JPS58132611A - 傾斜角検出器 - Google Patents
傾斜角検出器Info
- Publication number
- JPS58132611A JPS58132611A JP1566882A JP1566882A JPS58132611A JP S58132611 A JPS58132611 A JP S58132611A JP 1566882 A JP1566882 A JP 1566882A JP 1566882 A JP1566882 A JP 1566882A JP S58132611 A JPS58132611 A JP S58132611A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic field
- bias
- rotating body
- inclination angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C9/00—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
- G01C9/02—Details
- G01C9/06—Electric or photoelectric indication or reading means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は傾斜角を検出する傾斜角検出器に関するもの
である。
である。
傾斜角を検出しようとする面に対して筐体に設けた傾斜
角測定面を接するようにして載置することによシ筐体内
に設けられ地球の重力に感応して回路する回動体を回動
させ、この回動体の被＃ｊ定傾斜角に対応し九筐体との
相互的な回動角を検出して傾斜角を測定する傾斜角検出
器が使用されている。
角測定面を接するようにして載置することによシ筐体内
に設けられ地球の重力に感応して回路する回動体を回動
させ、この回動体の被＃ｊ定傾斜角に対応し九筐体との
相互的な回動角を検出して傾斜角を測定する傾斜角検出
器が使用されている。
従来のこの樵の傾斜角検出器においては、回動体の回動
角を回動体に係合するように配設した差動トクンスや板
ばねのたわみ量で作動する歪みゲージで検出し、被測定
面の傾斜角に対応した電気出力信号を得て、傾斜角の測
定を行なっていた。
角を回動体に係合するように配設した差動トクンスや板
ばねのたわみ量で作動する歪みゲージで検出し、被測定
面の傾斜角に対応した電気出力信号を得て、傾斜角の測
定を行なっていた。
しかしこれらの従来使用さ、れている傾斜角検出器鉱そ
の構造が豪雑となシ、装置が大型化し測定に際しての調
整作業が必要であシ、又その製造費用も高張るという難
点を有していた。
の構造が豪雑となシ、装置が大型化し測定に際しての調
整作業が必要であシ、又その製造費用も高張るという難
点を有していた。
この発明は上述の従来使用されている装ＷｔＫおける諸
難点を解決し、装置の小型化が可能でその構造も簡単化
されて製造費用を大幅に低減させ得ると共に、高精度の
傾斜角検出が簡単な操作で行ない得る傾斜角検出器を提
供するものである。
難点を解決し、装置の小型化が可能でその構造も簡単化
されて製造費用を大幅に低減させ得ると共に、高精度の
傾斜角検出が簡単な操作で行ない得る傾斜角検出器を提
供するものである。
以下、この発明の傾斜角検出器をその実施例に基づき図
面を使用して詳細に説明する。
面を使用して詳細に説明する。
第１図及び第２図はこの発明の傾斜角検出器の実施例の
構成を示すもので、−面が開放面とされた１１ ’ｆ長
方体筒状の筐体１１が例えば金属材で形成される。この
筐体１１の開放面側はバッキング１２を介して例えばエ
ポキシ樹脂材の蓋体１３によシ、閉基可能な構造となっ
ている。この蓋体１３の１体１１の閉塞時において筐体
１１内に位置する板面のはｙ中央位置に軸受体１４が固
