JP2005069963A - 加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】 小型且つ低コストとしつつ小さな加速度が検出可能な加速度センサを得る。
【解決手段】 ワイヤ16がケース12に片持ち状に支持され、ワイヤ16の先端側に上方向に屈曲された形の支持部16Bが形成され、マグネット18が固定される。マグネット18は、円筒形の上下の端面18BにそれぞれNSの磁極を有する。マグネット18の磁束方向の変化を検出し得るスピンバルブ型GMR素子21の感応部21Aが、基板21Bに搭載された形で設けられる。マグネット18の両端面18B間を繋ぐ外周面18Cとマグネット18の下側の端面18Bとが交わるマグネット18の部分である角部18Dの近傍に、この感応部21Aが配置される。
【選択図】 図1
【解決手段】 ワイヤ16がケース12に片持ち状に支持され、ワイヤ16の先端側に上方向に屈曲された形の支持部16Bが形成され、マグネット18が固定される。マグネット18は、円筒形の上下の端面18BにそれぞれNSの磁極を有する。マグネット18の磁束方向の変化を検出し得るスピンバルブ型GMR素子21の感応部21Aが、基板21Bに搭載された形で設けられる。マグネット18の両端面18B間を繋ぐ外周面18Cとマグネット18の下側の端面18Bとが交わるマグネット18の部分である角部18Dの近傍に、この感応部21Aが配置される。
【選択図】 図1
Description
本発明は、小型且つ低コストとしつつ小さな加速度が検出可能な加速度センサに関し、特に携帯電話やノート型パーソナルコンピュータ等の携帯用機器に好適なものである。
例えば携帯電話やノート型パーソナルコンピュータ等の携帯用機器では、ハードディスクドライブ(以下HDDと言う)が記憶装置として近年内蔵されるようになった。しかし、携帯用機器中のHDDは、携帯用機器が手振れなどで揺動したり、或いは落下した場合等に故障することがあるので、この時の加速度を初期段階で検出し、HDDの磁気ヘッドの退避や磁気ヘッドに加わる衝撃を打ち消す制御を行なう必要がある。従って、この携帯用機器に加わる加速度を初期段階で検出する為に小さな加速度を検出し得る加速度センサが必要となるが、以下に加速度センサの従来例を具体的に挙げて、背景技術を説明する。
第1の従来例の加速度センサとして、特許文献1〜3に記載されているように、加速度が加わるのに伴ってボールが転がったり平盤が移動したりする構造とし、これら可動部となるボールや平盤の変位を光等を用いた非接触センサで検知するものがあった。
第2の従来例の加速度センサとして、特許文献4、5に記載されているように、可動部にマグネットを取り付けると共に、磁気インピーダンス効果を有するセンサである磁気検出素子を固定部に取り付け、可動部の動きをこの磁気検出素子で検出するものがあった。
第3の従来例の加速度センサとして、特許文献6、7に記載されているように、板バネの先端にマグネットを取り付け、このマグネットの変化量を磁気検出素子で検出するものがあった。
第4の従来例の加速度センサとして、特許文献8に記載されているように、半導体技術を用いてシリコン基板上に薄膜磁気抵抗素子を取り付けると共に、外部に磁性発生体を設けて、この磁性発生体の動きを薄膜磁気抵抗素子で検出するものや、マイクロ−エレクトロ−メカニカル−システム(MEMS)によるもの等があった。
特開平5−87828号公報
特開平9−101323号公報
特開平6−148224号公報
特開2000−2715号公報
特開平10−332733号公報
特開平10−325719号公報
特開平10−319034号公報
特開平9−203748号公報
例えば、携帯用機器に内蔵されるHDDに加速度センサを取り付けて小さな加速度を検出するには、加速度センサの取り付け空間が余り無い為、2mm×3mm×1.5mm程度の大きさにまでこの加速度センサを小型化することが要求される。
しかし、第1の従来例では、小型化するのに伴って可動部が軽量になる為、ボールや平盤等が小さな加速度に対しては反応し難くなる結果、この動きを光等によって確実に検出するのは困難であった。
