実際の磁気ディスク装置の磁気ヘッドと磁気
ディスク媒体の摩擦状況とはかけ離れた試験になる可能
性があること、（４）磁気ディスク媒体の試験回転数に
制限があること等の問題点があった。 上記の問題点の
根源は歪ゲージを用いた場合の変位量検出感度が低いこ
とにある。歪ゲージより高感度の変位量検出手段があれ
ば、板ばねのスチフネスを高めにでき、さらにこれは板
ばねの共振周波数を高めることになるので、上記（１）
〜（４）の問題点は解決する。しかし、もう１つの重大
な問題点は変位量検出手段のスペースである。従来型の
摩擦試験装置に歪ゲージが使用されてきたのは、複数台
の試験装置が１台のコントローラの制御で並列運転され
ることが多いため装置がコンパクトでなければならず、
板ばねのたわみ検出のためのセンサスペースが極めて限
られていることから、この条件に合致する変位センサは
低感度といえどもこれまで歪ゲージよりほかになかった
ことによる。

【０００５】検出感度の高い変位センサとしては、例え
ば、原子間力顕微鏡等に使用されている臨界角プリズム
方式、２分割フォトダイオード素子を用いた光てこ方式
などの変位センサがあり、これらの変位検出分解能は
０．１ｎｍと非常に高い。しかし、臨界角プリズム方式
はセンサ部の占める体積が大きいこと、２分割フォトダ
イオード素子を用いた光てこ方式はレバー比を上げるた
めに光源、受光素子間で距離をとる必要があることから
変位計測系全体として体積が大きく、摩擦試験装置に適
用することは極めて困難である。

【０００６】本発明の目的は、高感度でかつコンパクト
な変位センサと高スチフネスの摩擦力検出系を組み合わ
せることによって、上記（１）〜（４）の問題点を解決
し、実際の磁気ディスク装置と同等の条件で摩擦試験を
可能とする装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明の摩擦試験装置は、半導体レーザ素子と、半
導体レーザ素子の両出力端の一方に半導体レーザ素子の
出力光を検出するためのフォトダイオード素子と、他方
に球レンズとがそれぞれ同一の支持部材上に設置され、
さらにその支持部材にアクチュエータが設置され、かつ
磁気ヘッドの支持部材を高スチフネスの寸法かつ形状と
してその一部にレーザ光のための反射面が形成されてい
る変位計測機構が支持台上に固定されたＸＹＺ微動ステ
ージ上に搭載され、磁気ヘッドの支持部材に磁気へッド
が磁気ヘッドシンバルを介して固定され、磁気ヘッドの
上方にスピンドルを介してモータにより回転させられる
磁気ディスク媒体が固定され、モータ下部にはモータ駆
動回路により回転制御されるエンコーダが取付けられ、
半導体レーザ素子とフォトダイオード素子とアクチュエ
ータの各入出力線が変位検出回路に接続され、モータ駆
動回路と変位検出回路がインターフェースを介して制御
用のコンピュータに接続されていることを特徴とする。

【０００８】また、半導体レーザ素子より球レンズを介
して反射面にレーザ光を照射したときに帰還するレーザ
光により半導体レーザ素子が複合共振している状態にお
いて、摩擦力が作用したときの磁気ヘッド支持部材の変
位を半導体レーザ素子出力が一定になるようにアクチュ
エータを制御し、このアクチュエータ制御信号を磁気ヘ
ッド支持部材の変位に換算して磁気ヘッド支持部材のス
チフネスより支持部材に作用する力を算出することによ
って、磁気ディスク媒体と磁気ヘッド間の摩擦力を非接
触で計測することを最も主要な特徴としている。

【０００９】さらに、摩擦力が作用したときの磁気ヘッ
ド支持部材の変位を、アクチュエータの変位を一定に保
ったときの複合共振している半導体レーザ素子の出力変
化で検出し、磁気ヘッド支持部材のスチフネスより支持
部材に作用する力を算出することによって、磁気ディス
ク媒体と磁気ヘッド間の摩擦力を非接触で計測すること
も主要な特徴としている。

【００１０】これらの特徴は、従来の技術が磁気ディス
ク媒体と磁気ヘッド間の摩擦力計測系を歪ゲージと低ス
チフネスの磁気ヘッド支持部材で構成している点、およ
び摩擦力を接触方式で計測している点で異なっている。

