JP2006300789A - 傾斜センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 筐体1と、筐体1に固定されていて当該筐体1と一体となって機能する磁場方向感応素子としてのスピンバルブ型磁気抵抗効果素子30と、筐体1に可動支持されていて筐体1の傾斜に伴い筐体1との相対的位置関係が変化する可動体20と、可動体20に設けられた磁場発生手段としての永久磁石22,23とを備えている。永久磁石22,23は異極が対向する配置であり、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子30は永久磁石22,23間に配置されている。
【選択図】 図1
Description
支持体と、
前記支持体に固定されていて前記支持体と一体となって機能する磁場方向感応素子と、
前記支持体に可動支持されていて前記支持体の傾斜に伴い前記支持体との相対的位置関係が変化する磁場発生手段と、を備えることを特徴としている。
特許文献1〜3のようなセンサ素子が磁束密度検出型の場合、素子面を磁束が貫くように構成する必要があり、センサ素子、磁石と積み上げる構造となり、薄型化困難である。これに対し、本発明の場合、磁場方向感応素子をセンサ素子としているため、素子面に平行な磁場方向変化を得るように構成可能であり、略平行面上での組立が可能で、薄型化が容易である。
特許文献1〜3の場合、いわゆるデジタル的検知であり、傾斜と非傾斜の判別、あるいは右傾斜、左傾斜、非傾斜の判別しかできない。これに対し、本発明の場合、デジタル的検知及びアナログ的検知(傾斜角度の検知)の両方が可能である。デジタル的検知でよければ、組立精度はラフでよい。
特許文献3のように端部にセンサ素子を設けた場合には、磁石による衝撃負荷は大きい(素子面に垂直負荷)。これに対し、本発明の場合、衝撃負荷を受ける構成は必要ない(素子面に平行負荷)。
特許文献1〜3の場合、アナログ検知不可であり、3値デジタル検知(右傾斜、左傾斜、非傾斜の検知)はセンサ素子が2個必要である。これに対し、本発明の場合、1個の磁場方向感応素子でアナログ的あるいは3値デジタル検知が可能である。
特許文献1〜3のようなセンサ素子が磁束密度検出型の場合、磁石劣化による磁束密度変化に起因してセンサ出力に経時変化が発生する。これに対し、本発明の場合、経時変化により磁束密度が変化しても、特性に影響はない。
(5) 可動体20による振り子構造であり、衝撃負荷を受ける構成ではなく、衝撃によるSV−GMR素子30等の劣化は無い。つまり、傾斜センサの耐衝撃性を劣化させない構成である。
2 本体
3 蓋
4 収納空間
20,27 可動体
21 ピン
22,23,42,43 永久磁石
30 SV−GMR素子
31 ピン層
32 非磁性層
33 フリー層
45,46 ヨーク
52,53 塗布型磁性体
62,63 薄膜磁性体
Claims (5)
- 支持体と、
前記支持体に固定されていて前記支持体と一体となって機能する磁場方向感応素子と、
前記支持体に可動支持されていて前記支持体の傾斜に伴い前記支持体との相対的位置関係が変化する磁場発生手段と、を備えることを特徴とする傾斜センサ。 - 前記磁場発生手段は少なくとも2個の磁場発生体を異極対向させたものであり、前記磁場方向感応素子は前記少なくとも2個の磁場発生体の間の位置に配置されたことを特徴とする請求項1記載の傾斜センサ。
- 前記少なくとも2個の磁場発生体の前記異極対向された面の反対側の面にヨークを配置したことを特徴とする請求項2記載の傾斜センサ。
- 前記支持体の傾斜に伴う磁束方向の変化により、前記磁場方向感応素子の特性値が直線的に変化する向きに前記磁場方向感応素子を配置したことを特徴とする請求項1,2又は3記載の傾斜センサ。
- 前記磁場発生手段が備える磁場発生体は、永久磁石、磁化された塗布型磁性体又は磁化された薄膜磁性体であることを特徴とする請求項1,2,3又は4記載の傾斜センサ。
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