JP2006133460A - カラーフィルター用感光性樹脂組成物 - Google Patents

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Abstract

【課題】塗布、露光、現像処理を行った後に未露光部の基板上及び遮光層上に残渣を生じることがなく、現像後ポストベークされた画素が耐熱性、耐アルカリ性に優れており、液晶ディスプレイのITO透明電極層の抵抗値が低いカラーフィルター用感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)有機溶剤、(E)着色剤及び(F)1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物を含むカラーフィルター用感光性樹脂組成物であって、該(A)アルカリ可溶性樹脂のヒドロキシル価が0.1〜20KOHmg/gであり、且つTGA(熱重量解析)における5%重量減少温度が300℃以上、且つアルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物(F)の使用量が0.1〜30重量部である。
【選択図】なし

Description

本発明は液晶ディスプレイに用いられるカラーフィルターを形成するためのカラーフィルター用感光性樹脂組成物に関するものであり、特に塗布、露光、現像処理を行った後に未露光部の基板上及び遮光層上に残渣を生じることがなく、現像後ポストベークされた画素が耐熱性、耐アルカリ性に優れており、液晶ディスプレイのITO透明電極層の抵抗値が低くて、且つアルカリ現像液を用いて現像ができるカラーフィルター用感光性樹脂組成物に関するものである。
液晶ディスプレイ(LCD)の製造においては、通常感光性樹脂組成物を基板に塗布、乾燥し、フォトマスクを通して紫外線を照射して硬化させ、アルカリ現像液によりパターンを形成し、最後はそのものを熱処理(ポストベーク)して、これを画像パターンとして利用している。具体的にはカラーフィルターにおける赤、青、緑の画素、樹脂ブラックマトリックス、保護膜又は層間絶縁膜などに利用している。
かかる硬化膜は、その形成過程及び形成後の加工で220℃以上の高温や強塩基、強酸にさらされることが多く、依って、耐高温、耐酸アルカリなどの耐久性に優れた硬化膜が求められている。例えばカラーフィルターの赤、青、緑の画素では、画素の硬化膜上へのITO透明電極形成時に230℃の高温にさらされ、更に透明電極の低抵抗化の要求から230℃から260℃に至る高温処理が行われる傾向にある。
上記のような要求に対して、感光性樹脂用のバインダーとしてメタクリル酸単量体を共重合成分とする共重合体が報告されている。このような文献としては特許文献1(特開平1−152449号公報)、及び特許文献2(特開平9−311210号公報)がある。しかしこのような文献に示された共重合体は、220℃の熱処理を行った後にITO層の高抵抗化を招くという問題がある。
また上記のカラーフィルターの赤、青、緑画素の製造法として、従来は染色可能な樹脂(例えば、天然のゼラチン、カゼインなど)をパターニングし、そこに染料を用いて染色し、赤、青、緑の画素を得るという方法がとられていた。しかしこの方法で得た画素は、材料からの制約で耐熱性が低いという問題があった。そこで最近耐熱性を改良する目的で顔料を分散した感光材料を用いる方法が注目され、多くの検討が行われるようになった。この方法によれば製法も簡略化され、得られたカラーフィルターも安定で寿命の長いものになることが知られている。しかし異なった複数の色の着色画像形成材料について、露光、現像を繰り返し行い、画素を形成する際に、未露光部を完全に除去できず基板上に現像残渣が残るという問題があった。そこで現像後に希薄現像液などでのリンス、高圧での水洗浄などが行われてきたが、カラーフィルターの製造工程数が増加するという問題がある。
特開平1−152449号公報 特開平9−311210号公報
本発明は以上のような事情に鑑みてなされたものであり、その課題は塗布、露光、現像処理を行った後に未露光部の基板上及び遮光層上に残渣を生じることがなく、現像後ポストベークされた画素が耐熱性、耐アルカリ性に優れており、液晶ディスプレイのITO透明電極層の抵抗値が低くて、且つアルカリ性現像液を用いて現像ができるカラーフィルター用感光性樹脂組成物を提供することにある。
本発明は課題の解決手段として、(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)有機溶剤、(E)着色剤及び(F)1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物を含むカラーフィルター用感光性樹脂組成物であって、前記(A)アルカリ可溶性樹脂は、そのヒドロキシル価が0.1〜20KOHmg/gであり、且つTGA(熱重量解析)における5%重量減少温度が300℃以上で、前記(F)1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して、0.1〜30重量部であるカラーフィルター用感光性樹脂組成物を提供する。
[(A)アルカリ可溶性樹脂 ]
本発明における(A)アルカリ可溶性樹脂は、(a−1) ヒドロキシル基含有のエチレン性不飽和単量体(以下ではヒドロキシ基含有不飽和単量体と略称する)、(a−2)1個又は2個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体(以下ではカルボキシル基含有不飽和単量体と略称する)及び、(a−3)その他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体(以下ではその他の不飽和単量体と略称する)を共重合して得られる。
上記の(a−1)ヒドロキシル基含有不飽和単量体の具体例としては、2−ヒドロキシルエチルアクリレート、2−ヒドロキシルエチルメタクリレート、2−ヒドロキシルプロピルアクリレート、2−ヒドロキシルプロピルメタクリレート、3−ヒドロキシルプロピルアクリレート、3−ヒドロキシルプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシルブチルアクリレート、2−ヒドロキシルブチルメタクリレート、3−ヒドロキシルブチルアクリレート、3−ヒドロキシルブチルメタクリレート、4−ヒドロキシルブチルアクリレート、4−ヒドロキシルブチルメタクリレート、N-o−ヒドロキシフェニルマレイミド、N-m-ヒドロキシフェニルマレイミド、N-p-ヒドロキシルフェニルマレイミド、N-ヒドロキシエチルアクリルアミド、N-ヒドロキシエチルメチルアクリルアミド、ジプロピレングリコールアクリレート、ジプロピレングリコールメタクリレート、ブタジオールアクリレート、ブタジオールメタクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレート、ポリプロピレングリコールアクリレート、ポリプロピレングリコールメタクリレート、ポリエチレングリコール-ポリプロピレングリコールメタクリレート、ポリエチレングリコール-1,4-ブタンジオールメタクリレート、2-アクリロキシエチル-2-ヒドロキシエチルフタレート、カプロラクトン変性アクリレート、カプロラクトン変性メタクリレート、2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピルアクリレート(東亜合成社製のARONIX M-5700)などが挙げられる。これらの単量体のうち2-アクリロキシエチル-2-ヒドロキシエチルフタレート、2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピルアクリレート、2-ヒドロキシプロピルアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタクリレート、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレートが好ましい。それぞれの単量体は単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
