JP2006262473A - 音響共振器および電子回路の垂直方向のモノリシック集積 - Google Patents
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Abstract
【課題】音響共振器の形成プロセスと電子回路の形成プロセスとが十分に分離されている、良好な性能および感度を有しかつ安価に製造可能なモノリシック集積デバイスを提供する。
【解決手段】音響共振器および電子回路を基板上に垂直方向に配置し、さらに音響アイソレータおよびアイソレーション構造を音響共振器と電子回路との間に設ける。アイソレーション構造によって、音響共振器等の作製で生じる不都合な影響から電子回路が保護される。
【選択図】図3
【解決手段】音響共振器および電子回路を基板上に垂直方向に配置し、さらに音響アイソレータおよびアイソレーション構造を音響共振器と電子回路との間に設ける。アイソレーション構造によって、音響共振器等の作製で生じる不都合な影響から電子回路が保護される。
【選択図】図3
Description
本発明は、音響共振器および電子回路の集積に関する。
きわめて様々な音響共振器デバイスが開発されている。公知のバルク音響波(BAW)共振器は、2つの電極間に設けられた1つ以上の圧電層を備えている。例えば、薄膜バルク音響波共振器(FBAR)は通常、2つの電極間に単一の圧電層を備えている。一方、積層型薄膜バルク音響波共振器(SBAR)は通常、2つの圧電層を備えており、この圧電層は、上面電極層と底面電極層との間に設けられていて、接地電極として通常用いられている中間電極によって互いに分離されている。音響共振器デバイスには、複数の音響共振器デバイスを備えているものもあり、その場合、デバイスは、1つ以上のアイソレーション層によって互いに分離されている。
BAW共振器は、圧電層の厚みによって、また他の層で使用される材料の厚みによって予め規定される共振周波数を有している。また、BAW共振器は通常、アイソレーション構造、例えばBAW共振器を支持する膜の下に形成されている空洞によって、または音響インピーダンスの高い材料と低い材料とが交互に配置されて形成されかつデバイスの目標共振周波数に相当する波長の約4分の1の厚みをそれぞれが有する層の積層体からなる音響ミラーによって、支持基板から音響的に分離されている。音響ミラー上に設けられたBAW共振器は、SMR(solidly mounted resonator)と呼ばれることが多い。
BAW共振器およびこのBAW共振器を感知するまたは駆動するために使用される電子回路は通常、接続基板、例えばプリント回路基板によって相互接続されている別個の構成要素として形成される。しかし、1つの提案されている技術では、薄膜圧電共振器および電子回路を、基板の表面にわたって側方に集積している。一般に、このような異なる構成要素を集積するいかなる技術においても、これらの構成要素の不適合なプロセスからのアイソレーションもしくは分離(例えば、熱のアイソレーションおよび汚染物質のアイソレーション)を十分に考慮しなくてはならない。しかし、薄膜圧電共振器および電子回路を側方に集積する技術の提案においては、BAW共振器を製造するプロセスと、電子回路を製造するプロセスとをいかに分離するかについて開示されていない。また、側方の集積では、より大きな寸法のダイを必要とすることがあり、これによってデバイスのコストが上昇しうる。
形成プロセスに関連して構成要素が互いに十分に分離されている、良好な性能および感度を有しかつ安価に製造可能なモノリシック集積デバイスを提供する。
一態様では、本発明は、基板と、基板によって支持されている電子回路と、電子回路上にわたって設けられている音響アイソレータと、音響アイソレータ上に設けられている音響共振器とを備えているモノリシック集積デバイスを特徴としている。
別の態様では、本発明は、モノリシック集積デバイスを製造する方法を特徴としている。この方法によれば、電子回路を基板上に形成し、音響アイソレータを電子回路上にわたって形成し、音響共振器を音響アイソレータ上に形成する。
本発明の別の特徴および利点は、図面および特許請求の範囲を参照すると共に以下の説明より明らかになるであろう。
以下の記述では、同様の構成要素に対しては同じ参照符号を用いる。さらに、図面は、例示的な実施態様の主な特徴を概略的に図示することを意図したものである。図面は、実際の態様の細かい特徴や描写されている構成要素の相対的な寸法を表現しておらず、正しい尺度で描かれてもいない。
以下に詳説する実施態様は、音響共振器を電子回路と共に単一のモノリシックデバイス内に垂直方向に組み込んだものであり、音響共振器および電子回路が別個の構成要素として実装されているデバイスと比較して、顕著な利点を提供する。これらの実施態様においては、音響共振器と電子回路との間を信号が伝搬しなくてはならない距離は著しく短く、接続部の数は、非集積のデバイスと比較して著しく少ない。したがって、これらの実施態様の性能および感度を著しく高くすることができる。さらに、これらの実施態様は、非集積のデバイスよりも著しく小さなモノリシックデバイスによって実施することができ、より高い製造信頼性およびより低い製造コストを提供することも特徴としている。さらに、これらの実施態様によって達成可能な垂直方向の集積によって、基板の所定の面積内に作製することのできる音響共振器の構成要素および電子回路の構成要素の数が、音響共振器を電子回路と共に側方に集積しているデバイスと比較して増大する。
