JP2006251282A - 液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板表面にギャップ材を散布するギャップ材散布処理の前処理として、接触式の搬送装置1によって基板Wをギャップ材散布処理を行うための処理室に搬送する途中または搬送後に、基板Wにおける搬送装置1との接触面を、除電手段7によって除電処理する。
【選択図】 図1
Description
その後、ギャップ材散布処理室内において、ギャップ材供給器から搬送管を介して静電ガンやノズルによりギャップ材を供給し、これを基板上に散布する。そして、この散布処理後、基板を再び散布処理室の外に移送し、搬送コロ等によって次工程に搬送する。
また、ギャップ材の散布工程後、これの後工程である液晶充填工程までの間に、導電性のピンを基板上の電極部に接触させることにより、基板に帯電した電荷を除去するようにした方法も知られている(例えば、特許文献2参照)。
さらに、スペーサ(ギャップ材)散布工程後、帯電状態にあるスペーサの除電を行うため、イオン化した気体を吹き付けつつ、基板をアース側から遠ざける方向に移動させるようにした方法も知られている(例えば、特許文献3参照)。
ギャップ材の散布処理を行うべく、これの前工程から散布処理室内に基板を搬送するには、通常、搬送コロを用い、基板の裏面を支持しつつこれを所望方向に移送している。ところが、一般に液晶装置用の基板はガラス製であり、特にギャップ材を散布する表面と反対側の裏面は、電極等の導電材がなく絶縁性のガラスのみからなっている。したがって、搬送時に、この基板裏面は搬送コロとの接触摩擦により、帯電してしまう。なお、帯電の極性については、搬送コロの材質等によって異なる。
また、特に基板が多面取りの大型基板、すなわちダイシングにより個片化される単一基板を多数個有してなる基板(大型基板)の場合、その表面側は、個々の単一基板毎ではITO等からなる電極が形成されて導電性になっているものの、これら単一基板間では電極等がなく、絶縁性のままとなっている。
また、特許文献2、3に記載された技術は、ギャップ材(スペーサ)を散布した後の基板において、この基板上の帯電を除去することで、帯電電荷の放電による透明電極、配向膜などの破壊や、ギャップ材(スペーサ)の移動による面内バラツキを防止したものであり、ギャップ材(スペーサ)を散布した際の散布ムラによるギャップムラを防止する手段とはならない。
このように、搬送コロで基板の裏面を支持しつつ移送する場合にも、搬送コロとの接触面となる基板の裏面を除電処理することによってこの裏面の電荷が除去され、したがって基板の表面にギャップ材を散布した際に、散布ムラが生じるのが抑えられる。
イオナイザーによってイオン化された活性種及び電子を含む気体を放出し、この気体を前記基板における前記搬送装置との接触面にあてることにより、接触摩擦によって帯電して生じた電荷の除去を良好にかつ容易に行うことができる。
前記基板が例えば中・小型の単位基板を多数有したものであり、したがってその表面側において導電性である部分と絶縁性である部分とが混在にしていることにより、この表面側での、前記の接触摩擦による帯電の影響が大になってしまう場合にも、前述したように除電処理によって接触摩擦により生じた電荷が除去されるので、基板の表面にギャップ材を散布した際に、散布ムラが生じるのが抑えられる。
図1は、本発明の液晶表示装置の製造方法を実施するための、装置の一例の概略構成を示す図であり、図1中符号1は搬送装置、Wは基板である。基板Wは、透明電極や配向膜が形成され、さらにラビング等の配向処理がなされたもので、ギャップ材散布処理を行う前段階の状態にあるものである。なお、このようなギャップ材散布処理を行う側の基板Wとしては、カラーフィルタ基板であってもよく、またアレイ基板であってもよい。また、この基板Wは、本実施形態では例えば中・小型の単位基板を多数有してなる、多面取りの基板とする。
また、前記搬送装置1については、ギャップ材散布処理室内にまで直接搬送するためのものであっても、単にギャップ材散布処理室の近傍にまで搬送するためのものであってもよく、あるいは、ギャップ材散布処理室での処理を行うまでの間待機するための、待機場所に搬送するためのものであってもよい。
また、この搬送装置については、搬送コロ方式以外の接触式のもの、例えばベルトコンベア方式のものであってもよく、その場合にも、接触面で帯電が起こることから、この接触面を除電処理することにより、表示ムラを抑えることができる。
6…イオナイザー、7…イオナイザー(除電手段)
Claims (4)
- 基板表面にギャップ材を散布するギャップ材散布処理の前処理として、接触式の搬送装置によって前記基板を前記ギャップ材散布処理を行うための処理室に搬送する途中または搬送後に、前記基板における前記搬送装置との接触面を、除電手段によって除電処理することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
- 前記搬送装置が搬送コロ方式のものであって、前記基板との接触面を該基板の裏面としていることを特徴とする、請求項1記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記除電手段として、イオン化された活性種及び電子を含む気体を放出するイオナイザーを用いることを特徴とする請求項1又は2記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記基板が多面取りの基板であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の液晶表示装置の製造方法。
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JPH08220544A (ja) * | 1995-02-15 | 1996-08-30 | Toshiba Electron Eng Corp | 液晶表示素子の製造方法および製造装置 |
JP2003195316A (ja) * | 2001-12-26 | 2003-07-09 | Nec Kagoshima Ltd | 液晶表示パネルへのスペーサ散布方法 |
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