KR100583521B1 - 기판 지지 트레이 정렬 시스템 - Google Patents

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KR100583521B1
KR100583521B1 KR1020050000955A KR20050000955A KR100583521B1 KR 100583521 B1 KR100583521 B1 KR 100583521B1 KR 1020050000955 A KR1020050000955 A KR 1020050000955A KR 20050000955 A KR20050000955 A KR 20050000955A KR 100583521 B1 KR100583521 B1 KR 100583521B1
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한상진
송관섭
정석헌
강희철
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삼성에스디아이 주식회사
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Abstract

본 발명은 기판 지지 트레이 정렬 시스템에 관한 것으로서, 더 상세하게는 인라인 형태의 박막 증착시스템에서 기판을 고정 및 지지하여 연직증착을 구현할 수 있도록 된 기판 지지 트레이 정렬 시스템에 관한 것이다.
본 발명에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템은 증착물이 증착되는 기판; 상기 기판을 수용하며, 적어도 하나 이상의 고정 홀더부재가 구비된 기판 지지 트레이; 및 상기 기판을 가압하도록 구성된 평판척과, 상기 평판척에 연결되어 상기 평판척을 이동시키도록 구성된 구동수단 및 상기 고정 홀더부재와 대응 결합되는 고정 삽입부재를 구비하여 상기 기판 지지 트레이를 지지 및 고정하여 정렬시키기 위한 정렬 플레이트;가 포함되어 이루어진다.
본 발명에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템에 의하여, 연직으로 배치된 기판을 고정 및 지지하여 단시간에 고정밀의 정렬이 가능하며 안정된 증착공정이 이루어지도록 할 수 있다.
기판, 트레이, 정렬 플레이트

Description

기판 지지 트레이 정렬 시스템{Substrate supported tray alignment system}
도 1a는 종래의 일 예에 따른 고정장치가 기판상에 정렬된 상태가 도시된 도면,
도 1b는 도 1a의 고정장치가 기판상에 하강한 상태가 도시된 도면,
도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 기판 지지 트레이의 정면도,
도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 기판 지지 트레이의 배면도,
도 2c는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 기판 지지 트레이의 측면도,
도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 고정 홀더부재가 도시된 도면,
도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 보조 부착부재가 도시된 도면,
도 4a는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 기판 지지 트레이에서 기판, 기판 프레임 및 기판 지지 트레이가 도시된 도면,
도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 기판 지지 트레이에서 기판이 탈착된 상태가 도시된 도면,
도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 기판 지지 트레이에서 기판이 장착된 상태가 도시된 도면,
도 5a는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템에서 기판 지지 트레이와 정렬 플레이트의 결합이 도시된 도면,
도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템에서 기판 지지 트레이와 정렬 플레이트의 결합이 도시된 측면도,
도 6a는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템에서 기판 지지 트레이의 고정 홀더부재 및 보조 부착부재가 정렬 플레이트의 삽입부재 및 보조 지지부재와 각각 부합되는 것이 도시된 도면,
도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템에서 기판 지지 트레이의 고정 홀더부재 및 보조 부착부재와 각각 부합되는 정렬 플레이트의 삽입부재 및 보조 지지부재가 도시된 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
10... 기판, 30... 마스크,
60... 기판 지지 트레이, 70... 정렬 플레이트,
72... 삽입부재, 74... 보조 지지부재,
80... 기판 프레임, 100...고정 홀더부재,
120...통공, 200...부착부재.
본 발명은 기판 지지 트레이 정렬 시스템에 관한 것으로서, 더 상세하게는 인라인 형태의 박막 증착시스템에서 기판을 고정 및 지지하여 연직증착을 구현할 수 있도록 된 기판 지지 트레이 정렬 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 박막의 증착공정에는 크게 진공 중에서 증착하는 방법과 대기압 중에서 증착하는 방법으로 나눈다.
상기된 방법 중에서, 진공에서 박막을 증착하는 방법은 이물질의 개입없이 고순도의 박막을 형성할 수 있고 박막의 밀도가 상대적으로 밀집되게 증착할 수 있어 반도체 및 표시소자 분야에서 널리 사용되고 있다.
