JP2007033044A - 加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置 - Google Patents
加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007033044A JP2007033044A JP2005212394A JP2005212394A JP2007033044A JP 2007033044 A JP2007033044 A JP 2007033044A JP 2005212394 A JP2005212394 A JP 2005212394A JP 2005212394 A JP2005212394 A JP 2005212394A JP 2007033044 A JP2007033044 A JP 2007033044A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- acceleration
- acceleration sensor
- field detection
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B25/00—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus
- G11B25/04—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus using flat record carriers, e.g. disc, card
- G11B25/043—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus using flat record carriers, e.g. disc, card using rotating discs
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/105—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by magnetically sensitive devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B19/00—Driving, starting, stopping record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor; Control thereof; Control of operating function ; Driving both disc and head
- G11B19/02—Control of operating function, e.g. switching from recording to reproducing
- G11B19/04—Arrangements for preventing, inhibiting, or warning against double recording on the same blank or against other recording or reproducing malfunctions
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/02—Cabinets; Cases; Stands; Disposition of apparatus therein or thereon
- G11B33/08—Insulation or absorption of undesired vibrations or sounds
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/084—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass the mass being suspended at more than one of its sides, e.g. membrane-type suspension, so as to permit multi-axis movement of the mass
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/012—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic disks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】 ハウジング部材と、ハウジング部材に取り付けられており、少なくとも検出すべき加速度の方向に自由度を有するばね部材と、ハウジング部材に固定された磁界発生部材と、磁界発生部材に対向してばね部材の可動位置に固着された少なくとも1つの磁界検出センサ及び錘部材とを備えており、磁界検出センサが磁化固定層及び磁化自由層を含む少なくとも1つの多層構造MR素子を備えており、少なくとも1つの多層構造MR素子に対して、加速度が印加されていない時はその積層面とほぼ垂直な方向に磁界発生部材から磁界が印加され、加速度が印加された時は上述のほぼ垂直な方向から印加された加速度に応じた角度だけ変角した方向に磁界が印加されるように構成した。
【選択図】 図2
Description
10a 退避ゾーン
11 HGA
12 FPC
13 支持アーム
13a 爪
14 VCM
15 回動軸
16 退避ランプ
17 加速度センサ
18 回路基板
20、80 ハウジング部材
20a 本体
20b、80b ベース部材
20c、80a カバー部材
20d、20e、20f、20g、80e、80f 接続パッド
21、81 ばね部材
21a、81a 外枠部
21b、21c、21d、21e、81b、81c、81d、81e 支持アーム部
21f、81f 可動部
22、82 錘部材
23、24、83 磁界検出センサチップ
23a、24a、83a スピンバルブGMR素子
23b、23c、24b、24c、83b、83c 端子電極
25、85 永久磁石
26a、26b、26c、26d、86a、86b 外部端子
27 スペーサ部材
28a、28b、28c、28d、88a、88b 金ワイヤ
80c、80d 側面カバー部材
100、103 加速度センサ
101、102、104 外部抵抗
Claims (17)
- ハウジング部材と、該ハウジング部材に取り付けられており、少なくとも検出すべき加速度の方向に自由度を有するばね部材と、前記ハウジング部材に固定された磁界発生部材と、該磁界発生部材に対向して前記ばね部材の可動位置に固着された少なくとも1つの磁界検出センサ及び錘部材とを備えており、該磁界検出センサが磁化固定層及び磁化自由層を含む少なくとも1つの多層構造磁気抵抗効果素子を備えており、該少なくとも1つの多層構造磁気抵抗効果素子に対して、加速度が印加されていない時はその積層面とほぼ垂直な方向に前記磁界発生部材から磁界が印加され、加速度が印加された時は前記ほぼ垂直な方向から印加された加速度に応じた角度だけ変角した方向に前記磁界が印加されるように構成したことを特徴とする加速度センサ。
- 前記ばね部材が、少なくとも2つの軸回転方向に自由度を有していることを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。
- 前記ばね部材が、捩れ動作が可能な少なくとも2つの支持アーム部と、該2つの支持アーム部によって支持されており前記少なくとも1つの多層構造磁気抵抗効果素子及び前記錘部材が固着されている可動部とを有していることを特徴とする請求項2に記載の加速度センサ。
- 前記少なくとも2つの支持アーム部が、1軸に沿って延在しており、各々の一端が前記ハウジング部材に固定された外枠部に結合しており他端が前記可動部に結合している2つの支持アームからなることを特徴とする請求項3に記載の加速度センサ。
- 前記少なくとも2つの支持アーム部が、互いに直交する2軸に沿ってそれぞれ延在しており、各々の一端が前記ハウジング部材に固定された外枠部に結合しており他端が前記可動部に結合している4つの支持アームからなることを特徴とする請求項3に記載の加速度センサ。
- 前記ばね部材が、前記少なくとも1つの多層構造磁気抵抗効果素子の積層面とほぼ平行に配置されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記ばね部材が、前記少なくとも1つの多層構造磁気抵抗効果素子の積層面とほぼ垂直に配置されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記錘部材が、印加される加速度を回転モーメントに変化させるべく前記ばね部材の一方の面に固着されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記磁界発生部材が、永久磁石であることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記少なくとも1つの磁界検出センサが単一の磁界検出センサであり、該磁界検出センサが検出すべき加速度の方向とほぼ平行な方向に磁化固定された磁化固定層を有する少なくとも1つの多層構造磁気抵抗効果素子を備えていることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記少なくとも1つの磁界検出センサが複数の磁界検出センサであり、該複数の磁界検出センサの各々が検出すべき加速度の方向とほぼ平行な方向に磁化固定された磁化固定層を有する少なくとも1つの多層構造磁気抵抗効果素子を備えていることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記複数の磁界検出センサの多層構造磁気抵抗効果素子の磁化固定層が検出すべき加速度の方向とほぼ平行でかつ向きが逆方向にそれぞれ磁化固定されていることを特徴とする請求項11に記載の加速度センサ。
