JP2009252949A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 光電変換素子を含む画素が複数配された第１領域と、前記第１領域の駆動のための周辺回路を含む第２領域と、前記光電変換素子の上部に配された層内レンズと、前記層内レンズの上部に配されたレンズと、を有する固体撮像装置の製造方法であって、
   前記第１領域及び前記第２領域の上に少なくとも第１金属配線層を形成する工程と、
   前記第１金属配線層の上にエッチングストップ層を形成する工程と、
   前記エッチングストップ層の上に第１絶縁膜を形成する工程と、
   前記第２領域の前記第１絶縁膜の上部に、前記第１金属配線層とは異なる第２金属配線層を形成する工程と、
   前記エッチングストップ層を用いて前記第１領域の前記第１絶縁膜を除去する工程と、
   前記第１絶縁膜が除去された第１領域と、前記第２領域とに第２絶縁膜を形成する工程と、
   前記第１領域の前記第２絶縁膜から、前記層内レンズを形成する工程と、を含むことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
2. 前記エッチングストップ層は、有機系低誘電率膜であることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置の製造方法。
3. 前記第１領域の前記第１絶縁膜を除去する工程において、フォトレジストをマスクとして用いて前記第１絶縁膜を除去し、
   前記第１絶縁膜を除去する工程の後、前記フォトレジストと同時に前記エッチングストップ層を除去する工程を有する請求項２に記載の固体撮像装置の製造方法。
4. 前記エッチングストップ層は、窒化シリコン系膜であることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置の製造方法。
5. 前記エッチングストップ層は、前記第１金属配線層の拡散防止膜を兼ねることを特徴とする請求項４に記載の固体撮像装置の製造方法。
6. 前記光電変換素子の受光面から前記層内レンズまでに前記第１絶縁膜を含む複数の絶縁膜が形成され、前記複数の絶縁膜の屈折率が、前記受光面から前記層内レンズに向かって同じもしくは順次大なる関係を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の固体撮像装置の製造方法。
7. 更に、前記第２領域の上であって、前記第１金属配線層と前記第２金属配線層との間に、第３金属配線層を形成する工程を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の固体撮像装置の製造方法。
8. 前記第２の絶縁膜は、前記第１領域及び前記第２領域の保護膜として機能することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の固体撮像装置の製造方法。
9. 前記第２領域は、オプティカルブラック領域を有し、
   前記第１絶縁膜を除去する工程において、前記第２金属配線層よりも前記第１絶縁膜が前記第１領域に向って延在していることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の固体撮像装置の製造方法。
10. 光電変換素子を含む画素が複数配された第１領域と、前記第１領域の駆動のための周辺回路を含む第２領域と、前記光電変換素子の上部に配された層内レンズと、前記層内レンズの上部に配されたカラーフィルタと、前記カラーフィルタの上部に配されたレンズと、を有する固体撮像装置において、
    前記第１領域における金属配線の層数は前記第２領域における金属配線の層数より少なく、前記第１領域における最上層の金属配線と、前記第２領域における最上層の金属配線との間であって、前記第１領域に前記層内レンズが形成されていることを特徴とする固体撮像装置。
11. 前記第２領域の最上層の金属配線層の上に絶縁膜が設けられ、前記層内レンズは前記絶縁膜と同一の膜からなることを特徴とする請求項１０に記載の固体撮像装置。