JP2006140338A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006140338A JP2006140338A JP2004329114A JP2004329114A JP2006140338A JP 2006140338 A JP2006140338 A JP 2006140338A JP 2004329114 A JP2004329114 A JP 2004329114A JP 2004329114 A JP2004329114 A JP 2004329114A JP 2006140338 A JP2006140338 A JP 2006140338A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probing
- semiconductor device
- probing pad
- pad
- chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/08—Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
- G11C29/12—Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
- G11C29/1201—Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details comprising I/O circuitry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/31719—Security aspects, e.g. preventing unauthorised access during test
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/006—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation at wafer scale level, i.e. wafer scale integration [WSI]
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/08—Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
- G11C29/48—Arrangements in static stores specially adapted for testing by means external to the store, e.g. using direct memory access [DMA] or using auxiliary access paths
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
- H01L22/32—Additional lead-in metallisation on a device or substrate, e.g. additional pads or pad portions, lines in the scribe line, sacrificed conductors
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/08—Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
- G11C29/12—Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
- G11C2029/1206—Location of test circuitry on chip or wafer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Security & Cryptography (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
【課題】ICカードなど物理的なセキュリティ(耐タンパー技術)を要求される半導体装置に対して特定の辺へのパッド配線集中をなくし、レイアウト効率の低下や設計完成度の低下や設計完成度の低下を招く事なく、耐ダンパー性がより高くなる様に、ダイシング領域へのプロービングの集中を緩和し、検査コストの増大を抑制できる方法を提供する。
【解決手段】ダイシングレーン4に配置され内部回路1に対して接続部3を介して接続されるプロービングパッド2の列が切り落とされる構成の半導体装置であって、ダイシングレーン4上の複数のプロービングパッド2が、隣り合う半導体装置のプロービングパッド2に対して互い違いに並ぶように配置されている。特定の辺へのパッド配線集中をなくし、レイアウト効率の低下や設計完成度の低下を招くことがなくなる。
【選択図】図1
【解決手段】ダイシングレーン4に配置され内部回路1に対して接続部3を介して接続されるプロービングパッド2の列が切り落とされる構成の半導体装置であって、ダイシングレーン4上の複数のプロービングパッド2が、隣り合う半導体装置のプロービングパッド2に対して互い違いに並ぶように配置されている。特定の辺へのパッド配線集中をなくし、レイアウト効率の低下や設計完成度の低下を招くことがなくなる。