上記の(a-2)カルボキシル基含有不飽和単量体の具体例としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α-クロロアクリル酸、エチルアクリル酸及ぶ桂皮酸などの不飽和モノカルボン酸類;マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸などの不飽和ジカルボン酸(無水物)類;三価以上の不飽和多価カルボン酸(無水物)類などが挙げられる。
以上に挙げられたもののうちアクリル酸、メタクリル酸などが好ましい。これらのカルボキシル基含有不飽和単量体は単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
上記の(a-3)その他の不飽和単量体の具体例としては、スチレン、α-メチルスチレン、ビニルトルエン、クロロエチレン、メトキシスチレンなどの芳香族ビニル基化合物;ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレートなどの芳香族官能基含有の不飽和カルボン酸エステル類;N-フェニルマレイミド、N-o-メチルフェニルマレイミド、N-m-メチルフェニルマレイミド、N-p-メチルフェニルマレイミド、N-o-メトキシフェニルマレイミド、N-m-メトキシフェニルマレイミド、N-p-メトキシフェニルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミドなどのマレイミド類;メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n-プロピルアクリレート、n-プロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリレート、n-ブチルアクリレート、n-ブチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、s-ブチルアクリレート、s-ブチルメタクリレート、t-ブチルアクリレート、t-ブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、ドデシルメタクリレート、テトラデシルメタクリレート、ヘキサデシルメタクリレート、オクタデシルメタクリレート、エイコシルメタクリレート、ドコシルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類;2-アミノエチルアクリレート、2-アミノエチルメタクリレート、2-アミノプロピルアクリレート、2-アミノプロピルメタクリレート、3-アミノプロピルアクリレート、3-アミノプロピルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル類;酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類;ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル、メタリルグリシジルエーテルなどの不飽和エーテル類;アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α-クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物、アクリルアミド、メタクリルアミド、α-クロロアクリルアミドなどの不飽和アミド類;1,3-ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの脂肪族共役ジエン類などが挙げられる。
以上に挙げられたもののうちスチレン、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、N-フェニルマレイミド、メチルアクリレート、メチルメタクリレート等が好ましい。これらのその他の不飽和単量体は単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
本発明のアルカリ可溶性樹脂(A)におけるそれぞれの共重合用単量体の使用量は、その共重合用単量体(a-1)、(a-2)、(a-3)の合計100重量部に対してそれぞれ以下の通りである。
ヒドロキシル基含有不飽和単量体(a-1)の含有量は1〜35重量部、好ましくは2〜32重量部、更に好ましくは3〜30重量部であり、カルボキシル含有不飽和単量体(a-2)の含有量は1〜30重量部、好ましくは2〜25重量部、更に好ましくは3〜20重量部であり、その他の不飽和単量体(a-3)の含有量は35〜98重量部、好ましくは43〜96重量部、更に好ましくは50〜94重量部である。
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂(A)のヒドロキシル価は0.1〜20KOHmg/g、好ましくは0.3〜15KOHmg/g、更に好ましくは0.5〜10KOHmg/gである。
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂(A)のヒドロキシル価はJIS K0070における中和滴定法を用いて測定できる。ヒドロキシル価は、試料1gをアセチル化させたとき、水酸基と結合した酢酸を中和するのに必要となる水酸化カリウムのmg数と定義する。
本発明のアルカリ可溶性樹脂(A)のヒドロキシル価は、アルカリ可溶性樹脂(A)を重合する過程においてヒドロキシル基含有不飽和単量体(a−1)の種類及び使用量の選択により制御することができる。
本発明のアルカリ可溶性樹脂(A)についてTGA(熱重量分析)における5%重量減少温度が300℃以上、好ましくは305℃以上、更に好ましくは310℃以上である。該重量減少温度は、共重合用単量体(a−1)、(a−2)、(a−3)の種類と量を好ましい範囲(前述の通り)で選択し、重合開始剤として好ましい種類(後述の通り)を選択し、また単量体と重合開始剤の仕込み方法を連続方式、又は3回以上の分割方式とするのが好ましく、また反応温度は70〜100℃が好ましく、アルカリ可溶性樹脂(A)を貧溶媒で処理することなどの条件を、適宜選択し、組み合わせることにより制御することができる。
本発明のアルカリ可溶性樹脂(A)の製造に使用される溶剤の具体例としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノn-プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノn-ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノn-プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノn-ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテルなどの(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどの(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2-ヘプタノン、3-ヘプタノン等のケトン類;2-ヒドロキシプロピオン酸メチル、2-ヒドロキシプロピオン酸エチルなどの乳酸アルキルエステル類;2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸メチル、2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸エチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2-ヒドロキシ-3-メチル酪酸メチル、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n-ブチル、酢酸n-プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸イソブチル、酢酸n-ペンチル、酢酸イソアミル、プロピオン酸n-ブチル、酪酸エチル、酪酸n-プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸n-ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n-プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2-オキソ酪酸エチルなどの他のエステル類;トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素化合物類;N-メチルピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミドなどのカルボン酸アミド類などなどが挙げられる。これらの溶剤は単独で又は2種以上を混合して使用することができる。これらのうちプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3-エトキシプロピオン酸エチル等が好ましい。
アルカリ可溶性樹脂(A)を製造する時に使われる重合開始剤は、通常、フリーラジカル型重合開始剤であり、その具体例としては2,2’-アゾビスイソブチロニトリル、2,2’-アゾビス-(2,4-ジメチルバレロニトリル)、2,2’-アゾビス-(4-メトキシ-2,4-ジメチルバレロニトリル)、2,2’-アゾビス-2-メチルブチロニトリルなどのアゾ化合物;ベンゾイルパーオキシドなどの過酸化物が挙げられる。これらのうち2,2’-アゾビス-2-メチルブチロニトリルが好ましい。
本発明のアルカリ可溶性樹脂(A)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平均分子量が通常3,000〜50,000で、好ましくは4,000〜40,000、更に好ましくは4,500〜35,000である。重量平均分子量を上記の範囲内に制御すれば、得られた感光性樹脂組成物は優れた現像性を持ち、それによりシャープなパターンエッジを有する画素を形成することができる。
[(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物 ]
本発明におけるエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して好ましくは5〜220重量部、更に好ましくは50〜160重量部、最も好ましくは70〜140重量部である。
上記のエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)は、重合可能なエチレン性不飽和結合を1個以上有するモノマーからなる。
エチレン性不飽和基を1個有するエチレン性不飽和化合物の具体例としては、アクリルアミド、(メタ)アクリロイルモルホリン、7-アミノ-3,7-ジメチルオクチル(メタ)アクリレート、イソブトキシメチル(メタ)アクリルアミド、イソボルニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、エチルジエチレングリコール(メタ)アクリレート、t-オクチル(メタ)アクリルアミド、ジアセトン(メタ)アクリルアミド、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、N,N-ジメチル(メタ)アクリルアミド、テトラクロロフェニル(メタ)アクリレート、2-テトラクロロフェノキシエチル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、テトラブロモフェニル(メタ)アクリレート、2-テトラブロモフェノキシエチル(メタ)アクリレート、2-トリクロロフェノキシエチル(メタ)アクリレート、トリブロモフェニル(メタ)アクリレート、2-トリブロモフェノキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ビニルカプロラクタム、N-ビニルピロリドン、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ペンタクロロフェニル(メタ)アクリレート、ペンタブロモフェニル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ボルニル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
エチレン性不飽和基を2個以上有するエチレン性不飽和化合物の具体例としては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート、トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド(以下ではEOと略称する)変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、プロピレンオキシド(以下ではPOと略称する)変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ポリエステルジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、EO変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、PO変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、EO変性水添ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、PO変性水添ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、PO変性グリセロールトリ(メタ)アクリレート、EO変性ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、フェノールノボラックポリグリシジルエーテルの(メタ)アクリレートなどなどが挙げられる。
上記のエチレン性不飽和を有する重合性化合物のうち、特に好ましいものとしてはトリメチロールプロパントリアクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリアクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、PO変性グリセロールトリアクリレートが挙げられる。
[(C)光重合開始剤 ]
本発明における光重合開始剤(C)の使用量は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)100重量部に対して好ましくは20〜120重量部、更に好ましくは30〜100重量部、最も好ましくは40〜80重量部である。
上記の光重合開始剤(C)としてはアセトフェノン系化合物とビイミダゾール系化合物が挙げられる。
アセトフェノン系化合物の具体例としてはp‐ジメチルアミノアセトフェノン、α,α’‐ジメトキシアゾキシアセトフェノン、2,2’‐ジメチル-2‐フェニルアセトフェノン、p-メトキシアセトフェノン、2-メチル-(4-メチルチオフェノール)-2-モルホリノ-1-プロパンノン、2-ベンジル-2-N,N-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-1-ブタノンが挙げられる。
