JP2006179689A - 枚葉搬送用トレイおよび処理システム - Google Patents

枚葉搬送用トレイおよび処理システム Download PDF

Info

Publication number
JP2006179689A
JP2006179689A JP2004371559A JP2004371559A JP2006179689A JP 2006179689 A JP2006179689 A JP 2006179689A JP 2004371559 A JP2004371559 A JP 2004371559A JP 2004371559 A JP2004371559 A JP 2004371559A JP 2006179689 A JP2006179689 A JP 2006179689A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tray
workpiece
plate
stacked
processing system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004371559A
Other languages
English (en)
Inventor
Ryosuke Tawara
良祐 田原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Priority to JP2004371559A priority Critical patent/JP2006179689A/ja
Publication of JP2006179689A publication Critical patent/JP2006179689A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Stackable Containers (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

【課題】 搬送ライン上の枚葉搬送用トレイと処理装置の間で板状ワークを移載する場合に、処理装置に応じて板状ワークの水平回転を行わせることが不要とできる枚葉搬送用トレイ、および処理システムを提供する。
【解決手段】 この枚葉搬送用トレイ1は、複数のワーク載置部4を、幅方向Pおよび奥行き方向Qに間隔L1,L2を開けて設ける。この枚葉搬送用トレイ1を使用した処理システムは、トレイ1の搬送ラインに沿って複数の処理装置を設け、かつ前記搬送ラインの端部に処理装置を設ける。
【選択図】 図1

