JP2006169625A - 整列システム、垂直型トレイ移送装置及びこれを具備した蒸着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】インライン形態の薄膜蒸着システムにおいて、基板を固定及び支持して鉛直蒸着を具現し、移送中微細粒子の影響を最小化してマスクの平坦度を充分に確保することができる整列システム、垂直型トレイ移送装置及びこれを具備した蒸着装置を提供すること。
【解決手段】鉛直に基板１０が固着された基板トレイ１００と、前記基板トレイ１００と整列されるように鉛直にマスク３０が固着されたマスクトレイ３００と、前記基板トレイ１００とマスクトレイ３００が締結部によって締結されるトレイホルダーと、を備える。
【選択図】 図１１

Description

本発明は整列システム、垂直型トレイ移送装置及びこれを具備した蒸着装置に関し、より具体的には、インライン形態の薄膜蒸着システムにおいて、基板を固定及び支持して鉛直蒸着を具現し、移送中微細粒子の影響を最小化してマスクの平坦度を充分に確保するようにした整列システム、垂直型トレイ移送装置及びこれを具備した蒸着装置に関する。

一般に、薄膜蒸着工程には、真空中で蒸着する方法と大気圧中で蒸着する方法に大きく大別される。前記方法のうち、真空で薄膜を蒸着する方法は、異物の介入なしに高純度の薄膜を形成することができ、薄膜の密度が相対的に密集するように蒸着することができるため、半導体及び表示素子の分野で広く使用されている。従来では、真空中で薄膜蒸着工程を行う際に、工程チャンバの容積の限界及び工程チャンバに入り得る基板面積の制限などによって回分式工程によって薄膜を蒸着して来た。このような従来の基板を固定及び支持する手段とその方法を図を参照して説明する。

図１ａは、従来の一例による固定装置が基板上に整列された状態を示す図であり、図１ｂは図１ａの固定装置が基板上に下降した状態を示す図である。

図１ａ及び図１ｂを参照すれば、基板１０はフレーム２０上に装着され、基板１０とフレーム２０ の間には基板１０上に形成させようとするパターンを持つマスク３０が位置している。基板１０の上部には基板１０を支持する固定部５０が配置されている。固定部５０は磁石板５２と、磁石板５２の下面に付着されるゴム磁石５４と、を含む。固定部５０が基板１０を固定するためにロボット返送によって固定部５０が基板１０上に位置し、基板１０に対してマスク３０が整列するようになる。

次に、図１ｂに示すように、固定部５０は、基板１０に向けて下降する。固定部５０が下降すると、基板１０の下部に位置した金属材マスク３０は、磁力を持って固定部５０に向けて変形しながら基板１０上に密着するようになる。一方、固定部５０のゴム磁石５４は、基板１０の背面に安着されてこれを支持する。このように基板１０に対してマスク３０が密着された状態で蒸着を遂行する。

しかし、マスク３０と固定部５０の間隔が狭くなる場合には、マスク３０の中央部分が先に上昇して整列の不整合が発生する。したがって、マスク３０の中央部分は、基板１０に対して密着が良好である反面、端部分は密着がまともになされない。その結果、基板１０に形成させようとするパターンが所望の位置から外れた状態で形成され、これにより製品の不良につながることになる。

また、マスク３０の中央部分が他の部分より先に上昇すると、マスク３０が基板１０に密着する時、すべりが惹起されて基板１０に損傷が発生するという問題点が生じる。また、このような整列の不整合を解決するためには、マスク３０及び基板１０を再度離隔させた後、整列が再度なされるようにした後、再密着することになるが、上述した過程を繰り返して遂行することで、工程時間が遅延し、かつ整列の不整合を解消するには充分でないという問題点がある。

このような問題点は、徐々に要求される大面積基板の真空蒸着に利用される方法の一つである鉛直蒸着方式においてさらに問題となり、特に基板を鉛直に配置する時に下向きに作用する重力による影響でさらに加重される。また、インライン方式の蒸着システムでは工程時間遅延による製品歩留まり低下のような問題点が発生する。

また、このような蒸着装置の代表的な応用分野の一つとして、ＥＬ素子を例としてあげることができるが、ＥＬ素子は自発光型表示パネルとして視野角が広くてコントラストが優秀であるだけでなく、応答速度が早いという長所を有しており、次世代表示パネルとして注目されている。

ＥＬ素子について簡単に説明すると、発光層形成用物質によって無機ＥＬ素子と有機ＥＬ素子に分けられる。ここで有機ＥＬ素子は無機ＥＬ素子に比べて輝度、駆動電圧及び応答速度の特性が優秀で多色化が可能であるという長所を有している。

一般的な有機ＥＬ素子は、基板上に互いに対向するアノード電極とカソード電極そしてこれら間に介在された有機膜層を含む。前記有機膜層は、孔輸送層（ＨＴＬ）、発光層（ＥＭＬ）、電子輸送層（ＥＴＬ）を含む。

このような有機ＥＬ素子は、アノード電極とカソード電極に所定の電圧を印加すれば孔輸送層（ＨＴＬ）から孔と、電子輸送層（ＥＴＬ）から電子が発光層（ＥＭＬ）に伝送され、発光層（ＥＭＬ）で電子と孔が再結合して所定の光を発光するようになる。

有機ＥＬ素子の有機膜のような薄膜は、一般的に蒸着法を利用して蒸着するが、このような蒸着法は蒸着チャンバ内に基板を位置づけ、蒸着ソースから有機物質が放出されて基板上に薄膜を蒸着する方式である。

有機ＥＬ素子の有機薄膜を蒸着する蒸着法としては、上向き式回転蒸着方式、上向き蒸着方式、下向き蒸着方式、及び垂直型蒸着方式など、多様に試みられている。上向き式回転成膜方式は、蒸着源に対して基板を回転させながら薄膜を蒸着する方式で、大面積の基板には適用しにくい。上向き蒸着方式は、基板下部に蒸着源を配置して基板または蒸着源を水平移動させながら薄膜を蒸着する方式で基板またはマスクの垂れ現象が発生し、これによって精密なパターンを蒸着しにくいでだけでなく均一な成膜厚さを得ることができない。

また、図１ａ及び図１ｂに示す下向き蒸着方式は、基板を水平に移送させながら有機物を下向き噴射して薄膜を蒸着する方式で、蒸着材料の高い蒸着效率にもかかわらず蒸着される薄膜の表面が微細粒子に、直接、露出される可能性がある。

垂直型蒸着方式は、基板を垂直に立てて移送しながら薄膜を蒸着するかまたは基板を垂直に立てて蒸着源を上下移動させながら薄膜を装着する方式である。垂直型蒸着方式を利用する場合には、大面積基板の移送及び精密パターニングのための精密アラインメントが容易にならなければならず、基板の大型化による撓み現象を最小化させることが要求されている。