종래에는 진공 중에서 박막 증착공정을 행할시 공정챔버의 용적의 한계 및 공정챔버에 장입할 수 있는 기판면적의 제한 등으로 인하여 회분식 공정으로 박막을 증착하여 왔었다.
이러한 종래의 기판을 고정 및 지지하는 수단과 그 방법은 도면을 참조하여 하기 서술된다.
도 1a는 종래의 일 예에 따른 고정장치가 기판상에 정렬된 상태가 도시된 도면이고, 도 1b는 도 1a의 고정장치가 기판상에 하강한 상태가 도시된 도면이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 기판(10)은 프레임(20) 상에 장착되며, 기판 (10)과 프레임(20) 사이에는 기판(10) 상에 형성시키고자 하는 패턴을 가지는 마스크(30)가 위치하고 있다. 기판(10)의 상부에는 기판(10)을 지지하는 고정부(50)가 배치되어 있다. 고정부(50)는 자석판(52)과, 자석판(52)의 하면에 부착되는 고무자석(54)을 포함한다.
고정부(50)가 기판(10)을 고정하기 위하여 로봇 반송에 의하여 고정부(50)가 기판(10) 상에 위치되고 기판(10)에 대하여 마스크(30)가 정렬하게 된다.
이어서, 도 1b에 도시된 바와 같이, 고정부(50)는 기판(10)을 향하여 하강을 하게 된다. 고정부(50)가 하강하게 되면, 기판(10)의 하부에 위치한 금속재로 된 마스크(30)는 자력을 가지고 고정부(50)를 향하여 변형되면서 기판(10) 상에 밀착하게 된다. 한편, 고정부(50)의 고무자석(54)은 기판(10)의 배면에 안착되어 이를 지지하게 된다. 이렇게 기판(10)에 대하여 마스크(30)가 밀착된 상태에서 증착을 수행하게 된다.
그러나, 마스크(30)와 고정부(50)의 간격이 좁아질 경우에는 마스크(30)의 중앙부분이 먼저 상승하게 되어 정렬의 부정합이 발생하게 된다. 따라서, 마스크(30)의 중앙부분은 기판(10)에 대하여 밀착이 양호한 편인데 반하여, 가장자리 부분은 밀착이 제대로 이루어지지 않는다. 그 결과로, 기판(10)에 형성시키고자 하는 패턴이 원하는 위치에서 벗어난 상태로 형성되며 이는 곧 제품의 불량으로 이어지게 된다. 또한, 마스크(30)의 중앙부분이 다른 부분보다 먼저 상승하게 되면, 마스크(30)가 기판(10)에 밀착되어질 시 미끄러짐이 야기되어 기판(10)에 손상이 발생하게 되는 문제점이 발생하게 된다. 또한, 이러한 정렬의 부정합을 해결하기 위해 서는 마스크(30) 및 기판(10)을 다시 이격시킨 뒤 정렬이 다시 이루어지게 된 뒤 재밀착하게 되는데, 상술한 과정을 반복하여 수행함으로써 공정시간이 지연되고 정렬의 부정합을 해소하기에는 미흡하다는 문제점이 있다.
이러한 문제점은 점차 요구되어지는 대면적 기판의 진공증착에 이용되는 방법 중의 하나인 연직증착방식에서 더욱 부각되게 되며, 특히 기판을 연직으로 배치시에 하향작용되는 중력에 의한 영향으로 더욱 가중되게 된다. 또한, 인라인 방식의 증착 시스템에서는 공정시간 지연에 의한 제품 수율의 하락과 같은 문제점이 발생하게 된다.