【選択図】図1
Description
本発明は、ICカードなどのハイセキュリティが要求される半導体装置に関するものである。詳しくは、プロービングパッドをチップダイシング領域に配置し、ダイシング時に切り落とすことによりパッドからのアクセス・解析を不可能とし、チップに対する物理的な保護の機能である耐タンパー性を向上させる技術に関する。
ICカードには個人情報や金銭情報などの重要データが格納される。したがって、その重要データが許可なく変更、改ざんされることを防ぐ耐タンパー技術が重要である。耐タンパー技術には様々なものがある。その一つに、ダイシングレーン上にプロービングパッドを配置し、ウェハからチップを切り離すダイシング時にダイシングレーンに沿ってプロービングパッドを切り落とす技術がある。
図7は従来の技術の半導体装置における物理的なチップ構成を表す図である。ウェハ上において、あるチップA1ではその内部回路1の右辺で所定間隔を隔てた複数箇所からX方向外側に接続部3が延出されている。接続部3の先端部は直線状のダイシングレーン4上にあり、ダイシングレーン4上で接続部3にプロービングパッド2が接続されている。隣接するチップA2も同様の構成となっている。個々のダイシングレーン4は個々のチップA1,A2に専属のものとなっている。このような配列パターンが複数のチップにおいて、X方向で繰り返し展開されている。
各チップの内部回路1に対するテストはウェハの状態で行われる。そのテストは、プロービングパッド2を介して行われる。テストが終了すれば、プロービングパッド2は不要になる。したがって、その後のダイシング工程において、ダイシングレーン4に沿ってプロービングパッド2は切り落とされ、チップA1が分離される。チップA1はICカード等に搭載される。ここで、第三者が不正にICカード等からLSIチップを取り出して解析しようとしても、切り落としによりプロービングパッドがすでに存在していないため、内部回路の信号の読み取りは不可能であり、不正な解析を防止できる(例えば、特許文献1参照)。
特開平10−256324号公報(第4−5頁、第2図)
特開2001−135597号公報(第4頁、第1図)
特開2003−77968号公報(第4−5頁、第1−2図)
特開2003−203913号公報(第3−4頁、第1−2図)
上記特許文献1の構成では、パッド列は右辺にしか存在しない。そのため、配線レイアウトとしては、内部回路から右辺へ向けて配線する必要がある。しかし、このような配線レイアウトに制約があると、レイアウト効率が悪化する。その結果、例えば内部回路の左辺から右辺へ配線する必要が生じたときには、配線が長いものとなり、配線遅延が増大する。これは、動作タイミングのマージンを低下させることに繋がり、チップコストを高くする要因となる。
また、特許文献4の構成では、隣接する2チップでダイシング領域にパッド列を並べ、ダイシング時に両方のパッド列を切り落とす。この場合、ダイシング領域が広がり、切り取る部分の面積が大きくなる。結果的にウェハ上の有効な面積が小さくなり、チップコスト増大を招く。同時に、プローブ検査やウェハレベルバーンイン時のプロービング針の領域集中を招く。プロービングパッドが集中した辺には入出力のための回路が集中する。一方、プロービング針どうし間には、物理的にある程度の間隔を確保しなければならず、プロービング針の作製が困難になる。また、プロービングの針ピッチの制限により、1つのウェハを複数回テストする必要が生じることもあり、検査コスト増大を招く。
さらに、セキュリティ面でも、単純にプロービングパッドを切り落とすだけでは、切り落とした断面からの解析を許してしまう。すなわち、プロービングパッドからのチップ内部へのアクセスを完全に絶つのが不可能となる。
本発明は上記従来の問題を解決するもので、特定の辺へのパッド配線集中をなくし、レイアウト効率の低下や設計完成度の低下を招くことなく、また、単純にパッドをダイシング領域へ配置して切り落とす対策と比較して、耐タンパー性がより高くなるようにすることを目的としている。また、ダイシング領域へのプロービングの集中を緩和し、検査コストの増大を抑制できるようにすることを目的としている。
上記の課題を解決するために、本発明は次のような手段を講じる。
本発明による半導体装置は、内部回路の外側のダイシングレーンに配置され前記内部回路に対して接続部を介して接続されるプロービングパッド列が切り落とされる構成の半導体装置であって、前記ダイシングレーン上の複数の前記プロービングパッドが、隣り合う半導体装置のプロービングパッドに対して互い違いに並ぶように配置されているものである。
この構成によれば、隣接するチップどうしでスクライブ領域(ダイシングレーン)を共用できるため、スクライブ領域の増加を招かずに済み、チップコストの増加を防止する。また、各チップにおけるプロービングパッドのピッチは緩和され、検査コストの増大を招くことなく、耐タンパー性を向上させることができる。
上記の構成において好ましい態様は、前記プロービングパッドがチップの2つ以上の辺に配置されており、1つの辺における前記プロービングパッドと反対側の辺における前記プロービングパッドとが互いに位置を異にして配置されていることである。
