CN101123094A - 旋转式微致动器、磁头万向节组件及其制造方法 - Google Patents

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CN101123094A CNA2006101042613A CN200610104261A CN101123094A CN 101123094 A CN101123094 A CN 101123094A CN A2006101042613 A CNA2006101042613 A CN A2006101042613A CN 200610104261 A CN200610104261 A CN 200610104261A CN 101123094 A CN101123094 A CN 101123094A
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谢贻如
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  • Moving Of Heads (AREA)

Abstract

本发明公开了一种用于磁盘驱动器中的旋转式微致动器(20)，包括大致呈“S”形的框架(21)和贴附在该框架上的PZT片(28、29)，所述框架(21)具有一中央连接部(213)，用于将该微致动器连接到悬架舌部上；两片所述PZT(28、29)相对于所述中央连接部(213)呈中心对称设置，使得所述微致动器响应于施加到该两片PZT(28、29)上的驱动信号而绕该中央连接部发生扭转变形，由此可带动固接到该微致动器(20)上的磁头组件发生位移，从而对磁头组件进行精确定位。由本发明的上述结构，在微致动器(20)工作的过程中，不易引起悬架基板的共振，从而提高了磁盘驱动器的伺服带宽。

Description

旋转式微致动器、磁头万向节组件及其制造方法
技术领域
本发明涉及信息记录设备，更具体地，涉及用于磁盘驱动器单元中磁头万向节组件(head gimbal assembly，HGA)的旋转式微致动器，和制造具有该旋转式微致动器的磁头万向节组件的方法。
背景技术
随着信息技术的发展，作为信息记录设备的磁盘驱动器得到了越来越广泛的应用。磁盘驱动器使用磁记录介质来储存数据。如图1所示，是现有技术中的磁盘驱动器的内部构造图。其中附图标记10代表了绕轴线11高速旋转的磁盘，驱动臂16控制位于磁头万向节组件17末端的磁头组件(未示出)在磁盘10的表面上飞行，以使得磁头组件可在不同的磁道上进行读写操作。通常，作为主致动器的音圈电机(VCM)15用于使得安装在载架14上的驱动臂16绕支承13作旋转运动，从而对驱动臂16在磁盘10上的位置进行粗调节。
然而，由于该音圈电机具有大的惯性，从而不能对磁头组件进行快速和精细的定位。为了对磁头组件的位置进行更加精细的调节，在该驱动臂16的末端安装有磁头万向节组件17。图2a示出了公开在文献US6671131中的现有技术中的磁头万向节组件HGA 17的详细视图。图2b示出了HGA 17前端部的放大示意图。现有技术中的HGA 17包括悬架171及安装在悬架舌部的微致动器18。磁头组件19安装在微致动器18之内，在微致动器18的作用下，磁头组件19可独立于悬架171运动，从而可以比VCM 15更微小的幅度、更高的频率调整磁头组件19的位置，由此可以将磁盘的TPI(tracks per inch：每英寸磁道数)值提高50％。
由图2a和2b可见，带有磁头组件19的微致动器18安装在HGA 17的悬架171的悬架舌部(图中未示出)。图2c示出了安装在悬架舌部的微致动器18的翻转状态的立体图。该微致动器18包括由底部186、支撑部182、从该底部186和支撑部182垂直延伸的两个相对的臂部184和185组成的金属框架和分别贴附在该相对臂部外侧面的两片具有压电效应的PZT(Piezoelectric Lead Zirconate Titanate：压电锆钛酸铅)181、183。该PZT 181、183可以是陶瓷材料的，也可是薄膜PZT。由滑块和位于滑块中心的读写传感器(未示出)构成的磁头组件19安装在微致动器18的支撑部182上。通过将微致动器的底部186固定到悬架舌部而将带有磁头组件19的微致动器18安装到HGA 17上。在臂部184和185的每侧形成有三个电连接球192(GBB或SBB，即金球焊接或锡球焊接)将微致动器18通过悬架17的电缆线173而连接到悬架焊点172，类似地，位于磁头组件19前方的多个电连接球，例如四个电连接球191(GBB或SBB)将磁头组件19通过悬架电缆线173连接到悬架焊点172，从而可以通过悬架电缆线173为微致动器18和磁头组件19提供电源和施加控制信号。
