JP2006196758A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 不揮発性メモリを構成する複数の不揮発性メモリセルMCをアレイ状に配置し、各ビット毎にメモリセル選択用の選択MIS・FETQSを電気的に接続した。不揮発性メモリセルMCは、データ書き込み用のMIS・FETQWと、データ読み出し用のMIS・FETQRと、容量部Cとを有している。このMIS・FETQW,QRのゲート電極GW,GRおよび容量部Cの容量電極CEは、同じ浮遊ゲート電極FGの一部で構成されている。不揮発性メモリセルMCの制御ゲート電極は、容量電極CEが対向するnウエルNW1の一部で形成されている。
【選択図】 図10
Description
本実施の形態1の半導体装置は、例えばDRAM(Dynamic Random Access Memory)、やSRAM(Static RAM)等のようなメモリ回路、CPU(Central Processing Unite)やMPU(Micro Processing Unite)等のような論理回路、これらメモリ回路および論理回路の混在回路あるいはLCD(Liquid Crystal Device)ドライバ回路等、各種の主回路が形成された半導体チップに、その主回路の比較的小容量の所望の情報を記憶する不揮発性メモリが形成されているものである。その所望の情報としては、例えば半導体チップ内のトリミング時に使用する有効(使用)素子が配置されたアドレス、メモリやLCDの救済のために有効メモリセル(不良のないメモリセル)や有効LCD素子が配置されたアドレス、LCD画像調整時に使用する調整電圧のトリミングタップ情報あるいは半導体装置の製造番号等がある。
本実施の形態2では、不揮発性メモリがEEPROM(Electrically Erasable Programmable ROM)である場合について説明する。
本実施の形態3では、不揮発性メモリが前記OTPROMであって、制御ゲート電極が導体パターンで形成されている場合について説明する。
本実施の形態4では、不揮発性メモリが前記EEPROMであって、制御ゲート電極が導体パターンで形成されている場合について説明する。
本実施の形態5では、前記不揮発性メモリのメモリセルのデータ書き込み用のMIS・FETと、データ読み出し用のMIS・FETとを1つのMIS・FETで兼用する構成について説明する。
2 分離部
3 絶縁層
4 導体部
5a〜5k,5m 電極
6a〜6d ゲート絶縁膜
7SW n形のソース用の半導体領域
7Sa n−形の半導体領域
7Sb n+形の半導体領域
7DW n形のドレイン用の半導体領域
7Da n−形の半導体領域
7Db n+形の半導体領域
7R 一対のn形の半導体領域
7Ra n−形の半導体領域
7Rb n+形の半導体領域
8a n+形の半導体領域
10 n形の半導体領域
10a n−形の半導体領域
10b n+形の半導体領域
11 n形の半導体領域
11a n−形の半導体領域
11b n+形の半導体領域
15a p+形の半導体領域
17 n形のドレイン用の半導体領域
17a n−形の半導体領域
17b n+形の半導体領域
20 絶縁層
WBL,WBL0〜WBL15 データ書き込み用のビット線
RBL,RBL0〜RBL15 データ読み出し用のビット線
CG,CG0〜CG15 制御ゲート線
SL,SL1,SL2 ソース線
INV インバータ回路
SA センスアンプ回路
MC 不揮発性メモリセル
QW データ書き込み用のMIS・FET
QR データ読み出し用のMIS・FET
QS,QS1,QS2 選択MIS・FET
QA MIS・FET
C 容量部
CE 容量電極
CA 容量絶縁膜
PW1 pウエル
PW2 pウエル
PW3 pウエル
NW1 nウエル
NW2 nウエル
PWA p+形の半導体領域
NWA n+形の半導体領域
L1〜L6 活性領域
CT コンタクトホール
FG 浮遊ゲート電極
GW ゲート電極
GR ゲート電極
GS,GS2 ゲート電極
GA ゲート電極
CGW 制御ゲート電極
CGS,CS1,CGS2 制御配線
Claims (30)
- 第1主面およびその裏側の第2主面を有する半導体基板と、
前記半導体基板の第1主面に配置された主回路形成領域と、
前記半導体基板の第1主面に配置された不揮発性メモリ領域とを備え、
前記不揮発性メモリ領域には、
前記半導体基板の主面に形成された第1ウエルと、
前記半導体基板の主面に前記第1ウエルに対して沿うように配置され、前記第1ウエルに対して電気的に分離された状態で配置された第2ウエルと、
前記第1ウエルおよび前記第2ウエルの両方に平面的に重なるようにアレイ状に配置された複数の不揮発性メモリセルと、
前記複数の不揮発性メモリセルの各々を選択可能なように前記複数の不揮発性メモリセルの各々に電気的に接続された複数の選択用の電界効果トランジスタとを備え、
前記複数の不揮発性メモリセルの各々は、
前記第1ウエルおよび前記第2ウエルの両方に平面的に重なるように第1方向に延在して配置された浮遊ゲート電極と、