この構成によれば、プロービングパッドを少なくとも2辺へ配置することで特定の1辺へのパッド配線集中を緩和し、レイアウト効率の低下や設計完成度の低下を防ぐことができる。さらに、切り落としたダイシング断面を通じて物理解析を行い、パッドの復元を試みるなどの不正を行っても、ダイシングレーンに並ぶパッドが1辺での信号配線からではなく、対向する2辺の信号配線からとなるため、複雑性が増し、耐タンパー性の向上が実現される。
また、上記構成において別の好ましい態様は、前記プロービングパッドがチップの4辺に配置されており、それぞれの辺における前記プロービングパッドとそれぞれ反対側の辺における前記プロービングパッドとが互いに位置を異にして配置されていることである。
この構成によれば、4辺全辺へのプロービングパッドの構成がとれ、特定の辺へのパッド配線集中をさらに緩和し、レイアウト効率および設計完成度のさらなる向上を図ることができる。
また、上記構成において、さらに、前記ダイシングレーンにステッパアライメントマークなどのアクセサリ類領域が配置されている構成も好ましい。つまり、ダイシングレーンの全ての領域をプロービングパッドの配置領域とするのではなく、ステッパアライメントマークなどのアクセサリ類を配置する領域を残す構成とする。
この構成によれば、レチクル設計においてダイシングレーンのレイアウト自由度を高めることができる。
また、上記構成において、前記プロービングパッドは、このプロービングパッドを前記内部回路に接続する前記接続部とは反対側において、隣り合う半導体装置の内部回路に対して、電気的な接続の機能を有しないダミー接続部を介して接続されている構成も好ましいものである。
この構成によれば、ダイシング断面に、プロービングパッドの切り落とし跡とは別に、内部回路とは非接続のダミー接続部の切り落とし跡があたかもチップ内部に引き込まれるような状態で存在するため、不正な解析に対する耐タンパー性をさらに向上することができる。
また、上記のダミー接続部を有する構成において、前記接続部、プロービングパッド、ダミー接続部のこの順の配列と、前記ダミー接続部、プロービングパッド、接続部のこの順の配列との並びの態様については、1パッドずつ交互の規則で並んでいるでもよいが、そのような規則に従わない不規則な状態で並んでいるのでもよい。
不規則的であれば、解析をさらに困難にすることができる。
また、上記の構成において、さらに、隣接する接続部どうし間に、ダイシングレーンのエッジに沿って、ダイシング時の切り落としのダメージによって隣接する接続部どうしを短絡させるための短絡用接続部が配置されていることは好ましいものである。
この構成によれば、ダイシング断面からの解析を行おうとしても、接続部どうし間の短絡用接続部による短絡状態を解消し、両接続部を分離する必要がある。したがって、不正な解析をさらに困難なものにし、耐タンパー性を向上できる。
本発明によれば、隣接チップどうしでスクライブ領域を共用するのでスクライブ領域の増加を招かずに済み、チップコストの増加を防止する。また、プロービングパッドのピッチが緩和され、検査コストの増大を招くことなく、セキュリティを向上させることができる。
以下、本発明にかかわる半導体装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1の半導体装置における物理的なチップ構成を表す図である。半導体チップがウェハ上でX方向に並んでいるが、実際にはX方向、Y方向にチップが並んだ状態となっている。図1において、A1,A2は互いに隣接するチップ、1は内部回路、2はプロービングパッド、3は接続部、4はダイシングレーンである。内部回路1は、例えばICカード内のLSI内部にある所望の機能を実現するものである。
図1は本発明の実施の形態1の半導体装置における物理的なチップ構成を表す図である。半導体チップがウェハ上でX方向に並んでいるが、実際にはX方向、Y方向にチップが並んだ状態となっている。図1において、A1,A2は互いに隣接するチップ、1は内部回路、2はプロービングパッド、3は接続部、4はダイシングレーンである。内部回路1は、例えばICカード内のLSI内部にある所望の機能を実現するものである。
ウェハ上において、あるチップA1の右辺で所定間隔を隔てた複数箇所からX方向外側に接続部3が延出され、左辺においても右辺とは位置を異にする所定間隔を隔てた複数箇所からX方向外側に接続部3が延出され、いずれも接続部3の先端部にプロービングパッド2が接続されている。隣接するチップA2においても同様の構成となっており、チップA1の左辺の接続部3およびプロービングパッド2と隣接するチップA2の右辺の接続部3およびプロービングパッド2とは、1パッドずつ互い違いに1列に並んでいる。チップA1のプロービングパッド2と隣接するチップA2のプロービングパッド2とは、共通の直線状のダイシングレーン4上に等間隔を隔てる状態で配列されている。このような配列パターンが複数のチップにおいて、X方向で繰り返し展開されている。
内部回路1のテストは、ウェハ上でのプロービング検査時において、プロービングパッド2を介して行われる。すなわち、テスターのプローブをプロービングパッド2に接触させた状態で内部回路1に所望の動作をさせ、接続部3およびプロービングパッド2を介して内部回路1の信号をテスターで観測し、予め用意しているテストパターンと比較する。