また、第2及び第3の従来例では、小型化に伴って磁気検出素子でマグネットの変化量を検出するのが困難となる。つまり、磁気検出素子には、多層膜GMR素子、MR素子、ホール素子などが知られているが、これらは磁束の強さの変化を検出する方式である為、小型化に伴ってマグネットと磁気検出素子との間のストロークが十分に取れなくなり、小さな加速度の検出には不向きな構造となっている。
第4の従来例では、半導体技術やマイクロ−エレクトロ−メカニカル−システムを使用するので、加速度センサの小型化に伴って、製造コストが増大し実施化が困難となっていた。
本発明は上記事実を考慮し、小型且つ低コストとしつつ小さな加速度が検出可能な加速度センサを提供することを目的とする。
本発明は上記事実を考慮し、小型且つ低コストとしつつ小さな加速度が検出可能な加速度センサを提供することを目的とする。
請求項1による加速度センサは、両端部にそれぞれ磁極を有するマグネットと、
このマグネットが弾性変形に伴って変位し得る位置に取り付けられた弾性部材と、
両端部間を繋ぐ面と何れかの端部とが交わるマグネットの部分の近傍に配置される磁化方向感応素子と、
を有したことを特徴とする。
このマグネットが弾性変形に伴って変位し得る位置に取り付けられた弾性部材と、
両端部間を繋ぐ面と何れかの端部とが交わるマグネットの部分の近傍に配置される磁化方向感応素子と、
を有したことを特徴とする。
請求項1に係る加速度センサでは、両端部にそれぞれ磁極を有するマグネットが、弾性部材の弾性変形に伴って変位し得る位置に取り付けられており、また、マグネットの両端部間を繋ぐ面とマグネットの何れか一方の端部とが交わるこのマグネットの部分の近傍に、磁化方向感応素子が配置された構成になっている。
つまり、本請求項では、所定の質量を有するマグネットに加速度が加わった場合、弾性部材が弾性変形するのに伴って、このマグネットが変位する。この為、マグネットの両端部間を繋ぐ面とマグネットの何れかの端部とが交わるこのマグネットの部分の近傍となる磁束方向の変化が特に大きい位置に配置された磁化方向感応素子が、マグネットの変位に伴う磁束方向の変化を検出する。
以上より、本請求項によれば、単にマグネット、弾性部材及び磁化方向感応素子のみの簡単な構造の加速度センサにより、磁束方向の変化の形で加速度を検出できるので、加速度センサを小型化できると共に低コストで製作できるだけでなく、この加速度センサにより小さな加速度を検出可能になる。
ここで、加速度センサの小型化を可能とする磁化方向感応素子としてスピンバルブ巨大磁気抵抗素子(以下、スピンバルブ型GMR素子という)を用いることが考えられる。つまり、このスピンバルブ型GMR素子は、磁気の強弱を検出する他の素子とは違って、微少な磁束方向と電流方向の角度変化でインピーダンスが変化する素子である。そして、この微少な磁束方向と電流方向の角度変化によりインピーダンスが変化する特性を応用し、マグネットの周囲における磁束の角度変化が大きい個所に、このスピンバルブ型GMR素子の感応部を小型のマグネットの磁束方向の変化を捕らえられる向きに適切に配置することで、小型のマグネットの微少変位をも検出可能となる。
請求項2に係る加速度センサによれば、請求項1の加速度センサと同様の構成の他に、弾性部材が、片持ち状に支持された線材とされるという構成を有している。従って、本請求項によれば、特に変形し易くなるように片持ち状に支持された線材で弾性部材が形成されているので、微小な加速度が加わった場合でも、この線材がマグネットの重量で容易に変形してマグネットが変位し、これに伴って磁束方向が変化するので、微小な加速度が検出可能となる。
請求項3による加速度センサは、両端部にそれぞれ磁極を有するマグネットと、
このマグネットが弾性変形に伴って変位し得る位置に取り付けられた弾性部材と、
このマグネットの何れかの端部の中心部分と対向して配置される磁化方向感応素子と、
を有したことを特徴とする。
このマグネットが弾性変形に伴って変位し得る位置に取り付けられた弾性部材と、
このマグネットの何れかの端部の中心部分と対向して配置される磁化方向感応素子と、
を有したことを特徴とする。
