JP2006156611A - 固体撮像装置及び撮像システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、基板に受光部102が配置され、前記基板上に複数の配線層(104〜108)を有し、該配線層の少なくとも一つは略平坦な第1の絶縁膜(107)上に配置されている固体撮像装置であって、前記第1の絶縁膜上に配置された配線層(108)上に、前記第1の絶縁膜と接する部分を有し、且つ該第1の絶縁膜と屈折率の異なる第2の絶縁膜(109)を有し、前記受光部上の少なくとも一部に、膜厚方向に2種類以上の異なる屈折率(112,113)を有する部分を含む第3の絶縁膜を有することを特徴とする固体撮像装置。
【選択図】 図1
Description
基板(Si):nSi=3.5〜5.2、層間絶縁膜(SiO2):nSio=1.4〜1.5、パッシベーション膜(SiN):nSiN=2.0、カラーフィルター:ncf=1.58、マイクロレンズ:nml=1.58である。
Tm3>Tpv×tanθ
加工の点も鑑みればθ=70〜85度でも十分な効果が得られる。一般的にプラズマCVD法で堆積するSiN膜は、段差部に堆積した場合、図1に示すようなオーバーハングの形状ができる。このような形状でかつ最上層(遮光膜)のスペースが小さくなると図6のように埋め込まれない箇所ができてしまい、プロセス工程の薬液がこの部分に残留し、信頼性的な問題が生じる。このような不具合を低減させるためには、十分なスペースを確保する必要がある。すなわち、SiN膜をパッシベーション膜として用いた場合、デザインルールを大きくしなければならない。
図10は、本発明による固体撮像装置をカメラに応用する場合の回路ブロックの例を示したものである。撮影レンズ1002の手前にはシャッター1001があり、露出を制御する。絞り1003により必要に応じ光量を制御し、固体撮像装置1004に結像させる。固体撮像装置1004から出力された信号は信号処理回路1005で処理され、A/D変換器1006によりアナログ信号からディジタル信号に変換される。出力されるディジタル信号はさらに信号処理部1007で演算処理される。処理されたディジタル信号はメモリ1010に蓄えられたり、外部I/F1013を通して外部の機器に送られる。固体撮像装置1004、撮像信号処理回路1005、A/D変換器1006、信号処理部1007はタイミング発生部1008により制御される他、システム全体は全体制御部・演算部1009で制御される。記録媒体1012に画像を記録するために、出力ディジタル信号は全体制御部・演算部で制御される記録媒体制御I/F部1011を通して、記録される。
102、702 受光部
103、105、107、703、705、707 層間絶縁膜
104,106,108、704,706,708 配線層
109、709 絶縁膜(パッシベーション膜)
110、710 カラーフィルター
111、711 マイクロレンズ
112、113、114 反射防止膜
Claims (14)
- 基板に受光部が配置され、前記基板上に複数の配線層を有し、該配線層の少なくとも一つは略平坦な第1の絶縁膜上に配置されている固体撮像装置であって、
前記第1の絶縁膜上に配置された配線層上に、前記第1の絶縁膜と接する部分を有し、且つ該第1の絶縁膜と屈折率の異なる第2の絶縁膜を有し、前記受光部上の少なくとも一部に、膜厚方向に2種類以上の異なる屈折率を有する部分を含む第3の絶縁膜を有することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記第2の絶縁膜は、前記第1の絶縁膜上に形成された配線層上に、直接または前記第2の絶縁膜とは屈折率の異なる第4の絶縁膜を介して配置されていることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記第4の絶縁膜は、前記第1の絶縁膜と第2の絶縁膜の界面における入射光の反射を低減させる反射防止膜であることを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。
- 前記第2の絶縁膜は窒化シリコン膜であり、前記第4の絶縁膜は酸窒化シリコン膜であることを特徴とする請求項3に記載の固体撮像装置。
- 前記酸窒化シリコン膜は、前記第1の絶縁膜上に形成された配線層よりも膜厚が薄いことを特徴とする請求項4に記載の固体撮像装置。
- 前記第3の絶縁膜は、前記受光部での入射光の反射を低減させる反射防止膜であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記第3の絶縁膜は、前記受光部上に酸化シリコン膜と、該酸化シリコン膜上に窒化シリコン膜が配置された構造であることを特徴とする請求項6に記載の固体撮像装置。
- 前記第2の絶縁膜は窒化シリコン膜、前記第4の絶縁膜は酸窒化シリコン膜であり、前記酸化シリコン膜は、前記酸窒化シリコン膜の膜厚よりも薄いことを特徴とする請求項7に記載の固体撮像装置。
- 前記第2の絶縁膜上に、少なくともカラーフィルターまたはマイクロレンズのいずれかが配置されており、前記第2の絶縁膜とカラーフィルターおよびマイクロレンズの間に、前記第2の絶縁膜とカラーフィルターまたはマイクロレンズの間の屈折率を有する膜が配置されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記第2の絶縁膜とカラーフィルターおよびマイクロレンズの間の屈折率を有する膜は酸窒化シリコン膜であることを特徴とする請求項9に記載の固体撮像装置。
- 前記第1の配線層の端部はテーパ形状を有していることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記第2の絶縁膜は、前記基板に水素を供給するための膜であることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 基板に受光部が配置され、該受光部上に複数の配線層を有し、該配線層の少なくとも一つは略平坦な第1の絶縁膜上に配置されている固体撮像装置であって、
前記受光部上の少なくとも一部に受光部側から酸化シリコン膜、窒化シリコン膜がこの順で配置されており、前記第1の絶縁膜上に配置された配線層上に、窒化シリコン膜が配置され、該窒化シリコン膜は、前記第1の配線層上に酸窒化シリコン膜を介して配置されていることを特徴とする固体撮像装置。 - 請求項1〜13のいずれかの請求項に記載の固体撮像装置と、該固体撮像装置へ光を結像する光学系と、該固体撮像装置からの出力信号を処理する信号処理回路とを有することを特徴とする撮像システム。
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