定して取り付けられる。この軸受体１４にＦｉａ体１１
の長手方向に対する側板の板面に直角な方向に回動軸１
５が保持される。
構成を示すもので、−面が開放面とされた１１ ’ｆ長
方体筒状の筐体１１が例えば金属材で形成される。この
筐体１１の開放面側はバッキング１２を介して例えばエ
ポキシ樹脂材の蓋体１３によシ、閉基可能な構造となっ
ている。この蓋体１３の１体１１の閉塞時において筐体
１１内に位置する板面のはｙ中央位置に軸受体１４が固
定して取り付けられる。この軸受体１４にＦｉａ体１１
の長手方向に対する側板の板面に直角な方向に回動軸１
５が保持される。
この回動軸１５の８シに回動自在に回動体１６が取シ付
けられる。実施例ははｙ長方体状の回動体１６の長手方
向の一つの端板の中央部分が端板に直角に突出形成され
て、突出体１７とされ、この突出体１７部分で回動体１
６が回動軸１５に対して取シ付けられたものである。回
動体１６は例えば合成樹脂材内に金属重錘が埋め込まれ
、所定の重量と回動時の安定性を維持するような形状構
造に形成されている。
けられる。実施例ははｙ長方体状の回動体１６の長手方
向の一つの端板の中央部分が端板に直角に突出形成され
て、突出体１７とされ、この突出体１７部分で回動体１
６が回動軸１５に対して取シ付けられたものである。回
動体１６は例えば合成樹脂材内に金属重錘が埋め込まれ
、所定の重量と回動時の安定性を維持するような形状構
造に形成されている。
軸受体１４に対してベアリング２０−１．２０−２が装
着され、このベアリング２０−１．２０−２に対して回
動軸１５が同勢自在に保持され、との回動軸１５に対し
て回動体１６の突出体１７が固定されている。
着され、このベアリング２０−１．２０−２に対して回
動軸１５が同勢自在に保持され、との回動軸１５に対し
て回動体１６の突出体１７が固定されている。
回動体１６の突出体１７が形成されている端板に対向す
る端板近傍において回動体１６の全側周板を囲むようＫ
して緩衝用ゴム体２１が固定装着されている。１体１１
の蓋体１３が取シ付けられる開放面に対向する底板１１
−Ｂ上に長手軸方向に沿ってはｙコ字状の衝撃防止体２
２が例えばゴム材で形成され配設されている。実施例に
おいてはこの底板１１−Ｂが傾斜角測定面とされた構造
となっている。この衝撃防止体２２の１体１１の長手方
向の端板は回動体１６のそれぞれの方向に対する最大回
動角位置において、回動体１６に取シ付けられた緩衝用
ゴム体２１の端部と当接し、筐体１１内での回動体１６
のそれ以上の回動を防止する。
る端板近傍において回動体１６の全側周板を囲むようＫ
して緩衝用ゴム体２１が固定装着されている。１体１１
の蓋体１３が取シ付けられる開放面に対向する底板１１
−Ｂ上に長手軸方向に沿ってはｙコ字状の衝撃防止体２
２が例えばゴム材で形成され配設されている。実施例に
おいてはこの底板１１−Ｂが傾斜角測定面とされた構造
となっている。この衝撃防止体２２の１体１１の長手方
向の端板は回動体１６のそれぞれの方向に対する最大回
動角位置において、回動体１６に取シ付けられた緩衝用
ゴム体２１の端部と当接し、筐体１１内での回動体１６
のそれ以上の回動を防止する。
蓋体１３のはソ中央位置で突出体１７と反対側の端部に
近く、支持柱２３−１．２３−２が固定して取り付けら
れ、これらの支持柱２３−１．，２３−２にわたって支
持板２５が固定保持される。この、支持板２５の中央位
置に磁気抵抗素子２６が固定して取り付けられる。
近く、支持柱２３−１．２３−２が固定して取り付けら
れ、これらの支持柱２３−１．，２３−２にわたって支
持板２５が固定保持される。この、支持板２５の中央位
置に磁気抵抗素子２６が固定して取り付けられる。
回動体１６のこの磁気抵抗素子２６と対向する位置にお
いて、回動体１６に永久磁石３ｏが埋め込み固定されて
いる。又永久磁石３０と磁気抵抗素子２６間距離は所定
値に保持され、回動体１６の平衡位置において永久磁石