請求項3に係る加速度センサでは、両端部にそれぞれ磁極を有するマグネットが、弾性部材の弾性変形に伴って変位し得る位置に取り付けられており、また、このマグネットの何れか一方の端部の中心部分と対向する位置に、磁化方向感応素子が配置された構成になっている。
つまり、本請求項では、所定の質量を有するマグネットに加速度が加わった場合、弾性部材が弾性変形するのに伴って、このマグネットが変位する。この為、磁束方向の変化が特に大きい位置となる磁極が存在するマグネットの端部の中心部分と対向する位置に配置された磁化方向感応素子が、マグネットの変位に伴う磁束方向の変化を検出する。
以上より、本請求項によれば、単にマグネット、弾性部材及び磁化方向感応素子のみの簡単な構造の加速度センサにより、磁束方向の変化の形で加速度を検出できるので、加速度センサを小型化できると共に低コストで製作できるだけでなく、この加速度センサにより小さな加速度を検出可能になる。但し、本請求項では、請求項1と異なる位置に磁化方向感応素子が配置されているので、請求項1の加速度センサが検出する加速度の方向と異なる方向の加速度をマグネットの変位に基づき検出できるようになる。
請求項5による加速度センサは、両端部にそれぞれ磁極を有するマグネットと、
このマグネットが弾性変形に伴って変位し得る位置に取り付けられた弾性部材と、
両端部間を繋ぐ面と何れかの端部とが交わるマグネットの部分の近傍に配置される第1の磁化方向感応素子と、
このマグネットの何れかの端部の中心部分と対向して配置される第2の磁化方向感応素子と、
を有したことを特徴とする。
このマグネットが弾性変形に伴って変位し得る位置に取り付けられた弾性部材と、
両端部間を繋ぐ面と何れかの端部とが交わるマグネットの部分の近傍に配置される第1の磁化方向感応素子と、
このマグネットの何れかの端部の中心部分と対向して配置される第2の磁化方向感応素子と、
を有したことを特徴とする。
請求項5に係る加速度センサでは、両端部にそれぞれ磁極を有するマグネットが、弾性部材の弾性変形に伴って変位し得る位置に取り付けられている。また、マグネットの両端部間を繋ぐ面とマグネットの何れか一方の端部とが交わるこのマグネットの部分の近傍に、第1の磁化方向感応素子が配置されており、さらに、このマグネットの何れか一方の端部の中心部分と対向する位置に、第2の磁化方向感応素子が配置された構成となっている。
つまり、本請求項では、所定の質量を有するマグネットに加速度が加わるのに合わせて、弾性部材が弾性変形するのに伴って、このマグネットが変位する。この為、マグネットの両端部間を繋ぐ面とマグネットの何れかの端部とが交わるこのマグネットの部分の近傍となる磁束方向の変化が特に大きい位置に配置された第1の磁化方向感応素子が、マグネットの変位に伴う磁束方向の変化を検出する。さらに、同じく磁束方向の変化が特に大きい位置となる磁極が存在するマグネットの端部の中心部分と対向する位置に配置された第2の磁化方向感応素子が、第1の磁化方向感応素子により検出される磁束方向の変化と異なる方向の磁束方向の変化をマグネットの変位に伴って検出する。
以上より、本請求項によれば、単にマグネット、弾性部材及び2つの磁化方向感応素子のみの簡単な構造の加速度センサにより、それぞれ磁束方向の変化の形で2方向の加速度を検出できるので、加速度センサを小型化できると共に低コストで製作できるだけでなく、この加速度センサにより小さな加速度を2軸方向に沿ってそれぞれ検出可能になる。
請求項4及び請求項6に係る加速度センサによれば、請求項3及び請求項5の加速度センサと同様の構成の他に、弾性部材が、片持ち状に支持された線材とされるという構成を有している。
従って、本請求項によれば、請求項2と同様に、微小な加速度が加わった場合でも、この線材がマグネットの重量で容易に変形してマグネットが変位し、これに伴って磁束方向が変化するので、より一層微小な加速度を検出可能ともなる。