如图2d所示，当通过电缆线173向贴附在微致动器臂部184和185的侧面上的PZT 181和183施加驱动信号时，PZT 181和183就会响应该驱动信号发生收缩或扩张，从而带动微致动器的臂部184和185弯曲，最终使得磁头组件19发生微小的位移，实现磁头组件精确的磁道定位。
由上述工作过程可知，现有技术中的微致动器18工作在平移模式下。即通过PZT片181和183的间歇的收缩和扩张，导致磁头组件19作间歇的摆动运动，该间歇的摆动运动会通过微致动器的底部186而在悬架舌部上施加一个反作用力F’，而该间歇作用的反作用力会导致悬架171发生共振，从而限制了磁盘驱动器HDD的性能，尤其限制了磁盘驱动器HDD的伺服带宽。
图2e示出了现有技术中PZT振动与悬架基板振动的曲线图。其中横坐标表示振动频率(kHz)，纵坐标表示振动增益(dB)。曲线121示出了PZT片的振动频率与振动增益的关系曲线；曲线122示出了悬架基板的振动频率与振动增益的关系曲线。由图中曲线可知，PZT片的振动曲线与悬架基板的振动曲线基本上是相似的，这意味着PZT片的振动会激发起悬架基板的共振。这对于精确定位磁头组件19的位置很不利。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷，本发明所要解决的技术问题是提供一种新型的微致动器，其在工作过程中不易引起悬架的振动，从而可以提高HDD的伺服带宽。
为了实现上述目的，本发明提供了这样一种旋转式微致动器，其包括框架和贴附在该框架上的PZT片，其中，所述框架具有一中央连接部，通过该中央连接部该微致动器连接到悬架舌部上；两片PZT相对于所述中央连接部呈中心对称设置，使得所述微致动器响应于施加到该两片PZT上的驱动信号而绕该中央连接部与悬架舌部之间的连接点而旋转。
由本发明的上述结构，由于所述微致动器仅通过中央连接部而固定在该悬架舌部上，而所述两片PZT关于该中央连接部对称设置，从而使得该两片PZT变形时施加在该中央连接部的反作用力相互抵消，即没有反作用力施加在悬架舌部上，因此悬架的共振得以抑制和减轻。
优选地，所述框架在其两端部还包括有端连接部，通过该端连接部将磁头组件安装到该旋转式微致动器上。磁头组件仅通过两个端连接部而叠置在该微致动器的上方，因此不会妨碍该微致动器中发生变形。
优选地，所述框架在该端连接部和该中央连接部之间，形成有关于该中央连接部呈中心对称的两个臂部，所述PZT片贴附在该臂部的外侧表面上。由于形成有该中心对称的臂部，从而便于设置该PZT片。
优选地，所述框架的该臂部在没有附装PZT片的一侧分别形成有第一切口和第二切口，所述第一切口和第二切口开口方向相反，使得整个框架大致呈“S”形。由于形成有第一切口和第二切口，从而更加有利于该臂部在该PZT片的带动下发生变形。
根据本发明的另一方面，提供了一种磁头万向节组件，包括：如上所述的旋转式微致动器；磁头组件，所述磁头组件通过设置在该微致动器两端的端连接部而连接到该旋转式微致动器上；悬架，通过将微致动器的中央连接部固定在所述悬架的悬架舌部的中央区域而将所述微致动器设置在该悬架上，使得所述磁头组件、微致动器与该悬架顺次叠置在一起，由此所述微致动器与磁头组件一起可独立于悬架而绕微致动器与悬架的连接点旋转。由于根据本发明的磁头万向节组件采用了根据本发明的旋转式微致动器，从而大大提高了其振动性能。
优选地，在所述磁头组件与所述微致动器之间、所述微致动器与该悬架舌部之间留有接合间隙。磁头组件与微致动器之间的接合间隙使得磁头组件不会干涉微致动器的变形；而悬架舌部与微致动器之间的接合间隙使得该微致动器绕该接合点旋转时，不会受到悬架的干涉而可自由地转动。
本发明的另一方面还提供了一种信息记录磁盘单元，包括：磁盘；枢转中心，所述磁盘绕该枢转中心旋转；VCM驱动臂，用于驱动磁头组件在该磁盘的表面之上移动；以及连接到所述VCM驱动臂的磁头万向节组件，用于对磁头组件进行位移微调；其中所述磁头万向节组件包括如上所述的旋转式微致动器。由于其包括所述旋转式微致动器，因此极大地提高了其伺服带宽。