３０、の磁界が磁気抵抗素子２６に対してその対向面に
直角に鎖交するように構成されている。
いて、回動体１６に永久磁石３ｏが埋め込み固定されて
いる。又永久磁石３０と磁気抵抗素子２６間距離は所定
値に保持され、回動体１６の平衡位置において永久磁石
３０、の磁界が磁気抵抗素子２６に対してその対向面に
直角に鎖交するように構成されている。
匣体１１内で蓋体１３に対して温度補償用のサーミスタ
ー３１−１．３１−２が固定して取）付けられ、これら
のサーミスター３１−１．３１−２及、び磁気抵抗素子
２６の配線用取出端子が図示していないが嚢体１３次面
に配設され・ている。又筐体ｌｌ内において回動体１６
の＃Ａシに回動体１６の制動及び薦動衝撃の緩和のため
に制動体としてシリコンオイル１９が充積されている。
ー３１−１．３１−２が固定して取）付けられ、これら
のサーミスター３１−１．３１−２及、び磁気抵抗素子
２６の配線用取出端子が図示していないが嚢体１３次面
に配設され・ている。又筐体ｌｌ内において回動体１６
の＃Ａシに回動体１６の制動及び薦動衝撃の緩和のため
に制動体としてシリコンオイル１９が充積されている。
磁気抵抗素子２６は原理的には例えばセラミック基台上
にＮｉ−Ｃｏ合金の薄膜で第３図に示すような互に抵抗
配列方向を直交させた第１．第２の磁気抵抗素子部２６
−１．．２６−２か、らなるパターンが形成されてい丸
ものである。この磁気抵抗素子に対して第１の磁気抵抗
素子２６−１の抵抗配列方向に対して角度θで磁界Ｈが
印加、された時の第１及び第２の磁気抵抗素子２６−１
． 、２６−２の抵抗値をそれぞれＲＡ（θ）、ＲＢ（
θ）とすると、Ｖｏｉｇｈｔ Ｔｈｏｍｓｏｎの式とし
て次式が与えられる。
にＮｉ−Ｃｏ合金の薄膜で第３図に示すような互に抵抗
配列方向を直交させた第１．第２の磁気抵抗素子部２６
−１．．２６−２か、らなるパターンが形成されてい丸
ものである。この磁気抵抗素子に対して第１の磁気抵抗
素子２６−１の抵抗配列方向に対して角度θで磁界Ｈが
印加、された時の第１及び第２の磁気抵抗素子２６−１
． 、２６−２の抵抗値をそれぞれＲＡ（θ）、ＲＢ（
θ）とすると、Ｖｏｉｇｈｔ Ｔｈｏｍｓｏｎの式とし
て次式が与えられる。
ＲＡ（θ）；５６ｍ ” ａ −１−１２Ｈａ ”θ
（１）ＲＢ（θ）＝ρ１♂θ＋ρ−♂θ
（２）但し、ｐＨは磁界の方向がパター
ンと平行になう走時の全体の抵抗値、又ρａｔｉｆｆｉ
界の方向がパターンと直交し走時の抵抗値である。
（１）ＲＢ（θ）＝ρ１♂θ＋ρ−♂θ
（２）但し、ｐＨは磁界の方向がパター
ンと平行になう走時の全体の抵抗値、又ρａｔｉｆｆｉ
界の方向がパターンと直交し走時の抵抗値である。
端子ｔ、ｒ、ｔａ間に電圧Ｖｃｃを印加し、端子を切為
ら出力Ｖ・を取り出すとＫを定数としてその値は次式で
与えられる。
ら出力Ｖ・を取り出すとＫを定数としてその値は次式で
与えられる。
Ｖ（＋＝（−Ｌ−Ｋａ２θ）Ｍａｃ （３
）又、全体の抵抗ＲＴ（＃）を求めると一〇を磁界が４
５の時の抵抗値として次式が得られる。
）又、全体の抵抗ＲＴ（＃）を求めると一〇を磁界が４
５の時の抵抗値として次式が得られる。
８丁（θ）＝Ｒム（θ）＋Ｒｍ（θ）
まρ＾＋ρｇ＝２ρｏ（４）
出力電圧ＶｏＫ対する磁界Ｈの角度θの依存性は例えば
磁界Ｈ＝２０００・として第４図に示すようになる。
磁界Ｈ＝２０００・として第４図に示すようになる。
ｆ２＞ 、 １３）式及び第４図から明らかなように、
この磁気抵抗素子によると、磁界Ｈの１回転で２周期の
出力が得られる。又全抵抗が一定であるのでブリッジ構
成にした場合など同相ノイズクロストーク等の点で特性
上有利である。
この磁気抵抗素子によると、磁界Ｈの１回転で２周期の
出力が得られる。又全抵抗が一定であるのでブリッジ構
成にした場合など同相ノイズクロストーク等の点で特性
上有利である。
実際ＫＦｉｆｆｉ気抵抗素子をブリッジに組んだ構成で
