JP2006263913A - 被膜付き切削工具インサートおよびその製造方法 - Google Patents
被膜付き切削工具インサートおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006263913A JP2006263913A JP2006081338A JP2006081338A JP2006263913A JP 2006263913 A JP2006263913 A JP 2006263913A JP 2006081338 A JP2006081338 A JP 2006081338A JP 2006081338 A JP2006081338 A JP 2006081338A JP 2006263913 A JP2006263913 A JP 2006263913A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- cutting tool
- tool insert
- metal
- multilayer structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
- B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/40—Oxides
- C23C16/403—Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5025—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials with ceramic materials
- C04B41/5027—Oxide ceramics in general; Specific oxide ceramics not covered by C04B41/5029 - C04B41/5051
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
- C04B41/87—Ceramics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
- C23C14/081—Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
- C23C14/083—Oxides of refractory metals or yttrium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/40—Oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/40—Oxides
- C23C16/405—Oxides of refractory metals or yttrium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
- C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
- Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
- Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
- Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
Abstract
【解決手段】すくい面と少なくとも1つの逃げ面とが交差して刃先を構成しており、超硬合金、チタン基炭窒化物またはセラミクスから成り、金属酸化物を含む2種類のMX層とNX層とが交互に積層した多層構造の硬質被膜で被覆されており、金属元素MおよびNはアルミニウム、ジルコニウム、チタン、ハフニウム、クロムのうちから選択された切削工具インサートにおいて、上記多層構造の繰り返し周期が20nm以上で200nm未満、望ましくは190nm未満、最も望ましくは175nm未満であることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
◇ 拡散タイプのクレータ摩耗に対する耐性
◇ 耐剥離性を高め、フライス加工時の櫛の歯状クラック量を低減
◇ 色で品位を区別できるように切削工具インサートに色を付与
ここで、I(hkl)=(hkl)反射の強度、
I0(hkl)=PDFカードNo.10−173による標準強度、
n=計算に用いた反射次数
用いた(hkl)反射:(012),(104),(110),(113),(024),(116),(124),(030)
他の実施形態においては、αAl2O3は(104)方位の集合組織を持っており、上記定義による集合組織係数TC(hkl)が1.5より大、望ましくは2より大である。
基材組成が7.5wt%Co、5.3wt%立方晶炭化物(TiC+TaC+NbC)および残部WCで、厚さ25μmの立方晶炭化物欠乏表面層がある超硬合金切削工具インサートCNMG120408−PMに、CVDにより以下の順序で被覆を行なった。0.7μmTiN、5.0μmTi(C,N)、6.5μm周期性(αAl2O3+ZrO2)多層被膜(N=43周期)、ここで各周期は厚さ150nmであり、αAl2O3層の厚さは85nm、ZrO2層の厚さは65nmであった。より詳細には、(αAl2O3+ZrO2)×N周期の多層被膜の形成条件は表1のとおりである。
スペクトル分解能 : <5nm
光源 : D65
入射角度(垂直基準): 5〜8°
検出 : 半球
表示 : 全反射率および拡散反射率
CIE表色系の下記座標が得られた。
被膜を施したインサートに後処理としてAl2O3粒を用いて2.2barでブラストをかけた。
例1と同様のサンプル処理に加えて更に最表層に0.7μmのTiN層を被覆した。被膜を施したインサートに後処理としてAl2O3粒を用いて2.2barでブラストをかけることにより、刃先ラインとすくい面全体のTiN層を除去し、青色の周期性(αAl2O3+ZrO2)多層被膜を露出させた。
例1と同様のスタイルおよび組成の超硬合金切削工具インサートに、CVD法により下記の順序で被膜を施した。0.7μmTiN、5.0μmTi(C,N)、6.0μm周期性(αAl2O3+ZrO2)多層被膜(1周期=30nm=20nmAl2O3層+10nmZrO2層で200周期)。
例1と同様のスタイルおよび組成の超硬合金切削工具インサートに、CVD法により下記の順序で被膜を施した。0.7μmTiN、5.0μmTi(C,N)、6.0μmαAl2O3。このαAl2O3層はEP−A−603144に従って細粒のαAl2O3が生成する方法で堆積させた。被膜を施したインサートに後処理としてAl2O3粒を用いて2.2barでブラストをかけた。
例1、2、4のインサートについて旋削加工における塑性変形を評価した。