プロービング検査の後、ダイシング工程において、ダイシングレーン4に沿ってプロービングパッド2が切り落とされ、チップA1が分離される。このとき、プロービングパッド2は1列に並んでおり、図7の従来技術と同様のウェハダイシングを行うことができる。分離されたチップA1は、ICカードなどに搭載される。チップの内部回路1に対して第三者が不正なアクセスを行う場合に、ICカードなどから目的のチップを剥がし、解析を試みるとする。しかし、すでにプロービングパッド2が切り落とされてなくなっているため、ウェハ上で行ったテストのように内部回路1の信号をプロービングパッドから観測することは困難であり、内部回路1の解析を行うことは不可能となる。
また、内部回路1からプロービングパッド2への接続部3が、図7の従来技術のように片辺に集中せず、左右両辺に分かれて配置されている。したがって、入出力回路等が1辺に集中することがなく、配線配置におけるレイアウト効率を向上させることができる。
また、プロービングパッド2がチップA1側と隣接するチップA2側とで1パッドずつ互い違いに1列に並んでいて、個々の半導体装置において、プロービングパッド2のピッチは、図7の従来技術に比べて2倍のピッチになっている。そのため、プロービング検査の針ピッチを緩和することが可能となる。
(実施の形態2)
図2は本発明の実施の形態2の半導体装置における物理的なチップ構成を表す図である。半導体装置がウェハ上にX、Y両方向に並んでいる。図2において、A1,A2はX方向で隣接するチップ、B1,B2はY方向で隣接するチップ、4はY方向のダイシングレーン、5はX方向のダイシングレーンを示す。
図2は本発明の実施の形態2の半導体装置における物理的なチップ構成を表す図である。半導体装置がウェハ上にX、Y両方向に並んでいる。図2において、A1,A2はX方向で隣接するチップ、B1,B2はY方向で隣接するチップ、4はY方向のダイシングレーン、5はX方向のダイシングレーンを示す。
ウェハ上において、あるチップA1の右辺で所定間隔を隔てた複数箇所からX方向外側に接続部3が延出され、左辺においても右辺とは位置を異にする所定間隔を隔てた複数箇所からX方向外側に接続部3が延出され、さらに、上辺で所定間隔を隔てた複数箇所からY方向外側に接続部3が延出され、下辺においても上辺とは位置を異にする所定間隔を隔てた複数箇所からY方向外側に接続部3が延出され、いずれも接続部3の先端部にプロービングパッド2が接続されている。X方向の隣接するチップA2においても、また、Y方向の隣接チップB1,B2においても同様の構成となっている。チップA1とX方向の隣接するチップA2との関係は実施の形態1の場合と同様のものになっている。すなわち、チップA1のプロービングパッド2とX方向の隣接するチップA2のプロービングパッド2とは、共通の直線状のY方向のダイシングレーン4上に等間隔を隔てる状態で配列されている。また、チップA1の上辺の接続部3およびプロービングパッド2とY方向の隣接チップB1の下辺の接続部3およびプロービングパッド2とは、1パッドずつ互い違いに1列に並んでいる。チップA1のプロービングパッド2と隣接チップB1のプロービングパッド2とは、共通の直線状のX方向のダイシングレーン5上に等間隔を隔てる状態で配列されている。このような配列パターンが複数のチップにおいて、X方向およびY方向で繰り返し展開されている。
ウェハ上でのプロービング検査の後、ダイシング工程において、Y方向のダイシングレーン4およびX方向のダイシングレーン5に沿ってプロービングパッド2が切り落とされ、チップA1が分離される。分離されたチップA1においては、プロービングパッド2が切り落とされてなくなっているため、プロービングパッドを介して内部回路1の解析を行うことは不可能となる。また、実施の形態1と同様に、プロービング検査の針ピッチを緩和することが可能となる。そして、本実施の形態においては、プロービングパッド2への接続部3は内部回路1の上下左右の4辺に配置されているので、実施の形態1に比べて、レイアウト効率がさらに良い配線配置をとれる。
(実施の形態3)
図3は本発明の実施の形態3の半導体装置における物理的なチップ構成を表す図である。図3において、6はレチクルフレームなどに対するアライメントマークである。Y方向のダイシングレーン4およびX方向のダイシングレーン5のそれぞれに、ウェハをアライメントするためのアライメントマーク6が配置されている。すなわち、これらのダイシングレーン4,5は、隣接する2つのチップのプロービングパッド2とアライメントマーク6とに共有されている。その他の構成については、実施の形態2の図2と同様であるので同一部分に同一符号を付すにとどめ、説明を省略する。
図3は本発明の実施の形態3の半導体装置における物理的なチップ構成を表す図である。図3において、6はレチクルフレームなどに対するアライメントマークである。Y方向のダイシングレーン4およびX方向のダイシングレーン5のそれぞれに、ウェハをアライメントするためのアライメントマーク6が配置されている。すなわち、これらのダイシングレーン4,5は、隣接する2つのチップのプロービングパッド2とアライメントマーク6とに共有されている。その他の構成については、実施の形態2の図2と同様であるので同一部分に同一符号を付すにとどめ、説明を省略する。
本実施の形態によれば、実施の形態2の効果に加えて、隣接する2つのチップのプロービングパッド2とアライメントマーク6との3者でダイシングレーンを共有しているので、レチクル設計においてダイシングレーンのレイアウト自由度を高めることができる。
(実施の形態4)