前記浮遊ゲート電極が前記第1ウエルに平面的に重なる第1位置に形成されたデータ書き込み用の電界効果トランジスタと、
前記浮遊ゲート電極が前記第1ウエルに平面的に重なる位置であって前記第1位置とは異なる第2位置に形成されたデータ読み出し用の電界効果トランジスタと、
前記第2ウエルにおいて前記浮遊ゲート電極が対向する部分に形成される制御ゲート電極とを有し、
前記データ書き込み用の電界効果トランジスタは、
前記浮遊ゲート電極の前記第1位置に形成される第1ゲート電極と、前記第1ゲート電極および前記半導体基板の間に形成される第1ゲート絶縁膜と、前記第1ウエル内において前記第1ゲート電極を挟み込む位置に形成される一対の半導体領域とを有し、
前記データ読み出し用の電界効果トランジスタは、
前記浮遊ゲート電極の前記第2位置に形成される第2ゲート電極と、前記第2ゲート電極および前記半導体基板の間に形成される第2ゲート絶縁膜と、前記第1ウエル内において前記第2ゲート電極を挟み込む位置に形成された一対の半導体領域とを有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、前記浮遊ゲート電極が前記第2ウエルに平面的に重なる位置には、容量部が形成されており、
前記容量部は、前記制御ゲート電極と、前記制御ゲート電極に対向する前記浮遊ゲート電極の一部で形成される容量電極と、前記制御ゲート電極および前記容量電極の間に形成された容量絶縁膜とを有しており、
前記容量電極の前記第1方向に交差する方向の長さは、前記第1ゲート電極および前記第2ゲート電極の前記第1方向に交差する方向の長さよりも長いことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、前記不揮発性メモリセルは、データの書き込みおよび消去が電気的に可能なEEPROMセルであり、前記選択用の電界効果トランジスタは、前記データ書き込み用の電界効果トランジスタおよび前記データ読み出し用の電界効果トランジスタの両方に電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項3記載の半導体装置において、前記半導体基板の前記不揮発性メモリ領域には、前記第1ウエルおよび前記第2ウエルとは反対導電型の第1半導体領域が設けられており、
前記第1ウエルおよび前記第2ウエルは、同一導電型のウエルであり、それぞれ前記第1半導体領域に取り囲まれるように前記第1半導体領域内に形成されて互いに電気的に分離されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項3記載の半導体装置において、前記不揮発性メモリセルへのデータ書き込み時には、前記第2ウエルに正の第1電圧を印加し、前記データ書き込み用の電界効果トランジスタのドレイン用の半導体領域に前記第1電圧よりも低い正の第2電圧を印加して、前記データ書き込み用の電界効果トランジスタのチャネルから前記浮遊ゲート電極にホットエレクトロンを注入し、
前記不揮発性メモリセルのデータ消去時には、前記第2ウエルに負の第3電圧を印加し、前記データ書き込み用の電界効果トランジスタのソース用の半導体領域およびドレイン用の半導体領域を接地又は開放電位とし、前記浮遊ゲート電極から前記データ書き込み用の電界効果トランジスタのチャネルへ前記エレクトロンを放出することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、前記不揮発性メモリセルは、データを1回書き込みした後は消去することのない読み出し専用のROMセルであり、前記選択用の電界効果トランジスタは、前記データ書き込み用の電界効果トランジスタに電気的に接続されており、前記データ読み出し用の電界効果トランジスタには電気的に接続されていないことを特徴とする半導体装置。
- 請求項6記載の半導体装置において、前記第1ウエルおよび前記第2ウエルは、互いに異なる導電型のウエルであり、互いに電気的に分離され隣接した状態で半導体基板に配置されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項6記載の半導体装置において、前記不揮発性メモリセルへのデータ書き込み時には、前記第2ウエルに正の第1電圧を印加し、前記データ書き込み用の電界効果トランジスタのドレイン用の半導体領域に前記第1電圧よりも低い正の第2電圧を印加して、前記データ書き込み用の電界効果トランジスタのチャネルから前記浮遊ゲート電極にホットエレクトロンを注入することを特徴とする半導体装置。
- 第1主面およびその裏側の第2主面を有する半導体基板と、
前記半導体基板の第1主面に配置された主回路形成領域と、
前記半導体基板の第1主面に配置された不揮発性メモリ領域とを備え、
前記不揮発性メモリ領域には、
前記半導体基板の主面に形成された第1ウエルと、
前記半導体基板の主面に前記第1ウエルに対して沿うように配置され、前記第1ウエルに対して電気的に分離された状態で配置された第2ウエルと、
前記第1ウエルおよび前記第2ウエルの両方に平面的に重なるようにアレイ状に配置された複数の不揮発性メモリセルと、