なお、従来の整列システム、垂直型トレイ移送装置及びこれを具備した蒸着装置に関する技術を記載した文献としては、インラインスパッタリング装置及びスパッタリング方法を開示した従来技術文献がある（例えば、特許文献１参照）。
韓国特許公開第２００３−１１９５６２号明細書

したがって、本発明は、上述した従来の問題点を解決するために案出されたもので、その目的は、鉛直インライン蒸着用整列システムのトレイに固定ホルダー部材及び補助付着部材を使用することで、鉛直に配置された基板を固定及び支持して短時間で高精度の整列を可能とし、安定した蒸着工程がなされるようにし、移送中微細粒子の影響を最小化してマスクの平坦度を充分に確保することができるようにした整列システム、垂直型トレイ移送装置及びこれを備えた蒸着装置を提供することである。

前記目的を果たすための本発明による整列システムは、鉛直に基板が固着された基板トレイと、前記基板トレイと整列されるように鉛直にマスクが固着されたマスクトレイと、前記基板トレイとマスクトレイが締結部によって締結されるトレイホルダーと、を含むことを特徴とする。

ここで、前記締結部は、基板トレイとマスクトレイに形成される各々の締結孔と、この締結孔に挿入されて締結されるようにトレイホルダーに形成される締結アームと、を含むことを特徴とし、前記締結アームには、マスクトレイの締結孔の縁が一部挟まれる締結孔が形成されることを特徴とする。ここで、前記マスクトレイの締結孔は、２つの互いに異なる直径の孔が重畳して形成され、より好ましくは、前記マスクトレイの締結孔は、小径孔が大径孔の上部に位置しながらも締結アームの移動に対する干渉が回避されるように重畳した形状であることを特徴とする。

また、前記マスクトレイには、締結アームの挿入反対側に締結孔が内包されるように突出形成され、前記締結アームの最先端部と一部接触する支持片をさらに備えることを特徴とする。

また、前記トレイホルダーには、駆動装置によって動作しながらも前記基板トレイと近接するように配置されたホルダープレートを含むことを特徴とする。

また、前記トレイホルダーに締結されたマスクトレイと基板トレイの締結位置が固定されるように補助締結部をさらに含むことを特徴とする。

また、前記補助締結部は、基板トレイとマスクトレイ及びトレイホルダーに、順次、相互引力が作用するように配置された磁性体を含み、前記トレイホルダーの磁性体は、ホルダープレートに設置されることを特徴とする。

また、前記基板トレイは、少なくとも一つ以上の固定ホルダー部材を備えることを特徴とする。

また、前記トレイホルダーは、基板を加圧するように構成した平板チャックと、前記平板チャックに連結されて前記平板チャックを移動させるように構成した駆動手段及び前記固定ホルダー部材と対応して結合される固定挿入部材を含み、前記固定ホルダー部材は直径が相異なる二つの円が重畳した形状で形成した通孔であり、前記通孔は、小径通孔が大径通孔の上部に位置するように形成したことを特徴とする。

また、前記固定挿入部材は、前記固定ホルダー部材内に挿入されて前記トレイを締結、固定するようにしたことを特徴とし、前記固定挿入部材には、前記固定ホルダー部材内に挿入された後の安着のための溝が形成されることを特徴とする。

また、前記トレイには、一つ以上の補助付着部材をさらに備えるようにし、前記整列プレートは、前記補助付着部材と対応して結合する補助支持部材をさらに備えるようにし、前記補助付着部材は、導電性付着部材であることが好ましく、より好ましくは前記導電性付着部材は磁性材質からなることを特徴とする。

また、前記磁性材質からなる導電性付着部材には、少なくとも一つ以上の溝または突出部が形成され、前記補助支持部材は磁性体で形成するとともに、前記トレイの補助付着部材に対応して支持固定するようにしたことを特徴とする。

また、前記トレイは、前記基板を収容して前記トレイに収容されるように構成した基板フレームをさらに含み、前記基板フレームは、前記基板を収容するように基板固定片をさらに含むことを特徴とする。

また、前記基板フレームには、前記トレイに収容されるようにフレーム固定片をさらに含むことを特徴とする。

また、前記トレイは、移送のための下側支持部をさらに含み、前記トレイは、前記下側支持部による移送を補助するように上側支持部をさらに含むことを特徴とする。

さらに、本発明による整列システムは、蒸着物が蒸着される基板と、前記基板を収容し、少なくとも一つ以上の固定ホルダー部材が具備されたトレイと、前記基板を加圧するように構成した平板チャックと、前記平板チャックに連結されて前記平板チャックを移動させるように構成した駆動手段及び前記固定ホルダー部材と対応して結合される固定挿入部材を備え前記トレイを支持及び固定して整列させるための整列プレート、を含むことを特徴とする。

ここで、前記固定ホルダー部材は、直径が相異なる二つの円が重畳した形状で形成した通孔であり、前記通孔は、小径通孔が大径通孔の上部に位置すれるように形成され、前記固定挿入部材は、前記固定ホルダー部材内に挿入されて前記トレイを締結、固定するようにし、前記固定挿入部材には、前記固定ホルダー部材内に挿入された後の安着のための溝が形成されることを特徴とする。

また、前記トレイは一つ以上の補助付着部材をさらに備え、前記整列プレートは前記補助付着部材と対応して結合される補助支持部材をさらに備えることを特徴とする。

また、前記補助付着部材は導電性付着部材であることが好ましく、前記導電性付着部材は磁性材質からなることを特徴とする。

ここで、前記磁性材質からなる導電性付着部材には、少なくとも一つ以上の溝または突出部が形成されることを特徴とする。

また、前記補助支持部材は磁性体で構成するとともに、前記トレイの補助付着部材と対応して支持固定することを特徴とする。

また、前記トレイは、前記基板を収容して前記トレイに収容するように構成した基板フレームをさらに含み、前記基板フレームは、前記基板を収容するように基板固定片をさらに含み、前記基板フレームは、前記トレイに収容されるようにフレーム固定片をさらに含むことを特徴とする。

また、前記トレイは、移送のための下側支持部をさらに含み、かつ前記トレイは、前記下側支持部による移送を補助するように上側支持部をさらに含むことを特徴とする。

さらに本発明による垂直型トレイ移送装置は、基板上に薄膜を成膜するためのマスクを移送する装置において、マスクを支持するための板状のトレイと、前記トレイの上側部に結合されて前記トレイを支持するための上側支持部と、前記トレイの下側部に結合されて前記トレイを支持するための下側支持部と、前記板状のトレイとマスクの間に配置されて前記マスクを支持するための板状のマスクフレームと、を含むことを特徴とする。