ワーク材質 :焼入れ焼き戻しした低合金鋼(SS2541)
切削速度 :100〜180m/min
送り速度 :0.70mm/rev
切り込み :2.0mm
インサートスタイル:CNMG120408−PM
注 :乾式切削
結果を表3に示す。
例1、2、4のインサートについて旋削加工における塑性変形を評価した。
ワーク材質 :焼入れ焼き戻しした低合金鋼(SS2541)
切削速度 :200m/min
送り速度 :0.35mm/rev
切り込み :2.0mm
インサートスタイル:CNMG120408−PM
注 :乾式切削
この試験の工具寿命判定基準は刃先の最大逃げ面摩耗0.5mmとした。
例3、4のインサートについて旋削加工におけるすくい面の剥離を評価した。
ワーク材質 :ノジュラー鋳鉄(SS0717)
切削速度 :160m/min
送り速度 :0.10mm/rev
切り込み :2.0mm
インサートスタイル:CNMG120408−PM
注 :乾式切削
チップがインサートに接触している面積全体に対する剥離面積のパーセントを求めた。
基材組成が12.6wt%Co、1.57wt%立方晶炭化物(TaC+NbC)および残部WCである超硬合金切削工具インサートR390−11T308M−PM(P-Milling)に、CVDにより以下の順序で被覆を行なった。0.7μmTiN、2.8μmTi(C,N)、3.2μm周期性(αAl2O3+ZrO2)の多層被膜(N=24周期)、ここで各周期は厚さ128nmであり、TiN層の厚さは0.7μmであった。αAl2O3層とZrO2層の堆積は例1と同様に行なった。
例8と同様のサンプル処理を行った。ただし3.2μmの周期性(αAl2O3+ZrO2)多層被膜に代えて、3.2μmのαAl2O3を堆積させた。
例8,9のインサートについてフライス加工における櫛の歯状クラックの発生を評価した。
ワーク材質 :焼入れ焼き戻しした低合金鋼(SS2244)
切削速度 :200m/min
1刃当り送り速度 :0.21mm
軸方向切り込み :7.0mm
切削直径 :80mm
インサートスタイル:R390−11T308M−PM
注 :湿式切削
結果を表6に示す。
基材組成が7.5wt%Co、5.3wt%立方晶炭化物(TiC+TaC+NbC)および残部WCで、厚さ25μmの立方晶炭化物欠乏表面層がある超硬合金切削工具インサートCNMG120408−PMに、CVDにより以下の順序で被覆を行なった。0.7μmTiN、5.0μmTi(C,N)、6.0μm周期性(αAl2O3+Ti2O3)多層被膜(N=50周期)、ここで各周期は厚さ120nmであり、αAl2O3層の厚さは70nm、Ti2O3層の厚さは50nmであった。より詳細には、(αAl2O3+Ti2O3)×N周期の多層被膜の形成条件は表7のとおりである。
スペクトル分解能 : <5nm
光源 : D65
入射角度(垂直基準): 5〜8°
検出 : 半球
表示 : 全反射率および拡散反射率
CIE表色系の下記座標が得られた。
Claims (13)
- 切削工具インサートであって、すくい面と少なくとも1つの逃げ面とが交差して刃先を構成しており、超硬合金、チタン基炭窒化物またはセラミクスから成り、金属酸化物を含む2種類のMX層とNX層とが交互に積層した多層構造の硬質被膜で被覆されており、金属元素MおよびNはアルミニウム、ジルコニウム、チタン、ハフニウム、クロムのうちから選択された切削工具インサートにおいて、上記多層構造の繰り返し周期が20nm以上で200nm未満、望ましくは190nm未満、最も望ましくは175nm未満であることを特徴とする切削工具インサート。
- 請求項1において、上記MX層およびNX層の厚さが10nm以上100nm未満、望ましくは10nm〜90nmであり、上記多層構造の合計厚さが0.1〜20μm、望ましくは0.1〜12μmであることを特徴とする切削工具インサート。
- 請求項1または2において、上記MX層はアルミニウム酸化物であり、上記NX層は単斜晶が10vol%未満で実質的に正方晶のジルコニウム酸化物であることを特徴とする切削工具インサート。
- 請求項1または2において、上記MX層はアルミニウム酸化物であり、上記NX層は単斜晶が約40〜60vol%である、単斜晶と正方晶との混合した構造であることを特徴とする切削工具インサート。
- 請求項1または2において、上記MX層はアルミニウム酸化物であり、上記NX層はチタン酸化物であることを特徴とする切削工具インサート。
- 請求項1から5までのいずれか1項において、上記多層構造は厚さ0.5〜40μmのAl2O3層上に積層されていることを特徴とする切削工具インサート。
- 請求項1から6までのいずれか1項において、上記多層構造は、CIE標準色チャートの色座標でx=0.2±0.1、y=0.2±0.1で規定される青色であることを特徴とする切削工具インサート。
- 請求項1から7までのいずれか1項において、逃げ面側の最外層が、
TiCxNyOz、ただしx+y+z=1、x≧0、y≧0、z≧0、または、
ZrCxNy、ただしx+y=1、x≧0、y≧0であるか、望ましくは、
TiN、ZrN、TiCxNy〔ただしx+y=1、x>0、y>0〕、TiCの少なくとも1種であり、かつ
上記多層構造は上記すくい面側の最外層であることを特徴とする切削工具インサート。 - 切削工具インサートの製造方法であって、
すくい面と少なくとも1つの逃げ面とが交差して刃先を構成しており、超硬合金、チタン基炭窒化物またはセラミクスから成る基材に、金属酸化物を含む2種類のMX層とNX層とが交互に積層した多層構造を持ち、金属元素MおよびNがアルミニウム、ジルコニウム、チタン、ハフニウム、クロムのうちから選択され、上記多層構造の繰り返し周期が約20nm以上で約200nm未満である多層構造硬質被膜を、CVD法により被覆する際に、被覆対象である上記基材を約950℃〜約1050℃の温度に保持し、該基材を1種以上の金属ハロゲン化物と加水分解剤および/または酸化剤とを含む水素キャリアガスと接触させ、上記金属酸化物の核生成以前のCVD反応雰囲気の酸化ポテンシャルを水蒸気およびその他の酸化種の濃度が約5ppm未満である低レベルに維持することを特徴とする切削工具インサートの製造方法。 - 請求項9において、被覆の繰り返し周期の最初は、一方の金属酸化物の核生成を行うために、先ずHClおよびCO2をArおよび/またはH2の雰囲気の反応炉に供給し、次いで上記金属のハロゲン化物を供給し、該金属ハロゲン化物の供給を停止して上記反応炉内の金属ハロゲン化物を無くする、という手順で反応ガスの供給を行い、次に該手順を他方の金属酸化物について行うことにより多層構造の1周期分を完成する際に、上記2種類の金属酸化物の堆積の切り替え時に、対応する2種類の金属ハロゲン化物の混合を起こさないことを特徴とする切削工具インサートの製造方法。