前記複数の不揮発性メモリセルの各々を選択可能なように前記複数の不揮発性メモリセルの各々に電気的に接続された複数の選択用の電界効果トランジスタとを備え、
前記複数の不揮発性メモリセルの各々は、
前記第1ウエルおよび前記第2ウエルの両方に平面的に重なるように第1方向に延在して配置された浮遊ゲート電極と、
前記浮遊ゲート電極が前記第1ウエルに平面的に重なる第1位置に形成されたデータ書き込みおよびデータ読み出し兼用の電界効果トランジスタと、
前記第2ウエルにおいて前記浮遊ゲート電極が対向する部分に形成される制御ゲート電極とを有し、
前記データ書き込みおよびデータ読み出し兼用の電界効果トランジスタは、
前記浮遊ゲート電極に形成されるゲート電極と、前記ゲート電極および前記半導体基板の間に形成されるゲート絶縁膜と、前記第1ウエル内において前記第1ゲート電極を挟み込む位置に形成される一対の半導体領域とを有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項9記載の半導体装置において、前記浮遊ゲート電極が前記第2ウエルに平面的に重なる位置には、容量部が形成されており、
前記容量部は、前記制御ゲート電極と、前記制御ゲート電極に対向する前記浮遊ゲート電極の一部で形成される容量電極と、前記制御ゲート電極および前記容量電極の間に形成された容量絶縁膜とを有しており、
前記容量電極の前記第1方向に交差する方向の長さは、前記兼用の電界効果トランジスタのゲート電極の前記第1方向に交差する方向の長さよりも長いことを特徴とする半導体装置。 - 請求項9記載の半導体装置において、前記不揮発性メモリセルは、データの書き込みおよび消去が電気的に可能なEEPROMセルであり、前記選択用の電界効果トランジスタは、前記データ書き込みおよびデータ読み出し兼用の電界効果トランジスタに電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項11記載の半導体装置において、前記半導体基板の前記不揮発性メモリ領域には、前記第1ウエルおよび前記第2ウエルとは反対導電型の第1半導体領域が設けられており、
前記第1ウエルおよび前記第2ウエルは、同一導電型のウエルであり、それぞれ前記第1半導体領域に取り囲まれるように前記第1半導体領域内に形成されて互いに電気的に分離されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項11記載の半導体装置において、前記不揮発性メモリセルへのデータ書き込み時には、前記第2ウエルに正の第1電圧を印加し、前記兼用の電界効果トランジスタのドレイン用の半導体領域に前記第1電圧よりも低い正の第2電圧を印加して、前記兼用の電界効果トランジスタのチャネルから前記浮遊ゲート電極にホットエレクトロンを注入し、
前記不揮発性メモリセルのデータ消去時には、前記第2ウエルに負の第3電圧を印加し、前記兼用の電界効果トランジスタのソース用の半導体領域およびドレイン用の半導体領域を接地又は開放電位とし、前記浮遊ゲート電極から前記兼用の電界効果トランジスタのチャネルへ前記エレクトロンを放出することを特徴とする半導体装置。 - 請求項9記載の半導体装置において、前記不揮発性メモリセルは、データを1回書き込みした後は消去することのない読み出し専用のROMセルであり、前記選択用の電界効果トランジスタは、前記データ書き込みおよびデータ読み出し兼用の電界効果トランジスタに電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項14記載の半導体装置において、前記第1ウエルおよび前記第2ウエルは、互いに異なる導電型のウエルであり、互いに電気的に分離され隣接した状態で半導体基板に配置されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項14記載の半導体装置において、前記不揮発性メモリセルへのデータ書き込み時には、前記第2ウエルに正の第1電圧を印加し、前記兼用の電界効果トランジスタのドレイン用の半導体領域に前記第1電圧よりも低い正の第2電圧を印加して、前記兼用の電界効果トランジスタのチャネルから前記浮遊ゲート電極にホットエレクトロンを注入することを特徴とする半導体装置。
- 第1主面およびその裏側の第2主面を有する半導体基板と、
前記半導体基板の第1主面に配置された主回路形成領域と、
前記半導体基板の第1主面に配置された不揮発性メモリ領域とを備え、
前記不揮発性メモリ領域には、
前記半導体基板にアレイ状に配置された複数の不揮発性メモリセルと、
前記複数の不揮発性メモリセルの各々を選択可能なように前記複数の不揮発性メモリセルの各々に電気的に接続された複数の選択用の電界効果トランジスタとを備え、
前記複数の不揮発性メモリセルの各々は、
前記半導体基板の第1主面に沿うように第1方向に延存する浮遊ゲート電極と、
前記浮遊ゲート電極の第1位置に形成されたデータ書き込み用の電界効果トランジスタと、
前記浮遊ゲート電極の前記第1位置とは異なる第2位置に形成されたデータ読み出し用の電界効果トランジスタと、
前記浮遊ゲート電極上に絶縁層を介して設けられた制御ゲート電極と有し、
