JP2004006509A - ウエハ検査装置及びコンタクト高さ補正方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】プローブとウエハの電極パッドとの間のファーストコンタクトを適切に行うことができ、かつ効率的なウエハ検査ができるウエハ検査装置及びコンタクト高さ補正方法を提供する。
【解決手段】ウエハ検査装置において、距離計により計測されたステージ上面からプローブ先端までの距離から前記ウエハの厚みを差し引いた距離と、検出回路により導通が検出されたときのプローブ先端とウエハ表面との間の距離との差分を求め、次回の距離計により計測されるプローブ先端とウエハ表面との間の距離に関する補正値とする。
【選択図】図1
【解決手段】ウエハ検査装置において、距離計により計測されたステージ上面からプローブ先端までの距離から前記ウエハの厚みを差し引いた距離と、検出回路により導通が検出されたときのプローブ先端とウエハ表面との間の距離との差分を求め、次回の距離計により計測されるプローブ先端とウエハ表面との間の距離に関する補正値とする。
【選択図】図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハの検査に係るウエハ検査装置及びコンタクト高さ補正方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子の製造工程の中で、数百個の半導体素子が一度に形成された半導ウエハ(以下、ウエハと称する)の状態でウエハ検査装置によって半導体素子ごとの電気的特性を検査する工程がある。
【0003】
このウエハ検査装置は、電気的回路を構成するための端子を有しウエハを保持するステージと、複数の測定用探針(以下、プローブと称する)を有し前記ウエハの検査面の上方にプローブを有する面を対向させてプローバのカードホルダーに取り付けられるプローブカードと、前記プローブに電気的に接続されるテスタと、前記ステージをXYZθ方向に駆動するためのXYZθ駆動部と、前記XYZθ駆動部の動作を制御する制御部とを備えている。ウエハ検査は半導体素子の複数の電極パッドに複数のプローブをそれぞれ接触させ、それらのプローブにつながったテスタによって検査が行われる。
【0004】
この際、ウエハがステージにセットされ、検査が開始されるまでには次のような操作が必要である。
(1)プローブがウエハの所定の電極パッドの位置にくるようにステージをXY方向に移動させる。
(2)ステージをZ方向に上昇させてプローブを電極パッドに接触させる。この接触はプローブと電極パッドとの間で電気的な導通がある接触であり、ファーストコンタクトと称する。
(3)そのファーストコンタクトの高さ位置からさらにステージを所定の距離だけ上昇させてプローブが電極パッドを所定の圧力で押えるようにして、プローブと電極パッドとの間の導通を安定させる。この所定の距離のことをオーバードライブ量(OD量)と称する。
【0005】
ウエハ検査では、このプローブが電極パッドを押える(プローブの針立て)圧力が適切な範囲内にある必要があり、小さすぎると接触界面に抵抗が生じるため正確な検査が行えず、大きすぎると電極パッドであるアルミニウム膜を突き破ってしまい半導体素子として使い物にならなくなる。
前記圧力にはファーストコンタクト高さ位置、オーバードライブ量の2つの要因が関係するが、オーバードライブ量は予め決まっているため、ファーストコンタクトが適切に行えるかが問題となる。
従来は使用者が目視でファーストコンタクトのためのステージ上昇操作を行っていたため、ファーストコンタクトと判断した高さ位置にばらつきが生じてしまい、検査精度が悪いばかりでなく、製品としての半導体素子の歩留も低下させていた。
【0006】
そこで、このファーストコンタクトの問題に関して、特開平5−41421号公報ではタッチセンサユニットを用いたファーストコンタクトの検出による改善方法が開示されている。
この方式は、図5に示すようにパルスモータ35に駆動パルスを供給することによりウエハ27を搭載したステージ26を段階的に上昇させ、タッチセンサユニットによってプローブ20とウエハ27との間のコンタクトを検出した時点をファーストコンタクトとし、そこから所定のオーバードライブ量だけ上昇させてウエハ検査を行うものであった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この方式ではファーストコンタクトの高さ位置を正確に把握することができるが、ウエハ27とプローブ20を有するプローブカードとの間を例えば500μmほど離した位置からステップ上昇を開始することとしており、ファーストコンタクトまでに時間を要していた。これはウエハごとにそのつど行われるものであるため、ウエハ検査工程の効率を阻害するものであった。
【0008】
本発明は、以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであり、プローブとウエハの電極パッドとの間のファーストコンタクトを適切に行うことができ、かつ効率的なウエハ検査ができるウエハ検査装置及びコンタクト高さ補正方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために提供する本願第一の発明に係るウエハ検査装置は、ウエハを保持するステージと、ステージの上方に配置されるカードホルダーと、プローブを有し前記ウエハ表面に当該プローブを有する面を対向させて前記カードホルダーに取り付けられるプローブカードと、前記プローブ及びウエハに電気的に接続される検査用テスタと、前記ステージをカードホルダーに取り付けられたプローブカードのプローブを有する面に対して水平方向及び垂直方向に移動させるための駆動部と、前記カードホルダー及びステージ上面の高さ位置を認識し前記駆動部の動作を制御する制御部とを備えたウエハ検査装置において、前記プローブ及びウエハに電気的に接続され、プローブ先端とウエハ表面とが接触した場合にその導通を検出する検出回路と、前記カードフォルダーの高さ位置に設置され、前記ウエハ表面までの垂直直線距離を計測する第1の距離計と、前記ステージ上面の高さ位置にあってステージとともに移動するように設置され、前記プローブの先端までの垂直直線距離を計測する第2の距離計と、前記第1の距離計及び第2の距離計により計測されたそれぞれの垂直直線距離データと、その計測時に前記制御部が認識したカードホルダーとステージ上面との間の距離データと、前記検出回路により導通が検出されたときのプローブ先端とウエハ表面との間の距離データとに基づき次回の第1の距離計及び第2の距離計により計測されるプローブ先端とウエハ表面との間の距離を補正する補正値を求める演算部とを備えたことを特徴とする。
【0010】
この装置により、距離計によるプローブとウエハの電極パッドとの間の距離の計測誤差を事前に同一条件下でその計測による両者間の距離と電気的に確認した両者間の距離との差分として求めて次回以降の計測時に補正する(以下、この操作をキャリブレーション操作と称する)ことによって、ウエハ検査時のファーストコンタクトのための高さ設定を距離計で測定するだけで適切に行うことができようになる。また、正確なオーバードライブ量を製品プローブカードに加えることが出来るようになり、少なくても1%以上の歩留向上に寄与するとともに、プローブに必要以上のOD量を掛けることがなくなり、プローブの針立て精度を維持できる効果が有る。
ここで、距離計の距離計測方式は二重像合致式あるいは上下像合致式の外光方式でもよく、35ミリ判一眼レフで使用されているTTL(through−the−lens)方式やアクティブ方式を利用してもよい。
検出回路とテスタとは、いずれもプローブ及びウエハに電気的に接続され電気回路を形成するものであるから、プローブとウエハとの間で一部を並列に配線しておき切替スイッチによりいずれかの回路を選択できるようにしておけばよい。また、距離計による計測結果に基いてフォーカスを調整する、いわゆるオートフォーカス方式のカメラをその距離計に付与し、距離計測の対象物をモニターするようにしてもよい。これによって、距離計測の精度をモニター上で確認することができる。
さらに、プローブカードとして製品測定用の製品プローブカードを使用する場合には、キャリブレーション操作時にその製品プローブカードの座の上に圧力接触プレートを搭載し、さらにその圧力接触プレートの上にコンタクトカードを取り付け、そのコンタクトカードをコネクタを介して検出回路に電気的に接続させるとよい。これによって、テストヘッドがない状態のキャリブレーション操作時にもプローブカードとコネクタとの間に抵抗を生じさせることなく適切な接続が可能となる。
【0011】
前記課題を解決するために提供する本願第二の発明に係るウエハ検査装置は、第一の発明において、前記演算部が、前記第1の距離計及び第2の距離計により計測されたそれぞれの垂直直線距離データと、その計測時に前記制御部が認識したカードホルダーとステージ上面との間の距離データと、前記検出回路により導通が検出されたときのプローブ先端とウエハ表面との間の距離データとに基づき、第2の距離計により計測されたステージ上面からプローブ先端までの距離から前記ウエハの厚みを差し引いた距離と、前記検出回路により導通が検出されたときのプローブ先端とウエハ表面との間の距離との差分を求めて補正値とすることを特徴とする。
【0012】
この装置により、距離計によるプローブとウエハの電極パッドとの間の距離の計測誤差を事前に同一条件下で電気的に確認した両者間の距離を基準として求めることができ、次回以降の計測時に補正することによって、ウエハ検査時のファーストコンタクトのための高さ設定を距離計で測定するだけで適切に行うことができようになる。また、正確なオーバードライブ量を製品プローブカードに加えることが出来るようになり、少なくても1%以上の歩留向上に寄与するとともに、プローブに必要以上のOD量を掛けることがなくなり、プローブの針立て精度を維持できる効果が有る。
【0013】
前記課題を解決するために提供する本願第三の発明に係るウエハ検査装置のコンタクト高さ補正方法は、ウエハを保持するステージと、ステージの上方に配置されるカードホルダーと、プローブを有し前記ウエハ表面に当該プローブを有する面を対向させて前記カードホルダーに取り付けられるプローブカードと、前記プローブ及びウエハに電気的に接続される検査用テスタと、前記ステージをカードホルダーに取り付けられたプローブカードのプローブを有する面に対して水平方向及び垂直方向に移動させるための駆動部と、前記カードホルダー及びステージ上面の高さ位置を認識し前記駆動部の動作を制御する制御部と、前記カードフォルダーの高さ位置に設置され、前記ウエハ表面までの垂直直線距離を計測する第1の距離計と、前記ステージ上面の高さ位置にあってステージとともに移動するように設置され、前記プローブの先端までの垂直直線距離を計測する第2の距離計と、距離データに基づき演算する演算部とを備えたウエハ検査装置のコンタクト高さ補正方法において、前記演算部にて第2の距離計により計測されたステージ上面からプローブ先端までの距離から前記ウエハの厚みを差し引いた距離と、前記検出回路により導通が検出されたときのプローブ先端とウエハ表面との間の距離との差分を求め、次回の第1の距離計及び第2の距離計により計測されるプローブ先端とウエハ表面との間の距離に関する補正値とすることを特徴とする。
【0014】
この方法により、距離計によるプローブとウエハの電極パッドとの間の距離の計測誤差を事前に同一条件下で電気的に確認した両者間の距離を基準として求めることができ、次回以降の計測時に補正することによって、ウエハ検査時のファーストコンタクトのための高さ設定を距離計で測定するだけで適切に行うことができようになる。また、正確なオーバードライブ量を製品プローブカードに加えることが出来るようになり、少なくても1%以上の歩留向上に寄与するとともに、プローブに必要以上のOD量を掛けることがなくなり、プローブの針立て精度を維持できる効果が有る。
【0015】
前記課題を解決するために提供する本願第四の発明に係るウエハ検査装置のコンタクト高さ補正方法は、第三の発明において、前記ウエハ検査に関与するプローブが複数の場合に、前記第2の距離計によりそれぞれのプローブについてステージ上面からプローブ先端までの距離を計測し、その平均値を第2の距離計により計測されたステージ上面からプローブ先端までの距離として演算に供することを特徴とする。
【0016】
この方法により、第三の発明の作用効果に加えて、複数のプローブの高さのばらつき成分を補正値の中に含めることができるため、電極パッドに対するダメージを最小限にすることができる。
【0017】
前記課題を解決するために提供する本願第五の発明に係るウエハ検査装置のコンタクト高さ補正方法は、第三または第四の発明において、前記ウエハの厚みが、前記第1の距離計及び第2の距離計による計測時に前記制御部が認識したカードホルダーとステージ上面との間の距離と第1の距離計により計測されたカードホルダーからウエハ表面までの距離との差分であることを特徴とする。
【0018】
この方法により、距離計によるプローブとウエハの電極パッドとの間の距離の計測誤差を事前に同一条件下で電気的に確認した両者間の距離を基準として求めることができ、次回以降の計測時に補正することによって、ウエハ検査時のファーストコンタクトのための高さ設定を距離計で測定するだけで適切に行うことができようになる。また、正確なオーバードライブ量を製品プローブカードに加えることが出来るようになり、少なくても1%以上の歩留向上に寄与するとともに、プローブに必要以上のOD量を掛けることがなくなり、プローブの針立て精度を維持できる効果が有る。
ここで、測定対象のウエハ上にフォーカスパターンを形成しておくと、距離計による正確な距離の計測が可能となる。
【0019】
前記課題を解決するために提供する本願第六の発明に係るウエハ検査装置のコンタクト高さ補正方法は、ウエハを保持するステージと、ステージの上方に配置されるカードホルダーと、プローブを有し前記ウエハ表面に当該プローブを有する面を対向させて前記カードホルダーに取り付けられるプローブカードと、前記プローブ及びウエハに電気的に接続される検査用テスタと、前記ステージをカードホルダーに取り付けられたプローブカードのプローブを有する面に対して水平方向及び垂直方向に移動させるための駆動部と、前記カードホルダー及びステージ上面の高さ位置を認識し前記駆動部の動作を制御する制御部と、前記カードフォルダーの高さ位置に設置され、前記ウエハ表面までの垂直直線距離を計測する第1の距離計と、前記ステージ上面の高さ位置にあってステージとともに移動するように設置され、前記プローブの先端までの垂直直線距離を計測する第2の距離計と、距離データに基づき演算する演算部とを備えたウエハ検査装置のプローブ先端とウエハ表面とのコンタクト高さ補正方法において、第1の距離計によって前記ウエハ表面までの垂直直線距離を計測する第1計測工程と、第2の距離計によって前記プローブの先端までの垂直直線距離を計測する第2計測工程と、前記第2計測工程により計測された距離から第1設定値だけ差し引いた距離だけ前記ステージを上昇させ、当該ステージをその高さ位置から第2設定値ずつステップ回数をカウントしながらステップ上昇させるステップ上昇工程と、前記検出回路により導通が検出された段階で前記ステップ上昇をストップさせ、前記演算部がそのときのステップ回数に基づきプローブ先端とウエハ表面との間の距離を算出する第1演算工程と、前記第1計測工程及び第2計測工程により計測されたそれぞれの垂直直線距離データと、その計測時に前記制御部が認識したカードホルダーとステージ上面との間の距離データと、前記第1演算工程により算出された距離データとに基づき、次回の第1の距離計及び第2の距離計により計測されるプローブ先端とウエハ表面との間の距離に関する補正値を求める第2演算工程とを備えたことを特徴とする。
【0020】
この方法により、距離計によるプローブとウエハの電極パッドとの間の距離の計測誤差を事前に同一条件下で電気的に確認した両者間の距離を基準として求めることができ、次回以降の計測時に補正することによって、ウエハ検査時のファーストコンタクトのための高さ設定を距離計で測定するだけで適切に行うことができようになる。また、正確なオーバードライブ量を製品プローブカードに加えることが出来るようになり、少なくても1%以上の歩留向上に寄与するとともに、プローブに必要以上のOD量を掛けることがなくなり、プローブの針立て精度を維持できる効果が有る。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係るウエハ検査装置の一実施の形態における構成について図面を参照して説明する。
図1(a)は、本発明に係るウエハ検査装置の一実施の形態における構成を示すブロック図である。
(装置構成)
図1(a)に示すように、ウエハ検査装置は、電気的回路を構成するための端子9を有しウエハ1を保持するステージ6と、プローブ4を有し前記ウエハ1の上面にプローブ4を有する面を対向させてプローバのカードホルダー(図示せず)に取り付けられるプローブカード3と、前記カードホルダーと同じ高さ位置に配置されウエハ1の表面をモニターし距離計測機能を有するカメラ2と、ステージ6上面と同じ高さ位置に配置されプローブ4の先端をモニターし距離計測機能を有するカメラ5と、一端が端子9に接続され電気的回路を切り替えるスイッチ10と、一端が前記スイッチ10の一端10aに接続され他端がコネクタ12を介してプローブ4に接続される検出回路11と、前記ステージ6をXYZθ方向に駆動するためのXYZθ駆動7と、前記XYZθ駆動7の動作を制御する制御部8と、カメラ2、5及び制御部8と接続され高さ位置データを演算し記憶する演算記憶部(図示せず)とを備えている。
【0022】
スイッチ10において端子10aに接続している場合がウエハ1と検出回路11とプローブ4とからなるウエハ1とプローブ4とのコンタクト電流を検出する回路を構成し、本願発明に係るコンタクト高さキャリブレーション機構に関係する。
端子10bに接続している場合はウエハ1とプローブ4とがコンタクトしている前提でウエハ検査用の信号入力ライン13につながり、ウエハの検査に関係する。
なお、図1(b)に示すように、前記ウエハ1のおもて面にウエハ1の表面高さをカメラ2で検出できるようにフォーカス用パターン14を形成している。
【0023】
カメラ2の先端とカメラ5の先端との間の距離は所定の距離Hで配置されている。
また、カメラ2、5は対象物までの距離を計測する機能を有しており、カメラ2はカメラ2の先端の高さ位置からウエハ1の上面の高さ位置までの垂直直線距離を計測し、カメラ5はカメラ5の先端の高さ位置からプローブ4の先端の高さ位置までの垂直直線距離を計測する。ここで利用される距離計測方式は二重像合致式あるいは上下像合致式の外光方式でもよく、35ミリ判一眼レフで使用されているTTL(through−the−lens)方式やアクティブ方式を利用してもよい。
【0024】
(コンタクト高さ補正操作手順)
図1(a)のウエハ検査装置におけるコンタクト高さ補正操作について図2に示す工程図を参照しながら説明する。
コンタクト高さ補正操作に当っては、プローブカード3にはキャリブレーション用プローブカードを適用し、その上面に取り付けられたコネクタ12に検出回路11の電圧出力側ラインを接続しておく。また、操作スタート時のステージ6上面のZ方向の位置を基準高さ位置とし、制御部8における高さ位置データを0としておく。
【0025】
(S101)フォーカス用パターン14を形成したウエハ1をローダー(図示せず)より搬送しステージ6に載せ、XYZθ駆動部7を制御部8の信号によりXY方向に駆動させステージ6上のウエハ1をウエハ高さ検出用のカメラ2の下に移動させる。移動制御に関して、ウエハ1の位置データを予め設定しておき自動的にステージ6を移動させてもよいし、使用者がカメラ2のモニター映像を見ながらステージ6を移動させてもよい。
【0026】
(S102)カメラ2でウエハ1おもて面に形成されたフォーカス用パターン14を利用し、カメラ2の先端の高さ位置からウエハ1の上面の高さ位置までの距離を計測し、その計測値をZ11値とし、演算値(H−Z11)とともに演算記憶部に記憶させる。ここでは、例えばH=600、Z11=550であったとする。
【0027】
(S103)XYZθ駆動部7を制御部8の信号によりXY方向に駆動させステージ6側壁に取り付けたプローブ4の先端高さ検出用カメラ5をプローブ4の下に移動する。移動制御に関して、プローブ4の位置データを予め設定しておき自動的にステージ6を移動させてもよいし、使用者がカメラ5のモニター映像を見ながらステージ6を移動させてもよい。
【0028】
(S104)カメラ5でカメラ5の先端の高さ位置からプローブ4の先端の高さ位置までの距離を計測し、その計測値をZ12値として演算記憶部に記憶させる。ここでは、例えばZ12=400であったとする。
【0029】
(S105)演算記憶部にて演算値(Z12−x1)μmを求め、その演算値を制御部8に通知する。制御部8はXYZθ駆動部7を制御し、その演算値分だけステージ6を上昇させる。ここでは、例えばx1=200とする。
【0030】
(S106)ステージ6の端子9と接続しているスイッチ10を10a側に作動させ、検出回路11の電流検出端子側との間で回路を構成する。
【0031】
(S107)制御部8の信号により、XYZθ駆動部7を駆動させ、その上に取り付けたステージ6を(x2)μm上昇させる。ここでは、例えばx2=1とする。
【0032】
(S108)検出回路11の出力電圧に基づく導通を検出回路11の電流検出回路で調べて、プローブ4とウエハ1とのコンタクトの有無を判断する。導通があった場合がコンタクト有と判断され、導通がない場合がコンタクト無と判断される。
【0033】
<コンタクト無の場合>ステップS107に戻り、更に(x2)μm分上昇させ、ステップ108の導通検出を行う。
【0034】
<コンタクト有の場合>次のステップS109に進む。
(S109)そのときのプローブ4の先端高さを電気的コンタクトに基づくプローブ先端とウエハ表面との間の距離Z13値として演算記憶部に記憶させる。詳しくは、ステップS107の実施回数をカウントしておき、n回目の(x2)μm上昇でステージ6の上昇が停止した場合、演算記憶部にて次式(1)に基づきZ13値が求められる。
Z13=Z12−x1+x2・n … (1)
【0035】
(S110)スイッチ10をテスタ信号の入力ラインに接続されている10b側へ切り替える。ウエハ検査の準備である。
【0036】
(S111)演算記憶部に記憶されているZ12値とZ13値との差を求め、さらに演算値(H−Z11)との差を求め、補正値C1として演算記憶部に記憶させる。詳しくは、次式(2)のようになる。
ここで示した事例ではステップS107の実施回数が100回とすると、補正値C1は50となる。
キャリブレーション用プローブカード3などの治工具類を取出す。
【0037】
(S112)キャリブレーション用プローブカードに替えて製品測定用の製品プローブカードが、ステージ6上に検査対象のウエハがセットされた後にカメラ2、5によるそれぞれの高さ計測が行われる。
その際、カメラ5により計測されたカメラ5の先端の高さ位置からプローブ4の先端の高さ位置までの距離Z2とカメラ2により計測されたカメラ2の先端の高さ位置からウエハ1の上面の高さ位置までの距離Z1と演算記憶部に記憶されている補正値C1とから演算記憶部にて次式(3)の演算を行う。
M1=Z2−C1−(H−Z1) … (3)
以上で高さ位置計測のキャリブレーションが完了する。
ウエハ検査に当っては、この演算結果M1を制御部8に通知し、制御部8がその演算結果M1に基づいてXYZθ駆動部7を駆動させステージ6を上昇させることによって、ウエハ1とプローブ4との間でウエハ1表面をプローブ4の先端で傷付けることなく適正な電気的ファーストコンタクトを得ることができる。
【0038】
上記装置構成において、キャリブレーション用プローブカード3が複数本のプローブを有している場合でもプローブ高さ検出カメラ5の計測対象となるプローブをコネクタ12を経由して検出回路11と接続し上記のコンタクト高さ補正操作によって同一の効果が得られる。
また、上記カメラ2、5による高さ計測時に、距離計測機能による高さの自動計測と共に使用者が目視で対象物に対してフォーカスが合っているかどうかなどの状態をモニター上で確認できるようにするとよい。
上記装置ではステージ6がXYZθ駆動部7によって移動する構成であったが、カードホルダーがXYZθ駆動部7によって移動する構成としてもよい。この場合、ステージ6及びカメラ5は固定であり、カメラ2がカードホルダー及びプローブカード3ともに移動する。
【0039】
次に、本発明に係る本発明に係るウエハ検査装置のその他の実施の形態における構成について図面を参照して以下に説明する。
(装置構成)
図3は、本発明に係るウエハ検査装置のその他の実施の形態における構成を示すブロック図である。
図3は複数のプローブ4を有する製品測定用の製品プローブカード15と圧力接触プレート17(以下、PCRと称する)とコンタクトカード18との組合せを使用する場合を示している。前記製品プローブカード15はプローバのインサートリング(図示せず)にセットされ、その製品プローブカード15の座16の上にPCR17が搭載され、さらにそのPCR17の上にコンタクトカード18が自身に施された金めっき層を介して取り付けられている。そのコンタクトカード18はコネクタ12を介して検出回路11に電気的に接続されている。その他の構成は、図1に示す装置構成と同じである。
【0040】
(コンタクト高さ補正操作)
図3のウエハ検査装置におけるコンタクト高さ補正操作について図4に示す工程図を参照しながら説明する。
(S201)ウエハ装置のテストヘッドを開いた状態で図3に示す構成となるように製品プローブカード15とPCR17とコンタクトカード18とを取り付ける。
【0041】
(S202)フォーカス用パターン14を形成したウエハ1をローダー(図示せず)より搬送しステージ6に載せ、XYZθ駆動部7を制御部8の信号によりXY方向に駆動させステージ6上のウエハ1をウエハ高さ検出用のカメラ2の下に移動させる。移動制御に関して、ウエハ1の位置データを予め設定しておき自動的にステージ6を移動させてもよいし、使用者がカメラ2のモニター映像を見ながらステージ6を移動させてもよい。
【0042】
(S203)カメラ2でウエハ1おもて面に形成されたフォーカス用パターン14を利用し、カメラ2の先端の高さ位置からウエハ1の上面の高さ位置までの距離を計測し、その計測値をZ21値とし、演算値(H−Z21)とともに演算記憶部に記憶させる。ここでは、例えばH=600、Z21=500であったとする。
【0043】
(S204)XYZθ駆動部7を制御部8の信号によりXY方向に駆動させステージ6側壁に取り付けたプローブ4の先端高さ検出用カメラ5を予め検査に使用されるプローブとして登録されている複数のプローブ4の下に順次移動させ、カメラ5でプローブごとにカメラ5の先端の高さ位置から対象プローブ4の先端の高さ位置までの距離を計測し、その計測値を演算記憶部に記憶させる。
すべてのプローブ4についての計測終了後に演算記憶部にてすべての計測値に基づきその平均値を求め、その平均値をZ22値とし、演算値(H−Z22)とともに演算記憶部に記憶させる。
なお、移動制御に関して、登録されているプローブ4の位置データを予め設定しておき自動的にステージ6を移動させてもよいし、使用者がカメラ5のモニター映像を見ながらステージ6を移動させてもよい。
【0044】
