JP2015507180A - スポット走査システムのための改善された高速対数光検出器 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、Ralph C.Wolfらによって2011年12月16日に出願された先の出願である米国仮特許出願第61/576,702号、およびRalph C.Wolfらによって2012年9月13日に出願された米国仮特許出願第61/700,527号の利益を主張し、これらの出願は、あらゆる目的のためにその全体が参照により本明細書に援用される。
Light(x,y)=Light(x−1,y) 式[1]
Light(x,y)=Light(x−1,y)+(Light(x−1,y)−Light(x−2,y)) 式[2]
Light(x,y)=Light(x−1,y)+α(Light(x−1,y)−Light(x−2,y)) 式[3]
Claims (22)
- 分析対象を検査または測定するための方法であって、
一つ以上の第一の走査部分と、前記一つ以上の第一の走査部分の後に走査される次の走査部分と一つ以上の第一の走査部分と、を含む各走査部分から出た出力ビームプロフィルが光電子増倍管(PMT)によって連続的に収集されるように、分析対象の複数の連続的な前記走査部分にわたって入射ビームを導くこと、
前記入射ビームが前記分析対象の前記一つ以上の第一の走査部分に導かれた後または導かれる間に、第一の走査部分のそれぞれについて前記PMTにより収集された前記出力ビームプロフィルに基づき、各第一の走査部分における出力信号を取得すること、
一つ以上の第一の走査部分のそれぞれについて得られた前記出力信号に基づき、前記次の走査部分における予期される出力ビームプロフィルを決定すること、
前記入射ビームが前記次の走査部分の方に導かれたときに、そのような次の走査部分におけるゲインの設定により、前記PMTにおける測定信号が、前記PMTまたは前記PMTから出る測定信号を受信する他のハードウェア部品の既定の仕様に入るように、前記予期された出力ビームプロフィルに基づき、前記次の走査部分について前記PMTに入力される前記ゲインを設定すること、を含む、方法。 - 一つ以上の第一の走査される部分のそれぞれが第一のダイを有し、前記次の走査部分が各一つ以上の第一のダイとは異なる第二のダイを有する、請求項1に記載の方法。
- 一つ以上の第一の走査される部分のそれぞれが一つ以上の第一の走査線を有し、前記次の走査部分が前記一つ以上の第一の走査線に隣接する第二の走査線を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記一つ以上の第一の走査部分に関する前記出力信号を解析して、そのような一つ以上の第一の走査部分における欠陥を検出することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記入射ビームがその方に導かれる前記走査部分が、前記第一の次の走査部分に隣接する第二の次の走査部分をさらに含み、前記方法が、
前記入射ビームが前記分析対象の前記第一の次の走査部分に導かれた後または導かれる間に、そのような第一の次の走査部分について前記PMTにより収集された前記出力ビームプロフィルに基づき、前記第一の次の走査部分における出力信号を取得すること、
前記第一の次の走査部分について得られた前記出力信号に基づき、前記第二の次の走査部分における予期される出力ビームプロフィルを決定すること、
前記入射ビームが前記第二の次の走査部分の方に導かれたときに、そのような第二の次の走査部分におけるゲインにより、前記PMTにおける測定信号が、前記PMTの既定の仕様に入るように、前記第二の次の走査部分における前記予期された出力ビームプロフィルに基づき、前記第二の次の走査部分について前記PMTに入力される前記ゲインを設定すること、をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記第一および第二の次の走査部分について前記PMTに入力される前記ゲインが、特定の周波数レンジに制限されて設定される、請求項5に記載の方法。
- 前記次の走査部分における前記予期される出力ビームプロフィルが、前記第一の走査部分のうちの最近走査された部分における前記出力ビームプロフィル、または前記一つ以上の第一の走査部分における前記出力ビームプロフィルの平均と略等しいと予測される、請求項1に記載の方法。
- 前記一つ以上の第一の走査部分が複数の第一の走査部分を有し、前記次の走査部分における前記予期される出力ビームプロフィルが、第一の走査部分全体におけるゲイン増加率または減少率と略等しい、前記第一の走査部分のうちの直前に走査された部分におけるゲイン増加率または減少率を有すると予測される、請求項1に記載の方法。
- 前記一つ以上の第一の走査部分が複数の第一の走査部分を有し、前記予期される出力ビームプロフィルが、前記第一の走査部分におけるゲイン増加率または減少率に比例する、前記第一の走査部分のうちの直前に走査された部分におけるゲイン増加率または減少率を有すると予測される、請求項1に記載の方法。
- 前記ゲインのさらなる設定において、そのようなゲインが前記次の走査部分の走査に適合するように調節され、前記次の走査部分において前記PMTにより出力された測定信号から生成された画像におけるアーチファクトを最小限にするような所定の値の範囲内に維持される、請求項1に記載の方法。