前記データ書き込み用の電界効果トランジスタは、
前記浮遊ゲート電極の前記第1位置に形成される第1ゲート電極と、前記第1ゲート電極および前記半導体基板の間に形成される第1ゲート絶縁膜と、前記半導体基板内において前記第1ゲート電極を挟み込む位置に形成される一対の半導体領域とを有し、
前記データ読み出し用の電界効果トランジスタは、
前記浮遊ゲート電極の前記第2位置に形成される第2ゲート電極と、前記第2ゲート電極および前記半導体基板の間に形成される第2ゲート絶縁膜と、前記半導体基板内において前記第2ゲート電極を挟み込む位置に形成される一対の半導体領域とを有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項17記載の半導体装置において、前記浮遊ゲート電極の前記第1位置および前記第2位置とは異なる第3位置には容量部が形成されており、
前記容量部は、前記制御ゲート電極と、前記制御ゲート電極に対向する前記浮遊ゲート電極の一部で形成される容量電極と、前記制御ゲート電極および前記容量電極の間に形成された容量絶縁膜とを有しており、
前記容量電極および前記制御ゲート電極の前記第1方向に交差する方向の長さは、前記第1ゲート電極および前記第2ゲート電極の前記第1方向に交差する方向の長さよりも長いことを特徴とする半導体装置。 - 請求項17記載の半導体装置において、前記不揮発性メモリセルは、データの書き込みおよび消去が電気的に可能なEEPROMセルであり、前記選択用の電界効果トランジスタは、前記データ書き込み用の電界効果トランジスタおよび前記データ読み出し用の電界効果トランジスタの両方に電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項19記載の半導体装置において、前記不揮発性メモリセルへのデータ書き込み時には、前記制御ゲート電極に正の第1電圧を印加し、前記データ書き込み用の電界効果トランジスタのドレイン用の半導体領域に前記第1電圧よりも低い正の第2電圧を印加して、前記データ書き込み用の電界効果トランジスタのチャネルから前記浮遊ゲート電極にホットエレクトロンを注入し、
前記不揮発性メモリセルのデータ消去時には、前記制御ゲートに負の第3電圧を印加し、前記データ書き込み用の電界効果トランジスタのソース用の半導体領域およびドレイン用の半導体領域を接地又は開放電位とし、前記浮遊ゲート電極から前記データ書き込み用の電界効果トランジスタのチャネルへ前記エレクトロンを放出することを特徴とする半導体装置。 - 請求項17記載の半導体装置において、前記不揮発性メモリセルは、データを1回書き込みした後は消去することのない読み出し専用のROMセルであり、前記選択用の電界効果トランジスタは、前記データ書き込み用の電界効果トランジスタに電気的に接続されており、前記データ読み出し用の電界効果トランジスタには電気的に接続されていないことを特徴とする半導体装置。
- 請求項21記載の半導体装置において、
前記不揮発性メモリセルへのデータ書き込み時には、前記制御ゲートに正の第1電圧を印加し、前記データ書き込み用の電界効果トランジスタのドレイン用の半導体領域に前記第1電圧よりも低い正の第2電圧を印加して、前記データ書き込み用の電界効果トランジスタのチャネルから前記浮遊ゲート電極にホットエレクトロンを注入することを特徴とする半導体装置。 - 第1主面およびその裏側の第2主面を有する半導体基板と、
前記半導体基板の第1主面に配置された主回路形成領域と、
前記半導体基板の第1主面に配置された不揮発性メモリ領域とを備え、
前記不揮発性メモリ領域には、
前記半導体基板にアレイ状に配置された複数の不揮発性メモリセルと、
前記複数の不揮発性メモリセルの各々を選択可能なように前記複数の不揮発性メモリセルの各々に電気的に接続された複数の選択用の電界効果トランジスタとを備え、
前記複数の不揮発性メモリセルの各々は、
前記半導体基板の第1主面に沿うように第1方向に延存する浮遊ゲート電極と、
前記浮遊ゲート電極の第1位置に形成されたデータ書き込みおよびデータ読み出し兼用の電界効果トランジスタと、
前記浮遊ゲート電極上に絶縁層を介して設けられた制御ゲート電極と有し、
前記データ書き込みおよびデータ読み出し兼用の電界効果トランジスタは、
前記浮遊ゲート電極の前記第1位置に形成されるゲート電極と、前記ゲート電極および前記半導体基板の間に形成されるゲート絶縁膜と、前記半導体基板において前記第1ゲート電極を挟み込む位置に形成される一対の半導体領域とを有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項23記載の半導体装置において、前記浮遊ゲート電極の前記第1位置とは異なる第3位置には容量部が形成されており、
前記容量部は、前記制御ゲート電極と、前記制御ゲート電極に対向する前記浮遊ゲート電極の一部で形成される容量電極と、前記制御ゲート電極および前記容量電極の間に形成された容量絶縁膜とを有しており、
