JP2006201044A - 欠陥検査方法及びその装置 - Google Patents
欠陥検査方法及びその装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006201044A JP2006201044A JP2005013472A JP2005013472A JP2006201044A JP 2006201044 A JP2006201044 A JP 2006201044A JP 2005013472 A JP2005013472 A JP 2005013472A JP 2005013472 A JP2005013472 A JP 2005013472A JP 2006201044 A JP2006201044 A JP 2006201044A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- electron
- solid
- defect
- state imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 90
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 174
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 43
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 87
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 28
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 104
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 85
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 75
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 27
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 25
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 21
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 12
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 15
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000010436 fluorite Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 238000010187 selection method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9501—Semiconductor wafers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4788—Diffraction
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
異物欠陥検査装置で、光検出器としてCCDセンサを用いる場合、光電変換により内部に発生した信号電荷を電圧に変換して読み出す際に電気的なノイズが発生し、微小な異物や欠陥からの反射散乱光を検出して得られる微弱な検出信号が電気的なノイズに埋もれてしまい、より微小な異物や欠陥を検出する上で障害となっていた。
【解決手段】
光検出器として電子増倍型CCDセンサを用い、光電変換によって生じた電子を増倍した後に読み出すことにより、電気的なノイズに対して入力光による信号が相対的に大きくなるようにして、従来のCCDと比較してより微弱な光を検出することを可能にし、従来と比べて、より微小な異物や欠陥を検出できるようにした。
【選択図】 図1
Description
210・・・第1の照明部、 220・・・第2の照明部、 300・・・検出光学系、
301・・・対物レンズ、 302・・・空間フィルタ、 303・・・チューブレンズ、 304・・・瞳面、 402・・・オンチップ増倍型CCDセンサ基板、 403・・・出力ピン、 404・・・ペルチェ素子、 405, 405´・・・表面電極、 507・・・しきい値比較部、 509・・・信号量補正部
Claims (16)
- パターンが形成された被検査物に光を斜め方向から照射する照明手段と、
該照明手段によって光を照射された前記被検査物からの反射散乱光を受光して検出する固体撮像素子を有する検出光学系手段と、
該検出光学系手段で検出された信号に基づいて前記被検査物上の異物・欠陥を検出する信号処理装置とを備え、
前記固体撮像素子は、前記反射散乱光を受光した時に光電変換により生じた電子を増倍する電子増倍処理を実行可能な電子増倍型固体撮像素子であって前記電子を増倍する電子像倍率が可変に構成されていることを特徴とする欠陥検査装置。 - パターンが形成された被検査物に光を斜め方向から照射する照明手段と、
該照明手段によって光を照射された前記被検査物からの反射散乱光を受光して検出する固体撮像素子を有する検出光学系手段と、
該検出光学系手段で検出された信号に基づいて前記被検査物上の異物・欠陥を検出する信号処理装置とを備え、
前記検出光学系手段は、検出感度の異なる複数の固体撮像素子を備えて構成されていることを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記検出感度の異なる複数の固体撮像素子の一つは、前記反射散乱光を受光した時に光電変換により生じた電子を増倍する電子増倍処理を実行可能な電子増倍型固体撮像素子であって前記電子を増倍する電子像倍率が可変に構成されていることを特徴とする請求項2記載の欠陥検査装置。
- 前記電子増倍型固体撮像素子は、前記反射散乱光を受光した時に電子打ち込み増倍現象を起こすことで光電変換により生じた電子を増倍し、前記電子打ち込みの印加電圧を制御することによって電子増倍率が可変に構成されていることを特徴とする請求項1または3に記載の欠陥検出装置。
- 前記電子増倍型固体撮像素子は、前記反射散乱光を受光した時にインパクトイオン化現象を起こすことで光電変換により生じた電子を増倍し、前記インパクトイオン化現象を起こす電子増倍部の転送電圧を制御することによって電子増倍率が可変に構成されていることを特徴とする請求項1または3に記載の欠陥検出装置。
- 前記電子増倍型固体撮像素子は、アンチブルーミング特性を備えていることを特徴とする請求項1または3に記載の欠陥検出装置。
- 前記電子増倍型固体撮像素子は、複数の検出信号を並列に出力することを特徴とする請求項1または3に記載の欠陥検出装置。
- 前記照明手段は前記被検査物に一方向に長い形状の光を斜め方向から照射し、前記検出光学系は、前記一方向に長い形状の光で照射された被検査物のパターンからの回折光を選択的に遮光あるいは減光する空間フィルタを有することを特徴とする請求項1または3に記載の欠陥検出装置。
- 光源から発射された光を照明光学系を介してパターンが形成された被検査物に照射し、
該照射による前記被検査物からの反射散乱光を検出光学系を介して固体撮像素子で受光し検出して電気信号に変換し、
該変換された電気信号を処理して前記被検査物上の異物・欠陥を検出する欠陥検査方法であって、
前記固体撮像素子の検出感度を、前記反射散乱光の受光量に応じて変化させることを特徴とする欠陥検査方法。 - 前記固体撮像素子は、前記反射散乱光を受光した時に電子打ち込み増倍現象を起こすことで光電変換により生じた電子を増倍する電子打ち込み増倍型固体撮像素子であって、前記電子打ち込みの印加電圧を制御することによって前記電子を増倍する電子増倍率を変化させることを特徴とする請求項8記載の欠陥検査方法。
