JP4618424B2 - 傾斜センサ - Google Patents
傾斜センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4618424B2 JP4618424B2 JP2005124398A JP2005124398A JP4618424B2 JP 4618424 B2 JP4618424 B2 JP 4618424B2 JP 2005124398 A JP2005124398 A JP 2005124398A JP 2005124398 A JP2005124398 A JP 2005124398A JP 4618424 B2 JP4618424 B2 JP 4618424B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- support
- sensitive element
- magnetic
- inclination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
支持体と、
前記支持体に固定されていて前記支持体と一体となって機能する磁場方向感応素子と、
前記支持体に回転自在に軸支されていて前記支持体の傾斜に伴い前記支持体との相対的位置関係が変化する磁場発生手段と、を備え、
前記磁場発生手段は、少なくとも2個の磁場発生体を前記支持体に対する相対回転の中心が間に位置するように異極対向させたものであり、
前記磁場方向感応素子は、磁化方向が一方向に固定されたピン層と、磁化方向が外部磁場方向に一致するフリー層とを有し、ピン層磁化方向とフリー層磁化方向とがなす角度により抵抗値が変化するものであって、前記少なくとも2個の磁場発生体の間の中間位置に配置され、
前記支持体に傾きが無いとき、前記磁場方向感応素子のピン層磁化方向が、前記少なくとも2個の磁場発生体による前記磁場方向感応素子への印加磁場方向と、前記相対回転の軸方向との双方に対して垂直であり、
前記支持体の傾斜に伴い前記磁場方向感応素子の抵抗値が変化することを特徴としている。
前記磁場方向感応素子の感磁面は、前記相対回転の軸方向と垂直であり、
前記少なくとも2個の磁場発生体は、前記相対回転の中心について対称な配置であるとよい。
特許文献1〜3のようなセンサ素子が磁束密度検出型の場合、素子面を磁束が貫くように構成する必要があり、センサ素子、磁石と積み上げる構造となり、薄型化困難である。これに対し、本発明の場合、磁場方向感応素子をセンサ素子としているため、素子面に平行な磁場方向変化を得るように構成可能であり、略平行面上での組立が可能で、薄型化が容易である。
特許文献1〜3の場合、いわゆるデジタル的検知であり、傾斜と非傾斜の判別、あるいは右傾斜、左傾斜、非傾斜の判別しかできない。これに対し、本発明の場合、デジタル的検知及びアナログ的検知(傾斜角度の検知)の両方が可能である。デジタル的検知でよければ、組立精度はラフでよい。
特許文献3のように端部にセンサ素子を設けた場合には、磁石による衝撃負荷は大きい(素子面に垂直負荷)。これに対し、本発明の場合、衝撃負荷を受ける構成は必要ない(素子面に平行負荷)。
特許文献1〜3の場合、アナログ検知不可であり、3値デジタル検知(右傾斜、左傾斜、非傾斜の検知)はセンサ素子が2個必要である。これに対し、本発明の場合、1個の磁場方向感応素子でアナログ的あるいは3値デジタル検知が可能である。
特許文献1〜3のようなセンサ素子が磁束密度検出型の場合、磁石劣化による磁束密度変化に起因してセンサ出力に経時変化が発生する。これに対し、本発明の場合、経時変化により磁束密度が変化しても、特性に影響はない。
(5) 可動体20による振り子構造であり、衝撃負荷を受ける構成ではなく、衝撃によるSV−GMR素子30等の劣化は無い。つまり、傾斜センサの耐衝撃性を劣化させない構成である。
2 本体
3 蓋
4 収納空間
20,27 可動体
21 ピン
22,23,42,43 永久磁石
30 SV−GMR素子
31 ピン層
32 非磁性層
33 フリー層
45,46 ヨーク
52,53 塗布型磁性体
62,63 薄膜磁性体
Claims (5)
- 支持体と、
前記支持体に固定されていて前記支持体と一体となって機能する磁場方向感応素子と、
前記支持体に回転自在に軸支されていて前記支持体の傾斜に伴い前記支持体との相対的位置関係が変化する磁場発生手段と、を備え、
前記磁場発生手段は、少なくとも2個の磁場発生体を前記支持体に対する相対回転の中心が間に位置するように異極対向させたものであり、
前記磁場方向感応素子は、磁化方向が一方向に固定されたピン層と、磁化方向が外部磁場方向に一致するフリー層とを有し、ピン層磁化方向とフリー層磁化方向とがなす角度により抵抗値が変化するものであって、前記少なくとも2個の磁場発生体の間の中間位置に配置され、
前記支持体に傾きが無いとき、前記磁場方向感応素子のピン層磁化方向が、前記少なくとも2個の磁場発生体による前記磁場方向感応素子への印加磁場方向と、前記相対回転の軸方向との双方に対して垂直であり、
前記支持体の傾斜に伴い前記磁場方向感応素子の抵抗値が変化することを特徴とする傾斜センサ。 - 前記磁場方向感応素子の感磁面は、前記相対回転の軸方向と垂直であり、
前記少なくとも2個の磁場発生体は、前記相対回転の中心について対称な配置である請求項1記載の傾斜センサ。 - 前記少なくとも2個の磁場発生体の前記異極対向された面の反対側の面にヨークを配置したことを特徴とする請求項1又は2記載の傾斜センサ。
- 前記支持体の傾斜に伴う磁束方向の変化により、前記磁場方向感応素子の特性値が直線的に変化する向きに前記磁場方向感応素子を配置したことを特徴とする請求項1,2又は3記載の傾斜センサ。
- 前記磁場発生手段が備える磁場発生体は、永久磁石、磁化された塗布型磁性体又は磁化された薄膜磁性体であることを特徴とする請求項1,2,3又は4記載の傾斜センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005124398A JP4618424B2 (ja) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | 傾斜センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005124398A JP4618424B2 (ja) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | 傾斜センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006300789A JP2006300789A (ja) | 2006-11-02 |
JP4618424B2 true JP4618424B2 (ja) | 2011-01-26 |
Family
ID=37469246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005124398A Expired - Fee Related JP4618424B2 (ja) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | 傾斜センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4618424B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101594039B1 (ko) * | 2014-03-24 | 2016-02-16 | (주)새한나노텍 | 마그네틱 액츄에이터를 구비한 롤러 수평 측정 장치 |
