JPH08220544A - 液晶表示素子の製造方法および製造装置 - Google Patents
液晶表示素子の製造方法および製造装置Info
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- JPH08220544A JPH08220544A JP2655695A JP2655695A JPH08220544A JP H08220544 A JPH08220544 A JP H08220544A JP 2655695 A JP2655695 A JP 2655695A JP 2655695 A JP2655695 A JP 2655695A JP H08220544 A JPH08220544 A JP H08220544A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板間隔の画面内ばらつきに起因した表示む
らあるいは色むらなど画像表示不良の無い優れた画像表
示性能を備えた液晶表示素子を実現する。 【構成】 チャンバー１４内のステージ１６上に、電極
基板７の表示に係る画面領域の周囲を支持するような形
状の電気絶縁性材料からなる支持部材１７によって支持
されて電極基板７が載置され、その電極基板７とステー
ジ１６との間を一定距離に離間して電極基板７を支持し
つつスペーサ材９を電極基板７上に散布することによ
り、スペーサ材９を凝集することなく電極基板７の表面
上に均一に散布することができる。また電極基板７を散
布装置１３へ投入する投入口の直前にイオン発生器２３
を設置し、このイオン発生器２３で発生させたイオンを
投入直前の電極基板７に投射してその帯電量を常に 0〜
100Ｖの範囲内に制御する。
らあるいは色むらなど画像表示不良の無い優れた画像表
示性能を備えた液晶表示素子を実現する。 【構成】 チャンバー１４内のステージ１６上に、電極
基板７の表示に係る画面領域の周囲を支持するような形
状の電気絶縁性材料からなる支持部材１７によって支持
されて電極基板７が載置され、その電極基板７とステー
ジ１６との間を一定距離に離間して電極基板７を支持し
つつスペーサ材９を電極基板７上に散布することによ
り、スペーサ材９を凝集することなく電極基板７の表面
上に均一に散布することができる。また電極基板７を散
布装置１３へ投入する投入口の直前にイオン発生器２３
を設置し、このイオン発生器２３で発生させたイオンを
投入直前の電極基板７に投射してその帯電量を常に 0〜
100Ｖの範囲内に制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は液晶表示素子の製造方法
およびそれに用いられる製造装置に係り、特にスペーサ
材の散布を行なう方法およびそれに用いられる装置に関
する。
およびそれに用いられる製造装置に係り、特にスペーサ
材の散布を行なう方法およびそれに用いられる装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】近年、液晶表示素子は、軽量、低消費電
力の特長を生かして、テレビジョン用あるいはＯＡ用の
ディスプレイデバイスとして各種分野で利用されてい
る。
力の特長を生かして、テレビジョン用あるいはＯＡ用の
ディスプレイデバイスとして各種分野で利用されてい
る。
【０００３】液晶表示素子は、間隙を保持して対向配置
され互いに直交する電極群がそれぞれ配設された 2枚の
基板とこの両基板どうしの間隙に挟持された液晶組成物
の液晶層とからその主要部が形成された単純マトリクス
タイプ、あるいは各表示画素ごとに信号電圧の書き込み
を制御するスイッチング素子が設けられたアクティブマ
トリクスタイプ等がある。
され互いに直交する電極群がそれぞれ配設された 2枚の
基板とこの両基板どうしの間隙に挟持された液晶組成物
の液晶層とからその主要部が形成された単純マトリクス
タイプ、あるいは各表示画素ごとに信号電圧の書き込み
を制御するスイッチング素子が設けられたアクティブマ
トリクスタイプ等がある。
【０００４】ところで、液晶表示素子では、いずれも電
極基板間隔を一定に維持するために基板間にスペーサが
できるたげ均一に配置されている。
極基板間隔を一定に維持するために基板間にスペーサが
できるたげ均一に配置されている。
【０００５】従来、基板間にスペーサ材を配置する工程
において、そのスペーサ材の散布方法としては湿式配置
方法あるいは乾式配置方法が用いられていた。
において、そのスペーサ材の散布方法としては湿式配置
方法あるいは乾式配置方法が用いられていた。
【０００６】湿式散布方法は、最も多く利用される方法
で、スペーサ材をフレオン等の分散溶媒中に均一に分散
させ、スプレーガン（ノズル）より圧搾空気とともに液