Description

この発明は、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板等の板状ワークを載置して搬送する枚葉搬送用トレイおよびこのトレイを使用した処理システムに関する。
従来、液晶ディスプレイ等に用いられるガラス基板は、この基板の両端を載せる腕部を上下に多数有するボックス状のカセットを用い、多数枚同時に搬送するようにしていた(例えば特許文献1)。
しかし、最近は、液晶ディスプレイの大型化に伴い、ガラス基板の縦横寸法の大きなもの、例えば2200×2600×0.7(単位mm)程度のガラス基板が製造されており、このような大きなガラス基板の場合、多数枚同時に搬送するカセットでは、大重量となって搬送が困難になってきている。また、カセットの腕部でガラス基板の両端を支持するだけでは、ガラス基板に撓みが生じ、搬送上で支障を来すことがある。
そのため、ガラス基板を1枚ずつ載せる枚葉搬送用トレイが採用されつつある。枚葉搬送用トレイは、ガラス基板を載せた状態で積み重ね可能なものであり、複数枚積み重ねた状態で、スタッカークレーン等による搬送を行う。
各種の処理装置や検査装置へは、段積み状態の枚葉搬送用トレイから1枚ずつトレイを取り出し、トレイごと搬送するか、またはトレイからガラス基板だけを取り出して処理装置等へ搬送する。空になったトレイは、別に載置しておく。
特開2002−373934号公報
板状ワークを載せた枚葉搬送用トレイをコンベア等の搬送ラインで搬送し、搬送ラインに沿って設けられた複数の処理装置にトレイ上の板状ワークを移載してワークの処理を行うことがある。このような場合、従来の枚葉搬送用トレイは、板状ワークをトレイ上から一方向に取り出すものとされているが、処理装置の構成やレイアウト上の都合などで、枚葉搬送用トレイから取り出した板状ワークの長さ方向が処理装置の受入れ方向に合致しない場合がある。このような場合、トレイから取り出すワークを水平回転させて処理装置に応じた姿勢に変える装置が必要になり、処理システムが複雑なものとなる。
また、従来の枚葉搬送用トレイでは、板状ワークが載せられていない空の場合でも、板状ワークが載置可能な形態で積み重ねられるため、積み重ね高さが無駄に高くなる。搬送装置による荷姿の搬送高さの制限や、置き場所の高さの制限、安定した積み重ね高さが可能な高さの制限などから、積み重ね高さが高くなると、一群の空の枚葉搬送用トレイを、一度で搬送できなかったり、複数の場所に分けて置くことが必要となる。
例えば、一群の空の枚葉搬送用トレイを搬送するについて、積み重ね高さが少し低ければ、1回の搬送で済むような場合は、端数のトレイの搬送だけで1回の搬送回数が増え、搬送の効率が悪くなる。また、一群の空の枚葉搬送用トレイを積み重ねて置くについて、積み重ね高さが少し低ければ、1か所の置き場所で済む場合であっても、端数となる1〜2枚の枚葉搬送用トレイを置くだけのために、1か所の置き場所を占有することが必要な場合が生じる。そのため占有床面積が大きくなる。複数の場所に分けて置く場合は、その場所間での枚葉搬送用トレイの移動の手間が増え、搬送のタクトが長くなるという課題も生じる。
この発明の目的は、搬送ライン上の枚葉搬送用トレイと処理装置間で板状ワークを移載する場合に、処理装置に応じて板状ワークの水平回転を行わせることが不要とできる枚葉搬送用トレイを提供することである。
この発明の他の目的は、空の枚葉搬送用トレイの枚葉搬送用トレイをコンパクトに積み重ねて搬送や載置が行えるものとすることである。
この発明のさらに他の目的は、搬送ラインに沿って設けられる複数の処理装置と、搬送ラインの終端に設けられる処理装置のいずれに対しても、板状ワークの水平回転を行わせることなく移載が行え、コンパクトな構成とできる枚葉搬送用トレイ使用処理システムを提供することである。
この発明の枚葉搬送用トレイは、板状ワークの各部を載せる複数のワーク載置部を、幅方向および幅方向と直交する奥行き方向に間隔を開けて設けたものである。
この構成によると、複数のワーク載置部が、幅方向および奥行き方向に間隔を開けて設けられていて、これらワーク載置部間に幅方向および奥行き方向に隙間が生じている。そのため、これらの隙間を利用して、板状ワーク移載用のフォーク等の移載手段を、トレイの幅方向へも、また奥行き方向へも板状ワーク下面へ進入させることができる。したがって、枚葉搬送用トレイに対して板状ワークを幅方向と奥行き方向の2方向に出し入れすることができる。このため、例えば搬送ラインで搬送されるトレイから搬送ラインの途中や端部に配置される処理装置へ板状ワークを移載する場合に、処理装置の配置に応じて板状ワークの姿勢を水平回転させる必要がなく、容易に行うことができる。
この発明において、互いに積み重ねる上方のトレイを載せる受け部として、高さの異なる2種類の受け部を有するものとしても良い。
この構成の場合、板状ワークを載せない空のトレイを積み重ねるとき、低い方の受け部の上にトレイを重ねることにより、コンパクトにトレイを積み重ねて搬送できる。板状ワークを載せるときは、高い方の受け部の上にトレイを重ねることで、板状ワークが上のトレイに干渉することなく、枚葉搬送用トレイを積み重ねることができる。
この発明の枚葉搬送用トレイ使用処理システムは、この発明の枚葉搬送用トレイを使用した処理システムであって、トレイの搬送ラインに沿って複数の処理装置を設け、かつ前記搬送ラインの端部に処理装置を設けたものである。
この構成の処理システムによると、この発明の枚葉搬送用トレイにおける2方向に出し入れ可能な特徴を効果的に利用し、搬送ライン上のトレイから、搬送ラインに沿って配置された処理装置に対して板状ワークを出し入れする場合も、また搬送ラインの端部に配置された処理装置に対して板状ワークを出し入れする場合も、板状ワークを水平回転させる機構を設けることなく、処理装置に対してトレイ上の板状ワークを出し入れすることができる。そのため、コンパクトな処理システムとすることができる。