- 前記複数の磁界検出センサが少なくとも1つの多層構造磁気抵抗効果素子をそれぞれ備えた2つの磁界検出センサであり、該2つの磁界検出センサの多層構造磁気抵抗効果素子の磁化固定層が互いにほぼ直交する方向にそれぞれ磁化固定されていることを特徴とする請求項11に記載の加速度センサ。
- 前記各磁界検出センサが、前記積層面内において磁化固定方向と垂直方向に延在する直線部分を有する単一の多層構造磁気抵抗効果素子を備えていることを特徴とする請求項1から13のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記各磁界検出センサが、各々が前記積層面内において磁化固定方向と垂直方向に延在する直線部分を有する複数の多層構造磁気抵抗効果素子を備えており、該複数の多層構造磁気抵抗効果素子が互いに直列接続されていることを特徴とする請求項1から13のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 前記各多層構造磁気抵抗効果素子が、巨大磁気抵抗効果素子又はトンネル磁気抵抗効果素子であることを特徴とする請求項1から15のいずれか1項に記載の加速度センサ。
- 請求項1から16のいずれか1項に記載の加速度センサを備えたことを特徴とする磁気ディスクドライブ装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005212394A JP2007033044A (ja) | 2005-07-22 | 2005-07-22 | 加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置 |
US11/483,099 US7403352B2 (en) | 2005-07-22 | 2006-07-10 | Acceleration sensor and magnetic disk drive apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005212394A JP2007033044A (ja) | 2005-07-22 | 2005-07-22 | 加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007033044A true JP2007033044A (ja) | 2007-02-08 |
Family
ID=37678816
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005212394A Pending JP2007033044A (ja) | 2005-07-22 | 2005-07-22 | 加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7403352B2 (ja) |
JP (1) | JP2007033044A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007033045A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Tdk Corp | 加速度センサ用のばね部材、加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置 |
JP4222375B2 (ja) * | 2006-02-09 | 2009-02-12 | Tdk株式会社 | 加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置 |
JP4285488B2 (ja) * | 2006-02-16 | 2009-06-24 | Tdk株式会社 | 加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置 |
CN110780088B (zh) * | 2019-11-08 | 2021-08-03 | 中北大学 | 多桥路隧道磁阻双轴加速度计 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11352143A (ja) | 1998-04-06 | 1999-12-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度センサ |
US6751047B2 (en) * | 2000-03-24 | 2004-06-15 | Seagate Technology Llc | Stepped disc drive voice coil actuator acceleration for reducing resonance of head level micro-actuators |
JP3573100B2 (ja) * | 2001-02-06 | 2004-10-06 | 日立金属株式会社 | 方位計及び方位の測定方法 |
JP4261468B2 (ja) | 2004-11-18 | 2009-04-30 | Tdk株式会社 | 加速度センサ |
JP4285488B2 (ja) * | 2006-02-16 | 2009-06-24 | Tdk株式会社 | 加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置 |
-
2005
- 2005-07-22 JP JP2005212394A patent/JP2007033044A/ja active Pending
-
2006
- 2006-07-10 US US11/483,099 patent/US7403352B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070019324A1 (en) | 2007-01-25 |
US7403352B2 (en) | 2008-07-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4229096B2 (ja) | 加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置 | |
US7222535B2 (en) | Acceleration sensor and magnetic disk drive apparatus | |
JP4222375B2 (ja) | 加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置 | |
US7523664B2 (en) | Acceleration sensor and magnetic disk drive apparatus | |
JP2008515043A (ja) | 入力装置用の磁気センサ | |
JP6263344B2 (ja) | 磁気センサー装置、ハードディスクヘッド、および磁気記録再生装置 | |
JP4285488B2 (ja) | 加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置 | |
US7679865B2 (en) | Spring member for acceleration sensor, acceleration sensor and magnetic disk drive apparatus | |
JP2007033044A (ja) | 加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置 | |
JP4367403B2 (ja) | 加速度センサ用ばね部材、加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置 | |
JP2006303097A (ja) | 磁気抵抗効果素子、該磁気抵抗効果素子を備えた薄膜磁気ヘッド、該薄膜磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリ、該ヘッドジンバルアセンブリを備えた磁気ディスク装置、及び該薄膜磁気ヘッドを用いた磁気記録再生方法 | |
JP2006351684A (ja) | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、およびハードディスク装置 | |
JP4556933B2 (ja) | 加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置 | |
JP2005337992A (ja) | 慣性センサ及び慣性センサを有するディスク記録再生装置 | |
JP2005069963A (ja) | 加速度センサ | |
US20080055774A1 (en) | Magnetic head and storage medium drive |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080507 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080729 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080922 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081202 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090401 |