請求項7に係る加速度センサによれば、請求項1から請求項6の加速度センサと同様の構成の他に、磁化方向感応素子が、スピンバルブ型GMR素子の感応部とされるという構成を有している。従って、本請求項によれば、磁化方向感応素子がスピンバルブ型GMR素子の感応部とされたことで、マグネットの変位に伴う磁束方向の変化を確実に検出可能となり、請求項1から請求項6までの作用効果がより確実に達成できるようになる。
本発明によれば、小型且つ低コストとしつつ小さな加速度が検出可能な加速度センサが得られることになる。例えば加速度センサの中でも携帯用機器の揺動又は落下を検出する加速度センサは、±1G以内の小さな加速度を検出しなければならない。つまり、加速度が小さいのに伴って可動部の変位が非常に少ない上、小さな空間内に配置して使用しなければならない為に重りとなる例えばマグネットの重量が軽量になるが、本発明によればこれらの問題点を解決することが可能となる。
以下、本発明に係る加速度センサの一実施の形態を図1から図7に示し、これらの図面に基づきこの一実施の形態を説明する。
本実施の形態に係る加速度センサ10の外枠部分を合成樹脂製のケース12が構成しており、内部に空間を有したこのケース12を形成する壁部12Aの一端側には、切欠部14がこの壁部12Aを切り欠いて形成されている。
本実施の形態に係る加速度センサ10の外枠部分を合成樹脂製のケース12が構成しており、内部に空間を有したこのケース12を形成する壁部12Aの一端側には、切欠部14がこの壁部12Aを切り欠いて形成されている。
このケース12の内部には、弾性部材であるワイヤ16の弾性変形し得る部分が配置されているが、このワイヤ16は、直径0.1mm以下で具体的には直径0.06〜0.08mmの線径を有したSUS304製のスプリングワイヤとされる線材により形成されている。そして、このワイヤ16の基端側は図1及び図2においてU字形に屈曲された形の固定部16Aとされていて、ケース12の切欠部14の下側部分の壁部12Aを挟み付ける形でこの固定部16Aが係止されて、ワイヤ16がケース12に片持ち状に支持されている。
このワイヤ16の先端側には、上方向に屈曲された形の支持部16Bが形成されており、この支持部16Bにマグネット18が固定されている。つまり、このマグネット18は、中心部分に軸方向に伸びる孔部18Aを有した円筒形に形成されていて、ワイヤ16の支持部16Bがこの孔部18Aを貫通した状態で、接着剤等によりワイヤ16に固定されている。この結果として、ワイヤ16の固定部16Aと支持部16Bとの間の部分である変形部16Cが弾性変形するのに伴って変位し得る位置にマグネット18が取り付けられていて、図2に示す蓋材20で開放端を覆われるケース12内にこのマグネット18が配置されることになる。
尚、図2に示すように、例えばこのケース12の長さ寸法Bは約3mmとされ、幅寸法Wは約2mmとされ、高さ寸法Hは約1.5mmとされている。また、マグネット18の外径寸法Dは約1mmとされ、高さ寸法H1は約0.5mmとされている。さらに、このマグネット18は、円筒形の両端部となる上下の端面18BにそれぞれNSの磁極を有していて、図3に示すように孔部18Aの周囲から磁束Bが広がるように存在している。
一方、図4に示すように、マグネット18の磁束方向の変化を検出し得る第1の磁化方向感応素子となるスピンバルブ型GMR素子21の感応部21Aが、基板21Bに搭載された形で、設けられている。そして、図2に示すようにケース12の壁部12Aにこの基板21Bが取り付けられることで、マグネット18の両端面18B間を繋ぐ外周面18Cとマグネット18の下側の端面18Bとが交わるマグネット18の部分である角部18Dの近傍に、この感応部21Aが配置されている。すなわち、この感応部21Aは、角部18Dよりマグネット18の外周側とされ且つ下側の端面18Bから0.3mm程度下方に配置されていることになる。
また、同じく図4に示すように、マグネット18の磁束方向の変化を検出し得る第2の磁化方向感応素子となるスピンバルブ型GMR素子22の感応部22Aも、基板22Bに搭載された形で設けられている。そして、図2に示すようにこの基板22Bが蓋材20に固定されることで、このマグネット18の上側の端面18Bの中心部分と対向した位置に、この感応部22Aが配置されている。さらに、これら感応部21A及び感応部22Aは、それぞれ基板21B、22B上をジグザグに延びる形で形成されていて、これらに繋がる端子21C、22Cを介して外部の図示しない回路に接続されている。この為、必要な検出データがこの端子21C、22Cを介して取り出せるようになっている。