进一步地，本发明还提供了一种制造磁头万向节组件的方法，包括如下步骤：提供如上所述的旋转式微致动器；将该旋转式微致动器安装在悬架舌部上；将微致动器与悬架电缆线进行电连接；将磁头组件安装在该微致动器上；将该磁头组件与悬架电缆线进行电连接。
另外一种制造磁头万向节组件的方法包括如下步骤：提供如上所述的旋转式微致动器；将磁头组件安装在该微致动器上；将该磁头组件和微致动器的组合件安装在悬架舌部上；分别将磁头组件和微致动器与悬架电缆线电连接。
上述方法进一步包括对磁头组件和/或微致动器进行测试的步骤。
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。
附图说明
图1示出了使用常规微致动器的典型磁盘驱动器的内部构造；
图2a是图1中的HGA的结构详图；
图2b是显示了图2a中的HGA的头部的局部放大视图；
图2c示出了用于HGA中的现有技术的微致动器处于翻转状态的分解视图；
图2d示出了现有技术的微致动器的工作状态；
图2e示出了现有技术中PZT片和悬架基板的振动增益与频率的关系曲线；
图3a示出了根据本发明一个实施例的旋转式微致动器的结构立体图；
图3b示出了根据本发明一个实施例的旋转式微致动器、磁头组件和悬架舌部的相对位置关系的分解示意图；
图3c示出了根据本发明一个实施例的旋转式微致动器在安装状态下的侧视图；
图4a示出了安装有根据本发明一个实施例的微致动器的HGA的示意图；
图4b示出了图4a中的HGA的局部放大视图；
图5a和图5b分别示出了根据本发明一个实施例的旋转式微致动器静止时及工作时的状态；
图6a示出了使用本发明一个实施例的旋转式微致动器时，PZT片和悬架基板的振动增益和频率的关系曲线；
图6b示出了使用本发明一个实施例的旋转式微致动器时，PZT片和悬架基板的振动相位与频率的关系曲线；
图7和图8分别示出了制造包含有根据本发明的旋转式微致动器的HGA的流程图；
图9示出了安装有根据本发明的旋转式微致动器的磁盘驱动器。
具体实施方式
在本说明书中，相同的或具有相同功能的构件具有相同的附图标记。
图3a示出了根据本发明一个实施例的旋转式微致动器20的具体结构。该微致动器由框架21和贴附在框架21上的两片PZT 28、29组成。其中，框架21由陶瓷或金属材料构成。该框架21在其两个端部包括用于承载连接磁头组件(未示出)的端连接部211和212，而在其中央部位具有一个用于连接到悬架舌部(未示出)的中央连接部213，在端连接部212和中央连接部213之间，形成有臂部214，陶瓷或薄膜PZT片29贴附在该臂部214的外侧表面上。类似地，在端连接部211和中央连接部213之间，形成有另一臂部215，陶瓷或薄膜PZT片28贴附在该臂部215的外侧表面上。由此臂部213和214相对于中央连接部213呈中心对称。当PZT片28和29响应于施加到其上的电压信号而发生拉伸与压缩的变形时，带动框架21的臂部214和215发生变形，由此形成微致动效应。
优选地，为了有利于框架21的变形，在臂部214的没有附装PZT片29的一侧形成有一个切口23，类似地，在臂部215的没有附装PZT片28的一侧形成有另一切口24。切口23和24的开口方向相反，使得整个框架2 1大致呈“S”形。通过形成切口23和24而将发生变形的部位进行了变薄处理，从而更有利于微致动器20的变形。
当然，本发明的微致动器20的框架21的结构形式并不限于上述的S形。例如该框架21也可以形成为“I”形，将PZT片绕中间臂的中心呈中心对称地设置在直线型中间臂的两侧，从而也可以实现旋转式微致动器的功能。
图3b示出了将根据本发明的微致动器20安装到悬架舌部177之前的位置关系示意图；图3c示出了安装后的侧视图。如图所示，本发明的旋转式微致动器20设置在磁头组件19和悬架舌部177之间。其中微致动器的端连接部211和212分别通过连接点31而与磁头组件19固定连接，而中央连接部213通过连接点33安装在悬架舌部177的中央区域174。并且在磁头组件19与微致动器20之间以及在微致动器20与悬架舌部之间均形成有间隙32。其中微致动器20与悬架舌部177之间的间隙32使得微致动器可以绕连接点33无摩擦地、自由地转动。而磁头组件19与微致动器20之间的间隙32确保了磁头组件19仅仅通过连接点31与微致动器20连接，使得磁头组件19可以精确地跟随端连接部211、212的变形进行位移而不受干涉。从图3c可以看出，悬架舌部177通过突起178由悬架负载梁179支撑。该支撑的结构形成是已知的，因此不再赘述。