(S205)演算記憶部にて演算値(Z22−x3)μmを求め、その演算値を制御部8に通知する。制御部8はXYZθ駆動部7を制御し、その演算値分だけステージ6を上昇させる。ここでは、例えばx3=200とする。
【0045】
(S206)ステージ6の端子9と接続しているスイッチ10を10a側に作動させ、検出回路11の電流検出端子側との間で回路を構成する。
【0046】
(S207)制御部8の信号により、XYZθ駆動部7を駆動させ、その上に取り付けたステージ6を(x4)μm上昇させる。ここでは、例えばx4=0.5とする。
【0047】
(S208)検出回路11の出力電圧に基づく導通を検出回路11の電流検出回路で調べて、プローブ4とウエハ1とのコンタクトの有無を判断する。導通があった場合がコンタクト有と判断され、導通がない場合がコンタクト無と判断される。
【0048】
<コンタクト無の場合>ステップS207に戻り、更に(x4)μm分上昇させ、ステップS208の導通検出を行う。
【0049】
<コンタクト有の場合>次のステップS209へ進む。
(S209)そのときのプローブ4の先端高さを電気的コンタクトに基づくプローブ先端高さZ23値として演算記憶部に記憶させる。詳しくは、ステップS207の実施回数をカウントしておき、n回目の(x4)μm上昇でステージ6の上昇が停止した場合、演算記憶部にて次式(4)に基づきZ13値が求められる。
Z23=Z22−x3+x4・n … (4)
【0050】
(S210)スイッチ10をテスタ信号の入力ラインに接続されている10b側へ切り替える。ウエハ検査の準備である。
【0051】
(S211)演算記憶部に記憶されているZ22値とZ23値との差を求め、さらに演算値(H−Z21)との差を求め、補正値C2として演算記憶部に記憶させる。詳しくは、次式(5)のようになる。
ここで示した事例ではステップS207の実施回数が100回とすると、補正値C2は50となる。
【0052】
(S212)ステージ6操作スタート時の高さ位置まで下降させる。
【0053】
(S213)コンタクトカード18とPCR17を外し、テストヘッドを閉じる。
【0054】
(S214)XYZθ駆動部7を制御部8の信号によりXY方向に駆動させステージ6側壁に取り付けたプローブ4の先端高さ検出用カメラ5を予め検査に使用されるプローブとして登録されている複数のプローブ4の下に順次移動させ、カメラ5でプローブごとにカメラ5の先端の高さ位置から対象プローブ4の先端の高さ位置までの距離を計測し、その計測値を演算記憶部に記憶させる。
すべてのプローブ4についての計測終了後に演算記憶部にてすべての計測値に基づきその平均値を求め、その平均値をZ24値として演算記憶部に記憶させる。
【0055】
(S215)カメラ2によって計測されたカメラ2の先端の高さ位置からウエハ1の上面の高さ位置までの距離Z21とステップS214で求められたZ24値と演算記憶部に記憶されている補正値C2とから演算記憶部にて次式(6)の演算を行う。
M2=Z24−C2−(H−Z21) … (6)
以上で高さ位置計測のキャリブレーションが完了する。
ウエハ検査に当っては、この演算結果M2を制御部8に通知し、制御部8がその演算結果M2に基づいてXYZθ駆動部7を駆動させステージ6を上昇させることによって、ウエハ1とプローブ4との間でウエハ1表面をプローブ4の先端で傷付けることなく適正な電気的ファーストコンタクトを得ることができる。
【0056】
この実施例では、実際のプローブカードでの全てのプローブを対象にした、高さ検出ができるようになるため、プローブカードが元々持っているプローブの高さバラツキ成分を補正値として求めることができるようになり、パッドに対する傷などのダメージを最小限にすることを要求されている製品に対する効果が有る。
【0057】
【発明の効果】
本発明に係る装置により、距離計によるプローブとウエハの電極パッドとの間の距離の計測誤差を事前に同一条件下で電気的に確認した両者間の距離を基準として求めることができ、次回以降の計測時に補正することによって、ウエハ検査時のファーストコンタクトのための高さ設定を距離計で測定するだけで適切に行うことができようになる。また、正確なオーバードライブ量を製品プローブカードに加えることが出来るようになり、少なくても1%以上の歩留向上に寄与するとともに、プローブに必要以上のOD量を掛けることがなくなり、プローブの針立て精度を維持できる効果が有る。
【0058】
本発明に係る方法により、距離計によるプローブとウエハの電極パッドとの間の距離の計測誤差を事前に同一条件下で電気的に確認した両者間の距離を基準として求めることができ、次回以降の計測時に補正することによって、ウエハ検査時のファーストコンタクトのための高さ設定を距離計で測定するだけで適切に行うことができようになる。また、正確なオーバードライブ量を製品プローブカードに加えることが出来るようになり、少なくても1%以上の歩留向上に寄与するとともに、プローブに必要以上のOD量を掛けることがなくなり、プローブの針立て精度を維持できる効果が有る。
さらに、複数のプローブの高さのばらつき成分を補正値の中に含めることができるため、電極パッドに対するダメージを最小限にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るウエハ検査装置の一実施の形態における構成を示すブロック図である。
【図2】本発明に係るウエハ検査装置の一実施の形態におけるコンタクト高さ補正操作の手順を示すフローチャート図である。
【図3】本発明に係るウエハ検査装置のほかの実施の形態における構成を示すブロック図である。
【図4】本発明に係るウエハ検査装置のほかの実施の形態におけるコンタクト高さ補正操作の手順を示すフローチャート図である。
【図5】ウエハ検査装置の従来の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
1、27 … ウエハ
2、5 … 距離計測機能付きカメラ
3 … キャリブレーション用プローブカード
4、20 … プローブ
6、26 … ステージ
7 … XYZθ駆動部
8 … 制御部
9、28 … 端子
10、31 … スイッチ
10a、31a … スイッチの一端
10b、31b … スイッチの他端
11 … 検出回路
12 … コネクタ
13 … テスタ信号の入力ライン
14 … フォーカス用パターン
15 … 製品プローブカード
16 … 座
17 … 圧力接触プレート(PCR)
18 … コンタクトカード
29 … 交流信号発生器
30 … 検出抵抗
32 … 増幅器
33 … 比較器
34 … Z方向制御手段
35 … パルスモータ
27a … 電極パッド
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハの検査に係るウエハ検査装置及びコンタクト高さ補正方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子の製造工程の中で、数百個の半導体素子が一度に形成された半導ウエハ(以下、ウエハと称する)の状態でウエハ検査装置によって半導体素子ごとの電気的特性を検査する工程がある。
【0003】
このウエハ検査装置は、電気的回路を構成するための端子を有しウエハを保持するステージと、複数の測定用探針(以下、プローブと称する)を有し前記ウエハの検査面の上方にプローブを有する面を対向させてプローバのカードホルダーに取り付けられるプローブカードと、前記プローブに電気的に接続されるテスタと、前記ステージをXYZθ方向に駆動するためのXYZθ駆動部と、前記XYZθ駆動部の動作を制御する制御部とを備えている。ウエハ検査は半導体素子の複数の電極パッドに複数のプローブをそれぞれ接触させ、それらのプローブにつながったテスタによって検査が行われる。
【0004】
この際、ウエハがステージにセットされ、検査が開始されるまでには次のような操作が必要である。
(1)プローブがウエハの所定の電極パッドの位置にくるようにステージをXY方向に移動させる。
(2)ステージをZ方向に上昇させてプローブを電極パッドに接触させる。この接触はプローブと電極パッドとの間で電気的な導通がある接触であり、ファーストコンタクトと称する。
(3)そのファーストコンタクトの高さ位置からさらにステージを所定の距離だけ上昇させてプローブが電極パッドを所定の圧力で押えるようにして、プローブと電極パッドとの間の導通を安定させる。この所定の距離のことをオーバードライブ量(OD量)と称する。
【0005】
ウエハ検査では、このプローブが電極パッドを押える(プローブの針立て)圧力が適切な範囲内にある必要があり、小さすぎると接触界面に抵抗が生じるため正確な検査が行えず、大きすぎると電極パッドであるアルミニウム膜を突き破ってしまい半導体素子として使い物にならなくなる。
前記圧力にはファーストコンタクト高さ位置、オーバードライブ量の2つの要因が関係するが、オーバードライブ量は予め決まっているため、ファーストコンタクトが適切に行えるかが問題となる。
従来は使用者が目視でファーストコンタクトのためのステージ上昇操作を行っていたため、ファーストコンタクトと判断した高さ位置にばらつきが生じてしまい、検査精度が悪いばかりでなく、製品としての半導体素子の歩留も低下させていた。