- 前記ゲインが、位相が互いに180度異なり、大きさが略等しい2つのゲイン信号を前記PMTに入力することにより、前記次の走査部分について前記PMTに入力され、前記2つのゲイン信号のうちの一方が前記PMTのダイノードの半分により受信され、前記2つのゲイン信号のうちの他方が前記PMTのダイノードの残りの半分により受信される、請求項1に記載の方法。
- 分析対象の方に導かれた入射ビームに反応してそのような分析対象から出た光を検出するための光電子増倍管(PMT)と、
一つ以上の第一の走査部分と、前記一つ以上の第一の走査部分の後に走査される次の走査部分とを含む各走査部分から出た出力ビームプロフィルが前記PMTによって連続的に収集されるように、前記分析対象の複数の連続的な走査部分にわたって前記入射ビームを導くためのビーム発生器と、
前記入射ビームが走査部分全体を走査したときにそのような各走査部分における応答信号を生成する前記PMTおよび一つ以上の検出部品を含む検出モジュールと、
各走査部分における前記応答信号を前記検出モジュールから受信し、そのような応答信号に基づき前記PMTのゲインを設定するゲイン予測モジュールであって、前記分析対象の各走査部分の前記ゲインの設定が、前記入射ビームにより最近走査された前記分析対象の一つ以上の以前の走査部分から生成された前記応答信号に基づいてそのような走査部分から出ると予期される前記光の予測に基づき行われる、ゲイン予測モジュールと、を備える、分析対象を検査または測定するためのシステム。 - 各走査部分に入力される前記ゲインが、前記PMTにおける測定信号が、前記PMTまたは前記PMTから出る測定信号を受信する前記検出モジュールまたはゲイン予測モジュールの他のハードウェア部品の既定の仕様に入るように設定される、請求項12に記載のシステム。
- 各走査部分における前記応答信号を解析してそのような走査部分における欠陥を検出するためのプロセッサをさらに備える、請求項12に記載のシステム。
- 特定の周波数レンジに制限するように、各走査部分に関して前記PMTに入力する前記ゲインを設定する、請求項12に記載のシステム。
- 各走査部分から出る前記光が、そのような一つ以上の以前の走査部分からの前記応答信号に基づき決定された、前記一つ以上の以前の走査部分から出た前記光と略等しいと予測される、請求項12に記載のシステム。
- 前記一つ以上の以前の走査部分が複数の以前の走査部分を有し、各走査部分から出る前記光が、前記以前の走査部分におけるゲイン増加率または減少率と略等しい、前記以前の走査部分のうちの直前に走査された部分におけるゲイン増加率または減少率を有すると予測される、請求項12に記載のシステム。
- 前記一つ以上の以前の走査部分が複数の以前の走査部分を有し、各走査部分から出る前記光が、前記以前の走査部分におけるゲイン増加率または減少率に比例する、前記以前の走査部分のうちの直前に走査された部分におけるゲイン増加率または減少率を有すると予測される、請求項12に記載のシステム。
- 各走査部分に入力される前記ゲインのさらなる設定において、ゲイン入力が走査部分の走査に適合するように調節され、走査部分において前記PMTにより出力された測定信号から生成された画像におけるアーチファクトを最小限にするような所定の値の範囲内に維持される、請求項12に記載のシステム。
- 各走査部分に関して前記PMTに入力される前記ゲインが、位相が互いに180度異なり、大きさが略等しい2つのゲイン信号を前記PMTに入力することにより達成され、前記2つのゲイン信号のうちの一方が前記PMTのダイノードの半分により受信され、前記2つのゲイン信号のうちの他方が前記PMTのダイノードの残りの半分により受信される、請求項12に記載のシステム。
- 検査または計測ツールに以下の工程を実行させるように設計された、コンピュータプログラム命令をその内部に保存する少なくとも一つのコンピュータ可読記憶媒体であって、前記工程が、
一つ以上の第一の走査部分と、前記一つ以上の第一の走査部分の後に走査される次の走査部分とを含む各走査部分から出た出力ビームプロフィルが光電子増倍管(PMT)によって連続的に収集されるように、分析対象の複数の連続的な走査部分にわたって入射ビームを導くこと、
前記入射ビームが前記分析対象の前記一つ以上の第一の走査部分に導かれた後または導かれる間に、第一の走査部分のそれぞれについて前記PMTにより収集された前記出力ビームプロフィルに基づき、各第一の走査部分における出力信号を取得すること、
一つ以上の第一の走査部分のそれぞれについて得られた前記出力信号に基づき、前記次の走査部分における予期される出力ビームプロフィルを決定すること、
前記入射ビームが前記次の走査部分の方に導かれたときに、そのような次の走査部分におけるゲインの設定により、前記PMTにおける測定信号が、前記PMTまたは前記PMTから出る測定信号を受信する他のハードウェア部品の既定の仕様に入るように、前記予期された出力ビームプロフィルに基づき、前記次の走査部分について前記PMTに入力される前記ゲインを設定すること、を含む、コンピュータ可読記憶媒体。 - 各走査線に関して前記PMTに入力される前記ゲインが、位相が互いに180度異なり、大きさが略等しい2つのゲイン信号を前記PMTに入力することにより達成され、前記2つのゲイン信号のうちの一方が前記PMTのダイノードの半分により受信され、前記2つのゲイン信号のうちの他方が前記PMTのダイノードの残りの半分により受信される、請求項21に記載の少なくとも一つのコンピュータ可読記憶媒体。
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