- 前記固体撮像素子は、前記反射散乱光を受光した時にインパクトイオン化現象を起こすことで光電変換により生じた電子を増倍するオンチップ電子増倍型固体撮像素子であって、前記インパクトイオン化現象を起こす電子増倍部の転送電圧を制御することによって電子増倍率を変化させることを特徴とする請求項9記載の欠陥検出方法。
- 光源から発射された光を照明光学系を介してパターンが形成された被検査物に照射し、
該照射による前記被検査物からの反射散乱光を検出光学系を介して固体撮像素子で受光し検出して電気信号に変換し、
該変換された電気信号を処理して前記被検査物上の異物・欠陥を検出する欠陥検査方法であって、
前記被検査物からの反射散乱光を感度の異なる複数の固体撮像素子で受光することを特徴とする欠陥検査方法。 - 前記感度の異なる複数の固体撮像素子の一つは、前記反射散乱光を受光した時に光電変換により生じた電子を増倍する電子増倍処理を実行可能な電子増倍型固体撮像素子であって、前記電子を増倍する電子像倍率を前記被検査物からの反射散乱光の光量の情報に基づいて変化させて受光することを特徴とする請求項12記載の欠陥検査方法。
- 前記固体撮像素子は前記反射散乱光を受光して変換した電気信号を並列に出力し、該並列に出力された電気信号を並列に処理して前記被検査物上の異物・欠陥を検出することを特徴とする請求項9または12に記載の欠陥検査方法。
- 前記パターンが形成された被検査物に一方向に長い形状の光を斜め方向から照射し、該一方向に長い形状の光で照射された被検査物のパターンからの回折光を空間フィルタを用いて選択的に遮光あるいは減光して前記固体撮像素子で受光し検出することを特徴とする請求項9または12に記載の欠陥検出方法。
- 前記照射による前記被検査物からの反射散乱光を、アンチブルーミング特性を備えた固体撮像素子で受光して電気信号に変換することを特徴とする請求項9または12に記載の欠陥検出方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005013472A JP4751617B2 (ja) | 2005-01-21 | 2005-01-21 | 欠陥検査方法及びその装置 |
US11/325,550 US7465935B2 (en) | 2005-01-21 | 2006-01-05 | Method for inspecting pattern defect and device for realizing the same |
US12/329,274 US8748795B2 (en) | 2005-01-21 | 2008-12-05 | Method for inspecting pattern defect and device for realizing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005013472A JP4751617B2 (ja) | 2005-01-21 | 2005-01-21 | 欠陥検査方法及びその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006201044A true JP2006201044A (ja) | 2006-08-03 |
JP4751617B2 JP4751617B2 (ja) | 2011-08-17 |
Family
ID=36695791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005013472A Expired - Fee Related JP4751617B2 (ja) | 2005-01-21 | 2005-01-21 | 欠陥検査方法及びその装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7465935B2 (ja) |
JP (1) | JP4751617B2 (ja) |
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7333192B2 (en) | 2006-01-23 | 2008-02-19 | Hitachi High-Technologies Corporation | Apparatus and method for inspecting defects |
JP2008078635A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-04-03 | Toshiba Corp | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、半導体装置の製造システム及び半導体装置の製造方法 |
JP2008076377A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-04-03 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査装置 |
JP2008131609A (ja) * | 2006-11-26 | 2008-06-05 | Plusmic:Kk | 電荷増倍素子を用いた高感度・高速度の競技用電子判定装置 |
WO2008108041A1 (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-12 | Kabushiki Kaisha Topcon | 表面検査方法及び装置 |
JP2008252790A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子の駆動方法,撮像装置,撮像装置の画像合成方法 |
JP2008268141A (ja) * | 2007-04-25 | 2008-11-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査装置およびその方法 |
JP2009031251A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-02-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 光学式検査方法、および光学式検査装置 |
JP2009162563A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Canon It Solutions Inc | デバイス外観検査装置及び方法、プログラム |
JP2009168672A (ja) * | 2008-01-17 | 2009-07-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 表面検査装置および表面検査方法 |
JP2009168476A (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法、及び欠陥検査システム |
WO2010087278A1 (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 固体撮像装置 |
WO2010087287A1 (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 固体撮像装置 |
JP2011099788A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Toshiba Corp | パターン検査装置及びパターン検査方法 |