KR101649823B1 (ko) * | 2015-05-26 | 2016-08-22 | (주)새한나노텍 | 임프린트 롤러의 자동 수평 조절장치 |
CN115096264B (zh) * | 2022-07-25 | 2023-01-13 | 昆明理工大学 | 一种新型全向倾角传感器及其使用方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5847710U (ja) * | 1981-09-28 | 1983-03-31 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 回転角検出装置 |
JPS58132611A (ja) * | 1982-02-03 | 1983-08-08 | Kaneko Keisoku Kogyo Kk | 傾斜角検出器 |
JPS61148320A (ja) * | 1984-12-22 | 1986-07-07 | Jeco Co Ltd | 傾斜角検知器 |
JPH01110210A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-26 | Nippon Autom:Kk | 傾斜角度センサ |
JPH01307615A (ja) * | 1988-06-06 | 1989-12-12 | Nippon Autom Kk | 傾斜角度センサ |
JPH03233317A (ja) * | 1990-02-08 | 1991-10-17 | Mitsubishi Electric Corp | 回転角度センサ |
JPH05203402A (ja) * | 1992-01-23 | 1993-08-10 | Mitsubishi Electric Corp | 回転変位検出装置 |
JPH10122857A (ja) * | 1996-10-24 | 1998-05-15 | Sony Corp | 傾斜角センサおよびそれを用いた電子表示式水平インジケータ付き撮像装置 |
-
2005
- 2005-04-22 JP JP2005124398A patent/JP4618424B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5847710U (ja) * | 1981-09-28 | 1983-03-31 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 回転角検出装置 |
JPS58132611A (ja) * | 1982-02-03 | 1983-08-08 | Kaneko Keisoku Kogyo Kk | 傾斜角検出器 |
JPS61148320A (ja) * | 1984-12-22 | 1986-07-07 | Jeco Co Ltd | 傾斜角検知器 |
JPH01110210A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-26 | Nippon Autom:Kk | 傾斜角度センサ |
JPH01307615A (ja) * | 1988-06-06 | 1989-12-12 | Nippon Autom Kk | 傾斜角度センサ |
JPH03233317A (ja) * | 1990-02-08 | 1991-10-17 | Mitsubishi Electric Corp | 回転角度センサ |
JPH05203402A (ja) * | 1992-01-23 | 1993-08-10 | Mitsubishi Electric Corp | 回転変位検出装置 |
JPH10122857A (ja) * | 1996-10-24 | 1998-05-15 | Sony Corp | 傾斜角センサおよびそれを用いた電子表示式水平インジケータ付き撮像装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006300789A (ja) | 2006-11-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100483135C (zh) | 加速度传感器 | |
US7444871B2 (en) | Acceleration sensor and magnetic disk drive apparatus | |
US7523664B2 (en) | Acceleration sensor and magnetic disk drive apparatus | |
US20050198846A1 (en) | Tilt sensor | |
US7444872B2 (en) | Acceleration sensor and magnetic disk drive apparatus | |
JP4114677B2 (ja) | 角度スイッチセンサ | |
JP4618424B2 (ja) | 傾斜センサ | |
JP4033183B2 (ja) | 傾斜センサ | |
US20080204002A1 (en) | Inclination sensor | |
US7543498B2 (en) | Spring member for acceleration sensor, acceleration sensor and magnetic disk drive apparatus | |
US7403352B2 (en) | Acceleration sensor and magnetic disk drive apparatus | |
JP4331630B2 (ja) | 磁気センサ | |
WO2011125234A1 (ja) | 磁束検知センサ | |
JPWO2007113939A1 (ja) | 磁気検出回路とこれを用いた磁気センサおよびこれらを用いた磁性体球の位置検出装置と縦横検知センサ | |
JP4327570B2 (ja) | 磁気センサユニット | |
JP4526182B2 (ja) | 磁気センサユニット | |
JP2005114641A (ja) | 加速度センサ | |
JP5139190B2 (ja) | 磁気スイッチ | |
JP2009258042A (ja) | 回転検出装置 | |
JP4404364B2 (ja) | 磁気式加速度センサを用いた小型の加速度地磁気検出装置 | |
JP5104845B2 (ja) | 回転センサ | |
JP2006126059A (ja) | 傾斜センサ | |
JP2005172723A (ja) | 回転検出機構及び画像表示部付き装置 | |
JP2005069963A (ja) | 加速度センサ | |
JP2001201310A (ja) | 回転検出装置及び回転検出装置を有するレンズ鏡筒 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100506 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100702 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100929 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101012 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131105 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4618424 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |