JP2006210393A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 基板に対して加工処理を行う加工部と、前記基板を前記加工部に搬送する搬送部と、を備える基板加工装置であって、
   前記搬送部は、少なくとも１軸であり、搬送方向に設けられるレール部と前記基板が載置され前記レール部上を移動する移動部とを有し、前記移動部及び前記レール部の幅は、前記基板の幅より小さいことを特徴とする基板加工装置。
2. 前記加工部の下方近傍に、鉛直方向における前記基板の位置を空気圧により制御するエアフロートが設けられることを特徴とする請求項１に記載の基板加工装置。
3. 前記基板の位置決めを行うアライメント部を備え、前記搬送部は、前記基板を前記アライメント部から前記加工部に搬送することを特徴とする請求項１に記載の基板加工装置。
4. 前記アライメント部と前記加工部との間の領域であって前記搬送部以外の領域に、前記搬送される基板を支持する搬送基板支持部を備えることを特徴とする請求項３に記載の基板加工装置。
5. 前記アライメント部は、前記搬送方向に前記搬送部が埋設される凹溝を有することを特徴とする請求項３に記載の基板加工装置。
6. 基板が載置され前記基板の位置決めを行うアライメント部と前記アライメント部を搬送する搬送部とを具備し、
   前記搬送部は、少なくとも１軸であり、搬送方向に設けられるレール部と前記アライメント部を支持し前記レール部上を移動する移動部とを有し、前記移動部及び前記レール部の幅は、前記基板の幅より小さいことを特徴とする基板搬送装置。
7. 基板に対して加工処理を行う加工部と、前記基板を前記加工部に搬送する搬送部と、を備える基板加工装置における基板制御方法であって、
   搬送方向に設けられるレール部の上を移動する移動部により、前記基板の部分領域、または、前記基板の位置決めを行うアライメント部の部分領域を下方から面支持する部分領域面支持ステップと、
   前記移動部により前記基板または前記アライメント部を前記搬送方向に移動させる移動ステップと、
   前記加工部の下方近傍において、エアフロートにより、鉛直方向における前記基板の位置を空気圧により制御する鉛直方向位置制御ステップと、
   を具備することを特徴とする基板制御方法。
8. 前記部分領域外において、前記基板または前記アライメント部を下方から点支持あるいは線支持する補助支持ステップを具備することを特徴とする請求項７に記載の基板制御方法。
9. 請求項７または請求項８に記載の基板制御方法を用いてカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造方法。
10. 請求項７または請求項８に記載の基板制御方法を用いて電子回路を製造する電子回路製造方法。