另外，当将微致动器20安装到悬架舌部177之后，通过现有技术中的焊接方法，例如SBB(锡球焊接)或GBB(金球焊接)，而将形成在磁头组件19上的焊点193与形成在悬架舌部上的焊点176焊接连接，并将形成在微致动器20的PZT片28、29上的焊点281与形成在悬架舌部上的焊点175a和175b焊接连接。从而完成微致动器20的安装。
图4a示出了包含本发明的微致动器20的HGA 40的安装完成后的示意图。图4b示出了安装有微致动器20的HGA 40的前端的放大示意图。
下面描述根据本发明的微致动器20的工作过程。图5a和图5b分别示出了处于初始位置和处于变形位置的微致动器20和磁头组件19的俯视图。为了清楚地显示出微致动器20的变形状态，仅仅示出了磁头组件19的外轮廓线，而其它部分表示为透明的。如图5a所示，当没有电压施加在微致动器20上时，磁头组件保持在初始的未变形位置。如图5b所示，当在微致动器20的PZT片上施加驱动电压时，PZT片发生变形。由于微致动器的两片PZT绕中心连接部213呈中心对称设置，其变形带动微致动器20连同与其固连的磁头组件19绕中央连接部213旋转到20’所示的位置。由此通过使得磁头组件19绕其中心的旋转运动，而对安装在磁头组件中的读写传感器(未示出)进行精确的定位。
与现有技术的平移式(或摆动式)的微致动器相比，由于本发明旋转式微致动器的PZT片呈中心对称设置，使得作用于微致动器与悬架舌部连接点33(见图3c)的反作用力F1和F2恰好相互抵消为零，因此不会引起悬架的振动。更具体地说，如图5b所示，当位于左上方的PZT片向左侧变形时，微致动器向连接点33施加向右的反作用力F1；类似地，当位于右下方的PZT片向右侧变形时，微致动器向连接点33施加向左的反作用力F2，F1与F2方向相反，大小相等，因此作用在连接点33的反作用力相互抵消为零。因此微致动器绕连接点33的旋转运动一般不会引起悬架的共振。因此本发明的旋转式微致动器可以抑制悬架的振动，从而提高HDD的伺服带宽。
为了验证本发明微致动器的效果，本申请的发明人模拟出了PZT片振动和基板振动的振动曲线图，如图6a所示。而图6b则示出了其相位曲线。由图中曲线可知，PZT片的振动曲线402与悬架基板的振动曲线401并不相互伴随，而是间隔开的，这意味着PZT片的振动不会激发起悬架基板的共振。这非常有利于精确定位磁头组件19的位置。
图7和图8分别示出了制造根据本发明的磁头万向节组件40的方法的流程图。
如图7并结合图3b所示，该方法开始于步骤71。在步骤72，形成根据本发明的微致动器20，其中在该微致动器中，PZT片呈中心对称安装。然后该方法进行到步骤73，将该形成好的微致动器20安装到悬架舌部177上。这通过将微致动器的中央连接部213固连在悬架舌部的中央区域174上而实现。安装完成之后，在步骤74中对微致动器进行电连接，如图3b所示这通过将形成在微致动器的PZT片28、29上的焊点281焊接到形成在悬架舌部上的焊点175a和175b来实现。之后，在步骤75，将磁头组件19安装到微致动器20的顶面上。如图3c所示，这通过将磁头组件19的下表面连接到微致动器20的端连接部211和212而实现。完成磁头组件的机械安装之后，在步骤76中对磁头组件进行电连接，如图3b所示，这通过将磁头组件19上的焊点193焊接到悬架舌部上的焊点176而实现。将磁头组件19、微致动器20和悬架舌部177三者机械地和电学地连接之后，该方法进行到步骤77，完成了根据本发明的HGA 40的制造。
在另一优选的具体实施方式中，根据本发明的HGA的制造过程还进一步包括对磁头组件和微致动器的性能进行测试的步骤和对其进行可视化监测的步骤。最后还可包括对整个构件进行清洁和HAS处理的步骤。
图8示出了制造根据本发明的磁头万向节组件40的另一方法的流程图。其与图7中示出的流程图的不同之处仅在于首先将磁头组件安装到微致动器上，然后在将磁头组件和微致动器的组合件安装到悬架舌部上。因此不再赘述。
图9示出了采用本发明的磁头万向节组件HGA 40的HDD 90。它包括壳体901；容纳在所述壳体901内的磁盘902；枢转中心903，所述磁盘902在所述壳体901内绕所述枢转中心903旋转；VCM 904，用于驱动连接到所述VCM 904的HGA 40使其在磁盘902的表面之上移动。其中，所述磁头万向节组件40包括本发明的旋转式微致动器20。