一方ビイミダゾール系化合物の具体例としては2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(o-フルオロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(o-メチルフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(o-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(p-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(2,4-ジメトキシフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(2-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(2,4-ジクロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体などが挙げられる。
これらの中で2-ベンジル-2-N,N-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-1-ブタノン、2-(2-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体を併用した光重合開始剤が好ましい。
本発明のカラーフィルター用感光性樹脂組成物は、更にベンゾフェノン系化合物の光重合開始剤を添加してもよく、かかるベンゾフェノン系化合物の光重合開始剤としてはチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、チオキサントン-4-スルホン、ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられる。
その他、ベンジル、アセチルなどのα-ジケトン類、ベンゾインなどのアシロイン類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなどのアシロインエーテル類、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィン酸化物、ビス(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチルベンジルホスフィン酸化物などのアシルホスフィン酸化物類、アントラキノン、1,4-ナフトキノンなどのキノン類、塩化フェナシル、トリブロムメチルフェニルスルホン、トリス(トリクロロメチル)-s-トリアジンなどのハロゲン化合物、ジ-t-ブチルパーオキシドなどの過酸化物が挙げられる。
これらのうちベンゾフェノン系化合物が好ましく、特に4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが最も好ましい。
[(D)有機溶剤 ]
通常、着色剤(E)以外の各成分を適当な有機溶剤(D)に溶解して液状組成物を調整する。有機溶剤(D)としてはアルカリ可溶性樹脂(A)、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)、及び光重合開始剤(C)を溶解し、且つこれらの成分と事実上反応せず適度の揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用することができる。
本発明における有機溶剤(D)の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して好ましくは300〜2,500重量部、更に好ましくは400〜2,200重量部、最も好ましくは500〜2,000重量部である。
上記の有機溶剤(D)の例は前述のアルカリ可溶性樹脂(A)の重合の場合に述べた溶剤と同様である。かかる溶剤は単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
これらの溶剤のうちプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、3-エトキシプロピオン酸エチル等が好ましい。
[(E)着色剤 ]
本発明における着色剤(E)の含有量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して好ましくは20〜500重量部、更に好ましくは50〜400重量部、最も好ましくは80〜300重量部である。
本発明の着色剤(E)は従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を用いることができる。無機顔料としては金属酸化物、金属錯塩などで示される金属化合物であり、具体的には鉄、コバルト、アルミ二ウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属酸化物、及び上記金属の複合酸化物が挙げられる。
有機顔料としては以下のものが挙げられる。
C.I.Pigment Yellow 1, 3, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 55, 60, 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 116, 117, 119, 120, 126, 127, 128, 129, 138, 139, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, 175。
C.I.Pigment Orange 1, 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46, 49, 51, 61, 63, 64, 71, 73。
C.I.Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 21, 22, 23, 30, 31, 32, 37, 38, 40, 41, 42, 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49:1, 49:2, 50:1, 52:1, 53:1, 57, 57:1, 57:2, 58:2, 58:4, 60:1, 63:1, 63:2, 64:1, 81:1, 83, 88, 90:1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155 ,166, 168, 170, 171, 172, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 180, 185, 187, 188, 190, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 220, 224, 226, 242, 243, 245, 254, 255, 264, 265。
C.I.Pigment Violet 1, 19, 23, 29, 32, 36, 38, 39。
C.I.Pigment Blue 1, 2, 15, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 22, 60, 66。
C.I.Pigment Green 7, 36, 37。
C.I.Pigment Brown 23, 25, 28。
C.I.Pigment Black 1, 7。
着色剤(E)は単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
本発明における着色剤(E)は所望により分散剤と共に使用することができる。このような分散剤としては例えばカチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フッ素系などの界面活性剤をあげることができる。
