JP2006250548A - ショート検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】対向して配置された一対の平板電極EL1,EL2間におけるショート箇所の位置を検出するショート検出装置1であって、平板電極EL1の電流供給点Aと平板電極EL2の電流供給点Bとの間に電流を供給する電流供給部2と、所定のパターンで平板電極EL1上に規定された複数の測定位置MP,MPと一つの基準点Aとの間の各電位差を、各測定位置MPに対して予め設定された第1の順序および第1の順序とは逆の第2の順序の両順序に従ってそれぞれ測定する電圧測定部3と、両順序に従ってそれぞれ測定された各測定位置MPについての各電位差の平均値を算出すると共に算出した平均値に基づいてショート箇所となる測定位置を検出する検出部5とを備えている。
【選択図】図1
Description
V=F+Gt ・・・(1)
ここで、F,Gは定数であって平板電極EL1表面の位置毎に相違する。また、tは電流供給部2による直流定電流の供給の開始からの経過時間(sec)を意味する。したがって、例えば、1つの測定位置MPについての電圧データDv1(Dv2)の測定に要する時間をΔtとすると、第1の順序中のN番目の測定位置MPについての電圧データDv1を測定するときのこの測定位置MPでの電位V(=VN)は、下記式(2)で表される。
VN=FN+GN×N×Δt ・・・(2)
また、このときの基準点(電流供給点A)での電位V(=VA)は、下記式(3)で表される。
VA=FA+GA×N×Δt ・・・(3)
したがって、N番目の測定位置MPについての電圧データDv1は、上記式(2)から上記式(3)を減算することにより、下記式(4)で表される。
Dv1=VN−VA
=FN+GN×N×Δt−(FA+GA×N×Δt) ・・・(4)
VN=FN+GN×(2×M−N+1)×Δt ・・・(5)
また、このときの基準点(電流供給点A)での電位V(=VA)は、下記式(6)で表される。
VA=FA+GA×(2×M−N+1)×Δt ・・・(6)
これにより、N番目の測定位置MPについての電圧データDv2は、上記式(5)から上記式(6)を減算することにより、下記式(7)で表される。
Dv2=VN−VA
=FN+GN×(2×M−N+1)×Δt−(FA+GA×(2×M−N+1)×Δt) ・・・(7)
Dave=(Dv1+Dv2)/2
=(FN+GN×N×Δt−(FA+GA×N×Δt)+FN
+GN×(2×M−N+1)×Δt−(FA+GA×(2×M−N+1)×Δt))/2
=(2×FN+2×GN×(M+1)×Δt−(2×FA+2×GA×(M+1)×Δt))/2
=FN+GN×(M+1)×Δt−(FA+GA×(M+1)×Δt)・・・(8)
したがって、上記式(8)から明らかなように、平均値Daveには、順序を示すパラメータであるNが含まれていない。このため、各測定位置MPにおける最終的な電位差(平均値Dave)は、測定の順序に左右されない値として算出される。つまり、各測定位置MPにおける最終的な電位差(平均値Dave)は、等価的に、複数の測定位置MPと基準点との間の各電位差を順序に応じては変化しない定常状態で測定されたことになる。
2 電流供給部
3 電圧測定部
4 駆動機構
5 演算制御部(本発明における検出部)
7 プローブ
A,B 電流供給点(平板電極EL1,EL2における所定の部位)
Dave 平均値
EL1,EL2 平板電極
MP 測定位置
Claims (2)
- 対向して配置された一対の平板電極間におけるショート箇所の位置を検出するショート検出装置であって、
前記一対の平板電極のうちの一方の平板電極における所定の部位と他方の平板電極における所定の部位との間に電流を供給する電流供給部と、
所定のパターンで前記一方の平板電極上に規定された複数の測定位置と当該一方の平板電極上に規定された一つの基準点との間の各電位差を、当該各測定位置に対して予め設定された第1の順序および当該第1の順序とは逆の第2の順序の両順序に従ってそれぞれ測定する電圧測定部と、
前記両順序に従ってそれぞれ測定された前記各測定位置についての前記各電位差の平均値を算出すると共に当該算出した平均値に基づいて前記ショート箇所となる前記測定位置を検出する検出部とを備えているショート検出装置。 - 前記検出部は、前記各測定位置と所定の方向に沿って隣接する他の測定位置との間の各電圧勾配を前記算出した平均値に基づいて算出すると共に当該算出した各電圧勾配に基づいて電圧極小点となる前記測定位置を前記ショート箇所の位置として検出する請求項1記載のショート検出装置。
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