JP2011525985A (ja) * | 2008-06-25 | 2011-09-29 | アプライド マテリアルズ サウス イースト アジア ピーティーイー. エルティーディー. | 光学検査システムにおける動的照明 |
JP2011244426A (ja) * | 2010-04-21 | 2011-12-01 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 撮像システム、撮像装置および感度制御方法 |
JP2012085324A (ja) * | 2011-11-27 | 2012-04-26 | Yamaguchi Cinema Corp | 電荷増倍素子を用いた高感度・高速度の競技用電子判定装置 |
US8189185B2 (en) | 2007-06-28 | 2012-05-29 | Hitachi High-Technologies Corporation | Optical inspection method and optical inspection system |
RU2503952C1 (ru) * | 2012-04-23 | 2014-01-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южно-Российский государственный университет экономики и сервиса" (ФГБОУ ВПО "ЮРГУЭС") | Устройство обнаружения пылеотложения на печатных платах радиоэлектронной аппаратуры |
KR20140093295A (ko) * | 2011-12-16 | 2014-07-25 | 케이엘에이-텐코 코포레이션 | 스폿 스캐닝 시스템에 대한 강화된 고속 대수 광검출기 |
JP2014222239A (ja) * | 2009-07-22 | 2014-11-27 | ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation | リング状照射を備える暗視野検査システム |
WO2014192199A1 (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-04 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2014224831A (ja) * | 2014-08-25 | 2014-12-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
WO2022153772A1 (ja) * | 2021-01-13 | 2022-07-21 | 東レエンジニアリング株式会社 | 外観検査装置 |
WO2022163305A1 (ja) * | 2021-01-28 | 2022-08-04 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 制御装置および方法、並びに固体撮像素子および方法 |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7586959B2 (en) * | 2004-09-27 | 2009-09-08 | Applied Materials, Israel, Ltd. | Speckle reduction with transparent blocks |
JP4988224B2 (ja) * | 2006-03-01 | 2012-08-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査方法及びその装置 |
JP2008002934A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 外観検査装置及び外観検査方法 |
JP2008298623A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査装置および検査方法 |
JP2009139248A (ja) * | 2007-12-07 | 2009-06-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検出光学系および欠陥検出画像処理を搭載した表面欠陥検査装置 |
US8351683B2 (en) * | 2007-12-25 | 2013-01-08 | Hitachi High-Technologies Corporation | Inspection apparatus and inspection method |
WO2009102839A2 (en) * | 2008-02-14 | 2009-08-20 | The Research Foundation Of State University Of New York | Imaging array data acquisition system and use thereof |
US7843558B2 (en) | 2008-06-25 | 2010-11-30 | Applied Materials South East Asia Pte. Ltd. | Optical inspection tools featuring light shaping diffusers |
CN101493425B (zh) * | 2008-10-31 | 2011-07-20 | 东莞康视达自动化科技有限公司 | 微观表面缺陷全自动紫外光学检测方法及其系统 |
US8528634B2 (en) * | 2009-02-23 | 2013-09-10 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Method of improving oil recovery from an oil reservoir using an enriched anaerobic steady state microbial consortium |
JP6211270B2 (ja) * | 2009-06-19 | 2017-10-11 | ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation | 極紫外線マスクブランクの欠陥検出のための検査システム及び方法 |
JP5554620B2 (ja) * | 2010-04-14 | 2014-07-23 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 描画装置、描画方法および描画装置の異常診断方法 |
IL213025A0 (en) * | 2011-05-19 | 2011-07-31 | May High Tech Solution Ltd | Method and apparatus for optical inspection, detection and analysis of double sided and wafer edge macro defects |
US10197501B2 (en) | 2011-12-12 | 2019-02-05 | Kla-Tencor Corporation | Electron-bombarded charge-coupled device and inspection systems using EBCCD detectors |
US9496425B2 (en) | 2012-04-10 | 2016-11-15 | Kla-Tencor Corporation | Back-illuminated sensor with boron layer |
US9601299B2 (en) | 2012-08-03 | 2017-03-21 | Kla-Tencor Corporation | Photocathode including silicon substrate with boron layer |