図4は本発明の実施の形態4の半導体装置における物理的なチップ構成を表す図である。図4において、7は電気的な接続の機能はもたない非導電性のダミー接続部である。Y方向のダイシングレーン4およびX方向のダイシングレーン5におけるプロービングパッド2は、その一側で接続部3を介して内部回路1に接続され、他側においてダミー接続部7を介して反対側の内部回路1に接続されている。ただし、ダミー接続部7は電気的な接続の機能はない。
図4は本発明の実施の形態4の半導体装置における物理的なチップ構成を表す図である。図4において、7は電気的な接続の機能はもたない非導電性のダミー接続部である。Y方向のダイシングレーン4およびX方向のダイシングレーン5におけるプロービングパッド2は、その一側で接続部3を介して内部回路1に接続され、他側においてダミー接続部7を介して反対側の内部回路1に接続されている。ただし、ダミー接続部7は電気的な接続の機能はない。
Y方向およびX方向のダイシングレーン4,5上に配置されたプロービングパッド2はいずれも隣接する2つのチップのうち必ずいずれか一方のチップの内部回路1に接続部3を介して接続されているが、ダミー接続部7を介してあたかも他方のチップの内部回路1に対しても接続された構成となっている。実際には、このダミー接続部7は、内部回路1とプロービングパッド2とを電気的には接続していない。Y方向のダイシングレーン4上で右側に接続部3、左側にダミー接続部7のプロービングパッド2と、右側にダミー接続部7、左側に接続部3のプロービングパッド2とが1パッドずつ交互となっている。また、X方向のダイシングレーン5上で下側に接続部3、上側にダミー接続部7のプロービングパッド2と、下側にダミー接続部7、上側に接続部3のプロービングパッド2とが1パッドずつ交互となっている。その他の構成については、実施の形態2の図2と同様であるので同一部分に同一符号を付すにとどめ、説明を省略する。
なお、図4は図2の構成にダミー接続部7を追加した形態となっているが、図1や図3の構成に適用してもよい。
本実施の形態によれば、プロービング検査の後のプロービングパッド2の切り落としで分離されたチップA1は、そのダイシング断面に、プロービングパッド2の切り落とし跡とは別に、内部回路1とは非接続のダミー接続部7の切り落とし跡があたかもチップ内部に引き込むような状態で存在するため、不正な解析に対する耐タンパー性をさらに向上することができる。
(実施の形態5)
図5は本発明の実施の形態5の半導体装置における物理的なチップ構成を表す図である。
図5は本発明の実施の形態5の半導体装置における物理的なチップ構成を表す図である。
実施の形態4の図4では、Y方向のダイシングレーン4上で右側に接続部3、左側にダミー接続部7のプロービングパッド2と、右側にダミー接続部7、左側に接続部3のプロービングパッド2とが1パッドずつ交互となっており、また、X方向のダイシングレーン5上で下側に接続部3、上側にダミー接続部7のプロービングパッド2と、下側にダミー接続部7、上側に接続部3のプロービングパッド2とが1パッドずつ交互となっていた。これに対して、本実施の形態では、1パッドずつ交互という配列の規則性が破れている。図5では、Y方向のダイシングレーン4上で下から上にかけて、2パッド、2パッド、1パッド、3パッドの配列となっており、また、X方向のダイシングレーン5上で左から右にかけて、1パッド、3パッド、1パッド、3パッドの配列となっている。その他の構成については、実施の形態4の図4と同様であるので同一部分に同一符号を付すにとどめ、説明を省略する。
本実施の形態によれば、内部回路1に接続された接続部3と内部回路1には接続されていないダミー接続部7との配列に規則性がなく、実施の形態4よりも解析の困難性が増している。
(実施の形態6)
図6は本発明の実施の形態6の半導体装置における物理的なチップ構成を表す図である。半導体装置がウェハ上でY方向に並んだ状態となっている。図6において、8は短絡用接続部である。チップA1において隣接する接続部3,3の間において、ダイシングレーン5の端縁であるダイシングエッジに沿って、ダイシング時の切り落としのダメージによって隣接する接続部3,3どうしを短絡させるための短絡用接続部8が配置されている。この短絡用接続部8は、一方の接続部3から延出された櫛状導体8aと、その櫛状導体8aに噛み合うように入り込む状態の他方の接続部3から延出された櫛状導体8aとの組み合わせからなる。一方の櫛状導体8aの直線状の基部8a1はチップ上に位置し、基部8a1から分岐された複数の櫛歯部8a2はチップ側からダイシングレーン5側に延在している。また、他方の櫛状導体8bの直線状の基部8b1はダイシングレーン5上に位置し、基部8b1から分岐された複数の櫛歯部8b2はダイシングレーン5側からチップ側に延在している。基部8a1,8b1どうしは互いに平行であり、櫛歯部8a2,8b2どうしはダイシングエッジを挟んで互い違いに入り込む状態となっている。隣接するチップB1においても同様の構成の短絡用接続部8が設けられている。