ここで、前記マスクフレームはＣＦＲＰを含むことが好ましく、前記板状のトレイはＡｌからなることを特徴とする。

また、前記上側支持部にはガイド溝が形成され、下側支持部は棒形状を有することを特徴とする。

また、前記トレイには、マスクトレイホルダーとの結合のための結合手段として通孔がさらに形成され、前記通孔は前記トレイが固定されるように上部が下部に比べて狭く形成される棒形状を有し、前記トレイは、マスク部材の外郭部に配置されて基板との密着力を向上させるための付着部材をさらに含むことを特徴とする。

さらに本発明による蒸着装置は、工程チャンバと、前記工程チャンバに互いに平行な垂直状態で内蔵され、各々マスク及び基板が装着されたマスクトレイ及び基板トレイと、
前記マスクトレイ及び基板トレイを各々平行な状態で水平移動させるためのマスクトレイ運び手段及び基板トレイ運び手段と、前記マスクトレイ運び手段及び基板トレイ運び手段によって移送されるマスクと基板を各々整列及び合着させるためのマスク／基板整列プレートと、前記マスクトレイと基板トレイを各々支持するためのマスクトレイホルダー及び基板トレイホルダーと、前記マスクに整列及び合着された基板へ蒸着物質を噴射する蒸着源とを含み、前記マスクトレイは、マスクを支持するための板状のトレイと、前記板状のトレイとマスクとの間に配置され、前記マスクを支持するための板状のマスクフレームと、を含むことを特徴とする。

ここで、前記マスクフレームはＣＦＲＰを含むことが好ましく、前記板状のトレイはＡｌからなることを特徴とする。

また、前記基板トレイは、基板を支持するための板状のトレイと、前記板状のトレイと基板との間に配置され、前記基板を支持するための板状の基板支持部材と、を含み、前記基板支持部材はＣＦＲＰを含むことを特徴とする。

また、前記板状のトレイはＡｌからなることを特徴とする。

上記のように構成した本発明による整列システム、垂直型トレイ移送装置及びこれを備えた蒸着装置によれば、トレイホルダーにマスクトレイと基板トレイが各々形成される締結アーム及び締結孔によって相互に締結されて安定したマスクトレイと基板トレイの締結が確保されて安定した整列位置が確保される。

また、トレイホルダーとマスクトレイ及び基板トレイの整列位置が磁性体によってその締結が堅く維持されながらもトレイの揺れを阻止し、かつトレイホルダーのホルダープレートによって基板トレイの温度が低減することにより磁性体の相互の間に形成される磁性力が安定化して精密かつ正確なトレイの整列がなされるという効果が得られる。

また、ＣＦＲＰを含む高精度の接触板を使用してマスクと基板を支持することで、基板とマスクの撓み現象を防止することができるだけでなく、マスク及び基板トレイを軽量化することができる。

また、マスク及び基板トレイの上側支持部にガイド溝が形成されてマスク及び基板運び手段のベアリングが挿入され、マスク及びマスクトレイの下側支持部が棒形状になって駆動部に結合されて水平移動することで、トレイ移動による微細粒子の影響を最小化することができる。

また、マスクと基板を各々のマスクトレイと基板トレイを利用して移動させることで基板とマスクを保護することができる利点がある。

以下、本発明による整列システムを添付図面参照して詳しく説明する。
図２は、本発明の好ましい実施形態による整列システムを略的に示す斜視図であり、図３及び図４は、図２に示す整列システムの一部分離及び結合を示す側面図であり、図５ａ及び図５ｂは図２に示す締結部が特に拡大し斜視図及び締結孔の背面図である。

本発明による整列システムは、図２のように、マスクトレイ３００と基板トレイ１００が締結部によって同時にトレイホルダー５００に固着しながら前記基板トレイ１００と前記トレイホルダー５００のホルダープレート５９０との間隔が縮小するうになされる。また、前記整列システムは、トレイホルダー５００に固着された基板トレイ１００とマスクトレイ３００の固定位置が補助締結部４００によって持続するようになる。

図３ないし図５を参照すれば、前記締結部は、マスクトレイ３００と基板トレイ１００に形成される締結孔３６２、１６２と、この締結孔３６２、１６２に挿入されて締結されるようにトレイホルダー５００のホルダープレート１００に形成される締結アーム５６０と、が含まれる。

前記締結アーム５６０は、ホルダープレート５９０から突出しながら先端上部に締結溝５６２が形成される。前記締結孔３６２、１６２は、図５ａ及び５ｂを参照すれば、小径ｒの孔が大径Ｒの孔の上部に位置し、記締結アーム５６０の移動に対する干渉が回避されるように重畳して形成され、前記小径ｒは、最小締結アーム５６０の直径より大きく形成される。

前記締結孔３６２、１６２が小径ｒと大径Ｒが重畳して形成される理由は、締結アーム５６０が大径Ｒへ円滑に挿入されながら小径ｒへ移動され、固定されることによりその搖れの程度が低減するようにするためである。

前記マスクトレイ３００の締結孔３６２の縁上部が締結アーム５６０に形成される締結溝５６２に挟まれて締結される。また、前記マスクトレイ３００には、締結アーム５６０が挿入される反対側面から突出しながらもマスクトレイ３００の締結孔３６２を形成範囲に含むように支持片３６４がさらに形成される。

この支持片３６４は、前記マスクトレイ３００の締結孔３６２が締結溝５６２に締結された状態で、締結アーム５６０の最先端部の一部と堅く接触し、この接触は、マスクトレイ３００の締結孔３６２と締結溝５６２の締結を堅く維持するようにする。また、前記支持片３６４はマスクトレイ３００に形成したように、基板トレイ１００に形成することができ、この場合、その位置だけが締結アーム５６０が挿入される方向に可変して形成しなければならない。

前記締結アーム５６０にマスクトレイ３００と基板トレイ１００が締結されながら基板トレイ１００とホルダープレート５９０の間隔Ｌが最大限に縮小する。一方、前記補助締結部４００は、図５ｃを参照すれば、前記締結アーム５６０と、マスクトレイ３００と基板トレイ１００の締結孔３６２、１６２が締結された状態でマスクトレイ３００と基板トレイ１００及びホルダープレート５９０の固定状態が持続的に維持されるようにするためのもので、マスクトレイ３００と基板トレイ１００及びホルダープレート５９０に、順次、相互引力が作用するように配置された磁性体３７０、１７０、５７０を含む。