US9426400B2 (en) | 2012-12-10 | 2016-08-23 | Kla-Tencor Corporation | Method and apparatus for high speed acquisition of moving images using pulsed illumination |
CN103108141B (zh) * | 2013-01-30 | 2015-06-10 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种基于自耦变压器的emccd驱动电路 |
US9478402B2 (en) | 2013-04-01 | 2016-10-25 | Kla-Tencor Corporation | Photomultiplier tube, image sensor, and an inspection system using a PMT or image sensor |
US9347890B2 (en) | 2013-12-19 | 2016-05-24 | Kla-Tencor Corporation | Low-noise sensor and an inspection system using a low-noise sensor |
US9748294B2 (en) | 2014-01-10 | 2017-08-29 | Hamamatsu Photonics K.K. | Anti-reflection layer for back-illuminated sensor |
US9410901B2 (en) | 2014-03-17 | 2016-08-09 | Kla-Tencor Corporation | Image sensor, an inspection system and a method of inspecting an article |
US9767986B2 (en) | 2014-08-29 | 2017-09-19 | Kla-Tencor Corporation | Scanning electron microscope and methods of inspecting and reviewing samples |
US9860466B2 (en) | 2015-05-14 | 2018-01-02 | Kla-Tencor Corporation | Sensor with electrically controllable aperture for inspection and metrology systems |
US10748730B2 (en) | 2015-05-21 | 2020-08-18 | Kla-Tencor Corporation | Photocathode including field emitter array on a silicon substrate with boron layer |
US10462391B2 (en) | 2015-08-14 | 2019-10-29 | Kla-Tencor Corporation | Dark-field inspection using a low-noise sensor |
US10778925B2 (en) | 2016-04-06 | 2020-09-15 | Kla-Tencor Corporation | Multiple column per channel CCD sensor architecture for inspection and metrology |
US10313622B2 (en) | 2016-04-06 | 2019-06-04 | Kla-Tencor Corporation | Dual-column-parallel CCD sensor and inspection systems using a sensor |
US11114489B2 (en) | 2018-06-18 | 2021-09-07 | Kla-Tencor Corporation | Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor |
US10943760B2 (en) | 2018-10-12 | 2021-03-09 | Kla Corporation | Electron gun and electron microscope |
JP2020076609A (ja) * | 2018-11-06 | 2020-05-21 | キヤノン株式会社 | 異物検査装置、処理装置および物品製造方法 |
US11114491B2 (en) | 2018-12-12 | 2021-09-07 | Kla Corporation | Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor |
CN110044277B (zh) * | 2019-04-04 | 2020-11-24 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 框胶检测装置和框胶检测方法 |
CN110554050B (zh) * | 2019-09-25 | 2022-02-22 | 中国核动力研究设计院 | 摄像视频图像采集的螺孔螺纹检查装置和螺纹检查方法 |
US11848350B2 (en) | 2020-04-08 | 2023-12-19 | Kla Corporation | Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor using a silicon on insulator wafer |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06324003A (ja) * | 1993-05-12 | 1994-11-25 | Hitachi Ltd | 異物検査装置およびその方法 |
JPH0786465B2 (ja) * | 1987-10-30 | 1995-09-20 | 株式会社日立製作所 | 異物検出方法及び装置 |
JPH11160330A (ja) * | 1997-12-01 | 1999-06-18 | Seiko Instruments Inc | 表面分析装置 |
JPH11201909A (ja) * | 1998-01-16 | 1999-07-30 | Hitachi Ltd | 異物検査方法および装置 |
JP2000338048A (ja) * | 1999-05-31 | 2000-12-08 | Hamamatsu Photonics Kk | 表面検査方法及び検査装置 |
JP2001029313A (ja) * | 1999-05-18 | 2001-02-06 | Olympus Optical Co Ltd | 内視鏡装置 |
JP2001137175A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 蛍光画像取得方法および装置 |
JP2001169193A (ja) * | 1999-12-14 | 2001-06-22 | Hamamatsu Photonics Kk | 撮像装置 |
JP2001255278A (ja) * | 2000-03-08 | 2001-09-21 | Hitachi Ltd | 表面検査装置およびその方法 |
JP2002039960A (ja) * | 2000-07-27 | 2002-02-06 | Hitachi Ltd | パターン欠陥検査方法及びその装置 |