図6は本発明の実施の形態6の半導体装置における物理的なチップ構成を表す図である。半導体装置がウェハ上でY方向に並んだ状態となっている。図6において、8は短絡用接続部である。チップA1において隣接する接続部3,3の間において、ダイシングレーン5の端縁であるダイシングエッジに沿って、ダイシング時の切り落としのダメージによって隣接する接続部3,3どうしを短絡させるための短絡用接続部8が配置されている。この短絡用接続部8は、一方の接続部3から延出された櫛状導体8aと、その櫛状導体8aに噛み合うように入り込む状態の他方の接続部3から延出された櫛状導体8aとの組み合わせからなる。一方の櫛状導体8aの直線状の基部8a1はチップ上に位置し、基部8a1から分岐された複数の櫛歯部8a2はチップ側からダイシングレーン5側に延在している。また、他方の櫛状導体8bの直線状の基部8b1はダイシングレーン5上に位置し、基部8b1から分岐された複数の櫛歯部8b2はダイシングレーン5側からチップ側に延在している。基部8a1,8b1どうしは互いに平行であり、櫛歯部8a2,8b2どうしはダイシングエッジを挟んで互い違いに入り込む状態となっている。隣接するチップB1においても同様の構成の短絡用接続部8が設けられている。
検査時には、短絡用接続部8において櫛状導体8a,8bどうしは互いに電気的に分離された状態にあり、したがって、隣接する接続部3,3どうしも電気的に分離された状態にある。
ダイシング時にダイシングレーン5に沿ってプロービングパッド2を切り落とすと、そのときのダメージによって、前記入り込み状態の櫛歯部8a2,8b2どうしが絡まり合い、その絡まりが隣接する接続部3,3どうしを電気的に短絡する結果をもたらす。
ダイシングによって分離されたチップA1は、ICカードなどに搭載される。チップの内部回路1に対して第三者が不正なアクセスが行う場合に、ICカードなどから目的のチップを剥がし、解析を試みるとする。しかし、すでにプロービングパッド2が切り落とされてなくなっている上に、ダイシング断面からの解析を行おうとしても、前記接続部3,3どうし間の櫛歯部8a2,8b2の絡まりによる短絡状態を解消し、両接続部3,3を分離する必要がある。したがって、上記各実施の形態に比べて、不正な解析をさらに困難にしており、耐タンパー性を著しく向上させている。
本発明は、ICカードなど個人情報や金銭情報などの重要データが格納され、このような重要データを許可なく変更、および改ざんすることを防ぐ耐タンパー技術の向上が必要なチップにおいて、レイアウト設計制約やウェハ検査のプロービングパッド配置などの制約を受けずに、高い耐タンパー性をもたせる上で有用である。
A1,A2,B1,B2 チップ
1 内部回路
2 プロービングパッド
3 接続部
4 Y方向のダイシングレーン
5 X方向のダイシングレーン
6 アライメントマーク
7 ダミー接続部
8 短絡用接続部
1 内部回路
2 プロービングパッド
3 接続部
4 Y方向のダイシングレーン
5 X方向のダイシングレーン
6 アライメントマーク
7 ダミー接続部
8 短絡用接続部
Claims (8)
- 内部回路の外側のダイシングレーンに配置され前記内部回路に対して接続部を介して接続されるプロービングパッド列が切り落とされる構成の半導体装置であって、前記ダイシングレーン上の複数の前記プロービングパッドが、隣り合う半導体装置のプロービングパッドに対して互い違いに並ぶように配置されていることを特徴とする半導体装置。
- 前記プロービングパッドは、チップの2つ以上の辺に配置されており、1つの辺における前記プロービングパッドと反対側の辺における前記プロービングパッドとが互いに位置を異にして配置されている請求項1に記載の半導体装置。
- 前記プロービングパッドは、チップの4辺に配置されており、それぞれの辺における前記プロービングパッドとそれぞれ反対側の辺における前記プロービングパッドとが互いに位置を異にして配置されている請求項1に記載の半導体装置。
- さらに、前記ダイシングレーンにステッパアライメントマークなどのアクセサリ類領域が配置されている請求項1から請求項3までのいずれかに記載の半導体装置。
- 前記プロービングパッドは、このプロービングパッドを前記内部回路に接続する前記接続部とは反対側において、隣り合う半導体装置の内部回路に対して、電気的な接続の機能を有しないダミー接続部を介して接続されている請求項1から請求項4までのいずれかに記載の半導体装置。
- 前記接続部、プロービングパッド、ダミー接続部のこの順の配列と、前記ダミー接続部、プロービングパッド、接続部のこの順の配列とが、1パッドずつ交互の規則で並んでいる請求項5に記載の半導体装置。
- 前記接続部、プロービングパッド、ダミー接続部のこの順の配列と、前記ダミー接続部、プロービングパッド、接続部のこの順の配列とが、不規則に並んでいる請求項5に記載の半導体装置。
- 隣接する接続部どうし間に、ダイシングレーンのエッジに沿って、ダイシング時の切り落としのダメージによって隣接する接続部どうしを短絡させるための短絡用接続部が配置されている請求項1から請求項7までのいずれかに記載の半導体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004329114A JP2006140338A (ja) | 2004-11-12 | 2004-11-12 | 半導体装置 |
US11/270,605 US20060103402A1 (en) | 2004-11-12 | 2005-11-10 | Semiconductor apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004329114A JP2006140338A (ja) | 2004-11-12 | 2004-11-12 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006140338A true JP2006140338A (ja) | 2006-06-01 |