본 발명은 상기된 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 연직 인라인 증착용 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 기판 지지 트레이에 고정 홀더부재 및 보조 부착부재를 사용함으로써 연직으로 배치된 기판을 고정 및 지지하여 단시간에 고정밀의 정렬이 가능하며 안정된 증착공정이 이루어지도록 된 기판 지지 트레이 정렬 시스템을 제공함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템은 증착물이 증착되는 기판; 상기 기판을 수용하며, 적어도 하나 이상의 고정 홀더부재가 구비된 기판 지지 트레이; 및 상기 기판을 가압하도록 구성된 평판척과, 상기 평판척에 연결되어 상기 평판척을 이동시키도록 구성된 구동수단 및 상기 고정 홀더부재와 대응 결합되는 고정 삽입부재를 구비하여 상기 기판 지지 트레이를 지지 및 고정하여 정렬시키기 위한 정렬 플레이트;가 포함되어 이루어진다.
또한, 상기 고정 홀더부재는 직경이 상이한 두원이 중첩된 형상으로 형성한 통공인 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 통공은 소직경 통공이 대직경 통공의 상부에 위치되도록 형성한 것이 바람직하다.
또한, 상기 고정 삽입부재는 상기 고정 홀더부재내에 삽입되어 상기 기판 지지 트레이를 체결, 고정하도록 하는 것을 특징으로 하며, 상기 고정 삽입부재는 상기 고정 홀더부재내로 삽입된 후 안착할 수 있도록 하기 위한 홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 기판 지지 트레이에는 하나 이상의 보조 부착부재를 더욱 구비하도록 하고, 상기 정렬 플레이트에는 상기 보조 부착부재와 대응 결합되는 보조 지지부재를 더욱 구비하도록 하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 보조 부착부재는 도전성 부착부재인 것이 바람직하며, 더 바람직하게는, 상기 도전성 부착부재는 자성재질로 이루어지고, 상기 자성재질로 이루어진 도전성 부착부재에는 적어도 하나 이상의 홈 또는 돌출부가 형성되어 이루어질 수 있다.
또한, 상기 보조 지지부재는 자성체로 형성하여, 상기 기판 지지 트레이의 보조 부착부재와 대응하여 지지 고정하도록 한 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
또한, 종래의 기판 지지 트레이 정렬 시스템과 비교하여 동일한 기능을 하는 동일한 구성요소에 대해 비록 다른 도면 상에 도시되더라도 동일한 참조부호를 부여한다.
도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 기판 지지 트레이의 정면도이고, 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 기판 지지 트레이의 배면도이며, 도 2c는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 기판 지지 트레이의 측면도이다.
도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 기판 지지 트레이는 증착물이 증착되는 기판(10)과 이 기판(10)을 수용하며 적어도 하나 이상의 고정 홀더부재(100)가 구비된 기판 지지 트레이(60)로 구성된다.
평판형으로 구성된 기판 지지 트레이(60)는 기판 프레임(80)이 수용되기에 적합하도록 구성되어 있으며, 기판 지지 트레이(60)에 고정되도록 프레임 고정편(82)이 더 이루어져 있다. 기판 지지 트레이(60)에 수용되는 기판 프레임(80)은 기판(10)이 수용되기에 적합하도록 구성되어져 있으며, 기판(10)을 고정하도록 기판 고정편(12)이 더 구성된다. 기판 지지 트레이(60)의 하부에는 진공챔버 내에서 기 판(10)의 이송이 가능하도록 이송수단(64)이 이루어져 있으며, 기판 지지 트레이(60)의 상부에는 이송수단(64)에 의한 이송을 유도해주도록 가이드 수단(62)이 구성된다. 고정 홀더부재(100) 및 부착부재(200)는 기판 지지 트레이(60)의 평판 상에 기판 프레임(80) 외곽 주위로 다수 개가 구성되어 있으며, 이 고정 홀더부재(100)에는 통공(120)이 형성되어 있다.
도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 고정 홀더부재가 도시된 도면이다.
상술된 바와 같이, 고정 홀더부재(100)는 기판 지지 트레이(60)의 평판 상에 기판 프레임(80) 외곽 주위로 적어도 하나 이상 구성된다. 고정 홀더부재(100)가 기판 지지 트레이(60)에 부착되는 면의 반대면에는 외부로 돌출된 단차(110)를 이루고 있다. 고정 홀더부재(100)의 통공(120)은 기판 지지 트레이(60)에 부착되는 측의 내경(a)이 원형으로 형성된다. 기판 지지 트레이(60)에 부착되는 면 측의 반대측 즉, 기판 지지 트레이(60)에서 외부로 돌출된 단차(110)가 이루는 내경은 기판 지지 트레이(60)에 부착되는 측의 내경(a)과 단차(110)가 이루는 내경(b)이 중첩되는 형상을 이루고 있으며, 내경(a)이 이루는 원형은 고정 홀더부재(100)를 관통하고 있다. 내경(a)과 내경(b)은 그 크기가 다르게 형성되는 것이 바람직하며, 더 바람직하게는 내경(a)이 내경(b)보다 더 크게 형성되어 내경(b)이 내경(a)의 상부에 위치된다.
도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 보조 부착부재가 도시된 도면이다.
상술된 바와 같이, 보조 부착부재(200)는 기판 지지 트레이(60)의 평판 상에 기판 프레임(80) 외곽 주위로 다수 개가 구성된다. 이 보조 부착부재(200)는 기판 지지 트레이(60)에 부착되는 면 측이 평판형으로 구성되어 있으며, 기판 지지 트레이(60)에 견고히 부착되도록 추가적인 구성이 더 이루어진다. 또한, 이 보조 부착부재(200)는 기판 지지 트레이(60)에 부착되는 면 측의 반대측 즉, 기판 지지 트레이(60)에서 외부로 돌출된 면 또한 평판형으로 구성되며, 보조 부착부재(200)에 부착되는 상대재(차후 서술됨)와 부합되도록 음각의 홈 또는 양각의 미소돌출부가 더 구성되어질 수도 있다. 바람직하게는, 보조 부착부재(200)는 도전성 재질로 이루어져 있으며, 더 바람직하게는, 이 도전성 재질로 이루어진 보조 부착부재(200)는 자성재질이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 작용을 상세히 설명한다.
도 4a는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 기판 지지 트레이에서 기판, 기판 프레임 및 기판 지지 트레이가 도시된 도면이고, 도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 기판 지지 트레이에서 기판이 탈착된 상태가 도시된 도면이며, 도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 기판 지지 트레이에서 기판이 장착된 상태가 도시된 도면이다.
도 4a 내지 도 4c를 참조하면, 기판 프레임(80)은 기판 지지 트레이(60)의 정면으로 결합되고 기판(10)은 기판 지지 트레이(60)의 배면에서 기판 프레임(80)에 결합된다. 기판 프레임(80)은 기판 지지 트레이(60)의 중앙부에 형성된 개구에 결합되어 프레임 지지편(82)으로 기판 지지 트레이(60)에 고정된다. 이후, 기판(10)은 기판 프레임(80)에 형성된 개구에 결합되어 기판 고정편(12)으로 기판 프레임(80)에 고정된다. 기판 지지 트레이(60)에 기판 프레임(80) 및 기판(10)이 결합되어 기판(10)을 고정하는 기판 지지 트레이가 완성된다.
도 5a는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템에서 기판 지지 트레이와 정렬 플레이트의 결합이 도시된 도면이고, 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템에서 기판 지지 트레이와 정렬 플레이트의 결합이 도시된 측면도이다.
도 5a를 참조하면, 기판 지지 트레이(60)는 진공증착을 하기 위하여 정렬 플레이트(70)에 부착되게 된다. 정렬 플레이트(70)에는 기판(10)을 섀도우마스크에 가압하도록 구성된 평판척(미도시)과 상기 평판척에 연결되어 상기 평판척을 이동시키도록 구성된 구동수단(미도시) 및 고정 홀더부재(100)와 대응 결합되는 고정 삽입부재(72)가 구비된다. 정렬 플레이트(70)에 부착된 기판 지지 트레이(60)는 증착물질이 유입되는 방향에 패턴이 형성된 섀도우마스크(미도시)가 부착되어 증착이 이루어짐으로써 상기 섀도우마스크에 형성된 패턴에 따라 증착패턴이 형성되어지는 것이다. 이러한 증착패턴 형성 이전에 기판 지지 트레이(60)에 장착된 기판(10)과 상기 섀도우마스크와의 정렬이 이루어지게 된다. 이러한 정렬을 위하여 정렬 플레이트(70)는 고정 및 지지하고 있는 기판(10)이 장착된 기판 지지 트레이(60)를 상기 섀도우마스크와 정합을 이루도록 기판 지지 트레이(60)를 다방향으로 움직일 수 있게 구성된다.