晶表示パネルを構成する基板上に吹き付ける散布方法
で、溶媒はその基板上に到達するまでの飛程で完全に乾
燥するように調整されているものである。アクティブマ
トリックス型液晶表示素子の場合には、対向基板上にス
ペーサ材を散布することが一般的である。
で、スペーサ材をフレオン等の分散溶媒中に均一に分散
させ、スプレーガン（ノズル）より圧搾空気とともに液
晶表示パネルを構成する基板上に吹き付ける散布方法
で、溶媒はその基板上に到達するまでの飛程で完全に乾
燥するように調整されているものである。アクティブマ
トリックス型液晶表示素子の場合には、対向基板上にス
ペーサ材を散布することが一般的である。
【０００７】一方、乾式散布方法は、例えば特開昭６１
−１０７２２２号公報、特開平１−２２５９１９号公報
等に開示されているように、上述したような分散溶媒を
用いないでスペーサ材を散布する方法である。
−１０７２２２号公報、特開平１−２２５９１９号公報
等に開示されているように、上述したような分散溶媒を
用いないでスペーサ材を散布する方法である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、液晶表示素
子で白黒表示あるいは階調表示を行なう場合、従来では
問題とならなかったスペーサ材の配置むらが、液晶表示
素子の高精細化、多画素化に伴って大きな問題となって
きた。
子で白黒表示あるいは階調表示を行なう場合、従来では
問題とならなかったスペーサ材の配置むらが、液晶表示
素子の高精細化、多画素化に伴って大きな問題となって
きた。
【０００９】特に、液晶表示素子においては対向する一
対の基板間隔のわずかな変化でも、しきい値電圧や点灯
状態の変化や、干渉現象による画面の色の顕著な変化が
発生して、表示品位の安定性（画面内均一性）が著しく
損なわれる。
対の基板間隔のわずかな変化でも、しきい値電圧や点灯
状態の変化や、干渉現象による画面の色の顕著な変化が
発生して、表示品位の安定性（画面内均一性）が著しく
損なわれる。
【００１０】このため、画面内での基板間隔のばらつき
を±0.05μｍ以内という高い精度に保つことが要求され
る。
を±0.05μｍ以内という高い精度に保つことが要求され
る。
【００１１】これを実現するためには、スペーサ材の散
布分布密度を± 5個／ｍｍ2 以内に制御する必要がある
ことが近年の研究から判ってきた。
布分布密度を± 5個／ｍｍ2 以内に制御する必要がある
ことが近年の研究から判ってきた。
【００１２】しかしながら、湿式散布方法では、分散溶
媒中にスペーサ材を均一かつ凝集なく分散させることは
できても、これを基板上に噴霧する段階において液滴が
大きいため一滴の液滴に含まれるスペーサ材の数が多い
ので、その噴霧中にスペーサ材が凝集して団塊状となっ
て基板上に配置され、これがセルギャップのばらつきを
生じさせることになり、液晶表示素子の表示品位を著し
く低下させるという問題があった。
媒中にスペーサ材を均一かつ凝集なく分散させることは
できても、これを基板上に噴霧する段階において液滴が
大きいため一滴の液滴に含まれるスペーサ材の数が多い
ので、その噴霧中にスペーサ材が凝集して団塊状となっ
て基板上に配置され、これがセルギャップのばらつきを
生じさせることになり、液晶表示素子の表示品位を著し
く低下させるという問題があった。
【００１３】また、乾式散布方法では、スペーサ材どう
しの衝突や摩擦等によってスペーサ材自体に静電気が発
生し、この帯電したスペーサ材どうしで凝集して団塊状
となって基板上に配置され、これがセルギャップのばら
つきを生じさせるという問題があった。
しの衝突や摩擦等によってスペーサ材自体に静電気が発
生し、この帯電したスペーサ材どうしで凝集して団塊状
となって基板上に配置され、これがセルギャップのばら
つきを生じさせるという問題があった。
【００１４】そしてこの問題を解決する方策として、イ
オン化した空気流を用いる乾式散布方法が提案されてい
るが、この方法ではスペーサ材の凝集をある程度軽減す
ることは可能であるが、空気流の方向および分散性を制
御することが困難で、散布分布密度を± 5個／ｍｍ2 以
内にするには程遠く、したがって基板間隔を±0.05μｍ
以内に抑えることは実際上極めて困難であった。
オン化した空気流を用いる乾式散布方法が提案されてい
るが、この方法ではスペーサ材の凝集をある程度軽減す
ることは可能であるが、空気流の方向および分散性を制
御することが困難で、散布分布密度を± 5個／ｍｍ2 以
内にするには程遠く、したがって基板間隔を±0.05μｍ
以内に抑えることは実際上極めて困難であった。
【００１５】本発明は、このような問題を解決するため
に成されたもので、その目的は、スペーサ材どうしが凝
集して団塊状となることを解消し、均一に基板上に配置