前記磁性体３７０、１７０、５７０は、二つのトレイ３００、１００とホルダープレート５９０に同一線上に固定することが好ましく、マスクトレイ３００と基板トレイ１００には、同一の外表面を成すように固着され、かつホルダープレート５９０に固定された磁性体５７０は、前記ホルダープレート５９０と基板プレート１００の間隔Ｌが縮小した状態で基板トレイ１００の磁性体１７０と最大限近接するように突出して形成される。

一方、前記トレイホルダー５００のホルダープレート５９０に固定された締結アーム５６０と磁性体５７０、及びマスクトレイ３００と基板トレイ１００に形成される締結孔３６２、１６２及び磁性体３７０、１７０は、各々四つのコーナーに形成することが好ましい。

一方、図６ａは、本発明の他の実施形態による整列システムのトレイの正面図であり、 図６ｂは、本発明の他の実施形態による整列システムのトレイの背面図であり、図６ｃは本発明の他の実施形態による整列システムのトレイの側面図である。

図６ａないし図６ｃを参照すれば、本発明の他の実施形態による整列システムのトレイは、蒸着物が蒸着される基板１０と、この基板１０を収容しながら少なくとも一つ以上の固定ホルダー部材１６０を備えたトレイ１００で構成される。

平板型に構成したトレイ１００は、基板フレーム１５０を収容するのに適して構成されており、トレイ１００に固定されるようにフレーム固定片１５３をさらに備える。トレイ１００に収容される基板フレーム１５０は、基板１０が収容するのに適して構成されており、基板１０を固定するように基板固定片１５１がさらに形成される。トレイ１００の下部には、真空チャンバ内で基板１０の移送が可能になるように下側支持部１３０が構成されており、トレイ１００の上部には下側支持部１３０による移送を誘導するように上側支持部１２０が構成される。固定ホルダー部材１６０及び付着部材１７０は、トレイ１００の平板上に基板フレーム１５０外郭周りに複数構成されており、この固定ホルダー部材１６０には通孔１６２が形成される。

図７ａは、本発明の他の実施形態による整列システムの固定ホルダー部材を示す図である。

上述したように、固定ホルダー部材１６０は、トレイ１００の平板上に基板フレーム１５０の外郭周りに少なくとも一つ以上構成される。固定ホルダー部材１６０がトレイ１００に付着する面の反対面には、外部に突出された段差１６４を成している。固定ホルダー部材１６０の通孔１６２は、トレイ１００に付着する側の内径ａが円形に形成される。トレイ１００に付着する面側の反対側、すなわち、トレイ１００から外部に突出した段差１６４が成す内径は、トレイ１００に付着する側の内径ａと段差１６４が成す内径ｂが重畳した形状を成しており、内径ａが成す円形は、固定ホルダー部材１６０を貫通している。内径ａと内径ｂは、その大きさが異なるように形成することが好ましく、さらに好ましくは内径ａも内径ｂより大きく形成して内径ｂが内径ａの上部に位置する。

図７ｂは、本発明の他の実施形態による整列システムの補助付着部材を示す図である。

上述したように、補助付着部材１７０はトレイ１００の平板上に基板フレーム１５０の外郭周りに複数構成される。この補助付着部材１７０は、トレイ１００に付着される面側が平板型に構成され、トレイ１００に堅く付着するように追加的な構成がさらになされる。また、この補助付着部材１７０は、トレイ１００に付着される面側の反対側、すなわち、トレイ１００から外部に突出する面もまた平板形状に構成され、補助付着部材１７０に付着する相手材（後述する）と符合するように、陰刻の溝または陽刻の微小突出部をさらに構成することもできる。好ましくは、補助付着部材１７０は導電性材質からなり、さらに好ましくは、この導電性材質からなる補助付着部材１７０は磁性材質である。

以下、添付図を参照して本発明の実施形態による整列システムの作用を詳しく説明する。

図８ａは、本発明の他の実施形態による整列システムのトレイにおいて基板、基板フレーム及びトレイを示す図であり、図８ｂは、本発明の他の実施形態による整列システムのトレイにおいて基板が脱着された状態を示す図であり、図８ｃは、本発明の他の実施形態による整列システムのトレイにおいて基板が装着された状態を示す図である。

図８ａないし図８ｃを参照すれば、基板フレーム１５０は、トレイ１００の正面から結合され、基板１０はトレイ１００の背面で基板フレーム１５０に結合される。基板フレーム１５０はトレイ１００の中央部に形成される開口に結合され、フレーム支持片１５３によってトレイ１００に固定される。

以後、基板１０は基板フレーム１５０に形成される開口に結合されて基板固定片１５１によって基板フレーム１５０に固定される。トレイ１００に基板フレーム１５０及び基板１０が結合されて基板１０を固定するトレイが完成する。

図９ａは、本発明の他の実施形態による整列システムでトレイと整列プレートの結合を示す図であり、図９ｂは、本発明の他の実施形態による整列システムにおいてトレイと整列プレートの結合を示す側面図である。

図９ａを参照すれば、トレイ１００は真空蒸着をするために整列プレート５００に付着するようになる。整列プレート５００には基板１０をシャドウマスクに加圧するように構成した平板チャック（図示せず）と、前記平板チャックに連結されて前記平板チャックを移動させるように構成した駆動手段（図示せず）及び固定ホルダー部材１６０に対応して結合される固定挿入部材５６０を備える。

整列プレート５００に付着されたトレイ１００は、蒸着物質が流入する方向にパターンが形成されるシャドウマスク（図示せず）が付着して蒸着がなされることにより、前記シャドウマスクに形成されるパターンによって蒸着パターンが形成されるのである。このような蒸着パターン形成以前にトレイ１００に装着された基板１０と前記シャドウマスクとの整列がなされる。このような整列のために整列プレート５００は、固定及び支持している基板１０が装着したトレイ１００を前記シャドウマスクと整合を成すようにトレイ１００を多方向に可動に構成する。

図９ｂを参照すれば、本発明の実施形態による整列システムの固定ホルダー部材１６０は整列プレート５００の固定挿入部材５６０に対応して結合され、トレイの補助付着部材１７０は整列プレート５００の補助支持部材５７０に対応して結合される。固定挿入部材５６０は、トレイ１００の固定ホルダー部材１６０内に挿入されてトレイ１００を締結及び固定するように構成され、固定挿入部材５６０には固定ホルダー部材１６０内に挿入された後で安着させ得る溝が形成されることが好ましい。補助支持部材５７０は磁性体で形成されるとともに、トレイ１００の補助付着部材１７０に対応して支持、固定するように構成される。