- 請求項10において、上記2種類の金属ハロゲン化物としてAlCl3とZrCl4を用いて、αAl2O3層とZrO2層とを交互に堆積させ、該ZrO2は正方晶と単斜晶との混合した構造であることを特徴とする切削工具インサートの製造方法。
- 請求項9において、上記被覆の繰り返し周期全体を通して上記反応炉内に雰囲気を構成するArおよび/またはH2と反応ガスであるHClおよびCO2の他に硫黄触媒が存在しており、該反応炉に上記2種類の金属ハロゲン化物を交互に添加することにより、対応する金属酸化物層を核生成および成長させ、少なくとも上記2種類の金属酸化物の堆積の切り替え時には、対応する2種類の金属ハロゲン化物の混合を起こすことを特徴とする切削工具インサートの製造方法。
- 請求項12において、上記2種類の金属ハロゲン化物としてAlCl3とZrCl4を用いて、αAl2O3層とZrO2層とを交互に堆積させ、該ZrO2は実質的に正方晶であることを特徴とする切削工具インサートの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE0500648-1 | 2005-03-23 | ||
SE0500648A SE528891C2 (sv) | 2005-03-23 | 2005-03-23 | Skär belagt med ett multiskikt av metaloxid |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006263913A true JP2006263913A (ja) | 2006-10-05 |
JP2006263913A5 JP2006263913A5 (ja) | 2009-05-07 |
JP5144021B2 JP5144021B2 (ja) | 2013-02-13 |
Family
ID=36143758
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006081338A Expired - Fee Related JP5144021B2 (ja) | 2005-03-23 | 2006-03-23 | 被膜付き切削工具インサートおよびその製造方法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7597951B2 (ja) |
EP (1) | EP1705263B1 (ja) |
JP (1) | JP5144021B2 (ja) |
KR (1) | KR100755771B1 (ja) |
CN (1) | CN100591444C (ja) |
AT (1) | ATE451486T1 (ja) |
DE (1) | DE602006010928D1 (ja) |
IL (1) | IL174389A (ja) |
SE (1) | SE528891C2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007283478A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-11-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 表面被覆切削工具 |
JP2010089221A (ja) * | 2008-10-09 | 2010-04-22 | Mitsubishi Materials Corp | 表面被覆切削工具 |
JP2011521796A (ja) * | 2008-05-31 | 2011-07-28 | バルター アクチェンゲゼルシャフト | 金属酸化物コーティングを有する工具 |
JP2014047381A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | セラミックス被膜 |
JP2015150653A (ja) * | 2014-02-14 | 2015-08-24 | 新日鐵住金株式会社 | 超硬工具 |
WO2019065678A1 (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | 三菱マテリアル株式会社 | 耐溶着チッピング性にすぐれた表面被覆切削工具 |
JP2021529098A (ja) * | 2018-06-28 | 2021-10-28 | エービー サンドビック コロマント | 被覆切削工具 |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4427271B2 (ja) * | 2003-04-30 | 2010-03-03 | 株式会社神戸製鋼所 | アルミナ保護膜およびその製造方法 |
SE528929C2 (sv) | 2005-04-18 | 2007-03-20 | Sandvik Intellectual Property | Skär belagt med ett skiktsystem och metod att framställa detta |
DE102006046917C5 (de) * | 2006-10-04 | 2014-03-20 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Kolbenring für Verbrennungskraftmaschinen |
DE102006046915C5 (de) * | 2006-10-04 | 2015-09-03 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Kolbenring für Verbrennungskraftmaschinen |
US8119227B2 (en) * | 2006-10-18 | 2012-02-21 | Sandvik Intellectual Property Ab | Coated cutting tool |
EP1918422B1 (en) * | 2006-10-18 | 2014-03-12 | Sandvik Intellectual Property AB | Coated cutting tool |
SE0602814L (sv) * | 2006-12-27 | 2008-06-28 | Sandvik Intellectual Property | Skärverktyg med multiskiktbeläggning |
DE102007030735A1 (de) * | 2007-07-02 | 2009-01-08 | Walter Ag | Werkzeug mit mehrlagiger Metalloxidbeschichtung |
US7947363B2 (en) | 2007-12-14 | 2011-05-24 | Kennametal Inc. | Coated article with nanolayered coating scheme |