【００１１】

【作用】半導体レーザより出射した光が外部反射面から
帰還すると、半導体レーザと外部反射面間で外部共振器
が形成され、外部反射面と半導体レーザの距離が変化す
ると半導体レーザの出力が変化する。なお、半導体レー
ザの出力は外部共振器側と反対側のレーザ出力端からフ
ォトダイオードで検出する。半導体レーザの出力は外部
反射面と半導体レーザの距離がレーザ発振周波数の整数
分の１を周期として変化する。この外部共振器中に球レ
ンズを挿入して球レンズの焦点位置前後に外部反射面を
置くと光結合効率が上昇し、外部反射面の位置変化によ
る半導体レーザの出力変化は大きくなる。特に、レーザ
出力変化が大きい場合は、出力は外部反射面の位置変化
に対して直角三角形状に変化する。さらに直角三角形状
に変化するレーザ出力の斜めのスロープの部分は出力が
外部反射面と半導体レーザの距離に対してリニアに変化
し、しかも距離に対する出力（フォトダイオード素子と
その増幅回路で検出した出力）は１ｎｍあたり約１５ｍ
Ｖと非常に高感度である。したがって、この距離と出力
がリニアに変化する部分を利用すれば直線性に優れた変
位センサとすることができる。具体的には、半導体レー
ザ、フォトダイオード、球レンズを同一支持部材上に設
置し、変位する物体上に外部反射面を形成して、これら
でレーザを複合共振状態にすれば、外部反射面を形成し
た物体が移動したときにのレーザ出力が物体の変位に相
当する。

【００１２】また、半導体レーザ、フォトダイオード、
球レンズの支持部材にアクチュエータを取り付け、外部
反射面を形成した物体が移動したときに複合共振状態の
レーザ出力が一定になるようにアクチュエータを制御す
れば、このアクチュエータ制御信号が物体の変位に相当
する。以上の２種の変位計測方法の実測分解能は約１ｎ
ｍに達し、歪ゲージの場合の約１００倍の分解能が得ら
れた。本発明は以上の変位計測方法を用いることによ
り、摩擦力を測定するための磁気ヘッド支持部材のスチ
フネスを歪ゲージを用いる場合の約１００倍高いものを
使用することを可能とし、同時に共振周波数を約１０倍
拡大することを可能とした。

【００１３】

【実施例】以下、本発明について図面に示す実施例を参
照して説明する。図１は本発明の実施例である摩擦試験
装置の主要部を示す図である。磁気ヘッド１は磁気ヘッ
ドジンバル２に固定されており、磁気ヘッドジンバル２
は磁気ヘッド支持部材３に固定されている。磁気ヘッド
支持部材３の磁気ヘッドジンバル２と反対の側には半導
体レーザ素子とフォトダイオード素子と球レンズ搭載用
の支持部材部４（個々の素子は図示せず）がＰＺＴアク
チュエータ５に固定され、ＰＺＴアクチュエータ５はセ
ンサ取り付け台６に固定されている。磁気ヘッド支持部
材３で半導体レーザ素子とフォトダイオード素子と球レ
ンズ搭載用支持部材４と対向する面には外部反射面７が
形成されている。磁気ヘッド支持部材３およびセンサ取
り付け台６はＸＹＺ微動ステージ８上に取り付けられて
おり、ＸＹＺ微動ステージ８は支持台２０上に固定され
ている。また、磁気ヘッド１の上方には磁気ディスク媒
体９が固定されており、磁気ディスク媒体９はスピンド
ル１０を介してモータ１１により回転させられる。モー
タ１１下部にはエンコーダ１２が取り付けられており、
モータ１１はエンコーダ１２の信号をもとにモータ駆動
回路１３によりその回転が制御されている。センサ取り
付け台６からは半導体レーザ素子とフォトダイオード素
子のＰＺＴアクチュエータ５のそれぞれの入出力部１
４、１５、１６が引出されており、これらは変位検出回
路１７に接続されている。変位検出回路１７およびモー
タ駆動回路１３はインタフェイス１８を介してパーソナ
ルコンピュータ１９に接続されており、パーソナルコン
ピュータ１９によりモータ駆動回路１３および変位検出
回路１７が制御される。 磁気ディスク媒体９が回転始
動時、回転時、回転停止時に磁気ヘッド１に作用する摩
擦力は磁気ヘッドジンバル２を介して磁気ヘッド支持部
材３に伝えられ、磁気ヘッド支持部材３は摩擦力の大き
さに応じて変位する。この変位は外部反射面７によって
複合共振している半導体レーザ素子の出力が一定になる
ように制御されるＰＺＴアクチュエータ５の制御信号も
しくは半導体レーザ素子の出力そのものとして検出さ
れ、磁気ヘッド支持部材３のスチフネスより、摩擦力が
測定される。