I.概要
図1は、基板156上に電子回路154を垂直方向に組み込んでいる音響共振器152を含むモノリシックデバイス150の一態様を示す。音響共振器152は、音響アイソレータ158上に形成されている。音響アイソレータ158は、例えば、共振器支持構造の空洞上に、または音響インピーダンスの高い材料と低い材料とが交互に設けられていてかつ音響共振器152の目標共振周波数に相当する波長の約4分の1の厚みをそれぞれ有している層の積層体を備えている音響ミラー上に形成される膜であってよい。音響アイソレータ158は、音響共振器152を、電子回路154および支持基板156から音響的にアイソレーションもしくは分離している。
図1は、基板156上に電子回路154を垂直方向に組み込んでいる音響共振器152を含むモノリシックデバイス150の一態様を示す。音響共振器152は、音響アイソレータ158上に形成されている。音響アイソレータ158は、例えば、共振器支持構造の空洞上に、または音響インピーダンスの高い材料と低い材料とが交互に設けられていてかつ音響共振器152の目標共振周波数に相当する波長の約4分の1の厚みをそれぞれ有している層の積層体を備えている音響ミラー上に形成される膜であってよい。音響アイソレータ158は、音響共振器152を、電子回路154および支持基板156から音響的にアイソレーションもしくは分離している。
図2に、モノリシック集積デバイス150の製造方法の一態様のフローチャートを示す。この方法によれば、電子回路154を基板156上に形成する(ブロック160)。ここで使用される限り、「電子回路」という用語は、電子構成要素、少なくとも1つの音響共振器12および外部電気コンタクトの間の電気的な接続に沿って設けられている少なくとも1つの電子構成要素を指す。この電子構成要素は、受動要素(例えばトランジスタ)または能動要素(例えばレジスタもしくはキャパシタ)であってよい。基板156は、その上に、モノリシックデバイス150の様々な構成要素を形成することのできるあらゆる種類の基板であってよく、半導体基板、ガラス基板、サファイヤ基板およびセラミックス基板を含む。
任意のアイソレーション構造162を、音響アイソレータ158と電子回路154との間に形成することができ、これにより、音響共振器152の、電子回路154からのさらなる分離が行われる(ブロック164)。アイソレーション構造162は、音響共振器152と電子回路154との間の分離距離を増大させる材料の1つ以上の層を含むことができる。アイソレーション構造162が、音響アイソレータ158および音響共振器152を形成するために用いられるプロセスによって引き起こされうる損傷から下層の電子回路154を保護するので、アイソレーション構造162があることにより、音響共振器152および電子回路154の垂直方向の集積が容易となる。例えば、アイソレーション構造162が電子回路154を、高い熱レベル、高い熱勾配、および音響アイソレータ158および音響共振器152の形成中に生成しうるまたは使用しうる不適合な材料(例えば汚染物質)から保護する。また、アイソレーション構造によって、電子回路154と音響共振器152との間の無線周波数ノイズ信号の伝搬を減少させることもできる。
次に、音響アイソレータ158を電子回路154上にわたり形成する(ブロック166)。さらに、音響共振器152を音響アイソレータ158上に形成する(ブロック168)。
II.空洞型の音響共振器および電子回路のモノリシックな垂直方向の集積
図3に、基板16上に電子回路14が垂直方向に組み込まれている音響共振器12を備えているモノリシックデバイス10の一態様を示す。基板16は、半導体基板(例えばシリコン基板)であってよい。凹部20を含むアイソレーション構造18が、電子回路14上にわたり形成されている。音響共振器12は、凹部20にわたり架けられて配置されており、アイソレーション構造18の上面17によって支持されている。音響共振器12は、第1および第2の導電パス22、24によって電子回路14に電気的に接続されている。キャップ構造26が、音響共振器12を密に封止して保護している。このキャップ構造26は、音響共振器12および電子回路14に電気的に接続されている外部コンタクト30、32、34も提供している。音響共振器12が不動態化されている態様では、キャップ構造26は、音響共振器12を密に封止していてもしていなくてもよく、場合によってはキャップ構造全体を省くこともできる。