この発明の枚葉搬送用トレイは、複数のワーク載置部を幅方向および奥行き方向に間隔を開けて設けたため、幅方向および奥行き方向の2方向に板状ワークを出し入れすることができる。そのため、搬送ライン上の枚葉搬送用トレイと処理装置間で板状ワークを移載する場合に、処理装置に応じて板状ワークの水平回転を行わせる装置が不要となる。
前記枚葉搬送用トレイが、互いに積み重ねる上方のトレイを載せる受け部として、高さの異なる2種類の受け部を有するものである場合は、空の枚葉搬送用トレイをコンパクトに積み重ねて搬送や載置が行える。
この発明の処理システムは、この発明の枚葉搬送用トレイを使用した処理システムであって、トレイの搬送ラインに沿って複数の処理装置を設け、かつ前記搬送ラインの端部に処理装置を設けたため、搬送ラインに沿って設けられる複数の処理装置と、搬送ラインの終端に設けられる処理装置のいずれに対しても、板状ワークの水平回転を行わせることなく移載が行え、水平回転を行わせる装置が不要で、コンパクトなシステムとすることができる。
この発明の一実施形態を図1ないし図5と共に説明する。図1および図2に斜視図で示すように、この実施形態の枚葉搬送用トレイ1は、液晶ディスプレイのガラス基板等の板状ワークを載せて搬送するためのトレイであって、方形の底板部2と、この底板部2の互いに対向する平行な2辺の両端部に設けられた複数のトレイ受け部3と、前記底板部2の上面に設けられた複数のワーク載置部4とを有する。
この枚葉搬送用トレイ1は、互いに上下に積み重ね可能なものであり、トレイ受け部3は水平断面が方形状の角柱からなり、互いに積み重ねる上方のトレイを載せる受け部となる。各トレイ受け部3の上端面には図1のように円柱状の係合突部5が突設され、下端面には図2のように円形の係合凹部6が設けられている。上に載せられるトレイ1におけるトレイ受け部3の係合凹部6に、下のトレイ1における対応するトレイ受け部3の係合突部5が係脱自在に嵌合することで、安定良くトレイ1を積み重ねることができる。
底板部2の上面に設けられた複数のワーク載置部4は、図3のように底板部2の上面から浮き上がらせた状態で板状ワークWを支持するものであって、板状ワークWを撓み無く全面にわたって均等に支持するために、均等に分散配置されている。また、ワーク載置部4の分散配置は、図1のように幅方向Pおよびこの幅方向Pと直交する奥行き方向Qに間隔L1,L2を開けたものとされている。ワーク載置部4の高さは、底板部2の上面から前記トレイ受け部3の上端までの高さより低く、支持される板状ワークWがワーク載置部4の上端より低くなるように設定されている。このワーク載置部4は、板状ワークWが空のときに、互いに積み重ねる上方のトレイ1を載せる受け部に兼用される。
図4(A),(B)は、板状ワークWを載せた枚葉搬送用トレイ1の積み重ね状態を示す斜視図および正面図である。上記したように、上に載せられるトレイ1におけるトレイ受け部3の下端の係合凹部6に、下のトレイ1における対応するトレイ受け部3の係合突部5を係脱自在に嵌合させることで、下のトレイ1のトレイ受け部3の上に、上のトレイ1のトレイ受け部3が重なって多重にトレイ1が積み重ねられる。また、板状ワークWを支持するワーク載置部4の高さは、トレイ受け部3の上端よりも低く設定されているので、各トレイ1に載せられた板状ワークWは上のトレイ1に接触することはない。
図5(A),(B)は、板状ワークWが載せられていない空の枚葉搬送用トレイ1の積み重ね状態を示す斜視図および正面図である。この場合には、最下段のトレイ1の上に次のトレイ1を重ねるとき、上のトレイ1をトレイ受け部3の幅寸法分だけ水平方向にずらす。これにより、下のトレイ1のワーク載置部4は、上のトレイ1の受け部となって上のトレイ1を直接支持する。以後は、先ず最下段のトレイ1に対して図4の積み重ね方で次のトレイ1を重ね、次に水平にずらしたトレイ1に対して図4の積み重ね方でさらに次のトレイ1を重ねるという手順で、複数のトレイ1が積み重ねられる。
これにより、図4の積み重ね方によるトレイ1の積み重ね部と、この積み重ね部よりも若干高い位置で、この積み重ね部から水平方向にずらされた位置にある図4の積み重ね方によるトレイ1の積み重ね部とが複合した状態に、複数のトレイ1が積み重ねられる。
このため、板状ワークWを載せない空の状態での枚葉搬送用トレイ1をコンパクトに積み重ねることができる。また、下のトレイ1に次のトレイ1を重ねるときに、トレイ1を水平方向にずらすだけで良いので、空のトレイ1をコンパクトに積み重ねる作業を容易に行うことができる。
図6は、上記実施形態の枚葉搬送用トレイ1を用いた処理システムの概略構成を示す平面図である。この処理システムは、枚葉搬送用トレイ1に載せられた板状ワークWに検査等の各種処理を行う工程に適用されるものであって、トレイ1を搬送する搬送ライン7と、複数の処理装置8とを備える。搬送ライン7は例えばローラコンベヤからなる。ここでは、搬送ライン7上において、トレイ1はその幅方向Pを搬送方向に揃えて搬送される。搬送ライン7に沿って複数の処理装置8が配置され、搬送ライン7の例えば終端部には1つの処理装置8が設けられる。各処理装置8は、搬送ライン7上のトレイ1から処理装置本体9上に板状ワークWを移載して、各処理装置8が受け持つ所定の処理をワークWに施すものものであって、前記処理装置本体9と搬入出装置10とでなる。処理装置本体9はワークWに各種処理を施す機能を有するものであり、搬入出装置10はワークWを移載する機能を担う。搬入出装置10は、例えば昇降可能なフォークを有する進退台により構成される。