【００１４】次に変位計測系の構成について、図２を用
いて説明する。図２の（Ａ）は変位計測系の平面図、
（Ｂ）はその側面図を示す。半導体レーザ素子とフォト
ダイオード素子と球レンズ搭載用支持部材部４（個々の
素子は図示せず）はＰＺＴアクチュエータ５に固定さ
れ、ＰＺＴアクチュエータ５はセンサ取り付け台６に固
定される。また、磁気ヘッドジンバル２（図示せず）は
磁気ヘッドジンバル取り付け治具２１により、磁気ヘッ
ド支持部材３の先端側にある磁気ヘッドジンバル取り付
け金具２２に固定され、磁気ヘッドジンバル取り付け金
具２２の半導体レーザ素子側の側面に外部反射面７が形
成されている。センサ取り付け台６および磁気ヘッド支
持部材３は取り付けベース２３に固定される。さらに、
取り付けベース２３に固定されたセンサ取り付け台６お
よび磁気ヘッド支持部材３の全体にはカバー２４が取り
付けられ、カバー２４とともにベース２５に固定されて
いる。なお、磁気ヘッド支持部材３の側面には磁気ヘッ
ド支持部材３の残留振動を減衰させるための制振材２６
が取り付けられている。図２（Ａ）の平面図において、
磁気ヘッドジンバル２（図示せず）は、磁気ヘッド１
（図示せず）が紙面内で下向きに向かう方向で固定され
ている。磁気ヘッド１（図示せず）に摩擦力が作用する
と、磁気ヘッド支持部材３は第２図（Ａ）の平面図にお
いて、紙面内で上下に変位し、その変位は半導体レーザ
素子と球レンズ（個々の素子は図示せず）および外部反
射面７の間で複合共振している半導体レーザの出力を一
定に保つためのＰＺＴアクチュエータ５の制御信号もし
くは複合共振している半導体レーザ出力そのものによっ
て検出される。

【００１５】次にこれまで図示しなかった半導体レーザ
素子、フォトダイオード素子、球レンズの位置関係を変
位計測系のブロック構成とともに説明する。図３は変位
計測系のブロック構成ならびに半導体レーザ素子、フォ
トダイオード素子、球レンズ、外部反射面の位置関係を
示す図である。半導体レーザ素子２７、フォトダイオー
ド素子２８、球レンズ２９は支持部材４上で図３に示す
配置で取り付けられており、外部反射面７は球レンズ２
９のほぼ焦点近傍に位置する。なお、図３では外部反射
面７が固定されている磁気ヘッド支持部材３の記載は略
されている。半導体レーザ素子２７、フォトダイオード
素子２８、球レンズ２９の搭載部４はＰＺＴアクチュエ
ータ５に固定され、ＰＺＴアクチュエータ５はセンサ取
り付け台６（一部のみ図示）に固定される。半導体レー
ザ素子２７とフォトダイオード素子２８にはそれぞれ増
幅回路３０、３１が接続され、ＰＺＴアクチュエータ５
には駆動回路３２が接続される。これらの回路３０、３
１、３２には電源３３が接続され、半導体レーザ素子２
７の増幅回路３０とＰＺＴアクチュエータ５の駆動回路
３１には必要に応じて積分回路３４が接続され、これら
はＣＰＵ部および参照信号発生部３５により制御され
る。積分回路３４のｏｎ、ｏｆｆはスイッチ３６によっ
てなされる。