CN101462274B (zh) * | 2007-12-17 | 2012-10-10 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 剪切机 |
EP2072636B1 (en) * | 2007-12-21 | 2016-08-31 | Sandvik Intellectual Property AB | Method of making a coated cutting tool |
JP2010214522A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Futaba Corp | 切削用工具 |
US20130216777A1 (en) * | 2012-02-21 | 2013-08-22 | Wenping Jiang | Nanostructured Multi-Layer Coating on Carbides |
CN104136156B (zh) * | 2012-02-27 | 2016-07-06 | 住友电工硬质合金株式会社 | 表面被覆切削工具及其制造方法 |
JP5878086B2 (ja) * | 2012-06-21 | 2016-03-08 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具の製造方法 |
US9017809B2 (en) | 2013-01-25 | 2015-04-28 | Kennametal Inc. | Coatings for cutting tools |
US9138864B2 (en) | 2013-01-25 | 2015-09-22 | Kennametal Inc. | Green colored refractory coatings for cutting tools |
US9103036B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-08-11 | Kennametal Inc. | Hard coatings comprising cubic phase forming compositions |
US9371580B2 (en) | 2013-03-21 | 2016-06-21 | Kennametal Inc. | Coated body wherein the coating scheme includes a coating layer of TiAl2O3 and method of making the same |
WO2014153440A1 (en) * | 2013-03-21 | 2014-09-25 | Kennametal Inc. | Coatings for cutting tools |
WO2014153469A1 (en) | 2013-03-21 | 2014-09-25 | Kennametal Inc. | Coatings for cutting tools |
US9168664B2 (en) | 2013-08-16 | 2015-10-27 | Kennametal Inc. | Low stress hard coatings and applications thereof |
US9896767B2 (en) | 2013-08-16 | 2018-02-20 | Kennametal Inc | Low stress hard coatings and applications thereof |
CN104711541A (zh) * | 2013-12-11 | 2015-06-17 | 北京有色金属研究总院 | 一种氧化锆和氧化铝梯度复合涂层及其制备方法 |
US9719175B2 (en) | 2014-09-30 | 2017-08-01 | Kennametal Inc. | Multilayer structured coatings for cutting tools |
US9650714B2 (en) | 2014-12-08 | 2017-05-16 | Kennametal Inc. | Nanocomposite refractory coatings and applications thereof |
US9650712B2 (en) | 2014-12-08 | 2017-05-16 | Kennametal Inc. | Inter-anchored multilayer refractory coatings |
EP3034652A1 (en) | 2014-12-19 | 2016-06-22 | Sandvik Intellectual Property AB | CVD coated cutting tool |
US10100405B2 (en) | 2015-04-20 | 2018-10-16 | Kennametal Inc. | CVD coated cutting insert and method of making the same |
CN109072409B (zh) * | 2016-02-19 | 2020-09-04 | 瓦尔特公开股份有限公司 | 切削刀具 |
KR102638297B1 (ko) | 2016-09-23 | 2024-02-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치의 제조 방법 및 제조 장치 |
EP3542935B1 (en) * | 2016-11-17 | 2023-08-09 | Tungaloy Corporation | Coated cutting tool |
US10409632B2 (en) | 2017-03-31 | 2019-09-10 | The Boeing Company | Emulation of hardware components based on interrupt design |
DE112018003209T5 (de) * | 2017-06-21 | 2020-03-19 | Kyocera Corporation | Beschichtetes Werkzeug, Schneidwerkzeug und Herstellungsverfahren eines maschinell bearbeiteten Produkts |
US10705933B2 (en) | 2017-07-18 | 2020-07-07 | The Boeing Company | System integration using virtualization |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61270374A (ja) * | 1985-05-27 | 1986-11-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 被覆超硬合金 |