前記容量電極および前記制御ゲート電極の前記第1方向に交差する方向の長さは、前記兼用の電界効果トランジスタのゲート電極の前記第1方向に交差する方向の長さよりも長いことを特徴とする半導体装置。 - 請求項23記載の半導体装置において、前記不揮発性メモリセルは、データの書き込みおよび消去が電気的に可能なEEPROMセルであり、前記選択用の電界効果トランジスタは、前記データ書き込みおよびデータ読み出し兼用の電界効果トランジスタに電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項25記載の半導体装置において、前記不揮発性メモリセルへのデータ書き込み時には、前記制御ゲート電極に正の第1電圧を印加し、前記兼用の電界効果トランジスタのドレイン用の半導体領域に前記第1電圧よりも低い正の第2電圧を印加して、前記兼用の電界効果トランジスタのチャネルから前記浮遊ゲート電極にホットエレクトロンを注入し、
前記不揮発性メモリセルのデータ消去時には、前記制御ゲートに負の第3電圧を印加し、前記兼用の電界効果トランジスタのソース用の半導体領域およびドレイン用の半導体領域を接地又は開放電位とし、前記浮遊ゲート電極から前記兼用の電界効果トランジスタのチャネルへ前記エレクトロンを放出することを特徴とする半導体装置。 - 請求項23記載の半導体装置において、前記不揮発性メモリセルは、データを1回書き込みした後は消去することのない読み出し専用のROMセルであり、前記選択用の電界効果トランジスタは、前記兼用の電界効果トランジスタに電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項27記載の半導体装置において、前記不揮発性メモリセルへのデータ書き込み時には、前記制御ゲートに正の第1電圧を印加し、前記兼用の電界効果トランジスタのドレイン用の半導体領域に前記第1電圧よりも低い正の第2電圧を印加して、前記兼用の電界効果トランジスタのチャネルから前記浮遊ゲート電極にホットエレクトロンを注入することを特徴とする半導体装置。
- 第1主面およびその裏側の第2主面を有する半導体基板と、
前記半導体基板の第1主面に配置された主回路形成領域と、
前記半導体基板の第1主面に配置された不揮発性メモリ領域とを備え、
前記不揮発性メモリ領域には、
前記半導体基板の主面に形成された第1導電型の第1ウエルと、
前記半導体基板の主面に形成された第2ウエルであって、前記第1導電型と反対の導電型を示す第2導電型の前記第2ウエルと、
前記第1ウエルおよび前記第2ウエルの両方に平面的に重なるようにアレイ状に配置された複数の不揮発性メモリセルとが配置され、
前記複数の不揮発性メモリセルの各々は、
前記第1ウエルおよび前記第2ウエルの両方に平面的に重なるように前記不揮発性メモリセルのゲート幅方向に延在して配置された導電体膜と、
前記第1ウエル内に形成された前記第2導電型を示す第1半導体領域であって、前記導電体膜に整合した位置に形成された前記第1半導体領域と、
前記第2ウエル内に形成された前記第2導電型を示す第2半導体領域であって、前記導電体膜に整合した位置に形成された前記第2半導体領域と、
を有し、
前記導電体膜は、前記不揮発性メモリセルの浮遊ゲート電極を構成し、
前記第2半導体領域は、前記不揮発性メモリセルの制御ゲート電極を構成し、
前記第1半導体領域は、前記不揮発性メモリセルのソースまたはドレインを構成していることを特徴とする半導体装置。 - 第1主面およびその裏側の第2主面を有する半導体基板と、
前記半導体基板の第1主面に形成された第2導電型の第3半導体領域と、
前記第1主面の第3半導体領域に配置された主回路形成領域および不揮発性メモリ領域とを備え、
前記不揮発性メモリ領域は、
前記第3半導体領域に形成された第1ウエルであって、前記第2導電型と反対の導電型を示す第1導電型の前記第1ウエルと、
前記第3半導体領域に形成された前記第1導電型の第2ウエルと、
前記第1ウエルおよび前記第2ウエルの両方に平面的に重なるようにアレイ状に配置された複数の不揮発性メモリセルとが配置され、
前記複数の不揮発性メモリセルの各々は、
前記第1ウエルおよび前記第2ウエルの両方に平面的に重なるように、前記不揮発性メモリセルのゲート幅方向に延在して配置された導電体膜と、
前記第1ウエル内に形成された前記第2導電型を示す第1半導体領域であって、前記導電体膜に整合した位置に形成された前記第1半導体領域と、
前記第2ウエル内に形成された前記第1導電型を示す第2半導体領域であって、前記導電体膜に整合した位置に形成された前記第2半導体領域と、
を有し、
前記導電体膜は、前記不揮発性メモリセルの浮遊ゲート電極を構成し、
前記第2半導体領域は、前記不揮発性メモリセルの制御ゲート電極を構成し、
前記第1半導体領域は、前記不揮発性メモリセルのソースまたはドレインを構成していることを特徴とする半導体装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007123830A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-05-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2008244081A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板の製造方法 |