Family
ID=36385613
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004329114A Pending JP2006140338A (ja) | 2004-11-12 | 2004-11-12 | 半導体装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060103402A1 (ja) |
JP (1) | JP2006140338A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009097505A2 (en) * | 2008-01-30 | 2009-08-06 | Texas Instruments Incorporated | Method of forming a probe pad layout/design, and related device |
WO2011090146A1 (ja) * | 2010-01-22 | 2011-07-28 | 日本電気株式会社 | プローブカード、半導体ウェハ、検査装置及び、検査方法 |
US9055679B2 (en) | 2011-12-16 | 2015-06-09 | Nec Platforms, Ltd. | Information processing device |
KR101764024B1 (ko) * | 2014-12-19 | 2017-08-01 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 | 웨이퍼 구조물 및 웨이퍼 다이싱 방법 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7563694B2 (en) * | 2006-12-01 | 2009-07-21 | Atmel Corporation | Scribe based bond pads for integrated circuits |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5239191A (en) * | 1990-01-19 | 1993-08-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor wafer |
JPH09252034A (ja) * | 1996-03-18 | 1997-09-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウエハ,半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP3529581B2 (ja) * | 1997-03-14 | 2004-05-24 | 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 | 半導体ウェーハ及びicカード |
US5923047A (en) * | 1997-04-21 | 1999-07-13 | Lsi Logic Corporation | Semiconductor die having sacrificial bond pads for die test |
KR100295637B1 (ko) * | 1997-12-29 | 2001-10-24 | 김영환 | 반도체웨이퍼의구조및반도체칩의제조방법 |
US6228743B1 (en) * | 1998-05-04 | 2001-05-08 | Motorola, Inc. | Alignment method for semiconductor device |
JP4234244B2 (ja) * | 1998-12-28 | 2009-03-04 | 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 | ウエハーレベルパッケージ及びウエハーレベルパッケージを用いた半導体装置の製造方法 |
US5990488A (en) * | 1999-01-04 | 1999-11-23 | Advanced Micro Devices, Inc. | Useable drop-in strategy for correct electrical analysis of semiconductor devices |
JP2001135597A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-05-18 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2002033361A (ja) * | 2000-07-17 | 2002-01-31 | Mitsumi Electric Co Ltd | 半導体ウェハ |
US20040051550A1 (en) * | 2002-09-12 | 2004-03-18 | Ma David Suitwai | Semiconductor die isolation system |
-
2004
- 2004-11-12 JP JP2004329114A patent/JP2006140338A/ja active Pending
-
2005
