JP2006145329A - 加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ハウジング部材と、このハウジング部材に取り付けられており、少なくとも検出すべき加速度の方向に自由度を有するばね部材と、ばね部材に固着された磁界発生錘部材と、磁界発生錘部材に対向してハウジング部材に取り付けられている少なくとも1つの磁界検出センサとを備えており、各磁界検出センサが磁化固定層及び磁化自由層を含む少なくとも1つの多層構造MR素子を備えており、加速度が印加されていない時の磁界発生錘部材の磁界発生方向が少なくとも1つの多層構造MR素子の積層面と垂直な方向である。
【選択図】 図1
Description
10a 本体
10b、50b ベース
10c、50a カバー
10d、10e、10f、10g、50e、50f 接続パッド
11、51、61 ばね部材
11a、51a、61a 外枠部
11b、11c、11d、11e、51b、51c、51d、51e 支持アーム部
11f、51f 可動部
12、52 永久磁石
13、14、53 磁界検出センサチップ
13a、14a、53a スピンバルブGMR素子
13b、13c、14b、14c、53b、53c 端子電極
15a、15b、15c、15d、55a、55b 外部端子
50c、50d 側面カバー
61b、61c 第1の支持アーム部
61d 第1の環状可動部
61e、61f 第2の支持アーム部
61g 第2の環状可動部
61h、61i 第3の支持アーム部
61j 円形可動部
Claims (16)
- ハウジング部材と、該ハウジング部材に取り付けられており、少なくとも検出すべき加速度の方向に自由度を有するばね部材と、該ばね部材に固着された磁界発生錘部材と、該磁界発生錘部材に対向して前記ハウジング部材に取り付けられている少なくとも1つの磁界検出センサとを備えており、該各磁界検出センサが磁化固定層及び磁化自由層を含む少なくとも1つの多層構造磁気抵抗効果素子を備えており、加速度が印加されていない時の前記磁界発生錘部材の磁界発生方向が前記少なくとも1つの多層構造磁気抵抗効果素子の積層面と垂直な方向であることを特徴とする加速度センサ。
- 前記ばね部材が、少なくとも2つの軸回転方向に自由度を有していることを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。
- 前記ばね部材が、捩れ動作が可能な少なくとも2つの支持アーム部と、該2つの支持アーム部によって支持されており前記磁界発生錘部材が固着されている可動部とを有していることを特徴とする請求項2に記載の加速度センサ。
- 前記少なくとも2つの支持アーム部が、1軸に沿って延在しており、各々の一端が前記ハウジング部材に固定され他端が前記可動部に結合している2つの支持アームからなることを特徴とする請求項3に記載の加速度センサ。
- 前記少なくとも2つの支持アーム部が、互いに直交する2軸に沿ってそれぞれ延在しており、各々の一端が前記ハウジング部材に固定され他端が前記可動部に結合している4つの支持アームからなることを特徴とする請求項3に記載の加速度センサ。
- 前記ばね部材が、前記少なくとも1つの多層構造磁気抵抗効果素子の積層面と平行に配置されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記ばね部材が、前記少なくとも1つの多層構造磁気抵抗効果素子の積層面と垂直に配置されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記磁界発生錘部材が、印加される加速度を回転モーメントに変化させるべく前記ばね部材の一方の面に固着されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記磁界発生錘部材が、永久磁石であることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記少なくとも1つの磁界検出センサが単一の磁界検出センサであり、該磁界検出センサが検出すべき加速度の方向と平行な方向に磁化固定された少なくとも1つの多層構造磁気抵抗効果素子を備えていることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記少なくとも1つの磁界検出センサが複数の磁界検出センサであり、該複数の磁界検出センサの各々が検出すべき加速度の方向と平行な方向に磁化固定された少なくとも1つの多層構造磁気抵抗効果素子を備えていることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記複数の磁界検出センサの多層構造磁気抵抗効果素子が検出すべき加速度の方向と平行でかつ向きが逆方向にそれぞれ磁化固定されていることを特徴とする請求項11に記載の加速度センサ。
- 前記複数の磁界検出センサが少なくとも1つの多層構造磁気抵抗効果素子をそれぞれ備えた2つの磁界検出センサであり、該2つの磁界検出センサの多層構造磁気抵抗効果素子が互いに直交する方向にそれぞれ磁化固定されていることを特徴とする請求項11に記載の加速度センサ。
- 前記各磁界検出センサが、前記積層面内において磁化固定方向と垂直方向に延在する直線部分を有する単一の多層構造磁気抵抗効果素子を備えていることを特徴とする請求項1から13のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記各磁界検出センサが、各々が前記積層面内において磁化固定方向と垂直方向に延在する直線部分を有する複数の多層構造磁気抵抗効果素子を備えており、該複数の多層構造磁気抵抗効果素子が互いに直列接続されていることを特徴とする請求項1から13のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記各多層構造磁気抵抗効果素子が、巨大磁気抵抗効果素子であることを特徴とする請求項1から15のいずれか1項に記載の加速度センサ。
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