【００１６】図４は図３に示した変位計測系の動作タイ
ミングを説明する図である。リセット信号を入力すると
スイッチ３６がｏｆｆになって積分回路３４が切り離さ
れる。そこでＰＺＴアクチュエータ５の駆動回路３２か
ら掃引電圧が発せられると、複合共振状態にある半導体
レーザ素子２７はＰＺＴアクチュエータ５の変位に応じ
て直角三角形状の出力を発生する。なお、この出力はフ
ォトダイオード素子２８により検出する。次に、半導体
レーザ素子２７の最大出力と最小出力を検出したあとに
その出力が両者のほぼ中間となるところでＰＺＴアクチ
ュエータ５の変位を保持し、そこからスイッチ３６がｏ
ｎとなって積分回路３４が接続される。この状態で磁気
ヘッド支持部材３（図示せず）が変位すなわち外部反射
面７が変位するとＰＺＴアクチュエータ５の駆動回路３
１は複合共振状態にある半導体レーザ素子２７の出力を
一定に保持するようにＰＺＴアクチュエータ５に変位の
ための駆動信号を発生する。この信号は外部反射面７の
変位に対応するものであり、この信号により磁気ヘッド
支持部材３（図示せず）の変位が検出される。

【００１７】なお、積分回路３４が切り離したままＰＺ
Ｔアクチュエータ５の位置を一定に保持し、複合共振状
態にある半導体レーザ素子２７の直角三角形状の出力の
スロープの範囲のみであれば、外部反射面７の変位に追
随して半導体レーザ素子２７の出力は変化する。これに
より、変位検出範囲は制限を受けるが、半導体レーザ素
子２７の出力信号そのものにより磁気ヘッド支持部材３
（図示せず）の変位を検出することも可能である。

【００１８】以上で、本発明の摩擦試験装置の構成、発
明の特徴である変位計測系の構造、ブロック構成、動作
タイミングを説明した。本発明の特徴である変位計測系
は従来の歪ゲージよりも変位検出感度が約１００倍向上
している。このため、磁気ヘッド支持部材３のスチフネ
スを低く、しかし共振周波数は大きく低減させないよう
に設計すれば、これまで測定されたことがなかった磁気
ヘッド１の超低押圧力条件下の摩擦力も測定することが
可能である。図５は各種押圧力条件用の磁気ヘッド支持
部材３の構造および寸法を示す図である。図５（Ａ）、
（Ｂ）、（Ｃ）の磁気ヘッド支持部材は、スチフネスが
それぞれ１．２×１０⁶ Ｎ／ｍ、４×１０⁴ Ｎ／ｍ、２
×１０³ Ｎ／ｍ、押圧力がそれぞれ６０ｍＮ、２ｍＮ、
０．１ｍＮ、摩擦力検出の分解能が０．６ｍＮ、２０μ
Ｎ、１μＮ、最大応答周波数が５．５ｋＨｚ、２ｋＨ
ｚ、１．９ｋＨｚの場合に対応した構造および寸法であ
る。特に図５（Ａ）に示す磁気ヘッド支持部材は従来型
の摩擦試験装置で採用されている押圧条件に対応するも
のであり、スチフネスが２桁高くなっていることによ
り、最大応答周波数が１桁以上向上する。

【００１９】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明の変位計
測機構を有する摩擦試験装置は従来の装置に比べて摩擦
力検出感度の大幅向上、磁気ヘッド支持部材の高スチフ
ネス化を実現しており、本発明の目的であるところの
（１）摩擦力の検出感度の向上、（２）摩擦力検出の応
答性の向上、（３）磁気ヘッドの位置の変動および磁気
ヘッドの姿勢が乱れの防止、（４）磁気ディスク媒体の
試験回転数範囲の拡大が可能になり、実際の磁気ディス
ク装置と同等の条件で摩擦試験が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例である摩擦試験装置の主要部を
示す図である。

【図２】本発明の摩擦試験装置の変位計測系の構成を示
す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図を示す。

【図３】図２に示した変位計測系のブロック構成ならび
に半導体レーザ素子、フォトダイオード素子、球レン
ズ、外部反射面の位置関係を示す図である。

【図４】図３に示した変位計測系の動作タイミングを説
明する図である。

【図５】各種押圧力条件用の磁気ヘッド支持部材の実施
例について、その構造および寸法を示す図である。

【図６】従来型の摩擦試験装置の摩擦力検出部の構造を
説明する図であり、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は平面図を
示す。