도 5b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템의 고정 홀더부재(100)는 정렬 플레이트(70)의 고정 삽입부재(72)와 대응 결합되고, 기판 지지 트레이의 보조 부착부재(200)는 정렬 플레이트(70)의 보조 지지부재(74)와 대응 결합된다.
고정 삽입부재(72)는 기판 지지 트레이(60)의 고정 홀더부재(100) 내에 삽입되어 기판 지지 트레이(60)를 체결 및 고정하도록 구성되며, 고정 삽입부재(72)에는 고정 홀더부재(100) 내로 삽입된 후 안착될 수 있도록 하기 위한 홈이 형성되는 것이 바람직하다.
보조 지지부재(74)는 자성체로 형성되어 기판 지지 트레이(60)의 보조 부착부재(200)와 대응하여 지지 고정하도록 구성된다.
도 6a는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템에서 기판 지지 트레이의 고정 홀더부재 및 보조 부착부재가 정렬 플레이트의 삽입부재 및 보조 지지부재와 각각 부합되는 것이 도시된 도면이고, 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템에서 기판 지지 트레이의 고정 홀더부재 및 보조 부착부재와 각각 부합되는 정렬 플레이트의 삽입부재 및 보조 지지부재가 도시된 도면이다.
도 6a 내지 도 6b를 참조하면, 정렬 플레이트(70)의 삽입부재(72)는 봉 형상으로 구성되어 있으며, 돌출방향 즉, 기판 지지 트레이(60)를 향하는 방향으로 더 작은 지름을 가지는 단차를 이루고 있다. 삽입부재(72)의 더 작은 지름을 가지는 부분은 고정 홀더부재(100)의 통공(120)의 내경(a; 도 3a 참조)에 삽입될 수 있도록 충분하게 형성된다. 또한, 삽입부재(72)의 더 작은 지름을 가지는 부분은 그 일측의 반원에 홈이 형성되어 있다.
기판 지지 트레이(60)가 정렬 플레이트(70)로 부착되어질 시, 삽입부재(72)는 이와 부합되는 고정 홀더부재(100)의 통공(120)에 삽입된다. 삽입부재(72)의 삽입선단이 고정 홀더부재(100)의 통공(120)의 내경(a)에 삽입되어진 뒤, 삽입부재(72)의 더 작은 지름을 가지는 부분에 형성된 홈이 통공(120)의 내경(a)이 이루는 면에 끼워맞춤되면서 내경(b)이 이루는 면은 삽입부재(72)의 더 작은 지름을 가지는 부분 중 홈이 형성된 부위의 일부에 맞대어지게 된다. 삽입부재(72)의 더 작은 지름을 가지는 부분에 형성된 홈은 통공(120)의 내경(a)이 이루는 면이 가지는 두께와 상응되도록 구성된다. 기판 지지 트레이(60)가 정렬 플레이트(70)로 부착되어질 시, 삽입부재(72)가 고정 홀더부재(100)에 삽입되어 끼워맞춰짐으로써, 기판 지지 트레이(60)를 안정되게 고정지지할 수 있게 되어 고정밀의 정렬이 가능하게 되는 것이다.
정렬 플레이트(70)의 보조 지지부재(74)는 기판 지지 트레이(60)의 보조 부착부재(200)와 맞대어지기에 충분한 면적을 가지고 구성된다. 보조 지지부재(74)는 도전성이며 자성재질로 구성된 보조 부착부재(200)를 자기인력으로 끌어당길 수 있도록 자력발생원(미도시)을 포함하여 구성된다. 이때, 공정 종료 후 보조 부착부재(200)를 보조 지지부재(74)에서 용이하게 분리하기 위하여 상기 자력발생원은 전자석인 것이 바람직하다.