JPS63192870A (ja) * | 1987-01-20 | 1988-08-10 | バレナイト・インコーポレイテッド | 酸化物コーティングを有する耐摩耗性物品及び酸化物コーティングを付着する方法 |
JPH0852603A (ja) * | 1994-07-20 | 1996-02-27 | Sandvik Ab | 切削工具インサートとその製造方法 |
JPH11152570A (ja) * | 1997-11-19 | 1999-06-08 | Mitsubishi Materials Corp | 耐チッピング性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2917348C2 (de) | 1979-04-28 | 1984-07-12 | Fried. Krupp Gmbh, 4300 Essen | Verschleißfester Verbundkörper |
JPS60238481A (ja) * | 1984-05-14 | 1985-11-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多重層被覆超硬合金 |
FI854000L (fi) | 1985-10-25 | 1987-04-16 | Vsesojuzny Nauchno-Issledovatelsky Instrumentalny Institut | Skaerverktyg med en slitbestaendig belaeggning. |
US4844951A (en) * | 1987-01-20 | 1989-07-04 | Gte Laboratories Incorporated | Method for depositing ultrathin laminated oxide coatings |
SE501527C2 (sv) | 1992-12-18 | 1995-03-06 | Sandvik Ab | Sätt och alster vid beläggning av ett skärande verktyg med ett aluminiumoxidskikt |
CA2149567C (en) | 1994-05-31 | 2000-12-05 | William C. Russell | Coated cutting tool and method of making same |
DE69527236T2 (de) | 1994-09-16 | 2003-03-20 | Sumitomo Electric Industries | Mehrschichtfilm aus ultrafeinen Partikeln und harter Verbundwerkstoff für Werkzeuge, die diesen Film enthalten |
DE69802035T2 (de) * | 1997-05-12 | 2002-03-21 | Mitsubishi Materials Corp | Beschichtetes Schneidwerkzeug |
JP4185172B2 (ja) * | 1997-06-19 | 2008-11-26 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 被覆硬質工具 |
US20010016273A1 (en) * | 1998-05-08 | 2001-08-23 | Krishnan Narasimhan | Multilayer cvd coated article and process for producing same |
-
2005
- 2005-03-23 SE SE0500648A patent/SE528891C2/sv not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-03-17 EP EP06005487A patent/EP1705263B1/en active Active
- 2006-03-17 AT AT06005487T patent/ATE451486T1/de active
- 2006-03-17 DE DE602006010928T patent/DE602006010928D1/de active Active
- 2006-03-19 IL IL174389A patent/IL174389A/en not_active IP Right Cessation
- 2006-03-20 US US11/378,614 patent/US7597951B2/en active Active
- 2006-03-23 JP JP2006081338A patent/JP5144021B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-03-23 CN CN200610071762A patent/CN100591444C/zh active Active
- 2006-03-23 KR KR1020060026495A patent/KR100755771B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61270374A (ja) * | 1985-05-27 | 1986-11-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 被覆超硬合金 |
JPS63192870A (ja) * | 1987-01-20 | 1988-08-10 | バレナイト・インコーポレイテッド | 酸化物コーティングを有する耐摩耗性物品及び酸化物コーティングを付着する方法 |
JPH0852603A (ja) * | 1994-07-20 | 1996-02-27 | Sandvik Ab | 切削工具インサートとその製造方法 |
JPH11152570A (ja) * | 1997-11-19 | 1999-06-08 | Mitsubishi Materials Corp | 耐チッピング性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007283478A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-11-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 表面被覆切削工具 |