- 2005-11-10 US US11/270,605 patent/US20060103402A1/en not_active Abandoned
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009097505A2 (en) * | 2008-01-30 | 2009-08-06 | Texas Instruments Incorporated | Method of forming a probe pad layout/design, and related device |
WO2009097505A3 (en) * | 2008-01-30 | 2009-10-29 | Texas Instruments Incorporated | Method of forming a probe pad layout/design, and related device |
WO2011090146A1 (ja) * | 2010-01-22 | 2011-07-28 | 日本電気株式会社 | プローブカード、半導体ウェハ、検査装置及び、検査方法 |
US9055679B2 (en) | 2011-12-16 | 2015-06-09 | Nec Platforms, Ltd. | Information processing device |
KR101764024B1 (ko) * | 2014-12-19 | 2017-08-01 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 | 웨이퍼 구조물 및 웨이퍼 다이싱 방법 |
US9748187B2 (en) | 2014-12-19 | 2017-08-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Wafer structure and method for wafer dicing |
US10014269B2 (en) | 2014-12-19 | 2018-07-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method for wafer dicing |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060103402A1 (en) | 2006-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7288786B2 (en) | Integrated circuit configuration with analysis protection and method for producing the configuration | |
KR970063710A (ko) | 반도체 장치 | |
US20070162884A1 (en) | Basic cell, edge cell, wiring shape, wiring method, and shield wiring structure | |
JP2002303653A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
TW543133B (en) | Semiconductor device having TEG elements | |
JP3737405B2 (ja) | チップ製造方法およびシステム、回路基板、回路チップ | |
US10891402B2 (en) | Active shield for detecting an intrusion on an integrated circuit | |
JP2006140338A (ja) | 半導体装置 | |
JP2007335550A (ja) | 半導体装置 | |
JPH03261155A (ja) | テープキャリア | |
JP2007035729A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
JP2014143236A (ja) | 半導体装置 | |
JP3102389B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2007103792A (ja) | 半導体装置 | |
JP2003218178A (ja) | 半導体装置および半導体チップ | |
JP2009182124A (ja) | プローブパッドおよびそれを用いた電子装置 | |
JP2007067008A (ja) | 半導体検査のプローブ方法 | |
JP2009239259A (ja) | 半導体装置 | |
JP3971025B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置のレイアウト方法 | |
KR100842920B1 (ko) | 반도체 메모리 장치 | |
JP2004342725A (ja) | 半導体ウエハ | |
KR100683385B1 (ko) | 반도체 소자 결함 모니터링 복합 패턴 | |
JP2919223B2 (ja) | 半導体集積回路 | |
JP4034120B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2002093868A (ja) | 半導体装置 |