、且つバイアスマグネット、によりバイアスが付された
構造のものをこの発明においては使用する。
、且つバイアスマグネット、によりバイアスが付された
構造のものをこの発明においては使用する。
−気抵抗素子に与えられるバイアスをＨｍとすると第５
図に示すように１このバイアスＨｍａ図示シテいないバ
イアスマグネットにより磁気抵抗素子２６に対して★体
１３の板面に直角な方向に与えられている。
図に示すように１このバイアスＨｍａ図示シテいないバ
イアスマグネットにより磁気抵抗素子２６に対して★体
１３の板面に直角な方向に与えられている。
傾斜角検出器の傾斜角測定面を被測定傾斜角に接して被
測定面上に傾斜角検出器を載置すると、例えば被測定角
ａ１．θ重に対応して磁気抵抗素子２６と永久磁石３０
との相対角度は第５図のθｌ。
測定面上に傾斜角検出器を載置すると、例えば被測定角
ａ１．θ重に対応して磁気抵抗素子２６と永久磁石３０
との相対角度は第５図のθｌ。
θ意に示すような位置をとる。傾斜角θ１の測定時にお
いてはバイアスＨｍと永久磁石３０の磁界Ｈ・との合成
磁界はＨｌに示すようになり、傾斜角θ黛の測定時にお
いてはこの合成磁界はＨｌに示すようになる。
いてはバイアスＨｍと永久磁石３０の磁界Ｈ・との合成
磁界はＨｌに示すようになり、傾斜角θ黛の測定時にお
いてはこの合成磁界はＨｌに示すようになる。
従って水平面を中心にして角度ａ１からθ霊の範囲での
傾斜角を測定すると、傾斜角検出器の磁気抵抗素子２６
と鎖交する磁界は水平面を中心として角度■１から■冨
の範囲で変化する。
傾斜角を測定すると、傾斜角検出器の磁気抵抗素子２６
と鎖交する磁界は水平面を中心として角度■１から■冨
の範囲で変化する。
このようＫして第６図に示すように水平面位置を中心に
して角度■ｌ〜■黛の範囲を磁界角ＦｉＩＬθ対出力Ｖ
ｏＯ＠性曲線の直線部分に選定しておけば、この範囲で
極めて直線性のよい検出を行なわせることが可能となる
。
して角度■ｌ〜■黛の範囲を磁界角ＦｉＩＬθ対出力Ｖ
ｏＯ＠性曲線の直線部分に選定しておけば、この範囲で
極めて直線性のよい検出を行なわせることが可能となる
。
第７図に示すように磁気抵抗素子２６はブリッジ構成と
され、その出力端子に増幅器４ｏが接続される。磁気抵
抗素子２６と鎖交する磁界方向が被測定傾斜角に応じて
変化すると、その変化に対応した検知信号が増幅器４０
の出力端子に得られる。この検知信号は増幅器４１の一
つの入力端子に与えられる。増幅器４１の他の入力端子
には可変抵抗器４２の摺動端子が接続され、この可変抵
抗器４２の一端に祉バイアス電圧が与えられ、他端はサ
ーミスター３１−１を介して接地される。
され、その出力端子に増幅器４ｏが接続される。磁気抵
抗素子２６と鎖交する磁界方向が被測定傾斜角に応じて
変化すると、その変化に対応した検知信号が増幅器４０
の出力端子に得られる。この検知信号は増幅器４１の一
つの入力端子に与えられる。増幅器４１の他の入力端子
には可変抵抗器４２の摺動端子が接続され、この可変抵
抗器４２の一端に祉バイアス電圧が与えられ、他端はサ
ーミスター３１−１を介して接地される。
増幅器４１の出力端子にはサーミスター３１−２の一端
が接続され、このサーミスター３１−２の他端は可変抵
抗器４３を介して接地されている。可変抵抗器４３の摺
動端子がＡＤコン貝−夕４４の入力熾に接続されている
ので、増幅器４１の出力端子に得られる増幅され基準レ
ベルが補正された恢知信号が得られ、−この検知信号が
温度補償されスパン−整された状態でＡＤｆｆンバータ
４４に４見られることになる。ＡＤコンバータ４４にお
いて検知信号はディジタル信号に変換され、表示装置４
５に与えられてこの発明の傾斜角検出器で検出された被
測定面の傾斜角に対して例えば液晶によるディジタル表
示が行なわれる。
が接続され、このサーミスター３１−２の他端は可変抵
抗器４３を介して接地されている。可変抵抗器４３の摺