図１０ａは、本発明の他の実施形態による整列システムにおいて、トレイの固定ホルダー部材及び補助付着部材が整列プレートの挿入部材及び補助支持部材と各々符合して示す図であり、図１０ｂは、本発明の他の実施形態による整列システムにおいて、トレイの固定ホルダー部材及び補助付着部材と各々符合する整列プレートの挿入部材及び補助支持部材を示す図である。

図１０ａないし図１０ｂを参照すれば、整列プレート５００の挿入部材５６０は、棒形状で構成され、突出方向、すなわち、トレイ１００に向かう方向へさらに小さな直径を有する段差を成している。挿入部材５６０のさらに小さな直径を有する部分は、固定ホルダー部材１６０の通孔１６２の内径（ａ；図７ａ参照）に挿入することが十分できるように形成される。また、挿入部材５６０のさらに小さな直径を有する部分は、その一側の半円に溝が形成される。

トレイ１００と整列プレート５００に付する時、挿入部材５６０は、これに符合する固定ホルダー部材１６０の通孔１６２に挿入される。挿入部材５６０の挿入先端が固定ホルダー部材１６０の通孔１６２の内径ａに挿入された後、挿入部材５６０のさらに小さな直径を有する部分に形成される溝が通孔１６２の内径ａが成す面に挟まれつつ、内径ｂが成す面は、挿入部材５６０のさらに小さな直径を有する部分の中の溝が形成される部位の一部に突き合わせられるようになる。挿入部材５６０のさらに小さな直径を有する部分に形成される溝は、通孔１６２の内径ａが成す面が有する厚さと相応するように構成される。

トレイ１００を整列プレート５００に付着させる時、挿入部材５６０が固定ホルダー部材１６０に挿入されて挟まれることによって、トレイ１００を安定して固定支持することができ、高精密の整列が可能になる。

整列プレート５００の補助支持部材５７０は、トレイ１００の補助付着部材１７０と突き合わせられるので十分な面積を有して構成される。補助支持部材５７０は導電性を有し、磁性材質で構成した補助付着部材１７０を自己引力で引き寄せるように磁力発生源（図示せず）を含んで構成される。この時、工程終了後、補助付着部材１７０を補助支持部材５７０から容易に分離するために前記磁力発生源は電磁石であることが好ましい。

トレイ１００を整列プレート５００に付着させる時、補助付着部材１７０とこれに符合する補助支持部材５７０に付着させることで、トレイ１００を安定するように固定支持することができ、高精密の整列が可能になる。また、補助支持部材５７０及び補助付着部材１７０には、各々に凸凹が相互に符合するように形成され、付着時のガイド役をすることもでき、接触面積が増加してさらに堅固で正確に付着する役割をすることもできる。

以下、本発明による整列システムの作用について説明する。

駆動装置によってトレイホルダー５００が動作しながらホルダープレート５９０の締結アーム５６０がマスクトレイ３００と基板トレイ１００の締結孔３６２、１６２に挿入締結され、この時締結アーム５６０に形成される締結溝５６２は、前記マスクトレイ３００の締結孔３６２の縁が挿入され、マスクトレイ３００に形成される支持片３６４は、締結アーム５６０の最先端部と接触されて締結溝５６２とマスクトレイ３００の締結孔３６２の締結が堅く維持されるように補助する。

また、マスクトレイ３００と基板トレイ１００及びホルダープレート５９０が整列のためにマグネットチャック５１０によって堅く締結された状態で、磁性体３７０、１７０、５７０によって相互引力が作用し、その整列位置が強固に持続する。また、前記基板トレイ１００とホルダープレート５９０が近接するように位置し、前記ホルダープレート５９０によって基板トレイ１００の温度が低下する。

以下、添付図面を参照して本発明による垂直型トレイ移送装置及び蒸着装置の一実施形態を詳細に説明する。

図１１は、本発明の実施形態による蒸着装置の断面図である。
図１１を参照すれば、本発明の蒸着装置は工程チャンバ１０００と、前記真空チャンバ内に装着されるマスクトレイ３００及び基板トレイ１００と、マスクトレイホルダー２００及び基板トレイホルダー５１０を備える。蒸着装置は、マスクトレイ運び手段７３０と基板トレイ運び手段６３０、マスク／基板整列プレート５８０及び蒸着源８００をさらに備える。

前記マスクトレイ３００は、薄膜蒸着用マスクを垂直状態に装着してチャンバ１０００内に移送するためのものであり、前記基板トレイ１００は、薄膜が蒸着される基板、すなわち、被蒸着基板を垂直状態に装着してチャンバ１０００内に移送するためのものである。

図１２及び図１３に示すように、前記マスクトレイ３００は、マスク３０を支持するための板状のトレイ３１０と、前記トレイ３１０の上側部に結合されて前記トレイ３１０を支持するための上側支持部３２０と、前記トレイ３１０の下側部に結合されて前記トレイ３１０を支持するための下側支持部３３０を備える。

この時、前記上側支持部３２０は、ガイド溝３２４を具備して図１１及び図１４に示すようにマスクトレイ運び手段７３０の上側ガイド７２０を挿入するようにする。前記下側支持部３３０は棒形状になって図１１及び図１４に示すようにマスクトレイ運び手段７３０の駆動部７３２に結合される。

この時、前記マスクトレイ運び手段７３０の上側ガイド７２０は、ベアリング形態になされて前記マスクトレイ３００の上側支持部３２０のガイド溝３２４に挿入され、駆動部７３２は、ローラーで構成されてマスクトレイ３００の下側支持部３３０と結合する。

また、前記マスクトレイ３００は、前記マスク３０を支持するためのマスクフレーム３５０をさらに具備する。前記マスクフレーム３５０は、高精度の板状形態になって前記トレイ３１０に接着され、ＣＦＲＰ(Carbon Fiber Reinforced Plastics)からなる。前記マスクフレーム３５０は、トレイ３１０に配列され、前記マスクフレーム３５０にマスク３０が配列される。

本発明の実施形態では、前記マスク３０を支持するためのマスクフレーム３５０がＣＦＲＰを含み、トレイ３１０をアルミニウムまたは ＣＦＲＰで構成することもでき、この場合、マスクトレイを軽量化することができる。また、前記マスクトレイ３００の板状のトレイ３１０には通孔３６５が形成される。

前記通孔３６５は、マスクトレイホルダー２００の挿入突起（図１４の２８０）が挿入されるようにし、前記マスクトレイホルダー２００に前記マスクトレイ３００が支持されるようにする。この時、前記通孔３６５は前記マスクトレイホルダー２００の挿入突起２８０の挿入を容易にするようにし、挿入突起２８０が挿入された後にはマスクトレイ３００が動かず固定されるようにし、上部を下部に比べて狭く形成することが好ましい。