JP2002181725A (ja) * | 2000-12-11 | 2002-06-26 | Mitsubishi Electric Corp | 微小異物解析方法、分析装置、半導体装置の製造方法および液晶表示装置の製造方法 |
JP2003004653A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-08 | Seiko Instruments Inc | レーザ欠陥検出機能を備えた走査型電子顕微鏡におけるccdカメラ自動切替方式 |
JP2004012275A (ja) * | 2002-06-06 | 2004-01-15 | Hitachi Chem Co Ltd | 外観検査装置および外観検査方法 |
JP2004301847A (ja) * | 1998-07-28 | 2004-10-28 | Hitachi Ltd | 欠陥検査装置およびその方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0781956B2 (ja) | 1985-10-16 | 1995-09-06 | 株式会社日立製作所 | 半導体用基板上の異物検出装置 |
US5046847A (en) | 1987-10-30 | 1991-09-10 | Hitachi Ltd. | Method for detecting foreign matter and device for realizing same |
US6411377B1 (en) | 1991-04-02 | 2002-06-25 | Hitachi, Ltd. | Optical apparatus for defect and particle size inspection |
KR100298039B1 (ko) | 1991-07-11 | 2001-10-24 | 윌리엄 비. 켐플러 | 전하증배장치및그제조방법 |
US5864394A (en) | 1994-06-20 | 1999-01-26 | Kla-Tencor Corporation | Surface inspection system |
JP4173575B2 (ja) | 1998-01-16 | 2008-10-29 | 浜松ホトニクス株式会社 | 撮像装置 |
US6902527B1 (en) | 1999-05-18 | 2005-06-07 | Olympus Corporation | Endoscope system with charge multiplying imaging device and automatic gain control |
JP3604956B2 (ja) | 1999-06-17 | 2004-12-22 | 株式会社日立製作所 | 微細欠陥検査装置およびその方法 |
JP2001093455A (ja) * | 1999-09-21 | 2001-04-06 | Nikon Corp | 電子ビーム装置 |
US6630996B2 (en) * | 2000-11-15 | 2003-10-07 | Real Time Metrology, Inc. | Optical method and apparatus for inspecting large area planar objects |
US6509966B2 (en) * | 2000-12-27 | 2003-01-21 | Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. | Optical system for detecting surface defect and surface defect tester using the same |
US6617603B2 (en) * | 2001-03-06 | 2003-09-09 | Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. | Surface defect tester |
-
2005
- 2005-01-21 JP JP2005013472A patent/JP4751617B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-01-05 US US11/325,550 patent/US7465935B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-12-05 US US12/329,274 patent/US8748795B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0786465B2 (ja) * | 1987-10-30 | 1995-09-20 | 株式会社日立製作所 | 異物検出方法及び装置 |
JPH06324003A (ja) * | 1993-05-12 | 1994-11-25 | Hitachi Ltd | 異物検査装置およびその方法 |
JPH11160330A (ja) * | 1997-12-01 | 1999-06-18 | Seiko Instruments Inc | 表面分析装置 |
JPH11201909A (ja) * | 1998-01-16 | 1999-07-30 | Hitachi Ltd | 異物検査方法および装置 |
JP2004301847A (ja) * | 1998-07-28 | 2004-10-28 | Hitachi Ltd | 欠陥検査装置およびその方法 |
JP2001029313A (ja) * | 1999-05-18 | 2001-02-06 | Olympus Optical Co Ltd | 内視鏡装置 |
JP2000338048A (ja) * | 1999-05-31 | 2000-12-08 | Hamamatsu Photonics Kk | 表面検査方法及び検査装置 |
JP2001137175A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 蛍光画像取得方法および装置 |
JP2001169193A (ja) * | 1999-12-14 | 2001-06-22 | Hamamatsu Photonics Kk | 撮像装置 |
JP2001255278A (ja) * | 2000-03-08 | 2001-09-21 | Hitachi Ltd | 表面検査装置およびその方法 |
JP2002039960A (ja) * | 2000-07-27 | 2002-02-06 | Hitachi Ltd | パターン欠陥検査方法及びその装置 |
JP2002181725A (ja) * | 2000-12-11 | 2002-06-26 | Mitsubishi Electric Corp | 微小異物解析方法、分析装置、半導体装置の製造方法および液晶表示装置の製造方法 |
JP2003004653A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-08 | Seiko Instruments Inc | レーザ欠陥検出機能を備えた走査型電子顕微鏡におけるccdカメラ自動切替方式 |
JP2004012275A (ja) * | 2002-06-06 | 2004-01-15 | Hitachi Chem Co Ltd | 外観検査装置および外観検査方法 |
Cited By (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7973920B2 (en) | 2006-01-23 | 2011-07-05 | Hitachi High-Technologies Corporation | Apparatus and method for inspecting defects |