【符号の説明】

１・・・磁気ヘッド ２・・・磁気ヘッドジンバル ３・・・磁気ヘッド支持部材 ４・・・半導体レーザ素子とフォトダイオード素子と球
レンズ搭載用支持部材 ５・・・ＰＺＴアクチュエータ ６・・・センサ取り付け台 ７・・・外部反射面 ８・・・ＸＹＺ微動ステージ ９・・・磁気ディスク媒体 １０・・・スピンドル １１・・・モータ １２・・・エンコーダ １３・・・モータ駆動回路 １４・・・半導体レーザ素子の入出力部 １５・・・フォトダイオード素子の入出力部 １６・・・ＰＺＴアクチュエータ５の入出力部 １７・・・変位検出回路 １８・・・インタフェイス １９・・・パーソナルコンピュータ ２０・・・支持台 ２１・・・磁気ヘッドジンバル取り付け治具 ２２・・・磁気ヘッドジンバル取り付け金具 ２３・・・取り付けベース ２４・・・カバー ２５・・・ベース ２６・・・制振材 ２７・・・半導体レーザ素子 ２８・・・フォトダイオード素子 ２９・・・球レンズ ３０・・・半導体レーザ素子２７の増幅回路 ３１・・・フォトダイオード素子の増幅回路 ３２・・・ＰＺＴアクチュエータ５の駆動回路 ３３・・・電源 ３４・・・積分回路 ３５・・・ＣＰＵ部および参照信号発生部 ３６・・・スイッチ ４０・・・磁気ヘッド ４１・・・磁気ヘッドジンバル ４２・・・磁気ヘッドジンバル取り付け金具 ４３・・・板ばね ４４・・・歪ゲージ ４５・・・コード ４６・・・レベル調整機構 ４７・・・板ばね支持金具 ４８・・・板ばね取り付け金具 ４９・・・リミッタ用セットねじ ５０・・・フレーム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原 臣司 東京都千代田区内幸町１丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気ディスク媒体の面上に磁気ヘッドを
   押圧し、前記磁気ディスク媒体の回転始動時、回転時、
   回転停止時の前記磁気ディスク媒体と前記磁気ヘッド間
   に発生する摩擦力を、磁気ヘッドの支持部材にかかる力
   を検出することによって計測する摩擦試験装置におい
   て、半導体レーザ素子と、該半導体レーザ素子の両出力
   端の一方に該半導体レーザ素子の出力光を検出するため
   のフォトダイオード素子と、前記半導体レーザ素子の他
   端側に球レンズが同一の支持部材上に設置され、該支持
   部材にアクチュエータが備えられ、該半導体レーザ素子
   より該球レンズを介して該半導体レーザ素子の他端側の
   前記磁気ヘッドの支持部材上に外部反射面を設けた変位
   計測機構が支持台上に固定されたＸＹＺ微動ステージ上
   に搭載され、磁気ヘッドの支持部材に磁気へッドが磁気
   ヘッドシンバルを介して固定され、前記磁気ヘッドの上
   方にスピンドルを介してモータにより回転させられる磁
   気ディスク媒体が固定され、モータ下部にはモータ駆動
   回路により回転制御されるエンコーダが取付けられ、半
   導体レーザ素子とフォトダイオード素子とアクチュエー
   タの各入出力線が変位検出回路に接続され、前記モータ
   駆動回路と前記変位検出回路がインターフェースを介し
   て制御用のコンピュータに接続されていることを特徴と
   する摩擦試験装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の摩擦試験装置において、
   レーザ光を照射したときに帰還するレーザ光により前
   記半導体レーザ素子を複合共振させ、摩擦力が作用する
   ときの前記磁気ヘッドの支持部材の変位を前記半導体レ
   ーザ素子出力が一定になるように前記アクチュエータを
   制御し、該アクチュエータを制御する信号を前記磁気ヘ
   ッド支持部材の変位に換算し、前記支持部材のスチフネ
   スより前記支持部材に作用する力を算出することによっ
   て、前記磁気ディスク媒体と前記磁気ヘッド間の摩擦力
   を計測することを特徴とする摩擦試験方法。
3. 【請求項３】 請求項１記載の摩擦試験装置において、
   前記磁気ディスク媒体と前記磁気ヘッド間に摩擦力が作
   用するときの前記磁気ヘッドの支持部材の変位を、前記
   アクチュエータの変位を一定に保ったときの複合共振し
   ている前記半導体レーザ素子の出力変化で検出し、前記
   支持部材のスチフネスより前記支持部材に作用する力を
   算出することによって、前記磁気ディスク媒体と前記磁
   気ヘッド間の摩擦力を計測することを特徴とする摩擦試
   験方法。