JP2006237280A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 パッド電極1を有する半導体基体2上に絶縁層3を形成する工程と、パッド電極1上の絶縁層3を選択的に除去して、絶縁層3にパッド電極1を露出させて凹部5を形成する工程とによって第1半導体チップ部6を作製し、第1半導体チップ部6の凹部5に第2半導体チップ部9のバンプ電極8を嵌入する工程と、バンプ電極8とパッド電極1とを接続して第1半導体チップ部6と第2半導体チップ部9とを接合する工程とを有する、半導体装置10の製造方法、及びこの製造方法により得られる半導体装置10。
【選択図】 図1
Description
前記パッド電極上の前記絶縁層を選択的に除去して、前記絶縁層に前記パッド電極を 露出させて凹部を形成する工程と
によって第1半導体チップ部を作製し、
前記第1半導体チップ部の前記凹部に第2半導体チップ部のバンプ電極を嵌入する工 程と、
前記バンプ電極と前記パッド電極とを接続して前記第1半導体チップ部と前記第2半 導体チップ部とを接合する工程とを有する、
半導体装置の製造方法に係るものである。
バンプ電極が設けられた第2半導体チップ部と
が、前記凹部に前記バンプ電極が嵌め込まれて前記パッド電極に接続されることによって、互いに接合されている、半導体装置に係るものである。
図1及び図2は、本発明に基づく半導体装置の製造方法の一例を工程順に示す概略断面図である。
本発明は、図6に示すように、第2半導体チップ部9に設けた複数の前記バンプ電極のうち、一部のバンプ電極8’の高さを他のバンプ電極8より高くしてもよい。これにより、両半導体チップ部6、9にアライメントマークを設けなくても、他のバンプ電極8よりも高いバンプ電極8’が位置決めのマークとなり、より高精度かつ容易に第1半導体チップ部6と第2半導体チップ部9との接合を行うことができる。また、特にアライメントマークを設ける必要がないので、第1半導体チップ部6及び第2半導体チップ部9における配線層(図示省略)の領域をより広く設けることができる。
5…凹部、6…第1半導体チップ部、7…パッシベーション膜、8…バンプ電極、
9…第2半導体チップ部、10…半導体装置、11…側壁、12…低融点材料層、
13…プリント配線板、14…電極、15…外部接続端子、16…ワイヤー、17…隙間
Claims (14)
- パッド電極を有する半導体基体上に絶縁層を形成する工程と、
前記パッド電極上の前記絶縁層を選択的に除去して、前記絶縁層に前記パッド電極を 露出させて凹部を形成する工程と
によって第1半導体チップ部を作製し、
前記第1半導体チップ部の前記凹部に第2半導体チップ部のバンプ電極を嵌入する工 程と、
前記バンプ電極と前記パッド電極とを接続して前記第1半導体チップ部と前記第2半 導体チップ部とを接合する工程とを有する、
半導体装置の製造方法。 - パッドメタルからなる前記パッド電極を有する前記半導体基体としてのシリコン基体上に前記絶縁層を形成し、前記パッドメタル以外の前記絶縁層上に感光性レジストを設け、前記感光性レジストを露光、現像し、前記絶縁層を前記パッド電極に達する位置まで除去し、前記凹部を形成する、請求項1に記載した半導体装置の製造方法。
- 前記バンプ電極を加熱して溶融し、前記バンプ電極と前記パッド電極とを接続する、請求項1に記載した半導体装置の製造方法。
- 前記第2半導体チップ部に設けた複数の前記バンプ電極のうち、一部のバンプ電極の高さを他のバンプ電極より高くする、請求項1に記載した半導体装置の製造方法。
- 前記第1半導体チップ部と前記第2半導体チップ部との間の隙間に絶縁性樹脂を充填する、請求項4に記載した半導体装置の製造方法。
- 前記パッド電極の上面に低融点材料層を設ける、請求項1に記載した半導体装置の製造方法。
- 前記低融点材料層をバンプ材料によって形成する、請求項6に記載した半導体装置の製造方法。
- 半導体基体上にパッド電極を有し、前記パッド電極が絶縁層に形成された凹部に露出 している第1半導体チップ部と、
バンプ電極が設けられた第2半導体チップ部と
が、前記凹部に前記バンプ電極が嵌め込まれて前記パッド電極に接続されることによって、互いに接合されている、半導体装置。 - 前記半導体基体がシリコン基体であり、前記パッド電極がパッドメタルからなり、前記パッドメタル以外の前記絶縁層上に感光性レジストが設けられ、前記感光性レジストが露光、現像され、前記絶縁層が前記パッドメタルに達する位置まで選択的に除去され、前記凹部が形成されている、請求項8に記載した半導体装置。
- 前記バンプ電極が加熱されて溶融されることにより、前記バンプ電極と前記パッド電極とが接続されている、請求項8に記載した半導体装置。
- 前記第2半導体チップ部に設けられた複数の前記バンプ電極のうち、一部のバンプ電極の高さが他のバンプ電極より高く形成されている、請求項8に記載した半導体装置。
- 前記第1半導体チップ部と前記第2半導体チップとの間の隙間に絶縁性樹脂が充填されている、請求項11に記載した半導体装置。
- 前記パッド電極の上面に低融点材料層が設けられている、請求項8に記載した半導体装置。
- 前記低融点材料層がバンプ材料によって形成されている、請求項13に記載した半導体装置。
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