尚、この感応部21Aの特に磁束方向の変化に敏感な方向が、図2の矢印A1で示す方向となるように感応部21Aは配置されており、また、感応部22Aの特に磁束方向の変化に敏感な方向が、図2の矢印A2で示す方向となるように感応部22Aは配置されている。この為、これら感応部21A、22Aの磁束方向の変化に敏感な方向A1、A2は、ワイヤ16の変形部16Cが延びる方向に対してそれぞれ直交する方向であり且つ、相互間で直交する方向となっている。
以上より、上記の第1の磁化方向感応素子及び第2の磁化方向感応素子は、微少な磁束方向の角度変化でインピーダンスが変化するスピンバルブ型GMR素子21、22の感応部21A、22Aとそれぞれされている。
すなわち、例えば図6に示すようにマグネット18の周囲に広がる矢印で示す磁束Bのベクトルを、Z軸方向のみのベクトルに変換して図7に表すことで、Z軸方向のベクトルである矢印CにおけるZ軸方向のベクトル変化の分岐点が、マグネット18の上側の端面18Bより上側とされ且つ外周面18Cより外周側とされる領域部分及び、マグネット18の下側の端面18Bより下側とされ且つ外周面18Cより外周側とされる領域部分に存在することが分かる。従って、この上下方向のベクトル変化の分岐点の周囲に例えば感応部21Aを配置することで、マグネット18の微少な変位を検出可能となる。
一方、図4に示すスピンバルブ型GMR素子21、22の感応部21A、22Aは、図5(A)に示すように、磁化方向が固定されている強磁性体のピン層31、非磁性体の中間層32及び、磁化方向がその面内で自由に変化する強磁性体のフリー層33が、積層されて形成されている。
そして、このフリー層33の磁化方向Eは外部の磁化方向に合わせて変化するようなっていて、図5(B)に示すようにピン層31の磁化方向Dに対してフリー層33の磁化方向Eが逆向きとなるようにフリー層33の面内で変化した場合には、抵抗が最大となり、また、図5(C)に示すようにピン層31の磁化方向Dに対してフリー層33の磁化方向Eが一致するようにフリー層33の面内で変化した場合には、抵抗が最小となる。このことから、スピンバルブ型GMR素子の感応部が、周囲の磁化方向の変化を検出できるようになる。
次に、本実施の形態に係る加速度センサ10の作用を説明する。
本実施の形態に係る加速度センサ10では、片持ち状に支持された直径0.1mm以下の線材により形成されたワイヤ16の弾性変形に伴って変位し得る先端側の位置に、両端面18Bをそれぞれ磁極としたマグネット18が、取り付けられている。
本実施の形態に係る加速度センサ10では、片持ち状に支持された直径0.1mm以下の線材により形成されたワイヤ16の弾性変形に伴って変位し得る先端側の位置に、両端面18Bをそれぞれ磁極としたマグネット18が、取り付けられている。
また、マグネット18の両端部である上下の端面18B間を繋ぐ外周面18Cとマグネット18の一方の端面18Bとが交わるこのマグネット18の角部18Dの近傍に、感応部21Aが配置される構成になっている。さらに、このマグネット18の一方の端面18Bの中心部分と対向する位置に、感応部22Aが配置された構成ともなっている。
つまり、本実施の形態では、所定の質量を有するマグネット18に加速度が加わるのに合わせて、ワイヤ16が弾性変形するのに伴って、このマグネット18が図2においてX軸方向及びZ軸方向に変位する。この際、本実施の形態では、弾性部材が特に変形し易くなるように片持ち状に支持された直径0.1mm以下の例えば直径0.06〜0.08mmの線材により形成されたワイヤ16とされているので、微小な加速度が加わった場合でも、このワイヤ16がマグネット18の重量で容易に変形してマグネット18が変位する。