前記界面活性剤の具体例としてはポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルなどのポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレートなどのポリエチレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸エステル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変性ポリウレタン類;以下は商品名で、KP(信越化学工業製)、SF−8427(東レ・ダウコーニングシリコーン社)、ポリフロー(共栄社油脂化学工業製)、エフトップ(トーケムプロダクツ製)、メガファック(大日本インキ化学工業製)、フロラード(住友スリーエム製)、アサヒガード、サーフロン(旭硝子製)などをあげることができる。これらの界面活性剤は単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
[(F)1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物 ]
本発明における1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して好ましくは0.1〜30重量部、更に好ましくは1〜25重量部、最も好ましくは2〜20重量部である。
1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物(F)の具体例としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(例えば油化シェルエポキシ(株)製、エピコート828、エピコート1001、エピコート1002、エピコート1004など)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂のアルコール性水酸基とエピクロルヒドリンの反応により得られるエポキシ樹脂(例えば、日本化薬(株)製、NER-1302、エポキシ当量323、軟化点76℃)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(例えば、油化シェルエポキシ(株)製、エピコート807、EP-4001、EP-4002、EP-4004など)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂のアルコール性水酸基とエピクロルヒドリンの反応により得られるエポキシ樹脂(例えば、日本化薬(株)製、NER-7406、エポキシ当量350、軟化点66℃)、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ジフェニルグリシジルエーテル(例えば、油化シェルエポキシ(株)製、YX-4000)、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(例えば、日本化薬(株)製、EPPN-201、油化シェルエポキシ(株)製、EP-152、EP-154、エピコート157S65、エピコート157S70、ダウケミカル(株)製、DEN-438)、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(例えば、日本化薬(株)製、EOCN-102S、EOCN-1020、EOCN-104S)、トリグリシジルイソシアヌレート(例えば、日産化学(株)製、TEPIC)、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂(例えば、日本化薬(株)製、EPPN-501、EPPN-502、EPPN-503)、フルオレンエポキシ樹脂(例えば、新日鉄化学(株)製、カルドエポキシ樹脂、ESF-300)、脂環式エポキシ樹脂(例えば、ダイセル化学工業(株)製、セロキサイド2021P、セロキサイドEHPE)及びエポキシ化ポリブタジエン樹脂(例えば、ダイセル化学工業(株)製、エポリードPB3600)などが挙げられる。
これらのうちフェノールノボラック型エポキシ樹脂及びエポキシ化ポリブタジエン樹脂が好ましい。それぞれの1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物は単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
本発明において(1)アルカリ可溶性樹脂(A)のヒドロキシル価が0.1〜20KOHmg/g、(2)アルカリ可溶性樹脂(A)のTGA (熱重量分析)における5%重量減少温度が300℃以上、及び(3)アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物(F)の使用量が0.1〜30重量部であるなどの条件を満足すると、カラーフィルター用感光性樹脂組成物は塗布、露光、現像を行った後に基板上に未露光の部分及びブラックマトリックス上の残渣量が少なくて、且つ現像、ポストベーク後の画素の耐熱性、耐アルカリ性が共に良好で、この樹脂組成物を用いて製造された液晶ディスプレイのITO透明電極層の抵抗値が低くなる
本発明のカラーフィルター用感光性樹脂組成物は、前記アルカリ可溶性樹脂(A)、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)、有機溶剤(D)、着色剤(E)及び1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物(F)を成分とするが、必要に応じて以下の添加剤成分を配合することができる。
本発明の感光性樹脂組成物においては、その塗布性能を高めるために界面活性剤を使用することができる。界面活性剤の配合量はアルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して0〜6重量部、好ましくは0〜5重量部、更に好ましくは0〜4重量部である。かかる界面活性剤の例は前述の顔料中に使用されるものと同様である。
本発明の感光性樹脂組成物は必要に応じて各種添加剤、例えば充填剤、アルカリ可溶性樹脂(A)以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤などを配合することができる。本発明の添加剤の配合量はアルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して0〜10重量部、好ましくは0〜6重量部、更に好ましくは0〜3重量部である。
添加剤の具体例としてはガラス、アルミナなどの充填剤;ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等のカルボキシル基含有アルカリ可溶性樹脂(A)以外の高分子化合物;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2-メトキシエトキシ)シラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3-クロロプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2-チオビス(4-メチル-6-t-ブチルフェノール)、2,6-ジ-t-ブチルフェノールなどの酸化防止剤;2-(3-t-ブチル-5-メチル-2-ヒドロキシフェニル)-5-クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどの紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナトリウムなどの凝集防止剤などが挙げられる。
本発明のカラーフィルター用感光性樹脂組成物は上記成分(A)〜(F)と、さらに必要に応じて用いられるその他の界面活性剤、密着促進剤などの添加剤を有機溶剤(D)と混合し、各種の混合機、分散機を使用して混合分散することによって調製することができる。
本発明の感光性樹脂組成物を基板に回転塗布法、流延塗布法又はロールー塗布法などの塗布方法を用いて塗布し、プレベークにより溶剤を除去することによって感光性樹脂組成物の塗膜が形成される。
基板としては例えば液晶ディスプレイなどに用いられる無アルカリ性ガラス、ソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子などに用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板などが挙げられる。これらの基板は一般的に各画素を隔離するブラックマトリックスが形成されている。