図3に、基板16上に電子回路14が垂直方向に組み込まれている音響共振器12を備えているモノリシックデバイス10の一態様を示す。基板16は、半導体基板(例えばシリコン基板)であってよい。凹部20を含むアイソレーション構造18が、電子回路14上にわたり形成されている。音響共振器12は、凹部20にわたり架けられて配置されており、アイソレーション構造18の上面17によって支持されている。音響共振器12は、第1および第2の導電パス22、24によって電子回路14に電気的に接続されている。キャップ構造26が、音響共振器12を密に封止して保護している。このキャップ構造26は、音響共振器12および電子回路14に電気的に接続されている外部コンタクト30、32、34も提供している。音響共振器12が不動態化されている態様では、キャップ構造26は、音響共振器12を密に封止していてもしていなくてもよく、場合によってはキャップ構造全体を省くこともできる。
図4に、モノリシックデバイス10の製造方法の一態様を示す。電子回路14を製造するのに用いられるプロセスと音響共振器12を製造するのに用いられるプロセスのうち適合可能なものを、同じプロセス装置で行うことができる。しかし、これらのプロセスの適合不可なものは、別個のプロセス装置内で行うことができる。プロセスの適合性は、少なくともある程度、汚染および熱を考慮して決定される。
図4および図5によれば、まず、電子回路14を基板16上に形成する(ブロック38)。一般に、電子回路14は、CMOS製造プロセス、バイポーラトランジスタ製造プロセス、BiCMOS製造プロセス、III−V半導体製造プロセスを含む、電子回路製造プロセスのあらゆるタイプに基づいて形成することができる。図示の態様では、電子回路14は、基板16によって支持される複数のトランジスタを含む。異なる回路内のトランジスタの群は、アイソレーション構造36(例えば、従来のシャロートレンチアイソレーション構造)によって互いに分離される。
一般に、各トランジスタ40は、ゲート構造46およびソース/ドレイン領域48、50を有している。各ゲート構造46は、ゲート誘電体52、ゲート電極54およびサイドウォール絶縁体56を備えている。ゲート誘電体52は、二酸化シリコン、酸窒化物、窒化シリコン、BST、PZT、シリケート、別のあらゆる高誘電率(high-k)材料、またはこれらのあらゆる組合せもしくは積層体から形成することができる。ゲート電極54は、シリサイド層もしくは金属、例えばチタン、タングステン、TiN、タンタルもしくはTaNが被せられている、n型またはp型にドープされている多結晶シリコンから形成することができる。サイドウォール絶縁体56は、酸化物(例えば酸化シリコン)、窒化物(例えば窒化シリコン)、酸窒化物(例えば酸窒化シリコン)、またはこれらの組合せもしくは積層体から形成することができる。ソース/ドレイン領域48、50は、従来の注入技術によって形成することができ、軽ドープドレイン(lightly-doped drain extension、LDD)エクステンションおよびポケット注入(pocket implant)を含むことができる。ソース/ドレイン領域48、50は、シリサイド化されていてもよい(例えばチタン、コバルト、ニッケル、タングステンのシリサイドまたは別の従来のシリサイド材料)。
電子回路14を形成した(図4のブロック38)後、アイソレーション構造18を、電子回路14上にわたり形成する(図4のブロック60)。
図6に示すように、図示の態様では、アイソレーション構造18は、トランジスタアイソレーション層42およびこれに被せられたアイソレーション層62を含む。この態様における電子回路14およびトランジスタアイソレーション層42は、1つのプロセス装置内で製造することができ、アイソレーション層62を含む他のデバイス構造は、別のプロセス装置内で形成することができる。別の態様では、アイソレーション層62を省いて、デバイスプロセスステップの全てを同じプロセス装置内で行うことができる。これらの態様では、音響共振器12を製造するプロセスをトランジスタアイソレーション層42上で行う。
図示の態様では、アイソレーション層62は、トランジスタアイソレーション層42の平坦化された上面上に形成されている。別の態様では、アイソレーション層62は、トランジスタアイソレーション層42の平坦化されていない面上に形成することができる。いくつかの態様では、トランジスタアイソレーション層42およびアイソレーション層62は、同じ誘電体材料(例えば、ドープされたもしくはドープされていないSiO2)から形成されている。別の態様では、トランジスタアイソレーション層42およびアイソレーション層62は、異なる誘電体材料からなっている。いくつかの態様では、拡散バリアもしくはエッチストップ層を、トランジスタアイソレーション層42およびアイソレーション層62のいずれかもしくは両方の上に形成することができる。拡散バリア/エッチストップ層は、例えば従来の化学機械研磨法によって平坦化することができる。また、さらなる拡散バリア/エッチストップ層を、平坦化された面上に形成することができる。
複数のコンタクトビア44が、トランジスタアイソレーション層42を貫通して延びている。これらのコンタクトビア44は、金属(例えばタングステン、モリブデン、チタン、銅、アルミニウム、スズ、金および銀)、窒化チタン、窒化タンタルまたは金属シリサイドから形成することができる導電性のプラグで充填されている。バリア層のライナ(例えば、Ti、TiN、TaSiN、Ta、TaN、TiSiNの層、これらの積層体、または従来のライナ/バリア材料)は、導電性プラグとトランジスタアイソレーション層42の誘電材料との間に形成することができる。コンタクトビア44は、好ましくは、ソース/ドレイン領域48、50およびゲート構造46のシリサイド化された領域と整合している。
図4および図7Aによれば、アイソレーション構造18を形成した(ブロック60)後、アイソレーション構造18内に凹部20をエッチングする(ブロック64)。このプロセスでは、アイソレーション層62の上面17の、凹部20が形成される部分より外側の領域を、パターンニングされたフォトレジスト層でマスクし、アイソレーション層62の露出した(マスクされていない)領域を、例えばドライエッチングプロセス(例えば、プラズマエッチング)を用いてエッチングする。一般に、凹部20の境界を形成しているアイソレーション層62の壁部は、任意の形状であってよい。いくつかの態様では、これらの壁部は、上面17に対して垂直方向に配向している。上面17の、凹部20と境界をなしている縁部は、多角形状(例えば、四辺形または五角形)、湾曲形状、または別の任意の形状を形成している。
図7Aおよび図7Bに示すように、いくつかの態様では、凹部20をエッチングするプロセス中、リリースホール88、89、90、91、92を凹部20の周辺縁部に沿って形成する。チャネルがそれぞれ、リリースホール88〜92を凹部20に接続する。図示の態様では、凹部は五角形であり、リリースホール88〜92はその五角形の頂点に形成されている。別の態様では、リリースホールが、凹部20の縁部近傍の別の箇所に形成されていてもよい。
図8に示すように、いくつかの態様では、バリア層66が、凹部20を画定するアイソレーション層62の少なくとも面上に形成されている。図示の例では、バリア層66は、アイソレーション層62の上面全体にわたって形成されている。いくつかの実施態様では、バリア層66は、凹部20を規定する面上にのみ設けられている。バリア層66は、後述のプロセスにおいて凹部を充填するために使用される犠牲材料に対して、選択的にエッチング可能な(もしくは選択的にエッチングされない)材料から形成することができる。例えば、犠牲材料がリンシリケートガラス(PSG)である態様の場合には、バリア層66は、熱SiO2、LPCVDSi3N4、TiWON、WSi3N4、AlNまたはスパッタリングされたシリコンから形成することができる。アイソレーション層62が、犠牲材料に対して選択的にエッチング可能である態様では、バリア層66を省くことができる。いくつかの例では、バリア層66は、化学機械研磨ストップ層としても働く。
図4および図9によれば、凹部20をエッチングした(ブロック64)後、凹部20を犠牲材料68で充填する(ブロック70)。犠牲材料68は、(設けられているならば)バリア層66またはアイソレーション層62に対してエッチング選択性を示すあらゆる種類の材料であってよい。いくつかの態様では、犠牲材料はPGSである。これらの態様では、PSGは、アイソレーション層62の上面17全体にわたって設けられる。PGSは、シラン、亜酸化窒素およびリン源を使用して約400℃の温度で堆積させることができ、これにより、約8%のリンを含むPGS材料が形成される。図9に示すように、PSGを堆積させた後、PSGを研磨して、アイソレーション層62の上面17のレベルに適合するような原子的に平滑な面にする。別の態様では、犠牲材料は、酸化物(例えばホウ素リンシリケートガラス(BPSG)およびスピンオンガラス)、窒化物、誘電体(例えばポリビニル、ポリプロピレンおよびポリスチレン)、半導体(例えばゲルマニウム)ならびに金属(例えば銅およびアルミニウム)から選択することができる。いくつかの態様では、バリア層66は、犠牲材料68と下層のアイソレーション層62との間の拡散バリアとして働く。
図4、10および11によると、凹部20を犠牲材料68で充填した(ブロック70)後、音響共振器12を形成する(ブロック72)。このプロセス中、コンタクトビア74、76、78を、アイソレーション層62中に開設し、トランジスタアイソレーション層42を貫通して延びるコンタクトビア44内の導電性プラグに結合する導電性プラグで充填する。音響共振器12のパターン化された底部電極80を、図10に示すように、犠牲材料68、アイソレーション層62の上面17およびコンタクトビア76上に形成する。別個のコンタクト層82を、コンタクトビア78上に堆積させる。圧電構造84を、底部電極80上に形成する。底部電極80および上部電極86ならびにコンタクト層82は、Mo、Al、Au、Pt、Tiのうちの1つおよびこれらの合金から形成することができる。圧電構造84は、圧電材料からなる1つ以上の層から形成される。1つ以上の圧電層は、ウルツ鉱型六方晶系結晶、例えば硫化カドミウム、セレン化カドミウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、窒化アルミニウムおよびウルツ鉱型硫化亜鉛、ならびにこれらの固溶体、ならびにチタンジルコン酸鉛(PZT)からなっていてよい。別の態様では、1つ以上の圧電層は、ウルツ鉱型六方晶系でない結晶の圧電材料、例えば閃亜鉛鉱型立方晶系結晶から形成されていてよい。
図10および11に記載の態様では、電子回路14と音響共振器12の底部電極80との間の電気的接続は、音響共振器12を形成するプロセス中に形成される。別の態様では、電子回路14と底部電極80との間の電気的接続は、音響共振器12を形成した後(例えば、図4のブロック96に関連する後述のメタライゼーションプロセス中にまたは外部回路を介して)に形成することができる。音響共振器12および電子回路14を外部回路を介して形成する場合には、第1および第2の導電性パス22および24を介した電気的接続を省くことができる。
図4および図12によれば、音響共振器12を形成した(ブロック72)後、凹部20を充填している犠牲材料68の少なくとも一部を除去する(ブロック94)。いくつかの態様では、犠牲材料68を、エッチャントをリリースホール88〜92内に流入させることによって除去する。犠牲材料68がPSGである態様では、エッチャントは、低濃度のHFのH2O溶液であってよい。一態様では、希釈比が10:1(H2O:HF)である。犠牲材料68を除去した後、音響共振器12の周辺領域は、アイソレーション層62の上面17によって支持されており、音響共振器12の中央部分は凹部20にわたって架けられて配置されている。
続いて音響共振器12を、電子回路14に電気的に接続する(ブロック96)。図示の例では、コンタクトビア76上に底部電極80を形成するプロセス中に、底部電極80を電子回路14に電気的に接続する。上部電極86と、コンタクトビア78中の導電性プラグに接続している導電性コンタクト層82との間にメタライゼーション部98を堆積することによって、上部電極86と電子回路14とを電気的に接続する。図示の例では、このプロセス中に、メタライゼーション部100、102、104も形成する。メタライゼーション部98、100、102は、外部コンタクト30、32、34と、音響共振器12と、電子回路14との間の電気的接触を提供する。メタライゼーション部104は、キャップ構造26のための構造的な支持を提供する。いくつかの態様では、メタライゼーション部104は、音響共振器12の周辺部およびこれに関連した回路の周りにリングを形成している。いくつかの態様では、メタライゼーション部98、100、102、104は、ボンドメタライゼーション部(bond metallization)である。
例えば、キャップ構造26が音響共振器12上に密な封止を形成しないかまたはキャップ構造26全てが省かれているいくつかの態様では、1つ以上のメタライゼーション部98、100、102、104を省くことができる。
図3を再び参照すると、キャップ構造26は、基板106(例えば、シリコンのような半導体材料のウェハ)を含み、この基板106は、キャビティ111の上部を画定する切欠110を有する底面108と、外部コンタクト30、32、34が、メタライゼーション部98、100、102に向かって貫通して延びているビアを有している上面112とを備えている。このようにして、外部コンタクト30、32、34が、外部回路と音響共振器12と電子回路14との間の電気的接続を提供している。キャップ構造26の底面108は、音響共振器12の周辺およびそれに関連する回路の周りに延びているリング畝部113も備えている。このリング畝部113は、ボンドメタライゼーション部104に結合している。いくつかの実施態様では、メタライゼーション部104とリング畝部113との結合によって、音響共振器12が密に封止される。さらなるメタライゼーション部を、キャップ構造26上に堆積させることもできる。いくつかの態様では、キャップ構造26を、非金属結合材料、例えばベンゾシクロブテン(BCB)、ポリイミドもしくはアモルファスフルオロカーボンポリマー(例えばCYTOP(登録商標))を使用して、基板16に結合させることができる。
III.音響ミラー型の音響共振器および電子回路のモノリシックな垂直方向の集積