【0006】
そこで、このファーストコンタクトの問題に関して、特開平5−41421号公報ではタッチセンサユニットを用いたファーストコンタクトの検出による改善方法が開示されている。
この方式は、図5に示すようにパルスモータ35に駆動パルスを供給することによりウエハ27を搭載したステージ26を段階的に上昇させ、タッチセンサユニットによってプローブ20とウエハ27との間のコンタクトを検出した時点をファーストコンタクトとし、そこから所定のオーバードライブ量だけ上昇させてウエハ検査を行うものであった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この方式ではファーストコンタクトの高さ位置を正確に把握することができるが、ウエハ27とプローブ20を有するプローブカードとの間を例えば500μmほど離した位置からステップ上昇を開始することとしており、ファーストコンタクトまでに時間を要していた。これはウエハごとにそのつど行われるものであるため、ウエハ検査工程の効率を阻害するものであった。
【0008】
本発明は、以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであり、プローブとウエハの電極パッドとの間のファーストコンタクトを適切に行うことができ、かつ効率的なウエハ検査ができるウエハ検査装置及びコンタクト高さ補正方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために提供する本願第一の発明に係るウエハ検査装置は、ウエハを保持するステージと、ステージの上方に配置されるカードホルダーと、プローブを有し前記ウエハ表面に当該プローブを有する面を対向させて前記カードホルダーに取り付けられるプローブカードと、前記プローブ及びウエハに電気的に接続される検査用テスタと、前記ステージをカードホルダーに取り付けられたプローブカードのプローブを有する面に対して水平方向及び垂直方向に移動させるための駆動部と、前記カードホルダー及びステージ上面の高さ位置を認識し前記駆動部の動作を制御する制御部とを備えたウエハ検査装置において、前記プローブ及びウエハに電気的に接続され、プローブ先端とウエハ表面とが接触した場合にその導通を検出する検出回路と、前記カードフォルダーの高さ位置に設置され、前記ウエハ表面までの垂直直線距離を計測する第1の距離計と、前記ステージ上面の高さ位置にあってステージとともに移動するように設置され、前記プローブの先端までの垂直直線距離を計測する第2の距離計と、前記第1の距離計及び第2の距離計により計測されたそれぞれの垂直直線距離データと、その計測時に前記制御部が認識したカードホルダーとステージ上面との間の距離データと、前記検出回路により導通が検出されたときのプローブ先端とウエハ表面との間の距離データとに基づき次回の第1の距離計及び第2の距離計により計測されるプローブ先端とウエハ表面との間の距離を補正する補正値を求める演算部とを備えたことを特徴とする。
【0010】
この装置により、距離計によるプローブとウエハの電極パッドとの間の距離の計測誤差を事前に同一条件下でその計測による両者間の距離と電気的に確認した両者間の距離との差分として求めて次回以降の計測時に補正する(以下、この操作をキャリブレーション操作と称する)ことによって、ウエハ検査時のファーストコンタクトのための高さ設定を距離計で測定するだけで適切に行うことができようになる。また、正確なオーバードライブ量を製品プローブカードに加えることが出来るようになり、少なくても1%以上の歩留向上に寄与するとともに、プローブに必要以上のOD量を掛けることがなくなり、プローブの針立て精度を維持できる効果が有る。
ここで、距離計の距離計測方式は二重像合致式あるいは上下像合致式の外光方式でもよく、35ミリ判一眼レフで使用されているTTL(through−the−lens)方式やアクティブ方式を利用してもよい。
検出回路とテスタとは、いずれもプローブ及びウエハに電気的に接続され電気回路を形成するものであるから、プローブとウエハとの間で一部を並列に配線しておき切替スイッチによりいずれかの回路を選択できるようにしておけばよい。また、距離計による計測結果に基いてフォーカスを調整する、いわゆるオートフォーカス方式のカメラをその距離計に付与し、距離計測の対象物をモニターするようにしてもよい。これによって、距離計測の精度をモニター上で確認することができる。
さらに、プローブカードとして製品測定用の製品プローブカードを使用する場合には、キャリブレーション操作時にその製品プローブカードの座の上に圧力接触プレートを搭載し、さらにその圧力接触プレートの上にコンタクトカードを取り付け、そのコンタクトカードをコネクタを介して検出回路に電気的に接続させるとよい。これによって、テストヘッドがない状態のキャリブレーション操作時にもプローブカードとコネクタとの間に抵抗を生じさせることなく適切な接続が可能となる。
【0011】
前記課題を解決するために提供する本願第二の発明に係るウエハ検査装置は、第一の発明において、前記演算部が、前記第1の距離計及び第2の距離計により計測されたそれぞれの垂直直線距離データと、その計測時に前記制御部が認識したカードホルダーとステージ上面との間の距離データと、前記検出回路により導通が検出されたときのプローブ先端とウエハ表面との間の距離データとに基づき、第2の距離計により計測されたステージ上面からプローブ先端までの距離から前記ウエハの厚みを差し引いた距離と、前記検出回路により導通が検出されたときのプローブ先端とウエハ表面との間の距離との差分を求めて補正値とすることを特徴とする。
【0012】
この装置により、距離計によるプローブとウエハの電極パッドとの間の距離の計測誤差を事前に同一条件下で電気的に確認した両者間の距離を基準として求めることができ、次回以降の計測時に補正することによって、ウエハ検査時のファーストコンタクトのための高さ設定を距離計で測定するだけで適切に行うことができようになる。また、正確なオーバードライブ量を製品プローブカードに加えることが出来るようになり、少なくても1%以上の歩留向上に寄与するとともに、プローブに必要以上のOD量を掛けることがなくなり、プローブの針立て精度を維持できる効果が有る。
【0013】
前記課題を解決するために提供する本願第三の発明に係るウエハ検査装置のコンタクト高さ補正方法は、ウエハを保持するステージと、ステージの上方に配置されるカードホルダーと、プローブを有し前記ウエハ表面に当該プローブを有する面を対向させて前記カードホルダーに取り付けられるプローブカードと、前記プローブ及びウエハに電気的に接続される検査用テスタと、前記ステージをカードホルダーに取り付けられたプローブカードのプローブを有する面に対して水平方向及び垂直方向に移動させるための駆動部と、前記カードホルダー及びステージ上面の高さ位置を認識し前記駆動部の動作を制御する制御部と、前記カードフォルダーの高さ位置に設置され、前記ウエハ表面までの垂直直線距離を計測する第1の距離計と、前記ステージ上面の高さ位置にあってステージとともに移動するように設置され、前記プローブの先端までの垂直直線距離を計測する第2の距離計と、距離データに基づき演算する演算部とを備えたウエハ検査装置のコンタクト高さ補正方法において、前記演算部にて第2の距離計により計測されたステージ上面からプローブ先端までの距離から前記ウエハの厚みを差し引いた距離と、前記検出回路により導通が検出されたときのプローブ先端とウエハ表面との間の距離との差分を求め、次回の第1の距離計及び第2の距離計により計測されるプローブ先端とウエハ表面との間の距離に関する補正値とすることを特徴とする。
【0014】
この方法により、距離計によるプローブとウエハの電極パッドとの間の距離の計測誤差を事前に同一条件下で電気的に確認した両者間の距離を基準として求めることができ、次回以降の計測時に補正することによって、ウエハ検査時のファーストコンタクトのための高さ設定を距離計で測定するだけで適切に行うことができようになる。また、正確なオーバードライブ量を製品プローブカードに加えることが出来るようになり、少なくても1%以上の歩留向上に寄与するとともに、プローブに必要以上のOD量を掛けることがなくなり、プローブの針立て精度を維持できる効果が有る。
【0015】
前記課題を解決するために提供する本願第四の発明に係るウエハ検査装置のコンタクト高さ補正方法は、第三の発明において、前記ウエハ検査に関与するプローブが複数の場合に、前記第2の距離計によりそれぞれのプローブについてステージ上面からプローブ先端までの距離を計測し、その平均値を第2の距離計により計測されたステージ上面からプローブ先端までの距離として演算に供することを特徴とする。
【0016】
この方法により、第三の発明の作用効果に加えて、複数のプローブの高さのばらつき成分を補正値の中に含めることができるため、電極パッドに対するダメージを最小限にすることができる。
【0017】
前記課題を解決するために提供する本願第五の発明に係るウエハ検査装置のコンタクト高さ補正方法は、第三または第四の発明において、前記ウエハの厚みが、前記第1の距離計及び第2の距離計による計測時に前記制御部が認識したカードホルダーとステージ上面との間の距離と第1の距離計により計測されたカードホルダーからウエハ表面までの距離との差分であることを特徴とする。