プレベークの条件は各成分の種類、配合割合によっても異なるが、通常70〜90℃で1分〜15分間程度である。プレベークした後、感光性樹脂組成物の塗膜に所定のパターンマスクを介して露光し、例えば23±2℃の現像液で通常30秒〜5分間現像することによって不要な部分を除去して、所定パターンを形成する。この際に使われる光線としてはg線、h線、i線などの紫外線が好ましい。紫外線照射装置としては高圧水銀ランプ、メタルライドランプを用いることができる。
現像液としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、珪酸ナトリウム、メタ珪酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8-ジアザビシクロ(5,4,0)-7-ウンデセンなどのアルカリ性化合物を濃度が0.001〜10重量%、好ましくは0.005〜5重量%、更に好ましくは0.01〜1重量%となるように溶解させたアルカリ性水溶液が使用される。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後に水で洗浄し、更に圧縮空気や圧縮窒素で風乾させることによってパターンが形成される
その後、このパターンをホットプレート、オープンなどの加熱装置により所定温度、例えば150〜250℃で、所定時間、例えばホットプレート上なら5〜60分間、オープン中では30〜90分間加熱処理(ポストベーク)することにより、目的とする画素パターンを得ることができる。
各色(主に赤、緑、青の三色)についてこの工程を繰り返すことでカラーフィルターを調製することができる。そしてこの上に220〜250℃程度の真空下で酸化インジウムスズ(ITO)蒸着膜を施し、必要に応じてITO膜をエッチングして配線形成した後、液晶配向膜用ポリイミドワニスを塗布して焼成することで、液晶ディスプレイ用カラーフィルターとして供される。
以下、実施例及び比較例を挙げて本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。但し、本発明はこれらの実施例に何ら制約されるものではない。
[アルカリ可溶性樹脂(A)の合成例 ]
「合成例A-1」
窒素ガス雰囲気の下で、窒素ガス導入口、攪拌器、加熱器、冷却管及び温度計を備えた1000mlの4ツ口フラスコに、先ずは溶剤である3-エトキシプロピオン酸エチル(以下ではEEPと称す)200重量部をフィードし、オイルバスの温度を85℃まで上げて表1に示した単量体混合物を加えた。
各単量体のフィード方式は連続添加として、即ち2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピルアクリレート(以下ではM-5700と称す)5重量部、メタクリル酸単量体(以下ではMAAと称す)15重量部、ベンジルメタクリレート単量体(以下ではBzMA)75重量部、メチルアクリレート単量体(以下ではMAと称す)5重量部からなる単量体混合物をオイルバスの温度を90℃に上げた後の5時間内に連続添加した。またオイルバスの温度を90℃まで上げて、しかる後に表1に示した重合開始剤の2,2’-アゾビス-2-メチルブチロニトリル(以下ではAMBNと称す)4重量部を有機溶剤の3−エトキシプロピオン酸エチル(以下ではEEPと称す)に溶解させ、該溶液の五等分の量を一時間ごとに4ツ口フラスコ内に分括添加した。
重合過程において溶液の反応温度を90℃に保持させ、この温度を6時間保持し、重合完了後に重合物溶液100重量部に対する貧溶媒としてトルエン200重量部を加え、均一に混合し、洗浄し、更に遠心ろ過し、アルカリ可溶性樹脂A-1を得た。
「合成例A-2〜A-5」
単量体の種類及び使用量、反応温度を変え、且つ貧溶媒であるトルエンの使用量、洗浄回数を変えた以外は、合成例A-1と同様な操作方法により樹脂A-2〜A-5を得た。使用した単量体の種類ならびに配合割合、反応条件及び測定結果を表1に示す。
「合成例A-6〜A-7」
単量体の種類及び使用量、反応温度を変えた以外は、合成例A-1と同様な操作方法により樹脂A-6〜A-7を得た。使用した単量体の種類ならびに配合割合、反応条件及び測定結果を表1に示す。
「合成例A-8」
窒素ガス雰囲気の下で、窒素ガス導入口、攪拌器、加熱器、冷却管及び温度計を備えた1000mlの4ツ口フラスコに、表1に示した2-ヒドロキシエチルメタクリレート(以下ではHEMAと称す)15重量部、MAA10重量部、BzMA70重量部、MA5重量部、及びEEP200重量部をフィードした。各単量体のフィード方式は一括添加とした。
この4ツ口フラスコ中の内容物が攪拌されている状態でオイルバスの温度を95℃まで上げて、しかる後に表1に示した重合開始剤のAMBN4重量部を有機溶剤EEPに溶解させ、該溶液の五等分の量を一時間ごとに4ツ口フラスコ内に分括添加した。
重合過程において溶液の反応温度を95℃に保持し、この温度を6時間保持し、重合完了後に重合物溶液を4ツ口フラスコから取出して溶剤を脱揮発して、アルカリ可溶性樹脂A-8を得た。
「合成例A-9〜A-11」
単量体の種類及び使用量、重合開始剤AMBNの使用量、及び反応温度を変えた以外は、合成例A-8と同様な操作方法により樹脂A-9〜A-11を得た。使用した単量体の種類ならびに配合割合、反応条件及び測定結果を表1に示す。
Figure 2006133460

M-5700 2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピルアクリレート
HEMA 2-ヒドロキシエチルメタクリレート
MAA メタクリル酸
BzMA ベンジルメタクリレート
SM スチレン
MA メチルアクリレート
AMBN 2,2'-アゾビス-2-メチルブチロニトリル
EEP 3-エトキシプロピオン酸エチル
[感光性樹脂組成物の実施例及び比較例]
「実施例1」
合成例A-1で得られたアルカリ可溶性樹脂A-1は100重量部(固形分)と、表2に示したジペンタエリスリトールヘキサアクリレート100重量部、2-ベンジル-2-N,N-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-1-ブタノン40重量部、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン5重量部、2-(2-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体5重量部、顔料CI254は160重量部、及びフェノールノボラック型エポキシ樹脂(商品名:ジャパンエポキシレジン社製のエピコート157S70)3重量部とからなる混合物を、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(以下ではPGMEAと称す)170重量部及びEEP830重量部からなる溶剤に加えた後、振動かき混ぜ機で溶解、混合させてカラーフィルター用感光性樹脂組成物を調製した。得られた感光性樹脂組成物を用いて下記の各評価方法により評価を行った。結果を表2に示す。
[測定項目]
「1.ヒドロキシル価」
JIS K0070の中和滴定法に従ってアルカリ可溶性樹脂(A)のヒドロキシル価を測定した。
「2.アルカリ可溶性樹脂(A)のTGA(熱重量分析)における5%重量減少温度分析」
窒素ガス雰囲気下において、製造したアルカリ可溶性樹脂(A) 10ミリグラムを熱重量分析メーター(TGAと称し、TA社製のThermal Analyst 2100)にセッティングし、温度を100℃までに上げてから10分間保持して水分を除去して、更に10℃/1分間の速度で昇温させ、試料の減量が仕込み重量の5重量%となった時の温度を5%重量減少温度として測定する。
「3.耐熱性」
