JP2006156611A5

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Publication number: JP2006156611A5
Application number: JP2004343357A
Authority: JP
Filing date: 2004-11-29
Publication date: 2011-09-15
Anticipated expiration: 2024-11-29

Claims

受光部を有する基板と、
前記受光部の上に配された複数の配線層及び複数の層間絶縁膜と、
前記複数の層間絶縁膜のうち最上の層間絶縁膜の上に配され、前記最上の層間絶縁膜の屈折率と異なる屈折率を有する第１の絶縁膜と、を有する固体撮像装置において、
前記受光部の少なくとも一部の上、且つ、前記受光部と前記複数の層間絶縁膜との間に、反射防止膜を有し、
前記最上の層間絶縁膜の上面と接し、前記第１の絶縁膜の下面と接して配され、前記最上の層間絶縁膜の屈折率と前記第１の絶縁膜の屈折率との間の屈折率を有する第２の絶縁膜を有する固体撮像装置。
前記反射防止膜は、少なくとも窒化シリコン膜を含む請求項１に記載の固体撮像装置。
前記反射防止膜は、前記受光部と前記窒化シリコン膜との間に配された酸化シリコン膜を含む請求項２に記載の固体撮像装置。
前記反射防止膜は、少なくとも窒化シリコン膜と酸窒化シリコン膜とを含む請求項１に記載の固体撮像装置。
前記最上の層間絶縁膜は酸化シリコン膜であり、前記第１の絶縁膜は窒化シリコン膜であり、前記第２の絶縁膜は酸窒化シリコン膜である請求項１乃至４のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
前記第１の絶縁膜の窒化シリコン膜は、プラズマＣＶＤ法によって形成されている請求項５に記載の固体撮像装置。
前記第１の絶縁膜の上に配されたカラーフィルター膜と、
前記第１の絶縁膜と前記カラーフィルター膜との間に配され、前記第１の絶縁膜の屈折率と前記カラーフィルター膜の屈折率との間の屈折率を有する第３の絶縁膜と、を有する請求項１乃至６の何れか１項に記載の固体撮像装置。
前記第３の絶縁膜は酸窒化シリコン膜である請求項７に記載の固体撮像装置。
前記複数の配線層のうち最上の配線層は、前記最上の層間絶縁膜の上に配されている請求項１乃至８のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
前記最上の配線層の端部はテーパ形状である請求項９に記載の固体撮像装置。
前記最上の層間絶縁膜は平坦化処理が施されている請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
前記第１の絶縁膜の上に配されたマイクロレンズと、
前記第１の絶縁膜と前記マイクロレンズとの間に配され、前記第１の絶縁膜の屈折率と前記マイクロレンズの屈折率との間の屈折率を有する第３の絶縁膜と、を有する請求項１乃至６の何れか１項に記載の固体撮像装置。
受光部を有する基板と、
前記受光部の上に配された複数の配線層及び複数の層間絶縁膜と、
前記複数の層間絶縁膜のうち最上の層間絶縁膜の上に配され、前記最上の層間絶縁膜の屈折率と異なる屈折率を有する第１の絶縁膜と、
を有する固体撮像装置において、
前記受光部の少なくとも一部の上、且つ、前記受光部と前記複数の層間絶縁膜との間に、反射防止膜を有し、
前記最上の層間絶縁膜と前記第１の絶縁膜との間に、前記反射防止膜とは別の反射防止膜を有する固体撮像装置。
受光部を有する基板と、
前記受光部の上に配された複数の配線層と、
前記受光部の上に配され、酸化シリコン膜からなる最上の層間絶縁膜を有する複数の層間絶縁膜と、
前記最上の層間絶縁膜の上に配された第１の窒化シリコン膜と、を有する固体撮像装置において、
前記受光部の少なくとも一部の上、且つ、前記受光部に接して配された酸化シリコン膜と、
前記受光部の少なくとも一部の上、且つ、前記酸化シリコン膜に接して配された第２の窒化シリコン膜と、を有し、
前記最上の層間絶縁膜の上面と接し、前記第１の窒化シリコン膜の下面と接して配された酸窒化シリコン膜を有する固体撮像装置。
更に、前記第１の窒化シリコン膜の上面と接して配された酸窒化シリコン膜を有する請求項１４に記載の固体撮像装置。
受光部を有する基板と、
複数の配線層と、前記複数の配線層のそれぞれの配線層を上下に挟むように配された複数の絶縁膜と、を含み、前記基板の上に設けられた積層体と、
前記複数の絶縁膜のうち最上の絶縁膜の上に配され、前記最上の絶縁膜の屈折率と異なる屈折率を有する第１の絶縁膜と、を有する固体撮像装置において、
前記受光部の少なくとも一部の上、且つ、前記受光部と前記積層体との間に配された反射防止膜と、
前記最上の絶縁膜の上面と接し、前記第１の絶縁膜の下面と接して配され、前記最上の絶縁膜の屈折率と前記第１の絶縁膜の屈折率との間の屈折率を有する第２の絶縁膜と、を有する固体撮像装置。
前記第１の絶縁膜の上に配されたカラーフィルター膜と、
前記第１の絶縁膜と前記カラーフィルター膜との間に配され、前記第１の絶縁膜の屈折率と前記カラーフィルター膜の屈折率との間の屈折率を有する第３の絶縁膜と、を有する請求項１６に記載の固体撮像装置。
前記最上の絶縁膜は酸化シリコン膜であり、前記第１の絶縁膜は窒化シリコン膜であり、前記反射防止膜は少なくとも窒化シリコン膜を含む請求項１６あるいは１７のいずれかに記載の固体撮像装置。
更に、前記積層体の上に配された配線層を有する請求項１６乃至１８のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
請求項１乃至１９のいずれか１項に記載の固体撮像装置と、該固体撮像装置からの出力信号を処理する信号処理回路とを有することを特徴とする撮像システム。