動端子がＡＤコン貝−夕４４の入力熾に接続されている
ので、増幅器４１の出力端子に得られる増幅され基準レ
ベルが補正された恢知信号が得られ、−この検知信号が
温度補償されスパン−整された状態でＡＤｆｆンバータ
４４に４見られることになる。ＡＤコンバータ４４にお
いて検知信号はディジタル信号に変換され、表示装置４
５に与えられてこの発明の傾斜角検出器で検出された被
測定面の傾斜角に対して例えば液晶によるディジタル表
示が行なわれる。
この発明の傾斜角検出器は装置全体が小型化され、回動
体１６以外に可動部がなく、構造上も極めて藝固であシ
、部品点数も少なく製作費用も大幅に低減し得る。被測
定傾斜面も広い傾斜角範囲に設定することができて、そ
の検出精度も高く検出感度及びその直線性が優れ、簡単
な測定操作で迅速に精度の優れた傾斜角の測定を行なう
ことが可能となる。
体１６以外に可動部がなく、構造上も極めて藝固であシ
、部品点数も少なく製作費用も大幅に低減し得る。被測
定傾斜面も広い傾斜角範囲に設定することができて、そ
の検出精度も高く検出感度及びその直線性が優れ、簡単
な測定操作で迅速に精度の優れた傾斜角の測定を行なう
ことが可能となる。
以上詳細に説明したように１ この発明によると全体形
状が小型化され製作費用も大幅に低減可能で、その測定
操作が簡単でｉｂ迅速に高精度の傾斜角測定を行なって
その結果を数値表示可能な傾斜角検出器を提供すること
ができる。
状が小型化され製作費用も大幅に低減可能で、その測定
操作が簡単でｉｂ迅速に高精度の傾斜角測定を行なって
その結果を数値表示可能な傾斜角検出器を提供すること
ができる。
第１図及び第２図はこの発明の傾斜角検出器の実施例の
構成を示すそれぞれ一部切開正面図、及び一部切開側面
図、第３図はこの発明の傾斜角検出器に使用する磁気抵
抗素子の構成を示す原理図、第４図はこの発明の傾斜角
検出器に使用する磁気抵抗素子の磁界角度と出力電圧の
関係を示す図、第５図はこの発明の傾斜角検出器の実施
例の動作原理を示す図、第６図はこの発明の傾斜角検出
器の実施例の磁界角度と出力電圧の関係を示す図、第７
図はこの発明の傾斜角検出器を用いた傾斜角構出装置の
構成を示す図である。 １１：１体、１１−Ｂ：傾斜角測定面、１３：蓋体、１
４：軸受体、１５：回動軸、１６：回動体、１９：シリ
コンオイル、２５：支持板、２６：磁気抵抗素子、３０
：永久磁石、３１−１．３１−２：サーミスター、４０
，４１：増幅器、４２．４３：可変抵抗器、４４：ＡＤ
コンバータ、４５：表示装置。 特許出願人 力ネコ計測工業株式会社代理人 草野
卓 オ １ 図 第２ 図 オ ３ （￥１
構成を示すそれぞれ一部切開正面図、及び一部切開側面
図、第３図はこの発明の傾斜角検出器に使用する磁気抵
抗素子の構成を示す原理図、第４図はこの発明の傾斜角
検出器に使用する磁気抵抗素子の磁界角度と出力電圧の
関係を示す図、第５図はこの発明の傾斜角検出器の実施
例の動作原理を示す図、第６図はこの発明の傾斜角検出
器の実施例の磁界角度と出力電圧の関係を示す図、第７
図はこの発明の傾斜角検出器を用いた傾斜角構出装置の
構成を示す図である。 １１：１体、１１−Ｂ：傾斜角測定面、１３：蓋体、１
４：軸受体、１５：回動軸、１６：回動体、１９：シリ
コンオイル、２５：支持板、２６：磁気抵抗素子、３０
：永久磁石、３１−１．３１−２：サーミスター、４０
，４１：増幅器、４２．４３：可変抵抗器、４４：ＡＤ
コンバータ、４５：表示装置。 特許出願人 力ネコ計測工業株式会社代理人 草野
卓 オ １ 図 第２ 図 オ ３ （￥１
Claims (1)
- ＋１１ 一端板に傾斜角測定面が設けられ九筺体と、こ
の筐体内に設けられた回動輪に＊夛付けられ、前に２傾
斜角測定面に沿う面内において回動自在に配設される回
動体と、前記筐体内において前記回動体に対向して固定
配設される磁気抵抗素子と、前記筐体内で前記磁気抵抗
素子に対向した位置において前記回動体に固定して取シ