この為、マグネット18の両端面18B間を繋ぐ外周面18Cとマグネット18の何れかの端面18Bとが交わるこのマグネット18の角部18Dの近傍位置が磁束方向の変化の特に大きい箇所になるので、この箇所に配置された感応部21Aが、マグネット18の変位に伴う磁束方向の変化を検出する。さらに、同じく磁束方向の変化が特に大きい位置となる磁極が存在するマグネット18の上側の端面18Bの中心部分と対向する位置に配置された感応部22Aが、感応部21Aにより検出される磁束方向の変化と異なる方向の磁束方向の変化をマグネット18の変位に伴って検出する。
以上より、本実施の形態によれば、ケース12に単にマグネット18、ワイヤ16及び2つのスピンバルブ型GMR素子21、22等を取り付けるのみの簡単な構造の加速度センサ10により、それぞれ磁束方向の変化の形で、2方向の加速度を検出できるようになる。この為、加速度センサ10を小型化できると共に低コストで製作できるだけでなく、この加速度センサ10により小さな加速度を2軸方向に沿ってそれぞれ検出可能になる。
尚、上記実施の形態において、加速度を2軸方向に沿ってそれぞれ検出するようにしたが、2つのスピンバルブ型GMR素子21、22の内のいずれか一方のスピンバルブ型GMR素子のみを用いた構造として、1軸方向に沿った加速度のみを検出するようにしても良い。また、上記実施の形態において磁化方向感応素子をスピンバルブ型GMR素子としたが、超格子型GMR素子又はグラニュラ型GMR素子等の磁化方向検出素子を採用しても同様である。
10 加速度センサ
16 ワイヤ(弾性部材)
21 スピンバルブ型GMR素子
21A 感応部(第1の磁化方向感応素子)
22 スピンバルブ型GMR素子
22A 感応部(第2の磁化方向感応素子)
16 ワイヤ(弾性部材)
21 スピンバルブ型GMR素子
21A 感応部(第1の磁化方向感応素子)
22 スピンバルブ型GMR素子
22A 感応部(第2の磁化方向感応素子)
Claims (7)
- 両端部にそれぞれ磁極を有するマグネットと、
このマグネットが弾性変形に伴って変位し得る位置に取り付けられた弾性部材と、
両端部間を繋ぐ面と何れかの端部とが交わるマグネットの部分の近傍に配置される磁化方向感応素子と、
を有したことを特徴とする加速度センサ。 - 弾性部材が、片持ち状に支持された線材とされることを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。
- 両端部にそれぞれ磁極を有するマグネットと、
このマグネットが弾性変形に伴って変位し得る位置に取り付けられた弾性部材と、
このマグネットの何れかの端部の中心部分と対向して配置される磁化方向感応素子と、
を有したことを特徴とする加速度センサ。 - 弾性部材が、片持ち状に支持された線材とされることを特徴とする請求項3記載の加速度センサ。
- 両端部にそれぞれ磁極を有するマグネットと、
このマグネットが弾性変形に伴って変位し得る位置に取り付けられた弾性部材と、
両端部間を繋ぐ面と何れかの端部とが交わるマグネットの部分の近傍に配置される第1の磁化方向感応素子と、
このマグネットの何れかの端部の中心部分と対向して配置される第2の磁化方向感応素子と、
を有したことを特徴とする加速度センサ。 - 弾性部材が、片持ち状に支持された線材とされることを特徴とする請求項5記載の加速度センサ。
- 磁化方向感応素子が、スピンバルブ型GMR素子の感応部とされたことを特徴とする請求項1から請求項6の何れかに記載の加速度センサ。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007033309A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Shinka Jitsugyo Kk | 加速度センサ及びこれを装備したハードディスクドライブ並びに加速度計測方法 |
EP1997864A1 (en) | 2007-05-18 | 2008-12-03 | FUJIFILM Corporation | Organic electroluminescent deivce |
-
2003
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