JP2011521796A (ja) * | 2008-05-31 | 2011-07-28 | バルター アクチェンゲゼルシャフト | 金属酸化物コーティングを有する工具 |
JP2010089221A (ja) * | 2008-10-09 | 2010-04-22 | Mitsubishi Materials Corp | 表面被覆切削工具 |
JP2014047381A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | セラミックス被膜 |
JP2015150653A (ja) * | 2014-02-14 | 2015-08-24 | 新日鐵住金株式会社 | 超硬工具 |
WO2019065678A1 (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | 三菱マテリアル株式会社 | 耐溶着チッピング性にすぐれた表面被覆切削工具 |
JP2021529098A (ja) * | 2018-06-28 | 2021-10-28 | エービー サンドビック コロマント | 被覆切削工具 |
JP7407747B2 (ja) | 2018-06-28 | 2024-01-04 | エービー サンドビック コロマント | 被覆切削工具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN100591444C (zh) | 2010-02-24 |
IL174389A (en) | 2010-11-30 |
EP1705263A1 (en) | 2006-09-27 |
US7597951B2 (en) | 2009-10-06 |
SE0500648L (sv) | 2006-09-24 |
IL174389A0 (en) | 2006-08-01 |
CN1836811A (zh) | 2006-09-27 |
JP5144021B2 (ja) | 2013-02-13 |
KR100755771B1 (ko) | 2007-09-05 |
SE528891C2 (sv) | 2007-03-06 |
DE602006010928D1 (de) | 2010-01-21 |
ATE451486T1 (de) | 2009-12-15 |
EP1705263B1 (en) | 2009-12-09 |
US20060222894A1 (en) | 2006-10-05 |
KR20060103177A (ko) | 2006-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5144021B2 (ja) | 被膜付き切削工具インサートおよびその製造方法 | |
JP5363445B2 (ja) | 切削工具 | |
JP4824173B2 (ja) | Pvd被膜切削工具およびその製造方法 | |
JP5715570B2 (ja) | 被覆工具 | |
WO2006011396A1 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JPH08158052A (ja) | 被覆硬質合金 | |
JP2006192543A (ja) | 表面被覆切削工具およびその製造方法 | |
KR20100126356A (ko) | 산화물 코팅된 절삭 인서트 | |
KR20100126357A (ko) | 산화물 코팅된 절삭 인서트 | |
CN111455385B (zh) | 被覆切削工具 | |
JP2005271133A (ja) | 被覆切削工具 | |
JP2004074324A (ja) | 酸化アルミニウム被覆工具 | |
JP2006192531A (ja) | 表面被覆切削工具およびその製造方法 | |
JP4973880B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP2005262389A (ja) | チタン合金加工用表面被覆切削工具 | |
JP2011068960A (ja) | 表面被覆部材 | |
JP2007196364A (ja) | 表面被覆切削工具およびその製造方法 | |
JP2009285807A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JPH11229143A (ja) | 耐欠損性のすぐれた表面被覆超硬合金製エンドミル | |
WO2021250840A1 (ja) | 切削工具 | |
JP5286619B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP5252276B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
WO2021250842A1 (ja) | 切削工具 | |
WO2021250841A1 (ja) | 切削工具 | |
JP2010137315A (ja) | 表面被覆切削工具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090319 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090319 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111026 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111101 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120123 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120306 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120605 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120608 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120829 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121023 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121122 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151130 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5144021 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |