JP2006261624A - ワイドバンド半導体のオーミック接続形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板10への遷移金属群金属12の堆積、基板10と堆積金属12の間で固相化学反応を起こし、基板10中に基板10とは異なる変質特性を有する変質層14、および珪化物18とナノ結晶グラファイト層16からなる副生物を形成する基板10の高温でのアニール、一もしくはそれ以上の固相化学反応の副生物を基板10の表面から除去するための基板10の選択的エッチング、オーミック接続を形成するための基板10上の変質層14を覆う遷移群金属からなる金属膜20の堆積、を含んでいる。変質層14は、金属膜20の堆積後に高温のアニールを必要とせずに、オーミック接続の形成を可能とする。
【選択図】 図1
Description
。
Physics of Semiconductor Devices by Sze, Second Edition, 1981 Phys. Status Solidi B 202, (1997) 581.
半導体デバイスの利用にあたって、上記した製造問題をもたらさないオーミック接続を形成するための実用的な方法に対する要望が、存在している。
1:堆積後、
2:800℃付近でアニール後、
3:900℃付近でアニール後、
4:1000℃付近でアニール後、
5:TiでNi2Siを置換えた後、1000℃でアニールされたサンプル、
6:TiでNi2Siとナノ結晶グラファイトを置換えた後、1000℃でアニールされたサンプル。
ここで、I(D)とI(G)は、それぞれDバンドとGバンドの強度であり、C(λ)〜4.4nmは、λ=515.5nm励起線に対するものである。
11 薄い(炭化珪素)層
12 (遷移群金属から選択される)金属(層)
14 変質層
16 ナノ結晶グラファイト層
18 珪化物(層)
20 (遷移群金属からなる)金属膜
22 熱酸化層
26 保護層
28 接続孔
30 防御層
Claims (26)
- ワイドバンドギャップ半導体材料からなる基板へのオーミック接続形成方法であって、
当該方法が、
前記基板上への遷移金属群金属の堆積と、
前記基板と前記堆積金属との間で固相化学反応を起こさせ、前記基板とは異なる変質特性を有する変質層と、珪化物およびナノ結晶グラファイト層からなる副生物とを、前記基板中に形成する前記基板の高温でのアニールと、
少なくとも一以上の前記固相化学反応の副生物を前記基板表面から除去する、前記基板の選択エッチングと、
オーミック接続を形成するように、前記基板上の前記変質層を覆う、遷移群金属からなる金属膜の堆積であって、
前記金属膜の堆積後に、高温でアニールすることなく、前記変質層を介してオーミック接続を形成する、前記金属膜の堆積とを有することを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項1の方法において、
少なくとも一以上の前記固相化学反応の副生物を除去する、前記基板の選択エッチングが、前記珪化物と前記ナノ結晶グラファイト層の除去であることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項1の方法において、
前記基板の高温でのアニールが、700℃以上、1300℃以下の高温における前記基板のアニールであることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項1の方法において、
前記変質層を覆う前記金属膜の堆積が、オーミック接続を形成する、室温における前記変質層上への前記金属膜の堆積であることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項1の方法において、
少なくとも一以上の前記固相化学反応の副生物を除去する、前記基板の選択エッチングが、前記珪化物のみの除去であることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項5の方法において、
オーミック接続を形成する、前記変質層を覆う前記金属膜の堆積が、前記固相化学反応の副生物の一つであるナノ結晶グラファイト層上への前記金属膜の堆積であることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項5の方法において、
前記珪化物のみを除去する前記基板の選択エッチングの後で、前記変質層を覆う熱酸化層を形成するために、ゲート熱酸化工程を実施し、
前記変質層を覆う前記金属膜の堆積が、前記熱酸化層中の接続孔への前記金属膜の堆積であることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項7の方法において、
前記ゲート熱酸化工程が、
前記熱酸化層を覆って多結晶シリコンを堆積し、当該多結晶シリコンを選択的に除去することによる、接続領域の形成と、
前記熱酸化層を覆う保護層の堆積と、
前記変質層を露出する、前記保護層と前記熱酸化層への前記接続孔の形成とを有することを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項2の方法において、
前記珪化物と前記ナノ結晶グラファイト層を除去する、前記基板の選択エッチング後に、
前記変質層を覆う防御層の堆積と、前記熱酸化層を成長させるゲート熱酸化工程の実施とを有してなり、
前記変質層を覆う前記金属膜の堆積が、前記防御層中の接続孔への前記金属膜の堆積であることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項9の方法において、
前記ゲート熱酸化工程が、
前記熱酸化層を覆う多結晶シリコンの堆積と、ゲートを形成するための前記多結晶シリコンの選択的除去と、
前記熱酸化層と前記防御層を覆う保護層の堆積と、
前記保護層と前記防御層への接続孔の形成とを有することを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項2の方法において、
前記珪化物と前記ナノ結晶グラファイト層を除去する、前記基板の選択エッチング後に、
前記変質層を覆う防御層の堆積と、
前記防御層を覆ってゲート酸化物層を堆積する、ゲートCVD酸化物もしくは高k誘電体酸化物堆積工程の実施とを有してなり、
前記変質層を覆う前記金属膜の堆積が、前記ゲート酸化物層と前記防御層中の接続孔への前記金属膜の堆積であることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項11の方法において、
前記ゲートCVD酸化物もしくは高k誘電体酸化物堆積工程が、
前記ゲート酸化物層を覆う多結晶シリコンの堆積と、
ゲートを形成するための前記接続領域から完全に除去される前記多結晶シリコンの選択的除去と、
前記ゲート酸化物層を覆う保護層の堆積と、
前記保護層と前記防御層への前記接続孔の形成とを有することを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項1の方法において、
前記半導体基板が、単結晶炭化珪素ウエハ上に堆積された薄い炭化珪素層からなることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項1の方法において、
前記半導体基板が、炭素が現れた表面とシリコンが現れた表面を有する、炭化珪素ウエハからなることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項1の方法において、
前記半導体基板が、オン軸、8°オフ軸、3.5°オフ軸および4°オフ軸ウエハ表面を有する、炭化珪素ウエハからなることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項1の方法において、
前記遷移金属群金属が、ニッケル,チタン,コバルト,タングステン,モリブデンからなる遷移金属群から選択される金属であることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項1に従った方法において、
前記遷移金属群金属の前記基板上への堆積が、前記固相化学反応を制御する、前記金属の所定厚さの堆積からなることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項17に従った方法において、
前記金属の所定厚さが、50オングストローム以上、5000オングストローム以下であることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項18に従った方法において、
前記金属の所定厚さが、500オングストローム以上、1000オングストローム以下であることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項1に従った方法において、
前記遷移金属群金属の前記基板上への堆積が、DCマグネトロンスパッタリングによる前記金属の堆積であることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項3に従った方法において、
900℃以上、1100℃以下の高温で、前記基板をアニールすることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項1に従った方法において、
オーミック接続を形成する前記金属膜の堆積後に、600℃以下の低温で、前記基板をアニールすることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 半導体トランジスタに対するオーミック接続を形成するための方法であって、
当該方法が、
炭化珪素基板の薄い層上への遷移金属群金属の堆積と、
前記基板と前記堆積金属との間で固相化学反応を起こさせ、前記基板とは異なる変質特性を有する変質層と、珪化物およびナノ結晶グラファイト層からなる副生物とを、前記基板中に形成する前記基板の高温でのアニールと、
少なくとも一以上の前記固相化学反応の副生物を前記基板表面から除去する、前記基板の選択エッチングと、
前記基板におけるデバイス形成工程の実施と、
オーミック接続を形成するように、前記基板上の前記変質層を覆う、遷移群金属からなる金属膜の堆積であって、
前記金属膜の堆積後に、高温でアニールすることなく、前記変質層を介してオーミック接続を形成する、前記金属膜の堆積とを有することを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項23の方法において、
前記デバイス形成工程が、前記基板におけるMOSFETまたはIGBTの形成であることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項24の方法において、
前記金属膜の堆積が、室温における前記金属膜の堆積であることを特徴とするオーミック接続形成方法。 - 請求項24の方法において、
前記基板における前記デバイス形成工程の実施が、ゲートを形成するための熱酸化物成長工程の実施を含むことを特徴とするオーミック接続形成方法。
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