図7(A)は、図6の搬送ライン7の終端部に設けられる処理装置8における搬入出装置10の動作を示す側面図である。搬入出装置10は、水平方向に進退自在な移動台11と、この移動台11に昇降自在に設けられ移動台11の進退方向に水平に延びる複数本のフォーク12とを有する。ここでは、フォーク12が搬送ライン7の搬送方向つまりトレイ1の幅方向Pに延びる姿勢となるように、搬入出装置10が配置される。また、複数のフォーク12の並び間隔は、トレイ1におけるワーク載置部4の奥行き方向Qの間隔L2(図1)の並びに対応して、これらの間隔L2の部分に各フォーク12が進入可能となるように設定される。図7(B)はトレイ1とフォーク12の関係をトレイ1の幅方向Pから見た断面図を示す。
これにより、各フォーク12をトレイ1におけるワーク載置部4の奥行き方向Qの並びの間隔L2に挿入してから上昇させることにより、トレイ1からワークWを持ち上げ、さらに移動台11を前進させることで処理装置本体9の上にワークWを移載することができる。
一方、搬送ライン7の途中に設けられる処理装置8における搬入出装置10は、そのフォーク12の延びる方向が搬送ライン7の搬送方向と直交する方向つまりトレイ1の奥行き方向Qに揃うように配置される。また、複数のフォーク12の並び間隔は、トレイ1のワーク載置部4の幅方向Pの間隔L1(図1)の並びに対応して、これらの間隔L1の部分に各フォーク12が進入可能となるように設定される。これにより、搬送ライン7の幅方向へのフォーク12の進退と上下動により、搬送ライン7を横切って、トレイ1から処理装置本体9の上にワークWが移載され、逆の動作で処理装置本体9の上から処理済みのワークWがトレイ1上に戻される。
このように、この処理システムでは、搬送ライン7上のトレイ1から各処理装置本体9に板状ワークWを移載するのに、ワークWを水平回転させて各処理台8の配置に応じた姿勢に変換させる装置が要らず、共通の構成の搬入出装置10により容易に移載でき、コンパクトなシステムとすることができる。
図8ないし図12は、この発明の他の実施形態の枚葉搬送用トレイ1Aを示す。図8および図9に斜視図で示すように、このトレイ1Aは、図1〜図5に示した先の実施形態の枚葉搬送用トレイ1において、方形の底板部2の互いに対向する平行な2辺の各縁部に沿って複数のトレイ受け部3を等間隔に設けたものである。隣接するトレイ受け部3,3間には1つのトレイ受け部3の幅寸法よりやや広い所定の隙間Lが設けられている。トレイ受け部3の形状、およびその他の構造は先の実施形態の場合と同じである。
この枚葉搬送用トレイ1Aの場合も、図3のように底板部2の上面に分散配置されるワーク載置部4の上に板状ワークWが載せられる。この実施形態の枚葉搬送用トレイAの場合、奥行き方向Pに板状ワークWを出し入れするときは、トレイ受け部3に板状ワークWが干渉することを避けるために、板状ワークWの持ち上げ高さを高くする必要がある。しかし、この実施形態の枚葉搬送用トレイ1Aおいても、ワーク載置部4が幅方向Pおよび奥行き方向Qに間隔L1,L2を開けて配置されているため、これら幅方向Pおよび奥行き方向Qの2方向に板状ワークWを出し入れすることができる。
板状ワークWを載せた枚葉搬送用トレイ1Aの積み重ねは、図11(A),(B)に示すように、先の実施形態の場合と同様に行われる。その積み重ねにおいて、上に載せられるトレイ1Aにおける全てのトレイ受け部3の下端の係合凹部6に、下のトレイ1Aにおける対応する全てのトレイ受け部3の係合突部5を係脱自在に嵌合させることで、多重にトレイ1Aが積み重ねられる。
図12は、板状ワークWが載せられていない空の枚葉搬送用トレイ1Aの積み重ね状態を示す。この場合には、最下段のトレイ1Aの上に次のトレイ1Aを重ねるとき、上のトレイ1Aをトレイ受け部3の幅寸法分だけ水平方向(トレイ受け部3の並び方向)にずらす。これにより、上のトレイ1Aは、そのトレイ受け部3が下のトレイ1Aの隣接するトレイ受け部3,3の間に挟まれた状態で、下のトレイ1Aのワーク載置部4の上に支持される。以後は、先の実施形態の場合と同様に、先ず最下段のトレイ1Aに対して図11の積み重ね方で次ぎのトレイ1Aを重ね、次に水平にずらしたトレイ1Aに対して図11の積み重ね方でさらに次のトレイ1Aを重ねるという手順で、複数のトレイ1Aが積み重ねられる。この場合も、板状ワークWの載せない空の状態での枚葉搬送用トレイ1Aをコンパクトに積み重ねることができる。
この発明の一実施形態にかかる枚葉搬送用トレイを上側から見た斜視図である。 同トレイを下側から見た斜視図である。 同トレイに板状ワークを載せた状態を示す斜視図である。 (A)は同トレイの板状ワークを載せたときの積み重ね状態を示す斜視図、(B)は同積み重ね状態の正面図である。 (A)は同トレイの空のときの積み重ね状態を示す斜視図、(B)は同積み重ね状態の正面図である。 同トレイを用いた処理システムの概略構成を示す平面図である。 (A)同処理システムにおける搬入出装置の動作を示す側面図、(B)はその正面断面図である。 この発明の他の実施形態にかかる枚葉搬送用トレイを上側から見た斜視図である。 同トレイを下側から見た斜視図である。 同トレイに板状ワークを載せた状態を示す斜視図である。 (A)は同トレイの板状ワークを載せたときの積み重ね状態を示す斜視図、(B)は同積み重ね状態の正面図である。 同トレイの空のときの積み重ね状態を示す斜視図である。
符号の説明
1,1A…枚葉搬送用トレイ
3…トレイ受け部
4…ワーク載置部
7…搬送ライン
8…処理装置
P…幅方向
Q…奥行き方向
L1,L2…間隔

Claims (3)

  1. 板状ワークの各部を載せる複数のワーク載置部を、幅方向および幅方向と直交する奥行き方向に間隔を開けて設けた枚葉搬送用トレイ。
  2. 互いに積み重ねる上方のトレイを載せる受け部として、高さの異なる2種類の受け部を有する請求項1記載の枚葉搬送用トレイ。
  3. 請求項1または請求項2に記載の枚葉搬送用トレイを使用した処理システムであって、トレイの搬送ラインに沿って複数の処理装置を設け、かつ前記搬送ラインの端部に処理装置を設けた枚葉搬送用トレイ使用処理システム。
JP2004371559A 2004-12-22 2004-12-22 枚葉搬送用トレイおよび処理システム Pending JP2006179689A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004371559A JP2006179689A (ja) 2004-12-22 2004-12-22 枚葉搬送用トレイおよび処理システム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004371559A JP2006179689A (ja) 2004-12-22 2004-12-22 枚葉搬送用トレイおよび処理システム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006179689A true JP2006179689A (ja) 2006-07-06

Family

ID=36733504

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004371559A Pending JP2006179689A (ja) 2004-12-22 2004-12-22 枚葉搬送用トレイおよび処理システム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006179689A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2021033375A1 (ja) * 2019-08-16 2021-09-13 日本碍子株式会社 焼成用ラック及び焼成用治具

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2021033375A1 (ja) * 2019-08-16 2021-09-13 日本碍子株式会社 焼成用ラック及び焼成用治具
JP7285271B2 (ja) 2019-08-16 2023-06-01 日本碍子株式会社 焼成用ラック及び焼成用治具

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4904722B2 (ja) 基板搬送装置
JP5000627B2 (ja) 基板処理システム
JP2007261738A (ja) トレイ積層移載装置
JP2004284772A (ja) 基板搬送システム
TW200922851A (en) Substrate transfer system
JP5639963B2 (ja) 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記録した記録媒体
JP2005340425A (ja) 真空処理装置
JP2006347752A (ja) 搬送システム
JP4941627B2 (ja) ワーク収納装置
JP2006347753A (ja) 搬送システム
JPH1111663A (ja) 基板搬送装置
JP4222007B2 (ja) 搬送システム
JP2005089049A (ja) 搬送システム
JP2006179690A (ja) 枚葉搬送用トレイ
JP2006179689A (ja) 枚葉搬送用トレイおよび処理システム
JP4192568B2 (ja) 搬送システム
JP4957217B2 (ja) トレイ開梱梱包装置およびトレイ開梱梱包方法
JP2006179687A (ja) 枚葉搬送用トレイおよび搬送システム
TWI332474B (ja)
JP4289093B2 (ja) トレイ搬送システム
JPWO2008129603A1 (ja) 基板搬送システム
JP2007134734A (ja) 液晶基板の搬送装置
KR101666803B1 (ko) 정렬장치 및 이를 구비한 카세트 공급시스템
JP4269222B2 (ja) トレイ搬送システム
KR20080074275A (ko) 카세트 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20071017

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091013

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20091015

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100223