図13に、基板126上に電子回路124を組み込んで形成された音響共振器122を含むモノリシックデバイス120の一態様を示す。モノリシックデバイス120の構造は、本質的には、前述のモノリシックデバイスと同じ構造であるが、音響アイソレータ128が音響ミラーである点が異なる。特に、音響アイソレータ128は、音響インピーダンスの高い材料と低い材料とが交互に重なって形成されている層130、132、134、136、138の積層体を含む。層130〜138は、音響共振器122の目標共鳴周波数に対応する波長の約4分の1の厚みをそれぞれ有している。別の態様では、音響ミラーを形成するのに5つ以上の層を使用することができる。別の態様では、音響ミラーを形成するのに5つより少ない層を使用することができる。いくつかの例示的な態様では、音響アイソレータ128は、酸化シリコンおよびタングステンを交互に重ねた層から、または酸化シリコンおよびモリブデンを交互に重ねた層から形成されている。
図13に、基板126上に電子回路124を組み込んで形成された音響共振器122を含むモノリシックデバイス120の一態様を示す。モノリシックデバイス120の構造は、本質的には、前述のモノリシックデバイスと同じ構造であるが、音響アイソレータ128が音響ミラーである点が異なる。特に、音響アイソレータ128は、音響インピーダンスの高い材料と低い材料とが交互に重なって形成されている層130、132、134、136、138の積層体を含む。層130〜138は、音響共振器122の目標共鳴周波数に対応する波長の約4分の1の厚みをそれぞれ有している。別の態様では、音響ミラーを形成するのに5つ以上の層を使用することができる。別の態様では、音響ミラーを形成するのに5つより少ない層を使用することができる。いくつかの例示的な態様では、音響アイソレータ128は、酸化シリコンおよびタングステンを交互に重ねた層から、または酸化シリコンおよびモリブデンを交互に重ねた層から形成されている。
IV.基板の互いに反対側での、音響共振器および電子回路のモノリシックな垂直方向の集積
図14に、電子回路142が基板143の反対側に組み込まれて形成されている音響共振器141を含む(電子回路および音響共振器がそれぞれ基板の両側に設けられている)モノリシックデバイス140の一態様を示す。音響共振器141は、音響アイソレータ144上に形成されている。音響アイソレータ144は、前述のように、例えば共振器支持構造の空洞上に形成されているかまたは音響ミラーから形成されている膜であってよい。電子回路は、その上を覆うパッシベーション層145によって保護されており、このパッシベーション層145は、例えば、酸化物(例えば酸化シリコン)または窒化物(例えば窒化シリコン)のような誘電体材料から形成することができる。音響共振器141は、一対の電気コンタクト146、147を備えている。それぞれがメタライゼーション部を含むコンタクトビア148、149の対によって、電子回路142を基板143の共振器側に電気的に接続することができる。いくつかの態様では、電子回路は、基板143の底部の向こうへと電気的に接続されている(つまり、基板143の電子回路側を通って)。コンタクトビア148、149は、基板143を通って、電子回路142のそれぞれのメタライゼーションラインへと延びている。
図14に、電子回路142が基板143の反対側に組み込まれて形成されている音響共振器141を含む(電子回路および音響共振器がそれぞれ基板の両側に設けられている)モノリシックデバイス140の一態様を示す。音響共振器141は、音響アイソレータ144上に形成されている。音響アイソレータ144は、前述のように、例えば共振器支持構造の空洞上に形成されているかまたは音響ミラーから形成されている膜であってよい。電子回路は、その上を覆うパッシベーション層145によって保護されており、このパッシベーション層145は、例えば、酸化物(例えば酸化シリコン)または窒化物(例えば窒化シリコン)のような誘電体材料から形成することができる。音響共振器141は、一対の電気コンタクト146、147を備えている。それぞれがメタライゼーション部を含むコンタクトビア148、149の対によって、電子回路142を基板143の共振器側に電気的に接続することができる。いくつかの態様では、電子回路は、基板143の底部の向こうへと電気的に接続されている(つまり、基板143の電子回路側を通って)。コンタクトビア148、149は、基板143を通って、電子回路142のそれぞれのメタライゼーションラインへと延びている。
いくつかの実施態様では、電子回路142を形成して、パッシベーション層145によって保護した後、音響アイソレータ144および音響共振器141を、基板143の反対側に形成する。基板143は、音響アイソレータ144および音響共振器141を形成する前に、任意に薄層化する(例えば化学機械研磨によって)ことができる。音響共振器141の実装方式に応じて、音響共振器141を、その上を覆うパッシベーション層によって保護するか、または前述の種類のキャップ構造を音響共振器141上にわたり基板143に取り付ける。
その他の態様は、特許請求の範囲に記載する。
以下に、本発明の好ましい態様を示す。
1.基板と、
前記基板によって支持されている電子回路と、
前記電子回路上にわたって設けられている音響アイソレータと、
前記音響アイソレータ上に設けられている音響共振器とを備えている、モノリシック集積デバイス。
2.前記音響アイソレータが音響ミラーを含む、上項1に記載のデバイス。