感光性樹脂組成物を用い、回転塗布により10センチ×10センチのガラス基板に8μmの厚みの塗膜を塗布し、且つ85℃で5分間プレベーキングした後、感光性樹脂組成物の塗膜を得た。そしてこの感光性樹脂組成物の塗膜に紫外線(露光機Canon PLA‐501F)200mJ/cm2を照射して、23℃の現像液に2分間浸漬した後、純水でリンスした。更に200℃で40分間ポストベークしてガラス基板上の感光性樹脂層を得た。
この感光性樹脂層についてミクロアナライザー(東京電色(株)製「TC−1800M」)を用いて400〜700nmの波長における透過率を測定した後、クリーンオープンにて250℃で60分の追加ベークを実施した。追加ベーク後、再度透過率を測定して追加ベーク前後の透過率の変化率を計算した。結果を次の基準に従って評価した。
○:5%未満。
△:5〜10%。
×:10%を超える。
「4.耐アルカリ性」
耐熱性測定と同様に形成した感光性樹脂層についてミクロアナライザーを用いて400〜700nmの波長における透過率を測定した後、2%水酸化ナトリウム水溶液中に10分間の浸漬を実施した。追加浸漬後、再度透過率を測定して追加浸漬前後の透過率の変化率を計算した。結果を次の基準に従って評価した。
○:5%未満。
△:5〜10%
×:10%を超える。
「5.ITO透明電極層の抵抗値」
耐熱性測定と同様に、形成した感光性樹脂層上に250℃の真空下でITO蒸着膜を施す。得られたITO蒸着膜について、該ITO膜上に任意に三点を選び、各点の抵抗値を抵抗値測定装置((株)ダイアインスツルメンツ製のMCP‐T600)を用いて測定しそれらの平均値を取った。単位はΩである。
「6.残渣」
感光性樹脂組成物を用い、回転塗布により10センチ×10センチのガラス基板に8μmの厚みの塗膜を塗布し、且つ85℃で5分間プレベーキングした後、感光性樹脂組成物の塗膜を得た。そしてこの感光性樹脂組成物塗膜に所定のパターンマスクを介して紫外線(露光機Canon PLA‐501F)300mJ/cm2を照射して、23℃の現像液に2分間浸漬した後、純水でリンスした。これらの操作により不要な部分は除去され、更に200℃で40分間ポストベークしてガラス基板上の画素パターンを得た。この画素パターンを電子顕微鏡で観察し、表面の残渣の有無を観察し以下の基準で評価した。
○:無残渣である。
△:少々残渣がある。
×:残渣が多数である。
「実施例2〜5及び比較例1〜8」
アルカリ可溶性樹脂(A)、顔料(E)及び1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物(F)の種類及び使用量を変えた以外は、実施例1と同様な操作方法により樹脂組成物を調合した。使用した成分の種類ならびに配合割合及び評価結果を表2に示す。
Figure 2006133460

B-1 ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
C-1 2-ベンジル-2-N,N-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-1-ブタノン
C-2 4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
C-3 2-(2-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体
D-1 プロピレングリコールメチルエーテルアセテート
D-2 3-エトキシプロピオン酸エチル
E-1 顔料 CI254
E-2 顔料 G36
E-3 顔料 B15:6
F-1 フェノールノボラック型エポキシ樹脂(商品名:ジャパンエポキシレジン社製のエピコート157S70)
F-2 エポキシ化ポリブタジエン(商品名:ダイセル社製のエポリードPB3600)
以上に述べたものは、本発明の比較的良い実施例を取上げただけで、これらは本発明の実施の範囲を限定するものではない。本発明の特許請求の範囲及び明細書に基づいて行ったあらゆる簡単な変化又は修飾は、全て本発明の技術的範囲に含まれるものと主張する。

Claims (1)

  1. (A)アルカリ可溶性樹脂、(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)有機溶剤、(E)着色剤、及び(F)1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物を含むカラーフィルター用感光性樹脂組成物であって、
    前記(A)アルカリ可溶性樹脂は、そのヒドロキシル価が0.1〜20KOHmg/gで、且つTGA(Thermogravimetric analysis:熱重量分析)における5%重量減少温度が300℃以上であり、
    前記(F)1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して、0.1〜30重量部であることを特徴とする、カラーフィルター用感光性樹脂組成物。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2151715A1 (en) * 2007-06-06 2010-02-10 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive adhesive composition, film-like adhesive, adhesive sheet, method for forming adhesive pattern, semiconductor wafer with adhesive layer, semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device
WO2010125720A1 (ja) * 2009-04-27 2010-11-04 太陽インキ製造株式会社 光硬化性熱硬化性樹脂組成物
WO2011021350A1 (ja) * 2009-08-19 2011-02-24 太陽ホールディングス株式会社 光硬化性樹脂組成物
KR101145354B1 (ko) * 2008-12-30 2012-05-14 주식회사 삼양사 자가 열경화형 액상 고분자 바인더 조성물 및 이를 포함하는 컬러필터용 잉크 조성물
JP2013522659A (ja) * 2010-03-08 2013-06-13 エルジー・ケム・リミテッド 耐熱性および機械的性質に優れた感光性樹脂組成物および印刷回路基板用保護フィルム
JP2015087429A (ja) * 2013-10-28 2015-05-07 日立化成株式会社 感光性樹脂組成物、感光性エレメント及びレジストパターンの形成方法
JP2016080919A (ja) * 2014-10-17 2016-05-16 株式会社Dnpファインケミカル 色材分散体、カラーフィルタ用感光性着色樹脂組成物、カラーフィルタ、及び表示装置

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06282071A (ja) * 1993-01-27 1994-10-07 Japan Synthetic Rubber Co Ltd 感放射線性樹脂組成物
JP2000105456A (ja) * 1998-07-31 2000-04-11 Dainippon Printing Co Ltd 感光性樹脂組成物及びカラ―フィルタ―
JP2000298337A (ja) * 1999-04-14 2000-10-24 Dainippon Printing Co Ltd 感光性樹脂組成物
JP2004271767A (ja) * 2003-03-07 2004-09-30 Nissan Chem Ind Ltd ポジ型感光性樹脂組成物
JP2004287299A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 着色レジスト用顔料分散液、感光性着色組成物、及び、カラーフィルター
JP2004287366A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 着色レジスト用顔料分散液、感光性着色組成物、及び、カラーフィルター