させることを可能にして、基板間隔の画面内ばらつきに
起因した表示むらあるいは色むらなどの画像表示不良の
無い、優れた画像表示性能を備えた液晶表示素子を実現
することにある。
に成されたもので、その目的は、スペーサ材どうしが凝
集して団塊状となることを解消し、均一に基板上に配置
させることを可能にして、基板間隔の画面内ばらつきに
起因した表示むらあるいは色むらなどの画像表示不良の
無い、優れた画像表示性能を備えた液晶表示素子を実現
することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示素子の
製造方法は、主面に電極を備えた 2枚の基板のうち少な
くとも一方の基板をステージ上に載置し、前記基板上に
複数個の細粒状または細棒状のスペーサ材を散布し、前
記 2枚の基板の間に前記スペーサ材を介在させて該スペ
ーサ材で前記 2枚の基板の間隙を保持しつつ、前記 2枚
の基板を前記電極どうしが対向するように対向配置し前
記基板の周囲を封着し、前記間隙に液晶組成物を封入し
て、液晶表示素子を製造するにあたり、前記基板の少な
くとも画面領域と前記ステージとの間を離間させて前記
ステージ上に前記基板を支持しつつ、該基板上に前記ス
ペーサ材を散布する工程を含むことを特徴としている。
製造方法は、主面に電極を備えた 2枚の基板のうち少な
くとも一方の基板をステージ上に載置し、前記基板上に
複数個の細粒状または細棒状のスペーサ材を散布し、前
記 2枚の基板の間に前記スペーサ材を介在させて該スペ
ーサ材で前記 2枚の基板の間隙を保持しつつ、前記 2枚
の基板を前記電極どうしが対向するように対向配置し前
記基板の周囲を封着し、前記間隙に液晶組成物を封入し
て、液晶表示素子を製造するにあたり、前記基板の少な
くとも画面領域と前記ステージとの間を離間させて前記
ステージ上に前記基板を支持しつつ、該基板上に前記ス
ペーサ材を散布する工程を含むことを特徴としている。
【００１７】また、主面に電極を備えた 2枚の基板のう
ち少なくとも一方の基板をステージ上に載置し、前記基
板上に複数個の細粒状または細棒状のスペーサ材を散布
し、前記 2枚の基板の間に前記スペーサ材を介在させて
該スペーサ材で前記 2枚の基板の間隙を保持しつつ、前
記 2枚の基板を前記電極どうしが対向するように対向配
置して前記基板の周囲を封着し、前記間隙に液晶組成物
を封入して、液晶表示素子を製造するにあたり、前記基
板の少なくとも画面領域と前記ステージとの間を離間さ
せて前記ステージ上に前記基板を支持し、該基板の帯電
状態を 0〜 100Ｖの電位に制御しつつ該基板上に前記ス
ペーサ材を散布する工程を含むことを特徴としている。
ち少なくとも一方の基板をステージ上に載置し、前記基
板上に複数個の細粒状または細棒状のスペーサ材を散布
し、前記 2枚の基板の間に前記スペーサ材を介在させて
該スペーサ材で前記 2枚の基板の間隙を保持しつつ、前
記 2枚の基板を前記電極どうしが対向するように対向配
置して前記基板の周囲を封着し、前記間隙に液晶組成物
を封入して、液晶表示素子を製造するにあたり、前記基
板の少なくとも画面領域と前記ステージとの間を離間さ
せて前記ステージ上に前記基板を支持し、該基板の帯電
状態を 0〜 100Ｖの電位に制御しつつ該基板上に前記ス
ペーサ材を散布する工程を含むことを特徴としている。
【００１８】また、本発明に係る液晶表示素子の製造装
置は、主面に電極を備えた 2枚の基板のうち少なくとも
一方の基板を載置するステージと、前記基板上に複数個
の細粒状または細棒状のスペーサ材を散布する散布器と
を備えて、基板上にスペーサ材を散布するスペーサ材散
布工程に用いられる液晶表示素子の製造装置において、
前記基板と前記ステージとの間を離間させて前記ステー
ジ上に前記基板を支持する支持手段を具備することを特
徴としている。
置は、主面に電極を備えた 2枚の基板のうち少なくとも
一方の基板を載置するステージと、前記基板上に複数個
の細粒状または細棒状のスペーサ材を散布する散布器と
を備えて、基板上にスペーサ材を散布するスペーサ材散
布工程に用いられる液晶表示素子の製造装置において、
前記基板と前記ステージとの間を離間させて前記ステー
ジ上に前記基板を支持する支持手段を具備することを特
徴としている。
【００１９】また、本発明に係る液晶表示素子の製造装
置は、主面に電極を備えた 2枚の基板のうち少なくとも
一方の基板を載置するステージと、前記基板上に複数個
の細粒状または細棒状のスペーサ材を散布する散布器と
を備えて、基板上にスペーサ材を散布するスペーサ材散
布工程に用いられる液晶表示素子の製造装置において、
前記基板の少なくとも画面領域と前記ステージとの間を
離間させて前記ステージの上に前記基板を支持する支持
手段と、前記ステージの上に前記支持手段で支持された
前記基板の帯電状態を 0〜 100Ｖの電位に制御する電位
制御手段とを具備することを特徴としている。
置は、主面に電極を備えた 2枚の基板のうち少なくとも
一方の基板を載置するステージと、前記基板上に複数個
の細粒状または細棒状のスペーサ材を散布する散布器と
を備えて、基板上にスペーサ材を散布するスペーサ材散
布工程に用いられる液晶表示素子の製造装置において、
前記基板の少なくとも画面領域と前記ステージとの間を
離間させて前記ステージの上に前記基板を支持する支持
手段と、前記ステージの上に前記支持手段で支持された
前記基板の帯電状態を 0〜 100Ｖの電位に制御する電位
制御手段とを具備することを特徴としている。
【００２０】また、上記の液晶表示素子の製造装置にお
いて、前記支持手段が、電気絶縁物を材料として用いて
形成された電気絶縁性の支持部材であり、前記電位制御
手段が、前記基板の表面を除電してその帯電状態を 0〜
100Ｖの電位に制御するイオン発生器または除電ブラシ
であることを特徴としている。
いて、前記支持手段が、電気絶縁物を材料として用いて
形成された電気絶縁性の支持部材であり、前記電位制御
手段が、前記基板の表面を除電してその帯電状態を 0〜
100Ｖの電位に制御するイオン発生器または除電ブラシ
であることを特徴としている。
【００２１】なお、本発明が適用できる上記のスペーサ
材の大きさとしては、細粒状の場合、平均粒径が、一般
的なスペーサ材の寸法を含む 4μｍ〜10μｍのものに適
用可能である。
材の大きさとしては、細粒状の場合、平均粒径が、一般
的なスペーサ材の寸法を含む 4μｍ〜10μｍのものに適
用可能である。
【００２２】また、上記の支持部材としては、例えばシ
リコーンゴムや、樹脂やガラスのような電気絶縁性材料
を用いて基板を支持する橋桁のような形状に形成すれば
よい。そしてこの支持部材は、基板の少なくとも画面領
域は除く外周側の領域を支持する支持部材とすることが
望ましい。画面領域には電荷の偏りが生じることの無い
ように、画面領域は全くステージ等から非接触に保つこ
とが望ましいからである。そしてこのとき、支持部材の
ステージ表面からの高さは、基板の中央部が重力により
垂れて撓む際の沈み幅よりも高くして、ステージに接触
しないように保つことが望ましいことは言うまでもな
い。
リコーンゴムや、樹脂やガラスのような電気絶縁性材料
を用いて基板を支持する橋桁のような形状に形成すれば
よい。そしてこの支持部材は、基板の少なくとも画面領
域は除く外周側の領域を支持する支持部材とすることが
望ましい。画面領域には電荷の偏りが生じることの無い
ように、画面領域は全くステージ等から非接触に保つこ
とが望ましいからである。そしてこのとき、支持部材の
ステージ表面からの高さは、基板の中央部が重力により
垂れて撓む際の沈み幅よりも高くして、ステージに接触
しないように保つことが望ましいことは言うまでもな
い。
【００２３】また、上記の支持手段としては、上記のよ
うな電気絶縁物からなる電気絶縁性の支持部材の他に
も、例えば基板下面とステージ上面との間隙に空気の層
を形成するなどして、この空気の層の圧力で基板をステ
ージ表面から浮上させて支持するようにしてもよい。
うな電気絶縁物からなる電気絶縁性の支持部材の他に
も、例えば基板下面とステージ上面との間隙に空気の層
を形成するなどして、この空気の層の圧力で基板をステ
ージ表面から浮上させて支持するようにしてもよい。
【００２４】また、上記の除電手段としては、上記のよ
うなイオン発生器を用いて基板表面にイオンを投射して
もよく、あるいは基板表面に軽く接触しながらその表面
に帯電している電荷を吸収する除電ブラシを用いてもよ
いが、基板表面に傷をつけるおそれが無いという点では
イオン発生器を用いることが望ましいことは言うまでも
ない。そしてこの除電は、基板の表面からでも裏面から
でも行なうことが可能であることは言うまでもない。
うなイオン発生器を用いて基板表面にイオンを投射して
もよく、あるいは基板表面に軽く接触しながらその表面
に帯電している電荷を吸収する除電ブラシを用いてもよ
いが、基板表面に傷をつけるおそれが無いという点では
イオン発生器を用いることが望ましいことは言うまでも
ない。そしてこの除電は、基板の表面からでも裏面から
でも行なうことが可能であることは言うまでもない。
【００２５】
【作用】本発明によれば、液晶表示素子の製造工程中、
スペーサ材を基板上に散布するスペーサの散布工程にお
いて、スペーサを散布する槽内にてステージ上に基板を
配置するにあたり、少なくとも基板の画面に該当する領
域をステージ表面から離間させて保持することにより、
基板とステージとの接触に起因した基板の帯電現象を解