3.前記電子回路と前記音響共振器との間にアイソレーション構造をさらに備えている、上項1に記載のデバイス。
4.前記音響アイソレータに凹部が設けられており、前記音響共振器が該凹部にわたって架けられて設けられている、上項1に記載のデバイス。
5.バリア層をさらに備えていて、該バリア層が、前記音響アイソレータの、前記凹部を画定している表面上にわたって設けられている、上項3に記載のデバイス。
6.前記音響アイソレータの上面が、平坦化されていて、音響共振器を支持している、上項1に記載のデバイス。
7.少なくとも1つのリリースホールをさらに備えていて、該リリースホールが、前記凹部および前記音響共振器で境界をなしている空洞へと延びている、請求項3に記載のデバイス。
8.前記音響共振器と前記電子回路との間の少なくとも1つの電気的な接続をさらに備えている、上項1に記載のデバイス。
9.前記音響共振器上にわたってキャップ層をさらに備えており、該キャップ層が、音響共振器および電子回路の少なくとも1つと電気的に接続されている少なくとも1つの電気コンタクトを備えている、上項1に記載のデバイス。
10.前記電子回路が、基板の、音響アイソレータおよび音響共振器とは反対側に設けられている、上項1に記載のデバイス。
11.モノリシック集積デバイスの製造方法であって、
基板上に電子回路を形成し、
前記電子回路上にわたって音響アイソレータを形成し、
前記音響アイソレータ上に音響共振器を形成する、方法。
12.前記音響アイソレータを形成することが、前記電子回路上にわたって音響ミラーを形成することを含む、上項11に記載の方法。
13.前記電子回路と前記音響アイソレータとの間にアイソレーション構造を形成することをさらに含む、上項11に記載の方法。
14.前記音響アイソレータを形成することが、電子回路上にわたってアイソレーション構造を形成すること、該アイソレーション構造内に凹部をエッチングすること、および該凹部を犠牲材料で充填することを含み、前記音響共振器の少なくとも一部を前記犠牲材料上に形成する、上項11に記載の方法。
15.前記音響共振器を形成した後、前記犠牲材料の少なくとも一部を除去して、音響共振器の下に空洞を形成することをさらに含む、上項14に記載の方法。
16.前記充填の前に、前記アイソレーション構造の、前記凹部を画定する表面上にバリア層を形成することをさらに含む、上項14に記載の方法。
17.前記除去することが、凹部内の前記犠牲材料の少なくとも一部をエッチャントに対して露出することを含む、上項14に記載の方法。
18.前記エッチングすることが、凹部内の前記犠牲材料に延びる少なくとも1つのリリースホールをエッチングすることを含み、前記除去することが、前記リリースホールを通してエッチャントを流入させることを含む、上項17に記載の方法。
19.前記音響共振器と前記電子回路をとを電気的に相互接続することをさらに含む、上項11に記載の方法。
20.前記音響共振器が収容されている封止されたキャビティを形成するようにキャップ層を設けること、該キャップ層上に少なくとも1つの電気コンタクトを形成すること、および前記音響共振器および電子回路の少なくとも1つへの電気コンタクトを電気的に接続することをさらに含む、上項11に記載の方法。
21.前記電子回路を前記基板の第1の側に形成し、前記音響アイソレータおよび前記音響共振器を、基板の第1の側とは反対側の第2の側に形成する、上項11に記載の方法。
1.基板と、
前記基板によって支持されている電子回路と、
前記電子回路上にわたって設けられている音響アイソレータと、
前記音響アイソレータ上に設けられている音響共振器とを備えている、モノリシック集積デバイス。
2.前記音響アイソレータが音響ミラーを含む、上項1に記載のデバイス。
3.前記電子回路と前記音響共振器との間にアイソレーション構造をさらに備えている、上項1に記載のデバイス。
4.前記音響アイソレータに凹部が設けられており、前記音響共振器が該凹部にわたって架けられて設けられている、上項1に記載のデバイス。
5.バリア層をさらに備えていて、該バリア層が、前記音響アイソレータの、前記凹部を画定している表面上にわたって設けられている、上項3に記載のデバイス。
6.前記音響アイソレータの上面が、平坦化されていて、音響共振器を支持している、上項1に記載のデバイス。
7.少なくとも1つのリリースホールをさらに備えていて、該リリースホールが、前記凹部および前記音響共振器で境界をなしている空洞へと延びている、請求項3に記載のデバイス。
8.前記音響共振器と前記電子回路との間の少なくとも1つの電気的な接続をさらに備えている、上項1に記載のデバイス。
9.前記音響共振器上にわたってキャップ層をさらに備えており、該キャップ層が、音響共振器および電子回路の少なくとも1つと電気的に接続されている少なくとも1つの電気コンタクトを備えている、上項1に記載のデバイス。
10.前記電子回路が、基板の、音響アイソレータおよび音響共振器とは反対側に設けられている、上項1に記載のデバイス。