기판 지지 트레이(60)가 정렬 플레이트(70)로 부착되어질 시, 보조 부착부재(200)가 이와 부합되는 보조 지지부재(74)에 부착됨으로써, 기판 지지 트레이(60)를 안정되게 고정지지할 수 있게 되어 고정밀의 정렬이 가능하게 되는 것이다.
또한, 보조 지지부재(74) 및 보조 부착부재(200)에는 각각에 요(凹) 및 철(凸)이 상호부합되게 형성되어 부착시 가이드 역할을 할 수도 있으며, 접촉면적이 증가되어 더 견고하고 정확하게 부착되는 역할을 할 수도 있다.
상기 내용은 본 발명의 바람직한 실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명이 속하는 분야의 당업자는 첨부된 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 요지로부터 벗어나지 않고 본 발명에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있다는 것을 인식하여야 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 지지 트레이 정렬 시스템에 의하여, 연직으로 배치된 기판을 고정 및 지지하여 단시간에 고정밀의 정렬이 가능하며 안정된 증착공정이 이루어지도록 할 수 있다.

Claims (15)

  1. 증착물이 증착되는 기판;
    상기 기판을 수용하며, 적어도 하나 이상의 고정 홀더부재가 구비된 기판 지지 트레이; 및
    상기 기판을 가압하도록 구성된 평판척과, 상기 평판척에 연결되어 상기 평판척을 이동시키도록 구성된 구동수단 및 상기 고정 홀더부재와 대응 결합되는 고정 삽입부재를 구비하여 상기 기판 지지 트레이를 지지 및 고정하여 정렬시키기 위한 정렬 플레이트;
    가 포함되어 이루어지는 기판 지지 트레이 정렬 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 고정 홀더부재는 직경이 상이한 두원이 중첩된 형상으로 형성한 통공인 것을 특징으로 하는 기판 지지 트레이 정렬 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 통공은 소직경 통공이 대직경 통공의 상부에 위치되도록 형성한 것을 특징으로 하는 기판 지지 트레이 정렬 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정 삽입부재는 상기 고정 홀더부재내에 삽입되어 상기 기판 지지 트레이를 체결, 고정하도록 하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 트레이 정렬 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 고정 삽입부재는 상기 고정 홀더부재내로 삽입된 후 안착할 수 있도록 하기 위한 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 지지 트레이 정렬 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기판 지지 트레이에는 하나 이상의 보조 부착부재를 더욱 구비하도록 하고, 상기 정렬 플레이트에는 상기 보조 부착부재와 대응 결합되는 보조 지지부재를 더욱 구비하도록 하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 트레이 정렬 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 보조 부착부재는 도전성 부착부재인 것을 특징으로 하는 기판 지지 트레이 정렬 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 도전성 부착부재는 자성재질로 이루어지는 기판 지지 트레이 정렬 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 자성재질로 이루어진 도전성 부착부재에는 적어도 하나 이상의 홈 또는 돌출부가 형성되어 이루어지는 기판 지지 트레이 정렬 시스템.
  10. 제6항 내지 제9항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 보조 지지부재는 자성체로 형성하여, 상기 기판 지지 트레이의 보조 부착부재와 대응하여 지지 고정하도록 한 것을 특징으로 하는 기판 지지 트레이 정렬 시스템.
  11. 제1항 또는 제6항에 있어서,
    상기 기판 지지 트레이에는 상기 기판을 수용하며 상기 기판 지지 트레이에 수용되도록 구성된 기판 프레임이 더욱 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 지지 트레이 정렬 시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 기판 프레임에는 상기 기판을 수용하도록 기판 고정편이 더욱 포함되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 지지 트레이 정렬 시스템.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 기판 프레임에는 상기 기판 지지 트레이에 수용되도록 프레임 고정편이 더 포함되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 지지 트레이 정렬 시스템.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 기판 지지 트레이에는 상기 기판의 이송을 위한 이송수단이 더 포함되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 지지 트레이 정렬 시스템.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 기판 지지 트레이에는 상기 이송수단에 의한 이송을 보조하도록 가이드 수단이 더 포함되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 지지 트레이 정렬 시스템.
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