付けられ、前記１０Ｊ動体の回動に応じて前記磁気抵抗
素子に対する鎖交磁界が変化する永久磁石と、前記筐体
内において前記回動体のｍｂに充填される制動材とを有
することを特徴とする傾斜角検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1566882A JPS58132611A (ja) | 1982-02-03 | 1982-02-03 | 傾斜角検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1566882A JPS58132611A (ja) | 1982-02-03 | 1982-02-03 | 傾斜角検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58132611A true JPS58132611A (ja) | 1983-08-08 |
| JPS6367123B2 JPS6367123B2 (ja) | 1988-12-23 |
Family
ID=11895117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1566882A Granted JPS58132611A (ja) | 1982-02-03 | 1982-02-03 | 傾斜角検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58132611A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006126059A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Tdk Corp | 傾斜センサ |
| JP2006300789A (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Tdk Corp | 傾斜センサ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5750009U (ja) * | 1980-09-05 | 1982-03-20 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52135076A (en) * | 1976-05-07 | 1977-11-11 | Omron Tateisi Electronics Co | Photoelectric switch |
-
1982
- 1982-02-03 JP JP1566882A patent/JPS58132611A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5750009U (ja) * | 1980-09-05 | 1982-03-20 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006126059A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Tdk Corp | 傾斜センサ |
| JP2006300789A (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Tdk Corp | 傾斜センサ |
| JP4618424B2 (ja) * | 2005-04-22 | 2011-01-26 | Ｔｄｋ株式会社 | 傾斜センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6367123B2 (ja) | 1988-12-23 |
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