JP2004287365A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 着色レジスト用顔料分散液、感光性着色組成物、及び、カラーフィルター
JP2004287298A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 着色レジスト用顔料分散液、感光性着色組成物、及び、カラーフィルター
JP2004285281A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 着色レジスト用分散補助ポリマー、着色レジスト用顔料分散液、感光性着色組成物及び、カラーフィルター
JP2004287364A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 着色レジスト用顔料分散液、感光性着色組成物、及び、カラーフィルター
JP2004287367A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 着色レジスト用顔料分散液、感光性着色組成物、及び、カラーフィルター

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06282071A (ja) * 1993-01-27 1994-10-07 Japan Synthetic Rubber Co Ltd 感放射線性樹脂組成物
JP2000105456A (ja) * 1998-07-31 2000-04-11 Dainippon Printing Co Ltd 感光性樹脂組成物及びカラ―フィルタ―
JP2000298337A (ja) * 1999-04-14 2000-10-24 Dainippon Printing Co Ltd 感光性樹脂組成物
JP2004271767A (ja) * 2003-03-07 2004-09-30 Nissan Chem Ind Ltd ポジ型感光性樹脂組成物
JP2004287299A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 着色レジスト用顔料分散液、感光性着色組成物、及び、カラーフィルター
JP2004287366A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 着色レジスト用顔料分散液、感光性着色組成物、及び、カラーフィルター
JP2004287365A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 着色レジスト用顔料分散液、感光性着色組成物、及び、カラーフィルター
JP2004287298A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 着色レジスト用顔料分散液、感光性着色組成物、及び、カラーフィルター
JP2004285281A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 着色レジスト用分散補助ポリマー、着色レジスト用顔料分散液、感光性着色組成物及び、カラーフィルター
JP2004287364A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 着色レジスト用顔料分散液、感光性着色組成物、及び、カラーフィルター
JP2004287367A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 着色レジスト用顔料分散液、感光性着色組成物、及び、カラーフィルター

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2151715A1 (en) * 2007-06-06 2010-02-10 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive adhesive composition, film-like adhesive, adhesive sheet, method for forming adhesive pattern, semiconductor wafer with adhesive layer, semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device
EP2151715A4 (en) * 2007-06-06 2011-10-26 Hitachi Chemical Co Ltd LENS-SENSITIVE ADHESIVE COMPOSITION, FILM-ADHESIVE ADHESIVE, ADHESIVE FOIL, METHOD OF FORMING ADHESIVE PATTERN, SEMICONDUCTOR WELDING WITH CLOTH PASTE, SEMICONDUCTOR ARRANGEMENT AND METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR ASSEMBLY
JP2012162725A (ja) * 2007-06-06 2012-08-30 Hitachi Chemical Co Ltd フィルム状接着剤、接着シート、半導体装置、及び、半導体装置の製造方法
JP5120378B2 (ja) * 2007-06-06 2013-01-16 日立化成工業株式会社 感光性接着剤組成物、フィルム状接着剤、接着シート、接着剤パターンの形成方法、接着剤層付半導体ウェハ、半導体装置、及び、半導体装置の製造方法
KR101145354B1 (ko) * 2008-12-30 2012-05-14 주식회사 삼양사 자가 열경화형 액상 고분자 바인더 조성물 및 이를 포함하는 컬러필터용 잉크 조성물
CN102414618B (zh) * 2009-04-27 2014-03-12 太阳控股株式会社 光固化性热固化性树脂组合物
WO2010125720A1 (ja) * 2009-04-27 2010-11-04 太陽インキ製造株式会社 光硬化性熱硬化性樹脂組成物
JP2010256728A (ja) * 2009-04-27 2010-11-11 Taiyo Ink Mfg Ltd 光硬化性熱硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物並びにそれらを用いたプリント配線板
CN102414618A (zh) * 2009-04-27 2012-04-11 太阳控股株式会社 光固化性热固化性树脂组合物
TWI477899B (zh) * 2009-04-27 2015-03-21 Taiyo Holdings Co Ltd A photohardenable thermosetting resin composition, a dry film and a cured product thereof, and a printed circuit board using the same
WO2011021350A1 (ja) * 2009-08-19 2011-02-24 太陽ホールディングス株式会社 光硬化性樹脂組成物
JP2013522659A (ja) * 2010-03-08 2013-06-13 エルジー・ケム・リミテッド 耐熱性および機械的性質に優れた感光性樹脂組成物および印刷回路基板用保護フィルム
JP2015087429A (ja) * 2013-10-28 2015-05-07 日立化成株式会社 感光性樹脂組成物、感光性エレメント及びレジストパターンの形成方法
JP2016080919A (ja) * 2014-10-17 2016-05-16 株式会社Dnpファインケミカル 色材分散体、カラーフィルタ用感光性着色樹脂組成物、カラーフィルタ、及び表示装置

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