【0018】
この方法により、距離計によるプローブとウエハの電極パッドとの間の距離の計測誤差を事前に同一条件下で電気的に確認した両者間の距離を基準として求めることができ、次回以降の計測時に補正することによって、ウエハ検査時のファーストコンタクトのための高さ設定を距離計で測定するだけで適切に行うことができようになる。また、正確なオーバードライブ量を製品プローブカードに加えることが出来るようになり、少なくても1%以上の歩留向上に寄与するとともに、プローブに必要以上のOD量を掛けることがなくなり、プローブの針立て精度を維持できる効果が有る。
ここで、測定対象のウエハ上にフォーカスパターンを形成しておくと、距離計による正確な距離の計測が可能となる。
【0019】
前記課題を解決するために提供する本願第六の発明に係るウエハ検査装置のコンタクト高さ補正方法は、ウエハを保持するステージと、ステージの上方に配置されるカードホルダーと、プローブを有し前記ウエハ表面に当該プローブを有する面を対向させて前記カードホルダーに取り付けられるプローブカードと、前記プローブ及びウエハに電気的に接続される検査用テスタと、前記ステージをカードホルダーに取り付けられたプローブカードのプローブを有する面に対して水平方向及び垂直方向に移動させるための駆動部と、前記カードホルダー及びステージ上面の高さ位置を認識し前記駆動部の動作を制御する制御部と、前記カードフォルダーの高さ位置に設置され、前記ウエハ表面までの垂直直線距離を計測する第1の距離計と、前記ステージ上面の高さ位置にあってステージとともに移動するように設置され、前記プローブの先端までの垂直直線距離を計測する第2の距離計と、距離データに基づき演算する演算部とを備えたウエハ検査装置のプローブ先端とウエハ表面とのコンタクト高さ補正方法において、第1の距離計によって前記ウエハ表面までの垂直直線距離を計測する第1計測工程と、第2の距離計によって前記プローブの先端までの垂直直線距離を計測する第2計測工程と、前記第2計測工程により計測された距離から第1設定値だけ差し引いた距離だけ前記ステージを上昇させ、当該ステージをその高さ位置から第2設定値ずつステップ回数をカウントしながらステップ上昇させるステップ上昇工程と、前記検出回路により導通が検出された段階で前記ステップ上昇をストップさせ、前記演算部がそのときのステップ回数に基づきプローブ先端とウエハ表面との間の距離を算出する第1演算工程と、前記第1計測工程及び第2計測工程により計測されたそれぞれの垂直直線距離データと、その計測時に前記制御部が認識したカードホルダーとステージ上面との間の距離データと、前記第1演算工程により算出された距離データとに基づき、次回の第1の距離計及び第2の距離計により計測されるプローブ先端とウエハ表面との間の距離に関する補正値を求める第2演算工程とを備えたことを特徴とする。
【0020】
この方法により、距離計によるプローブとウエハの電極パッドとの間の距離の計測誤差を事前に同一条件下で電気的に確認した両者間の距離を基準として求めることができ、次回以降の計測時に補正することによって、ウエハ検査時のファーストコンタクトのための高さ設定を距離計で測定するだけで適切に行うことができようになる。また、正確なオーバードライブ量を製品プローブカードに加えることが出来るようになり、少なくても1%以上の歩留向上に寄与するとともに、プローブに必要以上のOD量を掛けることがなくなり、プローブの針立て精度を維持できる効果が有る。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係るウエハ検査装置の一実施の形態における構成について図面を参照して説明する。
図1(a)は、本発明に係るウエハ検査装置の一実施の形態における構成を示すブロック図である。
(装置構成)
図1(a)に示すように、ウエハ検査装置は、電気的回路を構成するための端子9を有しウエハ1を保持するステージ6と、プローブ4を有し前記ウエハ1の上面にプローブ4を有する面を対向させてプローバのカードホルダー(図示せず)に取り付けられるプローブカード3と、前記カードホルダーと同じ高さ位置に配置されウエハ1の表面をモニターし距離計測機能を有するカメラ2と、ステージ6上面と同じ高さ位置に配置されプローブ4の先端をモニターし距離計測機能を有するカメラ5と、一端が端子9に接続され電気的回路を切り替えるスイッチ10と、一端が前記スイッチ10の一端10aに接続され他端がコネクタ12を介してプローブ4に接続される検出回路11と、前記ステージ6をXYZθ方向に駆動するためのXYZθ駆動7と、前記XYZθ駆動7の動作を制御する制御部8と、カメラ2、5及び制御部8と接続され高さ位置データを演算し記憶する演算記憶部(図示せず)とを備えている。
【0022】
スイッチ10において端子10aに接続している場合がウエハ1と検出回路11とプローブ4とからなるウエハ1とプローブ4とのコンタクト電流を検出する回路を構成し、本願発明に係るコンタクト高さキャリブレーション機構に関係する。
端子10bに接続している場合はウエハ1とプローブ4とがコンタクトしている前提でウエハ検査用の信号入力ライン13につながり、ウエハの検査に関係する。
なお、図1(b)に示すように、前記ウエハ1のおもて面にウエハ1の表面高さをカメラ2で検出できるようにフォーカス用パターン14を形成している。
【0023】
カメラ2の先端とカメラ5の先端との間の距離は所定の距離Hで配置されている。
また、カメラ2、5は対象物までの距離を計測する機能を有しており、カメラ2はカメラ2の先端の高さ位置からウエハ1の上面の高さ位置までの垂直直線距離を計測し、カメラ5はカメラ5の先端の高さ位置からプローブ4の先端の高さ位置までの垂直直線距離を計測する。ここで利用される距離計測方式は二重像合致式あるいは上下像合致式の外光方式でもよく、35ミリ判一眼レフで使用されているTTL(through−the−lens)方式やアクティブ方式を利用してもよい。
【0024】
(コンタクト高さ補正操作手順)
図1(a)のウエハ検査装置におけるコンタクト高さ補正操作について図2に示す工程図を参照しながら説明する。
コンタクト高さ補正操作に当っては、プローブカード3にはキャリブレーション用プローブカードを適用し、その上面に取り付けられたコネクタ12に検出回路11の電圧出力側ラインを接続しておく。また、操作スタート時のステージ6上面のZ方向の位置を基準高さ位置とし、制御部8における高さ位置データを0としておく。
【0025】
(S101)フォーカス用パターン14を形成したウエハ1をローダー(図示せず)より搬送しステージ6に載せ、XYZθ駆動部7を制御部8の信号によりXY方向に駆動させステージ6上のウエハ1をウエハ高さ検出用のカメラ2の下に移動させる。移動制御に関して、ウエハ1の位置データを予め設定しておき自動的にステージ6を移動させてもよいし、使用者がカメラ2のモニター映像を見ながらステージ6を移動させてもよい。
【0026】
(S102)カメラ2でウエハ1おもて面に形成されたフォーカス用パターン14を利用し、カメラ2の先端の高さ位置からウエハ1の上面の高さ位置までの距離を計測し、その計測値をZ11値とし、演算値(H−Z11)とともに演算記憶部に記憶させる。ここでは、例えばH=600、Z11=550であったとする。
【0027】
(S103)XYZθ駆動部7を制御部8の信号によりXY方向に駆動させステージ6側壁に取り付けたプローブ4の先端高さ検出用カメラ5をプローブ4の下に移動する。移動制御に関して、プローブ4の位置データを予め設定しておき自動的にステージ6を移動させてもよいし、使用者がカメラ5のモニター映像を見ながらステージ6を移動させてもよい。
【0028】
(S104)カメラ5でカメラ5の先端の高さ位置からプローブ4の先端の高さ位置までの距離を計測し、その計測値をZ12値として演算記憶部に記憶させる。ここでは、例えばZ12=400であったとする。
【0029】
(S105)演算記憶部にて演算値(Z12−x1)μmを求め、その演算値を制御部8に通知する。制御部8はXYZθ駆動部7を制御し、その演算値分だけステージ6を上昇させる。ここでは、例えばx1=200とする。
【0030】
(S106)ステージ6の端子9と接続しているスイッチ10を10a側に作動させ、検出回路11の電流検出端子側との間で回路を構成する。
【0031】
(S107)制御部8の信号により、XYZθ駆動部7を駆動させ、その上に取り付けたステージ6を(x2)μm上昇させる。ここでは、例えばx2=1とする。
【0032】
(S108)検出回路11の出力電圧に基づく導通を検出回路11の電流検出回路で調べて、プローブ4とウエハ1とのコンタクトの有無を判断する。導通があった場合がコンタクト有と判断され、導通がない場合がコンタクト無と判断される。
【0033】
<コンタクト無の場合>ステップS107に戻り、更に(x2)μm分上昇させ、ステップ108の導通検出を行う。
【0034】
<コンタクト有の場合>次のステップS109に進む。