また、前記マスクトレイ３００には、付着部材３７０が付着している。前記付着部材３７０は前記基板トレイ１００とマスクトレイ３００の整列及び合着工程で基板トレイ１００とマスクトレイ３００の密着力を強化させる役割をする。

図にはマスクトレイ３００のみに対して示したが、マスクトレイ３００と同様に基板トレイ１００も基板を支持するための高精度の基板支持部材が基板トレイに具備され、前記基板支持部材に基板を支持するように構成することもできる。また、前記基板トレイ１００もマスクトレイ３００と同様に板状のトレイ１１０と、前記トレイ１１０の上側部に結合されて前記トレイ１１０を支持するための上側支持部１２０と、前記トレイ１１０の下側部に結合されて前記トレイ１１０を支持するための下側支持部１３０と、を備える。

この時、前記上側支持部１２０にはガイド溝が形成されて基板トレイ運び手段６３０の上側ガイド６２０を挿入するようにする。前記下側支持部１３０は棒形状になって基板トレイ運び手段６３０の駆動部６３２に結合するようにする。

前記マスクトレイホルダー２００は前記マスクトレイ運び手段７３０によって移送されたマスクトレイ３００を支持するためのものであり、前記基板トレイホルダー５１０は、前記基板トレイ運び手段６３０によって移送された基板トレイ１００を支持するためのものである。

前記マスクトレイホルダー２００は、前記基板トレイ１００が基板トレイホルダー５１０にローディング中マスクトレイ３００を支持し、基板トレイ１００が装着された基板トレイホルダー５１０にマスクトレイ３００を移動させて基板トレイに装着された基板とマスクを合着させる。この時、マスクトレイホルダー２００は、図１４に示すように挿入突起２８０を備えてマスクトレイ３００の通孔３６５に挿入するようにして前記マスクトレイ３００を固定させる。

前記マスクトレイ運び手段７３０は、駆動部７３２と上部ガイド７２０を備える。前記駆動部７３２は、マスクトレイ３００の下部にローラーを備え、前記上部ガイド７２０はベアリング形態で備えてマスクトレイ３００を水平移動させる。

これと同様に、前記基板トレイ運び手段６３０は、駆動部６３２と上部ガイド６２０を備える。前記駆動部６３２は基板トレイ１００の下部にローラーを備え、前記上部ガイド６２０はベアリング形態で備えて基板トレイ１００を水平移動させる。

図示しなかったが、前記マスクトレイ運び手段７３０は昇降部をさらに備える。前記昇降部は、マスクトレイ３００の下側に備えられ、伸縮または昇降作動により上側ガイド７２０によって支持されて工程チャンバ１０００内の所定位置に停止されマスクトレイ３００を昇降させる。

したがって、マスクトレイホルダー２００は昇降部によって昇降されたマスクトレイ３００を、駆動部７３２と干渉せずに基板トレイの方へ移動させてマスク３０が基板１０と合着するようにする。

これと同様に、前記基板トレイ運び手段６３０も昇降部をさらに備える。前記昇降部は基板トレイ１００の下側に備え、伸縮または昇降作動により上側ガイド６２０によって支持されて工程チャンバ１０００内の所定位置に停止されている基板トレイ１００を昇降させる。

したがって、昇降部によって昇降された基板トレイ１００は、基板トレイホルダー５１０及びマスク／基板整列プレート５８０に付着される。この時、基板トレイホルダー５１０は昇降部の昇降動作時、上側がイド６２０が一体に昇降するので、基板トレイ１００と干渉しないように構成することが好ましい。

本発明の蒸着装置は、蒸着源８００をさらに具備する。前記蒸着源８００は、ノズルから噴射される蒸着物質がマスク３０を通じて基板１０を均一に放射することができるように構成される。前記蒸着源８００は、蒸着源用バッファーチャンバ８４０をさらに備える。前記バッファーチャンバ８４０は、成膜工程が進行されないうちに蒸着源を停止させて予定された成膜率を維持することができる。

上記のような蒸着装置を利用して薄膜、例えば、有機薄膜を垂直蒸着する方法を概略的に説明すれば以下のようである。

まず、マスク３０をマスクトレイ３００に装着して工程チャンバ１０００に移送する。 この時、前記マスク３０が装着されたマスクトレイ３００は、垂直状態でチャンバ１０００内にローディングすることが好ましい。チャンバ１０００内に移送されたマスクトレイ３００はマスクトレイ運び手段７３０によって水平移動し、マスクトレイホルダー３００によって支持するが、マスクトレイ３００の上側支持部３２０のガイド溝３２４にマスクトレイ運び手段７３０の上部ガイド７３２のベアリングが挿入され、下側支持部３３０が駆動部７２０に結合されて水平移動するようになる。

マスクローディング工程に続いて基板１０が工程チャンバ１０００に移送される。この時、基板１０が装着された基板トレイ１００は垂直状態でチャンバ内にローディングすることが好ましい。チャンバ１０００に移送された基板トレイ１００は、基板トレイ運び手段６３０によって水平移動し、基板トレイホルダー５１０及びマスク基板／整列手段５８０によって支持されるが、基板トレイ３００の上側支持部１２０のガイド溝１２４に基板トレイ運び手段７３０の上部ガイド６２０のベアリングを挿入し、下側支持部１３０が駆動部６３２に結合されて水平移動するようになる。

この時、ローディングされたマスク３０と基板１０は相互に平行な垂直状態を維持するようになるが、マスク３０がマスクトレイ３００の高精度の支持部材３５０によって支持され、また基板１０が基板トレイ１００の高精度の支持部材によって支持されるので、マスクと基板の自重による撓み現象が防止される。

マスク３０と基板１０のローディング工程が完了すれば、マスク３０と基板１０を整列及び合着するための工程が進行する。整列／合着工程は互いに対向して相互に平行な垂直状態を維持するマスク３０と基板１０が、各々マスクトレイ３００と基板トレイ１００に装着された状態で整列して合着される。

整列／合着工程に続いて成膜工程が進行される。成膜工程は、マスク３０と基板１０が垂直で整列／合着した状態で線形蒸着源を上下移動させながら、すなわち垂直方向に移動させながら蒸着物質を噴射して基板１０上に成膜する。

成膜工程によってマスク３０と基板１０を脱着するための脱着工程を進行する。マスク３０と基板１０は各々マスクトレイ３００と基板トレイ１００に装着した状態で脱着することが好ましい。

脱着工程に進行後、蒸着物質が成膜された基板を次の工程のために次の工程チャンバに移送した後、新たに蒸着物質を成膜するための基板をチャンバ１０００内に移送して上記のような動作を繰り返し遂行する。