消することで、スペーサ材の凝集を防止することがで
き、スペーサ材を基板上に均一に配置させることが可能
となる。
スペーサ材を基板上に散布するスペーサの散布工程にお
いて、スペーサを散布する槽内にてステージ上に基板を
配置するにあたり、少なくとも基板の画面に該当する領
域をステージ表面から離間させて保持することにより、
基板とステージとの接触に起因した基板の帯電現象を解
消することで、スペーサ材の凝集を防止することがで
き、スペーサ材を基板上に均一に配置させることが可能
となる。
【００２６】本発明における離間距離、つまりスペーサ
を散布する槽内でのステージと基板との間隙はスペーサ
材を基板上に均一に配置させるために重要でスペーサ材
の散布密度に依存している。そしてステージの表面形
状、離間材の材質・配置位置、電極基板のサイズに対す
るステージのサイズにも密接に依存している。実用上、
そのようなステージと基板との離間距離は 1〜10ｍｍ程
度が最も効果的である。さらには、離間支持部材を効率
良く配置するとともに電極基板の撓みを抑えることによ
り、その距離を電極基板内で一定に保つことが重要であ
る。
を散布する槽内でのステージと基板との間隙はスペーサ
材を基板上に均一に配置させるために重要でスペーサ材
の散布密度に依存している。そしてステージの表面形
状、離間材の材質・配置位置、電極基板のサイズに対す
るステージのサイズにも密接に依存している。実用上、
そのようなステージと基板との離間距離は 1〜10ｍｍ程
度が最も効果的である。さらには、離間支持部材を効率
良く配置するとともに電極基板の撓みを抑えることによ
り、その距離を電極基板内で一定に保つことが重要であ
る。
【００２７】また、その距離の設定によってスペーサの
密度を変化させることが可能であるため、要求されるス
ペーサの密度に対応して離間距離を変更できるような構
造に支持部材を形成することが望ましい。
密度を変化させることが可能であるため、要求されるス
ペーサの密度に対応して離間距離を変更できるような構
造に支持部材を形成することが望ましい。
【００２８】また、ステージの表面形状は極力フラット
なものとし、ネジ穴・バキューム穴等がないことが望ま
しい。またそのサイズは、電極基板に対して 1〜10ｍｍ
程度小さくし、支持部材には電気絶縁物を使用して、基
板の画面領域（液晶表示素子として組み上がった際の表
示に係る範囲）外に配置することにより、スペーサ材の
少なくとも画面内での凝集を防止することができ、かつ
スペーサ材を基板上に効果的に均一に配置させることが
できる。
なものとし、ネジ穴・バキューム穴等がないことが望ま
しい。またそのサイズは、電極基板に対して 1〜10ｍｍ
程度小さくし、支持部材には電気絶縁物を使用して、基
板の画面領域（液晶表示素子として組み上がった際の表
示に係る範囲）外に配置することにより、スペーサ材の
少なくとも画面内での凝集を防止することができ、かつ
スペーサ材を基板上に効果的に均一に配置させることが
できる。
【００２９】そして、スペーサが散布される基板の帯電
量を 0〜＋ 100Ｖの範囲内に制御することにより、さら
に効果的にスペーサを均一かつて団塊となること無く散
布することができ、基板間隔むらに起因した表示むらあ
るいは色むらの無い、優れた表示画像を実現できる液晶
表示素子を得ることができる。
量を 0〜＋ 100Ｖの範囲内に制御することにより、さら
に効果的にスペーサを均一かつて団塊となること無く散
布することができ、基板間隔むらに起因した表示むらあ
るいは色むらの無い、優れた表示画像を実現できる液晶
表示素子を得ることができる。
【００３０】ここで、我々は、基板の帯電量が 0〜＋ 1
00Ｖであるときにはスペーサの散布むらや団塊の発生が
解消されることを、種々の実験で確認した。即ち、理論
的には基板の帯電量は 0であることが最も好ましいが、
それは実際上非現実的なことなので、本発明によれば基
板の帯電量を 0〜＋ 100Ｖに制御することにより十分効
果的にスペーサの散布むらや団塊の発生を解消できる。
00Ｖであるときにはスペーサの散布むらや団塊の発生が
解消されることを、種々の実験で確認した。即ち、理論
的には基板の帯電量は 0であることが最も好ましいが、
それは実際上非現実的なことなので、本発明によれば基
板の帯電量を 0〜＋ 100Ｖに制御することにより十分効
果的にスペーサの散布むらや団塊の発生を解消できる。
【００３１】
【実施例】以下、本発明の一実施例の液晶表示素子の製
造方法およびそれに用いられる装置について、図面を参
照して説明する。
造方法およびそれに用いられる装置について、図面を参
照して説明する。
【００３２】まず、本発明の液晶表示素子の製造方法を
説明するに先立って、その液晶表示素子の構造の概要に