JP2010056518A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-03-11 | Toppan Printing Co Ltd | 不揮発性半導体メモリ素子、および不揮発性半導体メモリ装置 |
JP2010129620A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Sharp Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2014086722A (ja) * | 2013-09-04 | 2014-05-12 | Floadia Co Ltd | 不揮発性半導体記憶装置 |
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Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4800109B2 (ja) * | 2005-09-13 | 2011-10-26 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP4901325B2 (ja) * | 2006-06-22 | 2012-03-21 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
US7881118B2 (en) * | 2007-05-25 | 2011-02-01 | Cypress Semiconductor Corporation | Sense transistor protection for memory programming |
US8269287B2 (en) * | 2007-05-25 | 2012-09-18 | Cypress Semiconductor Corporation | Floating gate memory device with increased coupling coefficient |
KR20110047819A (ko) * | 2009-10-30 | 2011-05-09 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 장치의 단위 블록 회로 |
EP2545047B9 (en) * | 2010-03-10 | 2015-06-10 | Probiodrug AG | Heterocyclic inhibitors of glutaminyl cyclase (qc, ec 2.3.2.5) |
US8279681B2 (en) * | 2010-06-24 | 2012-10-02 | Semiconductor Components Industries, Llc | Method of using a nonvolatile memory cell |
US20130020623A1 (en) * | 2011-07-18 | 2013-01-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Structure and method for single gate non-volatile memory device |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08255847A (ja) * | 1995-03-15 | 1996-10-01 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
WO1998058410A1 (fr) * | 1997-06-19 | 1998-12-23 | Hitachi, Ltd. | Memoire a semi-conducteurs |
JP2001257324A (ja) * | 2000-03-09 | 2001-09-21 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路 |
JP2003317497A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-07 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2004165182A (ja) * | 2002-11-08 | 2004-06-10 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置 |
JP2004200553A (ja) * | 2002-12-20 | 2004-07-15 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0498342A (ja) * | 1990-08-09 | 1992-03-31 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