11.モノリシック集積デバイスの製造方法であって、
基板上に電子回路を形成し、
前記電子回路上にわたって音響アイソレータを形成し、
前記音響アイソレータ上に音響共振器を形成する、方法。
12.前記音響アイソレータを形成することが、前記電子回路上にわたって音響ミラーを形成することを含む、上項11に記載の方法。
13.前記電子回路と前記音響アイソレータとの間にアイソレーション構造を形成することをさらに含む、上項11に記載の方法。
14.前記音響アイソレータを形成することが、電子回路上にわたってアイソレーション構造を形成すること、該アイソレーション構造内に凹部をエッチングすること、および該凹部を犠牲材料で充填することを含み、前記音響共振器の少なくとも一部を前記犠牲材料上に形成する、上項11に記載の方法。
15.前記音響共振器を形成した後、前記犠牲材料の少なくとも一部を除去して、音響共振器の下に空洞を形成することをさらに含む、上項14に記載の方法。
16.前記充填の前に、前記アイソレーション構造の、前記凹部を画定する表面上にバリア層を形成することをさらに含む、上項14に記載の方法。
17.前記除去することが、凹部内の前記犠牲材料の少なくとも一部をエッチャントに対して露出することを含む、上項14に記載の方法。
18.前記エッチングすることが、凹部内の前記犠牲材料に延びる少なくとも1つのリリースホールをエッチングすることを含み、前記除去することが、前記リリースホールを通してエッチャントを流入させることを含む、上項17に記載の方法。
19.前記音響共振器と前記電子回路をとを電気的に相互接続することをさらに含む、上項11に記載の方法。
20.前記音響共振器が収容されている封止されたキャビティを形成するようにキャップ層を設けること、該キャップ層上に少なくとも1つの電気コンタクトを形成すること、および前記音響共振器および電子回路の少なくとも1つへの電気コンタクトを電気的に接続することをさらに含む、上項11に記載の方法。
21.前記電子回路を前記基板の第1の側に形成し、前記音響アイソレータおよび前記音響共振器を、基板の第1の側とは反対側の第2の側に形成する、上項11に記載の方法。
20 凹部
66 バリア層
68 犠牲材料
92 リリースホール
152 音響共振器
154 電子回路
156 基板
158 音響アイソレータ
162 アイソレーション構造
66 バリア層
68 犠牲材料
92 リリースホール
152 音響共振器
154 電子回路
156 基板
158 音響アイソレータ
162 アイソレーション構造
Claims (10)
- 基板(156)と、
前記基板(156)によって支持されている電子回路(154)と、
前記電子回路(154)上にわたって設けられている音響アイソレータ(158)と、
前記音響アイソレータ(158)上に設けられている音響共振器(152)とを備えている、モノリシック集積デバイス(150)。 - 前記音響アイソレータ(158)が音響ミラーを含む、請求項1に記載のデバイス。
- 前記音響アイソレータ(158)に凹部(20)が設けられており、前記音響共振器(152)が該凹部(20)にわたって架けられて設けられている、請求項1に記載のデバイス。
- バリア層(66)をさらに備えていて、該バリア層(66)が、前記音響アイソレータ(158)の、前記凹部(20)を画定している表面上にわたって設けられている、請求項3に記載のデバイス。
- 少なくとも1つのリリースホール(92)をさらに備えていて、該リリースホール(92)が、前記凹部(20)および前記音響共振器(152)で境界をなしている空洞へと延びている、請求項3に記載のデバイス。
- 前記電子回路(154)が、前記基板(156)の、音響アイソレータ(156)および音響共振器(152)とは反対の側に設けられている、請求項1に記載のデバイス。
- モノリシック集積デバイスの製造方法であって、
基板(156)上に電子回路(154)を形成し、
前記電子回路(154)上にわたって音響アイソレータ(158)を形成し、
前記音響アイソレータ(158)上に音響共振器(152)を形成する、方法。 - 前記音響アイソレータ(158)を形成することが、電子回路(154)上にわたってアイソレーション構造(162)を形成すること、該アイソレーション構造(162)内に凹部(20)をエッチングすること、および該凹部(20)を犠牲材料(68)で充填することを含み、前記音響共振器(152)の少なくとも一部を前記犠牲材料(68)上に形成する、請求項7に記載の方法。
- 前記音響共振器(152)を形成した後、前記犠牲材料(68)の少なくとも一部を除去して、音響共振器(152)の下に空洞を形成することをさらに含む、請求項8に記載の方法。
- 前記充填の前に、前記アイソレーション構造(162)の、前記凹部(20)を画定する表面上にバリア層(66)を形成することをさらに含む、請求項8に記載の方法。
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