US8218138B2 (en) | 2006-01-23 | 2012-07-10 | Hitachi High-Technologies Corporation | Apparatus and method for inspecting defects |
US7768635B2 (en) | 2006-01-23 | 2010-08-03 | Hitachi High-Technologies Corporation | Apparatus and method for inspecting defects |
US7333192B2 (en) | 2006-01-23 | 2008-02-19 | Hitachi High-Technologies Corporation | Apparatus and method for inspecting defects |
JP2008078635A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-04-03 | Toshiba Corp | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、半導体装置の製造システム及び半導体装置の製造方法 |
JP2008076377A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-04-03 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査装置 |
US8077306B2 (en) | 2006-08-25 | 2011-12-13 | Hitachi High-Technologies Corporation | Defect inspection apparatus |
JP2008131609A (ja) * | 2006-11-26 | 2008-06-05 | Plusmic:Kk | 電荷増倍素子を用いた高感度・高速度の競技用電子判定装置 |
US8009286B2 (en) | 2007-03-06 | 2011-08-30 | Kabushiki Kaisha Topcon | Surface inspecting method and device |
WO2008108041A1 (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-12 | Kabushiki Kaisha Topcon | 表面検査方法及び装置 |
JP2008252790A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子の駆動方法,撮像装置,撮像装置の画像合成方法 |
JP2008268141A (ja) * | 2007-04-25 | 2008-11-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査装置およびその方法 |
JP2009031251A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-02-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 光学式検査方法、および光学式検査装置 |
US8189185B2 (en) | 2007-06-28 | 2012-05-29 | Hitachi High-Technologies Corporation | Optical inspection method and optical inspection system |
JP2009162563A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Canon It Solutions Inc | デバイス外観検査装置及び方法、プログラム |
US8358406B2 (en) | 2008-01-11 | 2013-01-22 | Hitachi High-Technologies Corporation | Defect inspection method and defect inspection system |
JP2009168476A (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法、及び欠陥検査システム |
JP2009168672A (ja) * | 2008-01-17 | 2009-07-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 表面検査装置および表面検査方法 |
JP2011525985A (ja) * | 2008-06-25 | 2011-09-29 | アプライド マテリアルズ サウス イースト アジア ピーティーイー. エルティーディー. | 光学検査システムにおける動的照明 |
KR20110107318A (ko) * | 2009-01-30 | 2011-09-30 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 고체 촬상 장치 |
US8754355B2 (en) | 2009-01-30 | 2014-06-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Charge multiplying solid state imaging device having multiplication register units with different number of multiplication stages |
TWI474477B (zh) * | 2009-01-30 | 2015-02-21 | Hamamatsu Photonics Kk | Solid-state imaging device |
JP2010177567A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Hamamatsu Photonics Kk | 固体撮像装置 |
KR101657725B1 (ko) | 2009-01-30 | 2016-09-19 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 고체 촬상 장치 |
JP2010178194A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Hamamatsu Photonics Kk | 固体撮像装置 |
WO2010087287A1 (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 固体撮像装置 |
WO2010087278A1 (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 固体撮像装置 |
US8367999B2 (en) | 2009-01-30 | 2013-02-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid state imaging device comprising dummy regions each containing a multiplication register and an amplifier |
JP2014222239A (ja) * | 2009-07-22 | 2014-11-27 | ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation | リング状照射を備える暗視野検査システム |
US9176072B2 (en) | 2009-07-22 | 2015-11-03 | Kla-Tencor Corporation | Dark field inspection system with ring illumination |