(S109)そのときのプローブ4の先端高さを電気的コンタクトに基づくプローブ先端とウエハ表面との間の距離Z13値として演算記憶部に記憶させる。詳しくは、ステップS107の実施回数をカウントしておき、n回目の(x2)μm上昇でステージ6の上昇が停止した場合、演算記憶部にて次式(1)に基づきZ13値が求められる。
Z13=Z12−x1+x2・n … (1)
【0035】
(S110)スイッチ10をテスタ信号の入力ラインに接続されている10b側へ切り替える。ウエハ検査の準備である。
【0036】
(S111)演算記憶部に記憶されているZ12値とZ13値との差を求め、さらに演算値(H−Z11)との差を求め、補正値C1として演算記憶部に記憶させる。詳しくは、次式(2)のようになる。
ここで示した事例ではステップS107の実施回数が100回とすると、補正値C1は50となる。
キャリブレーション用プローブカード3などの治工具類を取出す。
【0037】
(S112)キャリブレーション用プローブカードに替えて製品測定用の製品プローブカードが、ステージ6上に検査対象のウエハがセットされた後にカメラ2、5によるそれぞれの高さ計測が行われる。
その際、カメラ5により計測されたカメラ5の先端の高さ位置からプローブ4の先端の高さ位置までの距離Z2とカメラ2により計測されたカメラ2の先端の高さ位置からウエハ1の上面の高さ位置までの距離Z1と演算記憶部に記憶されている補正値C1とから演算記憶部にて次式(3)の演算を行う。
M1=Z2−C1−(H−Z1) … (3)
以上で高さ位置計測のキャリブレーションが完了する。
ウエハ検査に当っては、この演算結果M1を制御部8に通知し、制御部8がその演算結果M1に基づいてXYZθ駆動部7を駆動させステージ6を上昇させることによって、ウエハ1とプローブ4との間でウエハ1表面をプローブ4の先端で傷付けることなく適正な電気的ファーストコンタクトを得ることができる。
【0038】
上記装置構成において、キャリブレーション用プローブカード3が複数本のプローブを有している場合でもプローブ高さ検出カメラ5の計測対象となるプローブをコネクタ12を経由して検出回路11と接続し上記のコンタクト高さ補正操作によって同一の効果が得られる。
また、上記カメラ2、5による高さ計測時に、距離計測機能による高さの自動計測と共に使用者が目視で対象物に対してフォーカスが合っているかどうかなどの状態をモニター上で確認できるようにするとよい。
上記装置ではステージ6がXYZθ駆動部7によって移動する構成であったが、カードホルダーがXYZθ駆動部7によって移動する構成としてもよい。この場合、ステージ6及びカメラ5は固定であり、カメラ2がカードホルダー及びプローブカード3ともに移動する。
【0039】
次に、本発明に係る本発明に係るウエハ検査装置のその他の実施の形態における構成について図面を参照して以下に説明する。
(装置構成)
図3は、本発明に係るウエハ検査装置のその他の実施の形態における構成を示すブロック図である。
図3は複数のプローブ4を有する製品測定用の製品プローブカード15と圧力接触プレート17(以下、PCRと称する)とコンタクトカード18との組合せを使用する場合を示している。前記製品プローブカード15はプローバのインサートリング(図示せず)にセットされ、その製品プローブカード15の座16の上にPCR17が搭載され、さらにそのPCR17の上にコンタクトカード18が自身に施された金めっき層を介して取り付けられている。そのコンタクトカード18はコネクタ12を介して検出回路11に電気的に接続されている。その他の構成は、図1に示す装置構成と同じである。
【0040】
(コンタクト高さ補正操作)
図3のウエハ検査装置におけるコンタクト高さ補正操作について図4に示す工程図を参照しながら説明する。
(S201)ウエハ装置のテストヘッドを開いた状態で図3に示す構成となるように製品プローブカード15とPCR17とコンタクトカード18とを取り付ける。
【0041】
(S202)フォーカス用パターン14を形成したウエハ1をローダー(図示せず)より搬送しステージ6に載せ、XYZθ駆動部7を制御部8の信号によりXY方向に駆動させステージ6上のウエハ1をウエハ高さ検出用のカメラ2の下に移動させる。移動制御に関して、ウエハ1の位置データを予め設定しておき自動的にステージ6を移動させてもよいし、使用者がカメラ2のモニター映像を見ながらステージ6を移動させてもよい。
【0042】
(S203)カメラ2でウエハ1おもて面に形成されたフォーカス用パターン14を利用し、カメラ2の先端の高さ位置からウエハ1の上面の高さ位置までの距離を計測し、その計測値をZ21値とし、演算値(H−Z21)とともに演算記憶部に記憶させる。ここでは、例えばH=600、Z21=500であったとする。
【0043】
(S204)XYZθ駆動部7を制御部8の信号によりXY方向に駆動させステージ6側壁に取り付けたプローブ4の先端高さ検出用カメラ5を予め検査に使用されるプローブとして登録されている複数のプローブ4の下に順次移動させ、カメラ5でプローブごとにカメラ5の先端の高さ位置から対象プローブ4の先端の高さ位置までの距離を計測し、その計測値を演算記憶部に記憶させる。
すべてのプローブ4についての計測終了後に演算記憶部にてすべての計測値に基づきその平均値を求め、その平均値をZ22値とし、演算値(H−Z22)とともに演算記憶部に記憶させる。
なお、移動制御に関して、登録されているプローブ4の位置データを予め設定しておき自動的にステージ6を移動させてもよいし、使用者がカメラ5のモニター映像を見ながらステージ6を移動させてもよい。
【0044】
(S205)演算記憶部にて演算値(Z22−x3)μmを求め、その演算値を制御部8に通知する。制御部8はXYZθ駆動部7を制御し、その演算値分だけステージ6を上昇させる。ここでは、例えばx3=200とする。
【0045】
(S206)ステージ6の端子9と接続しているスイッチ10を10a側に作動させ、検出回路11の電流検出端子側との間で回路を構成する。
【0046】
(S207)制御部8の信号により、XYZθ駆動部7を駆動させ、その上に取り付けたステージ6を(x4)μm上昇させる。ここでは、例えばx4=0.5とする。
【0047】
(S208)検出回路11の出力電圧に基づく導通を検出回路11の電流検出回路で調べて、プローブ4とウエハ1とのコンタクトの有無を判断する。導通があった場合がコンタクト有と判断され、導通がない場合がコンタクト無と判断される。
【0048】
<コンタクト無の場合>ステップS207に戻り、更に(x4)μm分上昇させ、ステップS208の導通検出を行う。
【0049】
<コンタクト有の場合>次のステップS209へ進む。
(S209)そのときのプローブ4の先端高さを電気的コンタクトに基づくプローブ先端高さZ23値として演算記憶部に記憶させる。詳しくは、ステップS207の実施回数をカウントしておき、n回目の(x4)μm上昇でステージ6の上昇が停止した場合、演算記憶部にて次式(4)に基づきZ13値が求められる。
Z23=Z22−x3+x4・n … (4)
【0050】
(S210)スイッチ10をテスタ信号の入力ラインに接続されている10b側へ切り替える。ウエハ検査の準備である。
【0051】
(S211)演算記憶部に記憶されているZ22値とZ23値との差を求め、さらに演算値(H−Z21)との差を求め、補正値C2として演算記憶部に記憶させる。詳しくは、次式(5)のようになる。
ここで示した事例ではステップS207の実施回数が100回とすると、補正値C2は50となる。
【0052】
(S212)ステージ6操作スタート時の高さ位置まで下降させる。
【0053】
(S213)コンタクトカード18とPCR17を外し、テストヘッドを閉じる。
【0054】
(S214)XYZθ駆動部7を制御部8の信号によりXY方向に駆動させステージ6側壁に取り付けたプローブ4の先端高さ検出用カメラ5を予め検査に使用されるプローブとして登録されている複数のプローブ4の下に順次移動させ、カメラ5でプローブごとにカメラ5の先端の高さ位置から対象プローブ4の先端の高さ位置までの距離を計測し、その計測値を演算記憶部に記憶させる。
すべてのプローブ4についての計測終了後に演算記憶部にてすべての計測値に基づきその平均値を求め、その平均値をZ24値として演算記憶部に記憶させる。
【0055】
(S215)カメラ2によって計測されたカメラ2の先端の高さ位置からウエハ1の上面の高さ位置までの距離Z21とステップS214で求められたZ24値と演算記憶部に記憶されている補正値C2とから演算記憶部にて次式(6)の演算を行う。
M2=Z24−C2−(H−Z21) … (6)
以上で高さ位置計測のキャリブレーションが完了する。
ウエハ検査に当っては、この演算結果M2を制御部8に通知し、制御部8がその演算結果M2に基づいてXYZθ駆動部7を駆動させステージ6を上昇させることによって、ウエハ1とプローブ4との間でウエハ1表面をプローブ4の先端で傷付けることなく適正な電気的ファーストコンタクトを得ることができる。
【0056】
この実施例では、実際のプローブカードでの全てのプローブを対象にした、高さ検出ができるようになるため、プローブカードが元々持っているプローブの高さバラツキ成分を補正値として求めることができるようになり、パッドに対する傷などのダメージを最小限にすることを要求されている製品に対する効果が有る。
【0057】
【発明の効果】
本発明に係る装置により、距離計によるプローブとウエハの電極パッドとの間の距離の計測誤差を事前に同一条件下で電気的に確認した両者間の距離を基準として求めることができ、次回以降の計測時に補正することによって、ウエハ検査時のファーストコンタクトのための高さ設定を距離計で測定するだけで適切に行うことができようになる。また、正確なオーバードライブ量を製品プローブカードに加えることが出来るようになり、少なくても1%以上の歩留向上に寄与するとともに、プローブに必要以上のOD量を掛けることがなくなり、プローブの針立て精度を維持できる効果が有る。
【0058】
本発明に係る方法により、距離計によるプローブとウエハの電極パッドとの間の距離の計測誤差を事前に同一条件下で電気的に確認した両者間の距離を基準として求めることができ、次回以降の計測時に補正することによって、ウエハ検査時のファーストコンタクトのための高さ設定を距離計で測定するだけで適切に行うことができようになる。また、正確なオーバードライブ量を製品プローブカードに加えることが出来るようになり、少なくても1%以上の歩留向上に寄与するとともに、プローブに必要以上のOD量を掛けることがなくなり、プローブの針立て精度を維持できる効果が有る。
さらに、複数のプローブの高さのばらつき成分を補正値の中に含めることができるため、電極パッドに対するダメージを最小限にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るウエハ検査装置の一実施の形態における構成を示すブロック図である。
【図2】本発明に係るウエハ検査装置の一実施の形態におけるコンタクト高さ補正操作の手順を示すフローチャート図である。
【図3】本発明に係るウエハ検査装置のほかの実施の形態における構成を示すブロック図である。
【図4】本発明に係るウエハ検査装置のほかの実施の形態におけるコンタクト高さ補正操作の手順を示すフローチャート図である。
【図5】ウエハ検査装置の従来の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
1、27 … ウエハ
2、5 … 距離計測機能付きカメラ
3 … キャリブレーション用プローブカード
4、20 … プローブ
6、26 … ステージ
7 … XYZθ駆動部
8 … 制御部
9、28 … 端子
10、31 … スイッチ
10a、31a … スイッチの一端
10b、31b … スイッチの他端
11 … 検出回路
12 … コネクタ
13 … テスタ信号の入力ライン
14 … フォーカス用パターン
15 … 製品プローブカード
16 … 座
17 … 圧力接触プレート(PCR)
18 … コンタクトカード
29 … 交流信号発生器
30 … 検出抵抗
32 … 増幅器
33 … 比較器
34 … Z方向制御手段
35 … パルスモータ
27a … 電極パッド
Claims (6)
- ウエハを保持するステージと、ステージの上方に配置されるカードホルダーと、プローブを有し前記ウエハ表面に当該プローブを有する面を対向させて前記カードホルダーに取り付けられるプローブカードと、前記プローブ及びウエハに電気的に接続される検査用テスタと、前記ステージをカードホルダーに取り付けられたプローブカードのプローブを有する面に対して水平方向及び垂直方向に移動させるための駆動部と、前記カードホルダー及びステージ上面の高さ位置を認識し前記駆動部の動作を制御する制御部とを備えたウエハ検査装置において、
前記プローブ及びウエハに電気的に接続され、プローブ先端とウエハ表面とが接触した場合にその導通を検出する検出回路と、
前記カードフォルダーの高さ位置に設置され、前記ウエハ表面までの垂直直線距離を計測する第1の距離計と、
前記ステージ上面の高さ位置にあってステージとともに移動するように設置され、前記プローブの先端までの垂直直線距離を計測する第2の距離計と、
前記第1の距離計及び第2の距離計により計測されたそれぞれの垂直直線距離データと、その計測時に前記制御部が認識したカードホルダーとステージ上面との間の距離データと、前記検出回路により導通が検出されたときのプローブ先端とウエハ表面との間の距離データとに基づき次回の第1の距離計及び第2の距離計により計測されるプローブ先端とウエハ表面との間の距離を補正する補正値を求める演算部とを備えたことを特徴とするウエハ検査装置。 - 前記演算部が、前記第1の距離計及び第2の距離計により計測されたそれぞれの垂直直線距離データと、その計測時に前記制御部が認識したカードホルダーとステージ上面との間の距離データと、前記検出回路により導通が検出されたときのプローブ先端とウエハ表面との間の距離データとに基づき、第2の距離計により計測されたステージ上面からプローブ先端までの距離から前記ウエハの厚みを差し引いた距離と、前記検出回路により導通が検出されたときのプローブ先端とウエハ表面との間の距離との差分を求めて補正値とすることを特徴とする請求項1に記載のウエハ検査装置。
- ウエハを保持するステージと、ステージの上方に配置されるカードホルダーと、プローブを有し前記ウエハ表面に当該プローブを有する面を対向させて前記カードホルダーに取り付けられるプローブカードと、前記プローブ及びウエハに電気的に接続される検査用テスタと、前記ステージをカードホルダーに取り付けられたプローブカードのプローブを有する面に対して水平方向及び垂直方向に移動させるための駆動部と、前記カードホルダー及びステージ上面の高さ位置を認識し前記駆動部の動作を制御する制御部と、前記カードフォルダーの高さ位置に設置され、前記ウエハ表面までの垂直直線距離を計測する第1の距離計と、前記ステージ上面の高さ位置にあってステージとともに移動するように設置され、前記プローブの先端までの垂直直線距離を計測する第2の距離計と、距離データに基づき演算する演算部とを備えたウエハ検査装置のコンタクト高さ補正方法において、
前記演算部にて第2の距離計により計測されたステージ上面からプローブ先端までの距離から前記ウエハの厚みを差し引いた距離と、前記検出回路により導通が検出されたときのプローブ先端とウエハ表面との間の距離との差分を求め、次回の第1の距離計及び第2の距離計により計測されるプローブ先端とウエハ表面との間の距離に関する補正値とすることを特徴とするウエハ検査装置のコンタクト高さ補正方法。 - 前記ウエハ検査に関与するプローブが複数の場合に、前記第2の距離計によりそれぞれのプローブについてステージ上面からプローブ先端までの距離を計測し、その平均値を第2の距離計により計測されたステージ上面からプローブ先端までの距離として演算に供することを特徴とする請求項3に記載のウエハ検査装置のコンタクト高さ補正方法。
- 前記ウエハの厚みが、前記第1の距離計及び第2の距離計による計測時に前記制御部が認識したカードホルダーとステージ上面との間の距離と第1の距離計により計測されたカードホルダーからウエハ表面までの距離との差分であることを特徴とする請求項3または請求項4に記載のウエハ検査装置のコンタクト高さ補正方法。
- ウエハを保持するステージと、ステージの上方に配置されるカードホルダーと、プローブを有し前記ウエハ表面に当該プローブを有する面を対向させて前記カードホルダーに取り付けられるプローブカードと、前記プローブ及びウエハに電気的に接続される検査用テスタと、前記ステージをカードホルダーに取り付けられたプローブカードのプローブを有する面に対して水平方向及び垂直方向に移動させるための駆動部と、前記カードホルダー及びステージ上面の高さ位置を認識し前記駆動部の動作を制御する制御部と、前記カードフォルダーの高さ位置に設置され、前記ウエハ表面までの垂直直線距離を計測する第1の距離計と、前記ステージ上面の高さ位置にあってステージとともに移動するように設置され、前記プローブの先端までの垂直直線距離を計測する第2の距離計と、距離データに基づき演算する演算部とを備えたウエハ検査装置のプローブ先端とウエハ表面とのコンタクト高さ補正方法において、
第1の距離計によって前記ウエハ表面までの垂直直線距離を計測する第1計測工程と、
第2の距離計によって前記プローブの先端までの垂直直線距離を計測する第2計測工程と、
前記第2計測工程により計測された距離から第1設定値だけ差し引いた距離だけ前記ステージを上昇させ、当該ステージをその高さ位置から第2設定値ずつステップ回数をカウントしながらステップ上昇させるステップ上昇工程と、
前記検出回路により導通が検出された段階で前記ステップ上昇をストップさせ、前記演算部がそのときのステップ回数に基づきプローブ先端とウエハ表面との間の距離を算出する第1演算工程と、
前記第1計測工程及び第2計測工程により計測されたそれぞれの垂直直線距離データと、その計測時に前記制御部が認識したカードホルダーとステージ上面との間の距離データと、前記第1演算工程により算出された距離データとに基づき、次回の第1の距離計及び第2の距離計により計測されるプローブ先端とウエハ表面との間の距離に関する補正値を求める第2演算工程とを備えたことを特徴とするウエハ検査装置のコンタクト高さ補正方法。
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