本発明の実施形態では、前記蒸着源８００として垂直線形蒸着源を例示したが、必ずしもこれに限定されるのではなく、線形蒸着源を利用した蒸着效果を得ることができるように配置される複数の点蒸着源または他の類型の蒸着源に対して配置することもできる。

以上、添付の図を参照しながら本発明の好適な実施例について説明したが、前記説明は単に本発明を説明するための目的であり、意味限定や特許請求の範囲に記載された本発明の範囲を限定するためのものではない。したがって、前記説明によって当業者であれば、本発明の技術思想を逸脱しない範囲で各種の変更および修正が可能であることはいうまでもない。

従来の一実施形態による固定装置が基板上に整列された状態を示す図である。 図１ａの固定装置が基板上に下降した状態を示す図である。 本発明の好ましい実施形態による整列システムを概略的に示す斜視図である。 図２に示す整列システムの一部分離及び結合を示す側面図である。 図２に示す整列システムの一部分離及び結合を示す側面図である。 図２に示す締結部を特に拡大した斜視図である。締結孔の背面図である。 図２に示す締結部を特に拡大した締結孔の背面図である。 図２に示す補助締結部を特に拡大した斜視図である。 本発明の他の実施形態による整列システムのトレイの正面図である。 本発明の他の実施形態による整列システムのトレイの背面図である。 本発明の他の実施形態による整列システムのトレイの側面図である。 本発明の他の実施形態による整列システムの固定ホルダー部材が示された図である。 本発明の他の実施形態による整列システムの補助付着部材が示された図である。 本発明の他の実施形態による整列システムのトレイにおいて基板、基板フレーム及びトレイを示す図である。 本発明の他の実施形態による整列システムのトレイにおいて基板が脱着された状態を示す図である。 本発明の他の実施形態による整列システムのトレイにおいて基板が装着された状態を示す図である。 本発明の他の実施形態による整列システムでトレイと整列プレートの結合を示す図である。 本発明の他の実施形態による整列システムでトレイと整列プレートの結合を示す側面図である。 本発明の他の実施形態による整列システムでトレイの固定ホルダー部材及び補助付着部材が整列プレートの挿入部材及び補助支持部材に各々符合されるのが示された図である。 本発明の他の実施形態による整列システムでトレイの固定ホルダー部材及び補助付着部材に各々符合される整列プレートの挿入部材及び補助支持部材が示された図である。 本発明の実施形態による垂直型蒸着装置を概略的に示ス断面図である。 本発明の実施形態による垂直型蒸着装置に使用される垂直型マスクトレイの斜視図である。 本発明の実施形態による垂直型蒸着装置に使用される垂直型マスクトレイの断面図である。 本発明の実施形態による垂直型蒸着装置における、垂直型マスクトレイとマスクトレイホルダーと、の側面図である。

符号の説明

１０ 基板
３０ マスク
１００ 基板トレイ
２００ マスクトレイホルダー
３００ マスクトレイ
５００ トレイホルダー
５１０ 基板トレイホルダー
８００ 蒸着源
１０００ 工程チャンバ

Claims (53)