US5477068A (en) * | 1992-03-18 | 1995-12-19 | Rohm Co., Ltd. | Nonvolatile semiconductor memory device |
EP0597124B1 (en) * | 1992-05-29 | 1998-12-09 | Citizen Watch Co. Ltd. | Method of fabricating a semiconductor nonvolatile storage device |
US5793081A (en) * | 1994-03-25 | 1998-08-11 | Nippon Steel Corporation | Nonvolatile semiconductor storage device and method of manufacturing |
JP3093649B2 (ja) * | 1996-09-05 | 2000-10-03 | 九州日本電気株式会社 | 不揮発性半導体メモリ装置 |
JP2001185633A (ja) | 1999-12-15 | 2001-07-06 | Texas Instr Inc <Ti> | Eepromデバイス |
DE102005004379B4 (de) * | 2005-01-31 | 2007-12-27 | Infineon Technologies Ag | Speicherbauelement und Verfahren zum Testen von Speicherbauelementen mit reparaturfähiger Redundanz |
JP4800109B2 (ja) * | 2005-09-13 | 2011-10-26 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08255847A (ja) * | 1995-03-15 | 1996-10-01 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
WO1998058410A1 (fr) * | 1997-06-19 | 1998-12-23 | Hitachi, Ltd. | Memoire a semi-conducteurs |
JP2001257324A (ja) * | 2000-03-09 | 2001-09-21 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路 |
JP2003317497A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-07 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2004165182A (ja) * | 2002-11-08 | 2004-06-10 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置 |
JP2004200553A (ja) * | 2002-12-20 | 2004-07-15 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007123830A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-05-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2008244081A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板の製造方法 |
JP2010056518A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-03-11 | Toppan Printing Co Ltd | 不揮発性半導体メモリ素子、および不揮発性半導体メモリ装置 |
JP2010129620A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Sharp Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2014086722A (ja) * | 2013-09-04 | 2014-05-12 | Floadia Co Ltd | 不揮発性半導体記憶装置 |
US11031408B2 (en) | 2019-03-29 | 2021-06-08 | Lapis Semiconductor Co., Ltd. | Semiconductor device and method of producing semiconductor device |
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