ついて簡略に示す。図１に示すように、ガラス基板や人
工石英基板のような絶縁性の基板１上にストライプ状の
第１の電極３、配向膜５が順次積層された第１の電極基
板７と、絶縁基板２上にストライプ状の第２の電極４、
配向膜６が順次積層された第２の電極基板８との各電極
３、４とが直交するように配置され、高精度に均一に配
置されたスペーサ材９によって、高精度に 6.0〜 7.0μ
ｍのセルギャップに保持されている。そして、このよう
な各電極基板７、８間に液晶組成物１０が封入され、さ
らに電極基板７、８の外向表面に偏光板１１、１２が配
置されて、液晶表示素子の主要部が構成されている。
説明するに先立って、その液晶表示素子の構造の概要に
ついて簡略に示す。図１に示すように、ガラス基板や人
工石英基板のような絶縁性の基板１上にストライプ状の
第１の電極３、配向膜５が順次積層された第１の電極基
板７と、絶縁基板２上にストライプ状の第２の電極４、
配向膜６が順次積層された第２の電極基板８との各電極
３、４とが直交するように配置され、高精度に均一に配
置されたスペーサ材９によって、高精度に 6.0〜 7.0μ
ｍのセルギャップに保持されている。そして、このよう
な各電極基板７、８間に液晶組成物１０が封入され、さ
らに電極基板７、８の外向表面に偏光板１１、１２が配
置されて、液晶表示素子の主要部が構成されている。
【００３３】このような液晶表示素子は、次に示すよう
な工程で製造される。
な工程で製造される。
【００３４】図２は、スペーサ材９を散布するための散
布装置１３の概要を示す図で、クリーンな雰囲気を保つ
チャンバー１４内の上部にはスペーサ材９を噴霧するた
めのノズル１５が設置され、チャンバー１４内下部のス
テージ１６上に電極基板７が設置されてその主要部が構
成されている。
布装置１３の概要を示す図で、クリーンな雰囲気を保つ
チャンバー１４内の上部にはスペーサ材９を噴霧するた
めのノズル１５が設置され、チャンバー１４内下部のス
テージ１６上に電極基板７が設置されてその主要部が構
成されている。
【００３５】スペーサ材９は供給口（図示省略）へ秤量
されて供給され、圧搾空気とともにチャンバー１４内に
送出される。このとき、スペーサ材９はノズル１５から
噴霧されて電極基板７上に散布（配置）される。
されて供給され、圧搾空気とともにチャンバー１４内に
送出される。このとき、スペーサ材９はノズル１５から
噴霧されて電極基板７上に散布（配置）される。
【００３６】しかしここで、チャンバー１４内に投入さ
れる電極基板７の帯電量（帯電分布）が電極基板７の面
内で大きくばらついていると、この帯電量のばらつきに
起因して、スペーサ材の均一な散布を行なうことができ
なくなる。
れる電極基板７の帯電量（帯電分布）が電極基板７の面
内で大きくばらついていると、この帯電量のばらつきに
起因して、スペーサ材の均一な散布を行なうことができ
なくなる。
【００３７】そこで、図３に示すように、電極基板７を
散布装置１３へ投入する投入口の直前に、イオン発生器
２３を設置し、このイオン発生器２３で発生させたイオ
ンを投入直前の電極基板７に投射して、チャンバー１４
内に投入される電極基板７の帯電量を常に 0〜 100Ｖの
範囲内に制御する。このとき、イオン発生器２３で発生
させるイオンの極性は、電極基板７の材料によってその
基板に特定の帯電極性に対する逆の極性のイオンである
ことは言うまでもない。つまりイオン発生器２３で発生
させたイオンを電極基板７に投射することで、電極基板
７の帯電を電気的に中和させるためである。
散布装置１３へ投入する投入口の直前に、イオン発生器
２３を設置し、このイオン発生器２３で発生させたイオ
ンを投入直前の電極基板７に投射して、チャンバー１４
内に投入される電極基板７の帯電量を常に 0〜 100Ｖの
範囲内に制御する。このとき、イオン発生器２３で発生
させるイオンの極性は、電極基板７の材料によってその
基板に特定の帯電極性に対する逆の極性のイオンである
ことは言うまでもない。つまりイオン発生器２３で発生
させたイオンを電極基板７に投射することで、電極基板
７の帯電を電気的に中和させるためである。
【００３８】そして、チャンバー１４内のステージ１６
の上には、電極基板７の表示に係る画面領域を囲む周囲
の部分を支持するような形状の電気絶縁性材料からなる
支持部材１７によって電極基板７とステージ１６との間
が支持されて電極基板７が載置される。そしてその電極
基板７上にスペーサ材９を散布することにより、スペー
サ材９を凝集することなく電極基板７の表面上に均一に
配置させることができる。
の上には、電極基板７の表示に係る画面領域を囲む周囲
の部分を支持するような形状の電気絶縁性材料からなる
支持部材１７によって電極基板７とステージ１６との間
が支持されて電極基板７が載置される。そしてその電極
基板７上にスペーサ材９を散布することにより、スペー
サ材９を凝集することなく電極基板７の表面上に均一に
配置させることができる。
【００３９】本実施例においては、この支持部材１７と
して、高さ 3ｍｍ、幅 3ｍｍの、合成樹脂を材料とし
て、画面領域の周囲を囲むようにその平面形がロの字型
に形成された電気絶縁性の支持部材を用いた。
して、高さ 3ｍｍ、幅 3ｍｍの、合成樹脂を材料とし
て、画面領域の周囲を囲むようにその平面形がロの字型
に形成された電気絶縁性の支持部材を用いた。
【００４０】このように、本実施例によれば、従来の湿
式及び乾式配置方法の欠点であったスペーサ材の凝集、
あるいは散布密度むらを容易に解消することができ、こ
れにより、特に高精度なギャップの均一化が要求される
階調表示や白黒表示の液晶表示素子を製造することがで
きる。
式及び乾式配置方法の欠点であったスペーサ材の凝集、
あるいは散布密度むらを容易に解消することができ、こ
れにより、特に高精度なギャップの均一化が要求される
階調表示や白黒表示の液晶表示素子を製造することがで
きる。
【００４１】なお、上記実施例においては、支持手段と
して電気絶縁性の支持部材を用いたが、本発明に係る支
持手段としてはこの他にも、例えば圧搾空気を電極基板
７の周囲から電極基板７とステージ１６との間隙に送り
入れて、この圧搾空気の圧力あるいは流体力学的な力に
よって電極基板７をステージ１６の表面から浮かせて支
持するようにしてもよい。
して電気絶縁性の支持部材を用いたが、本発明に係る支
持手段としてはこの他にも、例えば圧搾空気を電極基板
７の周囲から電極基板７とステージ１６との間隙に送り
入れて、この圧搾空気の圧力あるいは流体力学的な力に
よって電極基板７をステージ１６の表面から浮かせて支
持するようにしてもよい。
【００４２】
【発明の効果】以上、詳細な説明で明示したように、本
発明によれば、スペーサ材が散布時に凝集することな
く、基板上に均一に配置されるため、液晶表示素子の基
板間隔を均一に制御できるので、表示不良等を解消し
て、高い製造歩留まりを確保しつつ、基板間隔の画面内
ばらつきに起因した表示むらあるいは色むらなど画像表
示不良の無い、優れた画像表示性能を備えた液晶表示素
子を実現することができる。
発明によれば、スペーサ材が散布時に凝集することな
く、基板上に均一に配置されるため、液晶表示素子の基
板間隔を均一に制御できるので、表示不良等を解消し
て、高い製造歩留まりを確保しつつ、基板間隔の画面内
ばらつきに起因した表示むらあるいは色むらなど画像表
示不良の無い、優れた画像表示性能を備えた液晶表示素
子を実現することができる。
【図１】液晶表示素子の概略構造を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施例の製造方法に用いる散布装置
の概要を示す図である。
の概要を示す図である。
【図３】本発明の一実施例の製造方法に用いる散布装置
のイオン発生器の概要を示す図である。
のイオン発生器の概要を示す図である。
１…………絶縁性の基板 ２…………絶縁性の基板 ３…………第１の電極 ４…………第２の電極 ５、６……配向膜 ７…………第１の電極基板 ８…………第２の電極基板 ９…………スペーサ材 １０…………液晶組成物 １１、１２…偏光板 １３…………散布装置 １４…………チャンバー １５…………ノズル １６…………ステージ １７…………支持部材
Claims (5)
- 【請求項１】 主面に電極を備えた 2枚の基板のうち少
なくとも一方の基板をステージ上に載置し、前記基板上
に複数個の細粒状または細棒状のスペーサ材を散布し、
前記 2枚の基板の間に前記スペーサ材を介在させて該ス
ペーサ材で前記 2枚の基板の間隙を保持しつつ、前記 2
枚の基板を前記電極どうしが対向するように対向配置し
て前記基板の周囲を封着し、前記間隙に液晶組成物を封
入して、液晶表示素子を製造するにあたり、 前記基板と前記ステージとの間を離間させて前記基板を
支持しつつ、該基板上に前記スペーサ材を散布する工程
を含むことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。 - 【請求項２】 主面に電極を備えた 2枚の基板のうち少
なくとも一方の基板をステージ上に載置し、前記基板上
に複数個の細粒状または細棒状のスペーサ材を散布し、
前記 2枚の基板の間に前記スペーサ材を介在させて該ス
ペーサ材で前記 2枚の基板の間隙を保持しつつ、前記 2
枚の基板を前記電極どうしが対向するように対向配置し
て前記基板の周囲を封着し、前記間隙に液晶組成物を封
入して、液晶表示素子を製造するにあたり、 前記基板の少なくとも画面領域と前記ステージとの間を
離間させて前記基板を支持し、該基板の帯電状態を 0〜
100Ｖの電位に制御しつつ該基板上に前記スペーサ材を
散布する工程を含むことを特徴とする液晶表示素子の製
造方法。 - 【請求項３】 主面に電極を備えた 2枚の基板のうち少
なくとも一方の基板を載置するステージと、 前記基板上に複数個の細粒状または細棒状のスペーサ材
を散布する散布器とを備えて、基板上にスペーサ材を散
布するスペーサ材散布工程に用いられる液晶表示素子の
製造装置において、 前記基板の少なくとも画面領域と前記ステージとの間を
離間させて前記ステージ上に前記基板を支持する支持手
段を具備することを特徴とする液晶表示素子の製造装
置。 - 【請求項４】 主面に電極を備えた 2枚の基板のうち少
なくとも一方の基板を載置するステージと、 前記基板上に複数個の細粒状または細棒状のスペーサ材
を散布する散布器とを備えて、基板上にスペーサ材を散
布するスペーサ材散布工程に用いられる液晶表示素子の
製造装置において、 前記基板の少なくとも画面領域と前記ステージとの間を
離間させて前記ステージ上に前記基板を支持する支持手
段と、 前記ステージ上に前記支持手段で支持された前記基板の
帯電状態を 0〜 100Ｖの電位に制御する電位制御手段と
を具備することを特徴とする液晶表示素子の製造装置。 - 【請求項５】 前記支持手段が、電気絶縁物を材料とし
て用いて形成された電気絶縁性の支持部材であり、 前記電位制御手段が、前記基板の表面を除電してその帯
電状態を 0〜 100Ｖの電位に制御するイオン発生器また
は除電ブラシであることを特徴とする、請求項４記載の
液晶表示素子の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02655695A JP3471951B2 (ja) | 1995-02-15 | 1995-02-15 | 液晶表示素子の製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02655695A JP3471951B2 (ja) | 1995-02-15 | 1995-02-15 | 液晶表示素子の製造方法および製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08220544A true JPH08220544A (ja) | 1996-08-30 |
| JP3471951B2 JP3471951B2 (ja) | 2003-12-02 |
Family
ID=12196815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02655695A Expired - Fee Related JP3471951B2 (ja) | 1995-02-15 | 1995-02-15 | 液晶表示素子の製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3471951B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1138419A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-12 | Nec Corp | スペーサ散布装置 |
| JP2006251282A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置の製造方法 |
-
1995
- 1995-02-15 JP JP02655695A patent/JP3471951B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1138419A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-12 | Nec Corp | スペーサ散布装置 |
| US6190456B1 (en) | 1997-07-17 | 2001-02-20 | Nec Corporation | Spacer spraying device |
| JP2006251282A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置の製造方法 |
| JP4701756B2 (ja) * | 2005-03-10 | 2011-06-15 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3471951B2 (ja) | 2003-12-02 |
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