尽管在上述实施例中，仅以一种优选的实施方式描述了本发明的微致动器，但是本领域的普通技术人员应当可以想见任何其它等价的结构形式，只要PZT片呈中心对称设置而使得作用于悬架的反作用力相互抵消即可。因此，可在本发明的精神和范围内构造许多不同的实施例，而不超出本发明的精神和范围。

Claims (11)

1.一种旋转式微致动器，包括框架和贴附在该框架上的PZT片，其特征在于，所述框架具有一中央连接部，该微致动器通过该中央连接部而连接到悬架舌部上；两片所述PZT相对于所述中央连接部呈中心对称地设置在所述框架上，使得所述微致动器响应于施加到该两片PZT上的驱动信号而绕该中央连接部旋转。
2.如权利要求1所述的旋转式微致动器，其特征在于，所述框架在其两端部还分别包括有端连接部，通过该端连接部将磁头组件固定安装到该旋转式微致动器上。
3.如权利要求2所述的旋转式微致动器，其特征在于，所述框架在该端连接部和该中央连接部之间，形成有关于该中央连接部呈中心对称的两个臂部，所述PZT片贴附在该臂部的外侧表面上。
4.如权利要求3所述的旋转式微致动器，其特征在于，所述框架的该臂部在没有附装PZT片的一侧分别形成有第一切口和第二切口，所述第一切口和第二切口的开口方向相反，使得整个框架大致呈“S”形。
5.一种磁头万向节组件，其特征在于，包括：
旋转式微致动器，包括框架和贴附在该框架上的PZT片，其中所述框架具有一中央连接部，该微致动器通过该中央连接部而连接到悬架舌部上；两片所述PZT相对于所述中央连接部呈中心对称地设置在所述框架上，使得所述微致动器响应于施加到该两片PZT上的驱动信号而绕该中央连接部旋转；
磁头组件，所述磁头组件通过设置在该微致动器两端的端连接部而连接到该旋转式微致动器上；
悬架，通过将微致动器的中央连接部固定在所述悬架的悬架舌部的中央区域而将所述微致动器设置在该悬架上，使得所述磁头组件、微致动器与该悬架顺次叠置在一起，由此所述微致动器与磁头组件一起可独立于悬架绕微致动器与悬架舌部的连接点旋转。
6.如权利要求5所述的磁头万向节组件，其特征在于，在所述磁头组件与所述微致动器之间、所述微致动器与该悬架舌部之间留有接合间隙。
7.一种磁盘单元，包括：
磁盘；
枢转中心，所述磁盘绕该枢转中心旋转；
VCM驱动臂，用于驱动磁头组件在该磁盘的表面之上移动；以及
连接到所述VCM驱动臂的磁头万向节组件，用于对磁头组件进行位移微调，
其特征在于所述磁头万向节组件包括旋转式微致动器，该旋转式微致动器包括框架和贴附在该框架上的PZT片，其中所述框架具有一中央连接部，该微致动器通过该中央连接部而连接到悬架舌部上；两片所述PZT相对于所述中央连接部呈中心对称地设置在所述框架上，使得所述微致动器响应于施加到该两片PZT上的驱动信号而绕该中央连接部旋转。
8.一种制造磁头万向节组件的方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供旋转式微致动器，该旋转式微致动器包括框架和贴附在该框架上的PZT片，其中所述框架具有一中央连接部，该微致动器通过该中央连接部而连接到悬架舌部上；两片所述PZT相对于所述中央连接部呈中心对称地设置在所述框架上，使得所述微致动器响应于施加到该两片PZT上的驱动信号而绕该中央连接部旋转；
通过将该中央连接部固定到该悬架舌部上而将该旋转式微致动器安装在悬架舌部上；
将该旋转式微致动器与悬架电缆线进行电连接；
将磁头组件安装在该旋转式微致动器上；
将该磁头组件与悬架电缆线进行电连接。
9.如权利要求8所述的制造磁头万向节组件的方法，其特征在于，进一步包括对磁头组件和/或该旋转式微致动器进行测试的步骤。
10.一种制造磁头万向节组件的方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供旋转式微致动器，该旋转式微致动器包括框架和贴附在该框架上的PZT片，其中所述框架具有一中央连接部，该微致动器通过该中央连接部而连接到悬架舌部上；两片所述PZT相对于所述中央连接部呈中心对称地设置在所述框架上，使得所述微致动器响应于施加到该两片PZT上的驱动信号而绕该中央连接部旋转；
将磁头组件安装在该旋转式微致动器上；
通过将该中央连接部固定在该悬架舌部上而将由该磁头组件和该微致动器构成的部件安装在悬架舌部上；
分别将磁头组件及微致动器与悬架电缆线进行电连接。
11.如权利要求10所述的制造磁头万向节组件的方法，其特征在于，进一步包括对磁头组件和/或旋转式微致动器进行测试的步骤。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102148039A (zh) * 2010-02-10 2011-08-10 新科实业有限公司 磁头、磁头折片组合及磁盘驱动单元
CN115847119A (zh) * 2023-02-27 2023-03-28 山东建筑大学 一种基于超声振动的刚柔耦合微进给系统

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4976553A (en) * 1987-12-09 1990-12-11 Max Co., Ltd. Very small displacement enlargement mechanism and printing head using the same
CN1145957C (zh) * 1996-10-31 2004-04-14 Tdk株式会社 读/写头、读/写头定位机构和读/写系统
WO2001095329A1 (en) * 2000-06-08 2001-12-13 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Dual stage actuator systems for high density hard disk drives using annular rotary piezoelectric actuators
JP2002298526A (ja) * 2001-04-02 2002-10-11 Shinka Jitsugyo Kk ヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ、該アクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ及び該ヘッドジンバルアセンブリの製造方法
WO2002087063A1 (fr) * 2001-04-19 2002-10-31 Fujitsu Limited Actionneur piezo-electrique et memoire informatique
US6754047B2 (en) * 2002-04-24 2004-06-22 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Slide microactuator using S-shaped piezoelectric element
US7057857B1 (en) * 2002-12-20 2006-06-06 Western Digital (Fremont), Inc. Dimple pivot post for a rotary co-located microactuator
US8064172B2 (en) * 2003-11-13 2011-11-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Method and apparatus coupling to a slider in a hard disk drive for microactuation
JP4261468B2 (ja) * 2004-11-18 2009-04-30 Ｔｄｋ株式会社 加速度センサ
JP2007274865A (ja) * 2006-03-31 2007-10-18 Casio Comput Co Ltd 圧電アクチュエータ、これを用いた搬送装置及び手ぶれ補正装置
US20070268950A1 (en) * 2006-05-16 2007-11-22 Spinelli Luis A Low power Q-switched solid-state lasers

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102148039A (zh) * 2010-02-10 2011-08-10 新科实业有限公司 磁头、磁头折片组合及磁盘驱动单元
CN102148039B (zh) * 2010-02-10 2015-02-04 新科实业有限公司 磁头、磁头折片组合及磁盘驱动单元
CN115847119A (zh) * 2023-02-27 2023-03-28 山东建筑大学 一种基于超声振动的刚柔耦合微进给系统

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