1. 鉛直に基板が固着された基板トレイと、
   前記基板トレイと整列されるように鉛直にマスクが固着されたマスクトレイと、
   前記基板トレイとマスクトレイが締結部によって締結されるトレイホルダーと、
   を備えることを特徴とする整列システム。
2. 前記締結部は、基板トレイとマスクトレイに形成した各々の締結孔と、
   この締結孔に挿入されて締結されるようにトレイホルダーに形成される締結アームと、を含むことを特徴とする、請求項１に記載の整列システム。
3. 前記締結アームには、マスクトレイの締結孔の縁が一部挟まれる締結溝が形成されることを特徴とする、請求項２に記載の整列システム。
4. 前記マスクトレイの締結孔は、２つの互いに異なる直径の孔が重畳して形成されることを特徴とする、請求項１または請求項３に記載の整列システム。
5. 前記マスクトレイの締結孔は、小径孔が大径孔の上部に位置しながら締結アームの移動に対する干渉が回避されるように重畳した形状であることを特徴とする、請求項４に記載の整列システム。
6. 前記マスクトレイには、締結アームの挿入反対側に締結孔が内包されるように突出形成され、
   前記締結アームの最先端部と一部が接触する支持片をさらに備えることを特徴とする、請求項４に記載の整列システム。
7. 前記トレイホルダーには、駆動装置によって動作しながら前記基板トレイと近接するように配置されたホルダープレートを含むことを特徴とする、請求項１に記載の整列システム。
8. 前記トレイホルダーに締結されたマスクトレイと基板トレイの締結位置が固定されるように補助締結部をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の整列システム。
9. 前記補助締結部は、基板トレイとマスクトレイ及びトレイホルダーに、順次、相互引力が作用するように配置された磁性体を含むことを特徴とする、請求項８に記載の整列システム。
10. 前記トレイホルダーの磁性体は、ホルダープレートに設置されることを特徴とする、請求項７または請求項９に記載の整列システム。
11. 前記基板トレイは、少なくとも一つ以上の固定ホルダー部材を備えることを特徴とする、請求項１に記載の整列システム。
12. 前記トレイホルダーは、
    基板を加圧するように構成した平板チャックと、
    前記平板チャックに連結されて前記平板チャックを移動させるように構成した駆動手段及び前記固定ホルダー部材と対応して結合される固定挿入部材と、
    を含むことを特徴とする、請求項１に記載の整列システム。
13. 前記固定ホルダー部材は直径が相異なる二つの円が重畳した形状で形成した通孔であることを特徴とする、請求項１１に記載の整列システム。
14. 前記通孔は、小径通孔が大径通孔の上部に位置するように形成したことを特徴とする、請求項１３に記載の整列システム。
15. 前記固定挿入部材は、前記固定ホルダー部材内に挿入されて前記トレイを締結、固定するようにしたことを特徴とする、請求項１１から請求項１４までのいずれか１項に記載の整列システム。
16. 前記固定挿入部材には、前記固定ホルダー部材内に挿入された後の安着のための溝が形成されることを特徴とする、請求項１５に記載の整列システム。
17. 前記トレイは、一つ以上の補助付着部材をさらに備え、
    前記整列プレートは、前記補助付着部材と対応して結合される補助支持部材をさらに備えることを特徴とする、請求項１１に記載の整列システム。
18. 前記補助付着部材は導電性付着部材であることを特徴とする、請求項１７に記載の整列システム。
19. 前記導電性付着部材は磁性材質からなることを特徴とする、請求項１８に記載の整列システム。
20. 前記磁性材質からなる導電性付着部材には少なくとも一つ以上の溝または突出部が形成されることを特徴とする、請求項１９に記載の整列システム。
21. 前記補助支持部材は磁性体で構成されるるとともに、前記トレイの補助付着部材に対応して支持固定することを特徴とする、請求項１７から請求項２０までのいずれか１項に記載の整列システム。
22. 前記トレイは、前記基板を収容して前記トレイに収容されるように構成した基板フレームをさらに含むことを特徴とする、請求項１１から請求項１７までのいずれか１項に記載の整列システム。
23. 前記基板フレームは、前記基板を収容するように基板固定片をさらに含むことを特徴とする、請求項２２に記載の整列システム。
24. 前記基板フレームは、前記トレイに収容されるようにフレーム固定片をさらに含むことを特徴とする、請求項２３に記載の整列システム。
25. 前記トレイは、移送のための下側支持部をさらに含むことを特徴とする、請求項２４に記載の整列システム。
26. 前記トレイは、前記下側支持部による移送を補助するように上側支持部をさらに含むことを特徴とする、請求項２４に記載の整列システム。
27. 蒸着物が蒸着される基板と、
    前記基板を収容し、少なくとも一つ以上の固定ホルダー部材を備えるトレイと、
    前記基板を加圧するように構成した平板チャックと、
    前記平板チャックに連結されて前記平板チャックを移動させるように構成した駆動手段及び前記固定ホルダー部材と対応して結合される固定挿入部材を備えて前記トレイを支持及び固定して整列させるための整列プレートと、
    を含むことを特徴とする整列システム。
28. 前記固定ホルダー部材は直径が相異なる二つの円が重畳した形状で形成した通孔であることを特徴とする、請求項２７に記載の整列システム。
29. 前記通孔は、小径通孔が大径通孔の上部に位置するように形成したことを特徴とする、請求項２８に記載の整列システム。
30. 前記固定挿入部材は、前記固定ホルダー部材内に挿入されて前記トレイを締結、固定することを特徴とする、請求項２７から請求項２９までのいずれか１項に記載の整列システム。
31. 前記固定挿入部材には、前記固定ホルダー部材内に挿入された後の安着のための溝が形成されることを特徴とする、請求項３０に記載の整列システム。
32. 前記トレイは一つ以上の補助付着部材をさらに備え、
    前記整列プレートは前記補助付着部材と対応して結合される補助支持部材をさらに備えることを特徴とする、請求項２７に記載の整列システム。
33. 前記補助付着部材は導電性付着部材であることを特徴とする、請求項３２に記載の整列システム。
34. 前記導電性付着部材は磁性材質からなることを特徴とする、請求項３３に記載の整列システム。
35. 前記磁性材質からなる導電性付着部材には、少なくとも一つ以上の溝または突出部が形成されることを特徴とする、請求項３４に記載の整列システム。
36. 前記補助支持部材は磁性体で形成され、前記トレイの補助付着部材と対応して支持固定されることを特徴とする、請求項３２から請求項３５までのいずれか１項に記載の整列システム。
37. 前記トレイは、前記基板を収容して前記トレイに収容されるように構成した基板フレームをさらに含むことを特徴とする、請求項２７または請求項３２に記載の整列システム。
38. 前記基板フレームは、前記基板を収容するように基板固定片をさらに含むことを特徴とする、請求項３７に記載の整列システム。
39. 前記基板フレームは、前記トレイに収容されるようにフレーム固定片をさらに含むことを特徴とする、請求項３８に記載の整列システム。
40. 前記トレイは、移送のための下側支持部をさらに含むことを特徴とする、請求項３９に記載の整列システム。
41. 前記トレイには、前記下側支持部による移送を補助するように上側支持部をさらに含むことを特徴とする、請求項３９に記載の整列システム。
42. 基板上に薄膜を成膜するためのマスクを移送する装置において、
    マスクを支持するための板状のトレイと、
    前記トレイの上側部に結合されて前記トレイを支持するための上側支持部と、
    前記トレイの下側部に結合されて前記トレイを支持するための下側支持部と、
    前記板状のトレイとマスクの間に配列されて前記マスクを支持するための板状のマスクフレームと、を含むことを特徴とする垂直型トレイ移送装置。
43. 前記マスクフレームはＣＦＲＰを含むことを特徴とする、垂直型トレイ移送装置。
44. 前記板状のトレイはＡｌからなることを特徴とする、請求項４２に記載の垂直型トレイ移送装置。
45. 前記上側支持部にはガイド溝が形成され、
    前記下側支持部は棒形状をしていることを特徴とする、請求項４２に記載の垂直型トレイ移送装置。
46. 前記トレイには、マスクトレイホルダーとの結合のための結合手段である、通孔がさらに形成され、前記通孔は前記トレイを固定するように上部が下部に比べて狭く形成される棒形状を有することを特徴とする、請求項４２に記載の垂直型トレイ移送装置。
47. 前記トレイは、マスク部材の外郭部に配置されて基板との密着力を向上させるための付着部材をさらに含むことを特徴とする、請求項４２に記載の垂直型トレイ移送装置。
48. 工程チャンバと、
    前記工程チャンバに互いに平行な垂直状態で内蔵され、各々マスク及び基板が装着されたマスクトレイ及び基板トレイと、
    前記マスクトレイ及び基板トレイを各々平行な状態で水平移動させるためのマスクトレイ運び手段及び基板トレイ運び手段と、
    前記マスクトレイ運び手段及び基板トレイ運び手段によって移送されるマスクと基板を各々整列及び合着させるためのマスク／基板整列プレートと、
    前記マスクトレイと基板トレイを各々支持するためのマスクトレイホルダー及び基板トレイホルダーと、
    前記マスクに整列及び合着された基板へ蒸着物質を噴射する蒸着源と、を含み、
    前記マスクトレイは、
    マスクを支持するための板状のトレイと、
    前記板状のトレイとマスクの間に配置され、前記マスクを支持するための板状のマスクフレームと、を含むことを特徴とする蒸着装置。
49. 前記マスクフレームはＣＦＲＰを含むことを特徴とする、請求項４８に記載の蒸着装置。
50. 前記板状のトレイはＡｌからなることを特徴とする、請求項４８に記載の蒸着装置。
51. 前記基板トレイは、
    基板を支持するための板状のトレイと、
    前記板状のトレイと基板の間に配置され、前記基板を支持するための板状の基板支持部材と、
    を含むことを特徴とする請求項４８に記載の蒸着装置。
52. 前記基板支持部材はＣＦＲＰを含むことを特徴とする、請求項５１に記載の蒸着装置。
53. 前記板状のトレイはＡｌからなることを特徴とする、請求項５１に記載の蒸着装置。

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