JP2011099788A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Toshiba Corp | パターン検査装置及びパターン検査方法 |
JP2011244426A (ja) * | 2010-04-21 | 2011-12-01 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 撮像システム、撮像装置および感度制御方法 |
JP2012085324A (ja) * | 2011-11-27 | 2012-04-26 | Yamaguchi Cinema Corp | 電荷増倍素子を用いた高感度・高速度の競技用電子判定装置 |
KR20140093295A (ko) * | 2011-12-16 | 2014-07-25 | 케이엘에이-텐코 코포레이션 | 스폿 스캐닝 시스템에 대한 강화된 고속 대수 광검출기 |
JP2015507180A (ja) * | 2011-12-16 | 2015-03-05 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | スポット走査システムのための改善された高速対数光検出器 |
KR102125586B1 (ko) * | 2011-12-16 | 2020-06-22 | 케이엘에이 코포레이션 | 스폿 스캐닝 시스템에 대한 강화된 고속 대수 광검출기 |
RU2503952C1 (ru) * | 2012-04-23 | 2014-01-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южно-Российский государственный университет экономики и сервиса" (ФГБОУ ВПО "ЮРГУЭС") | Устройство обнаружения пылеотложения на печатных платах радиоэлектронной аппаратуры |
WO2014192199A1 (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-04 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2014224831A (ja) * | 2014-08-25 | 2014-12-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
WO2022153772A1 (ja) * | 2021-01-13 | 2022-07-21 | 東レエンジニアリング株式会社 | 外観検査装置 |
WO2022163305A1 (ja) * | 2021-01-28 | 2022-08-04 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 制御装置および方法、並びに固体撮像素子および方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060163503A1 (en) | 2006-07-27 |
JP4751617B2 (ja) | 2011-08-17 |
US20090091750A1 (en) | 2009-04-09 |
US7465935B2 (en) | 2008-12-16 |
US8748795B2 (en) | 2014-06-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4751617B2 (ja) | 欠陥検査方法及びその装置 | |
JP5211242B2 (ja) | 光学検査システムにおける動的照明 | |
US9915621B2 (en) | Extreme ultraviolet (EUV) substrate inspection system with simplified optics and method of manufacturing thereof | |
US7037735B2 (en) | Apparatus and method for testing defects | |
US6724473B2 (en) | Method and system using exposure control to inspect a surface | |
JP5637841B2 (ja) | 検査装置 | |
JP5676419B2 (ja) | 欠陥検査方法およびその装置 | |
US20020154303A1 (en) | Manufacturing method of semiconductor substrate and method and apparatus for inspecting defects of patterns on an object to be inspected | |
JP2004264287A (ja) | サンプリング不足の画像を再構築するためにディザリングを用いることによって基板表面内の欠陥を識別する方法および装置 | |
JP2008008803A (ja) | 光学式検査方法および光学式検査装置 | |
WO2013168557A1 (ja) | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
JP2007327815A (ja) | 欠陥検査方法及びその装置 | |
KR101895255B1 (ko) | 결함 검사 장치 및 결함 검사 방법 | |
US9568437B2 (en) | Inspection device | |
KR102632562B1 (ko) | Si 기반 검사 장치와 검사 방법, 및 그 검사 방법을 포함한 반도체 소자 제조방법 | |
JP5297930B2 (ja) | 欠陥検査装置およびその方法 | |
JP5629782B2 (ja) | 検査装置 | |
JP3185878B2 (ja) | 光学的検査装置 | |
JP2003017536A (ja) | パターン検査方法及び検査装置 | |
JP2015079009A (ja) | 欠陥検査方法およびその装置 | |
US11047805B2 (en) | Inspection device and detector | |
JP2002181726A (ja) | 半導体ウエハの検査装置及び検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060509 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080109 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100604 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100622 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100811 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110401 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110426 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110523 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140527 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |