JP4263703B2 - カラーフィルター用感光性樹脂組成物 - Google Patents

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Description

本発明は、液晶表示装置に応用されるカラーフィルター用感光性樹脂組成物に関するものである。特に、露光時の感度が良くて、現像を行った後に未露光部の基板上及びブラックマトリックス上に残渣を生じることがなく、ポストベークされた画素のパターンプロファイルの形状が良好で、形成されたカラーフィルターの彩度及びコントラストが良くて、使用される光重合開始剤が溶剤に対する溶解性が高いカラーフィルター用感光性樹脂組成物に関する。
カラーフィルターは、カラー液晶表示装置、カラーファクシミリ、カラー撮影機などに幅広く応用されるようになってきた。カラー液晶表示装置に代表されるように、OA機器への応用が拡大することに伴って、カラーフィルター自体の製作技術も多様化している。
カラーフィルターは、染色法、印刷法、電着法、顔料分散法などにより、ガラスなどの透明基板上に赤、緑、青などの画素を形成したものが用いられている。また、カラーフィルターのコントラストを向上させるために、着色画像の間にブラックマトリックスと呼ばれる黒色パターンを配置する場合もある。染色法によるカラーフィルターは、ゼラチンやポリビニルアルコールなどに感光剤として重クロム酸塩を混合した感光性樹脂により画像を形成した後、染色して製造される。多色を同一基板に形成するためには防染工程が必須であり、工程が複雑になるという問題がある。また染料を使用しているため、耐候性に劣る。感光剤として用いる重クロム酸は、公害防止の観点からも問題である。
印刷法によるカラーフィルターは、スクリーン印刷またはフレキソ印刷などの方法が用いられ、熱硬化または光硬化性インキをガラス基板に転写させる。画像形成、染色が不要であるため工程が簡略である反面、高精細な画像が得られず、インキの平滑性にも問題がある。
電着法によるカラーフィルターは、顔料または染料を含んだ浴に電極を設けたガラス基板を浸し、電気泳動により色相を付着させるものである。平滑性に優れるが、あらかじめガラス基板に電極形成が必要なため、複雑なパターンを形成させるのが困難である。
顔料分散法は、光硬化性樹脂に顔料を分散させた着色感光性組成物を用いて画像を形成する。高耐熱性で染色がいらないなどの利点があり、また高精度な画像形成が可能なため現在カラーフィルター製造の主流となっている。
顔料分散法では、通常、最初にガラス基板などの透明支持体上に、クロムや酸化クロムなどの金属遮光膜によりブラックマトリックスを形成し、次いで、例えば赤の顔料を分散させた感光性樹脂(カラーレジスト)をスピンコート法で支持体の全面に塗布し、マスクを介して露光し、露光後に現像を行うと赤の画素が得られる。同様の手順で、緑、青の画素についても塗布、露光、現像を行うと、3色の画素が支持体上に形成される。
顔料分散法の製法において使用される感光性樹脂組成物の具体例としては、着色剤、アルカリ可溶性樹脂、多官能性単量体、光重合開始剤及び溶剤からなる感光性樹脂組成物を組成とする例がある。ここで使われた光重合開始剤は、一般公知の光重合開始剤、例えば2-(2-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体が主流であった(特許文献1、2の実施例を参照)。
近年においては、例えばカラー液晶表示装置の用途は、パーソナルコンピューター用のみならず、テレビ用、モニター用などにも広がっており、それに伴い高彩度及び高明度を達成するために、顔料の高濃度化及び小平均粒子径が必要となっている。
特開平10-260309号公報 特開平10-288837号公報

しかし、顔料を高濃度化し、且つ小平均粒子径の顔料を分散した感光性樹脂組成物において、上記の一般公知の光重合開始剤だけを使用した場合、露光時の感度が悪く、現像後に未露光部の基板上及びブラックマトリックス上に残渣を生じることが多く、更にポストベークされた画素のパターンプロファイルの形状が不良となる問題点を抱えている。更に、一般公知の光重合開始剤は溶剤への溶解性が悪いために、作業上の困難性を増すという問題があった。
本発明の課題は、露光時の感度が良くて、現像処理を行った後に未露光部の基板上及びブラックマトリックス上に残渣を生じることがなく、ポストベークされた画素のパターンプロファイルの形状が良好で、形成されたカラーフィルターの彩度及びコントラストが良くて、且つ使用される光重合開始剤が溶剤に対する溶解性が高いカラーフィルター用感光性樹脂組成物を提供することである。
本発明は、課題の解決手段として、
(A)アルカリ可溶性樹脂、
(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、
(C)下記構造式(I)で表されるビイミダゾール化合物(c-1)を含む光重合開始剤、
(D)有機溶剤及び
(E)着色剤を含有するカラーフィルター用感光性樹脂組成物であって、
該エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)100質量部に対して(c-1)の使用量が0.1〜70質量部、
該着色剤(E)の一次粒子の平均粒子径が10〜200nmであり、且つ、着色剤(E)の含有量がアルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して100〜800質量部であることを特徴とするカラーフィルター用感光性樹脂組成物を提供する。
Figure 0004263703
(Rは、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基を示す。)
以下に本発明の各組成など、実施するための最良は形態について詳しく説明を行う。
〔(A)アルカリ可溶性樹脂〕
本発明のアルカリ可溶性樹脂(A)は、1個又は1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体(a−1)5〜50質量部、及びその他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体(a−2)95〜50質量部を共重合させて得られる。上記の(a-1)、(a-2)の合計は100質量部となる。
上記の1個又は1個以上のカルボキシル基含有不飽和単量体(a-1)の具体例としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α-クロロアクリル酸、エチルアクリル酸及び桂皮酸などの不飽和モノカルボン酸類;マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸などの不飽和ジカルボン酸(無水物)類;三価以上の不飽和多価カルボン酸(無水物)類などが挙げられる。
以上に挙げたものの中で、アクリル酸、メタクリル酸が好ましい。これらの1個又は1個以上のカルボキシル基含有不飽和単量体(a-1)は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
上記のその他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体(a-2)の具体例としては、
スチレン、α-メチルスチレン、ビニルトルエン、クロロエチレン、メトキシスチレンなどの芳香族ビニル基化合物;
N-フェニルマレイミド、N-o-ヒドロキシフェニルマレイミド、N-m-ヒドロキシフェニルマレイミド、N-p-ヒドロキシフェニルマレイミド、N-o-メチルフェニルマレイミド、N-m-メチルフェニルマレイミド、N-p-メチルフェニルマレイミド、N-o-メトキシフェニルマレイミド、N-m-メトキシフェニルマレイミド、N-p-メトキシフェニルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミドなどのマレイミド類;
メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n-プロピルアクリレート、n-プロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリレート、n-ブチルアクリレート、n-ブチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、s-ブチルアクリレート、s-ブチルメタクリレート、t-ブチルアクリレート、t-ブチルメタクリレート、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、3-ヒドロキシプロピルアクリレート、3-ヒドロキシプロピルメタクリレート、2-ヒドロキシブチルアクリレート、2-ヒドロキシブチルメタクリレート、3-ヒドロキシブチルアクリレート、3-ヒドロキシブチルメタクリレート、4-ヒドロキシブチルアクリレート、4-ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、ドデシルメタクリレート、テトラデシルメタクリレート、ヘキサデシルメタクリレート、オクタデシルメタクリレート、エイコシルメタクリレート、ドコシルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類;
N,N−ジメチルアミノエチルアクリレート、N,N−ジメチルアミノエチルメタクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、N,N−ジブチルアミノプロピルアクリレート、N,t−ブチルアミノエチルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;
グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル類;
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル、メタリルグリシジルエーテルなどの不飽和エーテル類;
アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α-クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物;
アクリルアミド、メタクリルアミド、α-クロロアクリルアミド、N-ヒドロキシエチルアクリルアミド、N-ヒドロキシエチルメタクリルアミドなどの不飽和アミド類;
1,3-ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの脂肪族共役ジエン類などが挙げられる。
上記挙げられたもののうち、スチレン、N-フェニルマレイミド、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレートなどが好ましい。これらのその他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
本発明のアルカリ可溶性樹脂(A)の製造において使用される溶剤の具体例としては、
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノn-プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノn-ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノn-プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノn-ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテルなどの(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどの(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフランなどの他のエーテル類;
メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2-ヘプタノン、3-ヘプタノンなどのケトン類; 2-ヒドロキシプロピオン酸メチル、2-ヒドロキシプロピオン酸エチルなどの乳酸アルキルエステル類;
2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸メチル、2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸エチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2-ヒドロキシ-3-メチル酪酸メチル、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n-ブチル、酢酸n-プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸イソブチル、酢酸n-ペンチル、酢酸イソアミル、プロピオン酸n-ブチル、酪酸エチル、酪酸n-プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸n-ブチル、ピルビン酸メチルベート、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n-プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2-オキソ酪酸エチルなどの他のエステル類;
トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素化合物類;N-メチルピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミドなどのカルボン酸アミド類などが挙げられる。
これらの中で、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3-エトキシプロピオン酸エチルが好ましい。該当するそれぞれの溶剤は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
アルカリ可溶性樹脂(A)を製造する時に使われる重合開始剤は、通常フリーラジカル型重合開始剤であり、その具体例としては、2,2’-アゾビスイソブチロニトリル、2,2’-アゾビス-(2,4-ジメチルバレロニトリル)、2,2’-アゾビス-(4-メトキシ-2,4-ジメチルバレロニトリル)、2,2’-アゾビス-2-メチルブチロニトリルなどのアゾ化合物;ベンゾイルパーオキシドなどの過酸化物が挙げられる。
〔(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物〕
本発明におけるエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは10〜500質量部、更に好ましくは30〜400質量部、最も好ましくは50〜300質量部である。
上記のエチレン性不飽和結合を含有する重合性化合物(B)は、重合可能なエチレン性不飽和結合を1個以上有するモノマーからなる。
エチレン性不飽和基を1個有するエチレン性不飽和化合物の具体例としては、アクリルアミド、(メタ)アクリロイルモルホリン、7-アミノ-3,7-ジメチルオクチル(メタ)アクリレート、イソブトキシメチル(メタ)アクリルアミド、イソボルニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、エチルジエチレングリコール(メタ)アクリレート、t-オクチル(メタ)アクリルアミド、ジアセトン(メタ)アクリルアミド、ジメチルアミノ(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、N,N-ジメチル(メタ)アクリルアミド、テトラクロロフェニル(メタ)アクリレート、2-テトラクロロフェノキシエチル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、テトラブロモフェニル(メタ)アクリレート、2-テトラブロモフェノキシエチル(メタ)アクリレート、2-トリクロロフェノキシエチル(メタ)アクリレート、トリブロモフェニル(メタ)アクリレート、2-トリブロモフェノキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ビニルカプロラクタム、N-ビニルピロリドン、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ペンタクロロフェニル(メタ)アクリレート、ペンタブロモフェニル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ボルニル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
エチレン性不飽和結合を2個以上有するエチレン性不飽和化合物の具体例としては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート、トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド(以下「EO」と略称する)変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、プロピレンオキシド(以下「PO」と略称する)変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ポリエステルジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、EO変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、PO変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、EO変性水添ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、PO変性水添ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、PO変性グリセロールトリアクリレート、EO変性ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、フェノールノボラックポリグリシジルエーテル(メタ)アクリレートなどなどが挙げられる。
上記のエチレン性不飽和を有する重合性化合物の中で、好ましいものはトリメチロールプロパントリアクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリアクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、PO変性グリセロールトリアクリレートなどである。該当するそれぞれのエチレン性不飽和結合を含有する化合物は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
〔(C)光重合開始剤〕
本発明の光重合開始剤は、下記の構造式(I)で表されるビイミダゾール(c-1)化合物を含む。
Figure 0004263703
(Rは、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基を示す。)
本発明における光重合開始剤(c-1)の使用量は、エチレン性不飽和結合を含有する重合性化合物(B)100質量部に対して、好ましくは0.1〜70質量部、更に好ましくは0.5〜60質量部、最も好ましくは1〜40質量部である。
本発明の光重合開始剤(c-1)の具体例としては、2-(o-メチルフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(o-エチルフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体などが挙げられる。
これらの中で2-(o-メチルフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体が好ましい。これらの光重合開始剤(c-1)は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
本発明の感光性樹脂組成物において、更に前記の光重合開始剤(c-1)以外の光重合開始剤(c-2)、例えばアセトフェノン系化合物を添加することができる。
本発明の光重合開始剤(c-2)の使用量は、エチレン性不飽和結合を含有する重合性化合物(B)100質量部に対して、好ましくは0〜200質量部、更に好ましくは1〜150質量部、最も好ましくは5〜100質量部である。
アセトフェノン系化合物の具体例としては、p‐ジメチルアミノアセトフェノン、α,α’‐ジメトキシアゾキシアセトフェノン、2,2’‐ジメチル-2‐フェニルアセトフェノン、p-メトキシアセトフェノン、2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルホリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-N,N-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-1-ブタノンが挙げられる。
これらの中で、2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルホリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-N,N-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-1-ブタノンが好ましい。これらの光重合開始剤(c-2)は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
本発明の感光性樹脂組成物において、本発明の作用効果を損なわない範囲で、更に前記の光重合開始剤(c-1)及び(c-2)以外の光重合開始剤(c-3)を適切に添加することができる。例えば、光重合開始剤(c-1)以外のビイミダゾール類化合物、ベンゾフェノン系化合物、α-ジケトン類化合物、アシロイン類化合物、アシロインエーテル類化合物、アシルホスフィン酸化物類化合物、キノン類化合物、ハロゲン類含有化合物、過酸化物などが挙げられる。
本発明における光重合開始剤(c-3)の使用量は、エチレン性不飽和結合を含有する重合性化合物(B)100質量部に対して、好ましくは0〜150質量部、更に好ましくは0〜80質量部、最も好ましくは0〜30質量部である。
上記の光重合開始剤(c-1)以外のビイミダゾール類化合物の具体例としては、2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(o-フルオロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(2,4-ジクロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(o-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール、2-(p-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(2,4-ジメトキシフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体など;
ベンゾフェノン類化合物の具体例としては、チオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、チオキサントン-4-スルフォン、ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなど;
α-ジケトン類化合物の具体例としては、ベンジル、アセチルなど;アシロイン類化合物としては、ベンゾインなど;アシロインエーテル類化合物としては、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなど;
アシルホスフィン酸化物類としては、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィン酸化物、ビス(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチルベンジルホスフィン酸化物など;キノン類は、アントラキノン、1,4-ナフトキノンなど;
ハロゲン化合物は、塩化フェナシル、トリブロモメチルフェニルスルフォン、トリス(トリクロロメチル)-s-トリアジンなど;過酸化物は、ジ-t-ブチルパーオキシドなどがそれぞれ挙げられる。
これらの中で、ベンゾフェノン類化合物が好ましく、特に4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが最も好ましい。これらの光重合開始剤(c-3)は、それぞれ単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
本発明のカラーフィルター用感光性樹脂組成物は、光重合開始剤(C)について予め適量の溶剤を加えて光重合開始剤(C)溶液を調製しておくことによって、光重合開始剤(C)の分散性を増加することができる。
上記の調製用溶剤は、前述のアルカリ可溶性樹脂(A)の重合の場合に述べた溶剤と同様である。該当する溶剤の中で、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、3-エトキシプロピオン酸エチルが好ましい。前記溶剤は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
〔(D)有機溶剤〕
本発明のカラーフィルター用感光性樹脂組成物は、前記アルカリ可溶性樹脂(A)、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)、有機溶剤(D)及び後記の着色剤(E)を成分とするが、必要に応じて後記添加剤成分を配合することができる。
通常着色剤(E)以外の各成分を適当な有機溶剤(D)に溶解して、液状組成物を調製する。有機溶剤(D)としては、アルカリ可溶性樹脂(A)、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)、及び光重合開始剤(C)を溶解し、且つこれらの成分と反応せず適度の揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用することができる。
本発明の感光性樹脂組成物の有機溶剤(D)の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して好ましくは500〜5,000質量部、更に好ましくは800〜4,500質量部、最も好ましくは1,000〜4,000質量部である。
上記の有機溶剤(D)の例は、アルカリ可溶性樹脂(A)の重合の場合に述べた溶剤と同様である。これらの溶剤の中で、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、3-エトキシプロピオン酸エチルなどが好ましい。これらの溶剤は、単独で又は2種以上を混合してそれぞれ使用することができる。
〔(E)着色剤〕
本発明における着色剤(E)の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは100〜800質量部で、更に好ましくは150〜500質量部、最も好ましくは260〜450質量部である。
本発明の着色剤(E)は、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を用いることができる。無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩などで示される金属化合物であり、具体的には鉄、コバルト、アルミウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属酸化物、及び上記金属の複合酸化物が挙げられる。
有機顔料としては、以下のものが挙げられる。C.I.Pigment Yellow 1, 3, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 55, 60, 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 116, 117, 119, 120, 126, 127, 128, 129, 138, 139, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, 175。
C.I.Pigment Orange 1, 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46, 49, 51, 61, 63, 64, 71, 73。
C.I.Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 21, 22, 23, 30, 31, 32, 37, 38, 40, 41, 42, 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49:1, 49:2, 50:1, 52:1, 53:1, 57, 57:1, 57:2, 58:2, 58:4, 60:1, 63:1, 63:2, 64:1, 81:1, 83, 88, 90:1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155 ,166, 168, 170, 171, 172, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 180, 185, 187, 188, 190, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 220, 224, 226, 242, 243, 245, 254, 255, 264, 265。
C.I.Pigment Violet 1, 19, 23, 29, 32, 36, 38, 39。
C.I.Pigment Blue 1, 2, 15, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 22, 60, 66。
C.I.Pigment Green 7, 36, 37。
C.I.Pigment Brown 23, 25, 28。
C.I.Pigment Black 1, 7。
上記のそれぞれの着色剤(E)は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
本発明カラーフィルター用感光性樹脂組成物において、着色剤(E)の一次粒子の平均粒子径は、好ましくは10〜200nm、更に好ましくは20〜150nm、最も好ましくは30〜100nmである。
本発明における一次粒子の平均粒子径(単位:nm)とは、透過型電子顕微鏡JEM−2010(日本電子株式会社製)で視野内の粒子を撮影し、二次元画像上の、凝集体を構成する顔料一次粒子の50個につき、その長い方の径(長径)を各々求め、それを平均した値である。
本発明のカラーフィルター用感光性樹脂組成物において、顔料の一次粒子の平均粒子径を細かくする手段として、顔料を機械的に粉砕して粒径を細かくする方法(磨砕法と呼ぶ)、良溶媒に溶解したものを貧溶媒に投入して粒径の細かい顔料を析出させる方法(析出法と呼ぶ)、及び合成時に粒径の細かい粒子を製造する方法(合成析出法と呼ぶ)などがある。使用する顔料の合成法や化学的性質などにより、個々の顔料について適当な方法を選択して行うことができる。
本発明のカラーフィルター用感光性樹脂組成物は、本発明の下記の(1)、(2)、(3)を満足する条件下において、即ち、
(1)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)100質量部に対して光重合開始剤(c-1)の使用量は0.1〜70質量部、
(2)アルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して着色剤(E)の使用量は100〜800質量部、
(3)着色剤(E)の一次粒子の平均粒子径は10〜200nmである、
との三つの条件を満足する時に初めて、調製された感光性樹脂組成物を塗布した後に露光時に感度が良くて、現像処理を行った後に未露光部の基板上及びブラックマトリックス上に残渣を生じることがなく、ポストベークされた画素のパターンプロファイルの形状が良好で、且つ形成されたカラーフィルターの彩度及びコントラストが共に良好となる。
本発明のカラーフィルター用感光性樹脂組成物を高彩度の液晶表示装置へ応用する場合、感光性樹脂組成物中の顔料を高濃度化し、且つ一次粒子の平均粒子径の小さい顔料を使用することを通して達成できる。本発明における高彩度とは、以下の判定基準を満足するものを言う。
感光性樹脂組成物を塗布、減圧乾燥、プレベーク及びポストベークなどの工程を行って先ず基板上に2.0μmの感光性樹脂層を形成させ、続いて色度計(C光源)を用いてその感光性樹脂層の色度座標(x,y)を作って評価するが、高彩度と呼ばれる色度座標はそれぞれ以下の範囲を満足する必要がある。
(i)赤色感光性樹脂層
(0.55≦x)且つ(0.26≦y≦0.41)
(ii)緑色感光性樹脂層
(0.11≦x≦0.32)且つ(0.50≦y)
(iii)青色感光性樹脂層
(0.10≦x≦0.21)且つ(y≦0.20)
また、より良い高彩度の色度座標は以下の範囲を満足する必要がある。
(i)赤色感光性樹脂層
(0.61≦x)且つ(0.29≦y≦0.37)
(ii)緑色感光性樹脂層
(0.12≦x≦0.29)且つ(0.56≦y)
(iii)青色感光性樹脂層
(0.11≦x≦0.19)且つ(y≦0.18)
本発明の目的を達成するために選択される光重合開始剤は、上記の構造式(I)で表される光重合開始剤(c-1)が最も好ましい。上記の構造式(I)で表される光重合開始剤(c-1)を高彩度用液晶表示装置のカラーフィルター用感光性樹脂組成物の光重合開始剤として使用すると、該光重合開始剤自身の感度が高くて、且つ溶剤への溶解性が高いため、該光重合開始剤を使用して得られた感光性樹脂組成物は塗布、露光を行う時に感度がよく、ポストベークされた画素のパターンプロファイルの形状が良好である。
本発明における着色剤(E)は、所望により分散剤と共に使用することができる。このような分散剤としては、例えばカチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フッ素系などの界面活性剤があげられる。
前記界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルなどのポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレートなどのポリエチレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸エステル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変性ポリウレタン;以下は商品名で、KP(信越化学工業製)、SF−8427(東レダウコーニングシリコーン社)、ポリフロー(共栄社油脂化学工業製)、エフトップ(トーケムプロダクツ製)、メガファック(大日本インキ化学工業製)、フロラード(住友スリーエム製)、アサヒガード、サーフロン(旭硝子製)などが挙げられる。これらの界面活性剤は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
本発明の感光性樹脂組成物において、その塗布性を高めるために界面活性剤を併用することができる。界面活性剤の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して、0〜6質量部、好ましくは0〜4質量部、更に好ましくは0〜3質量部である。前記の界面活性剤は、上記の着色剤(E)中に使用されるものと同様である。
また、本発明の感光性樹脂組成物においては、必要に応じて各種の添加剤を調合することができる。例えば充填剤、アルカリ可溶性樹脂(A)以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤などがある。本発明の添加剤の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して、0〜10質量部、好ましくは0〜6質量部、更に好ましくは0〜3質量部である。
これらの添加剤の具体例としては、
ガラス、アルミナなどの充填剤;
ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどのアルカリ可溶性樹脂(A)以外の高分子化合物;
ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリ(2-メトキシエトキシ)シラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3-クロロプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシランなどの密着促進剤;
2,2-チオビス(4-メチル-6-t-ブチルフェノール)、2,6-ジ-t-ブチルフェノールなどの酸化防止剤;
2-(3-t-ブチル-5-メチル-2-ヒドロキシフェニル)-5-クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどの紫外線吸収剤;及びポリアクリル酸ナトリウムなどの凝集防止剤などが挙げられる。
本発明のカラーフィルター用感光性樹脂組成物は、上記の成分(A)〜(E)と、更に必要に応じて用いられるその他の界面活性剤、密着促進剤などの添加剤を攪拌器で均一に混合して溶液状態にして得られる。
次に、本発明のカラーフィルター用感光性樹脂組成物を用いた液晶ディスプレー用のカラーフィルターの製造方法を説明する。
カラーフィルター用感光性樹脂組成物の溶液を、基板に回転塗布、流延塗布又はロールー塗布などの塗布方法を用いて塗布する。塗布後、減圧乾燥によって大部分の溶剤を除去した後、プレベークを通して十分に溶剤を除去して、プレベーク塗膜を形成する。
減圧乾燥及びプレベークの条件は、各成分の種類、配合割合によって異なるが、通常減圧乾燥は0〜200mm-Hgの圧力下で1〜60秒間を行い、一方プレベークは70〜110℃で1分〜15分間程度を行う。
プレベークした後、感光性樹脂組成物のプレベーク塗膜に所定のパターンマスクを介して露光し、温度23±2℃の現像液で15秒〜5分間現像することによって不要な部分を除去して、所定パターンを形成する。この際に使われる光線としては、g線、h線、i線などの紫外線が好ましい。紫外線照射装置としては、高圧水銀、メタルハライドランプが用いられる。
基板としては、例えば液晶ディスプレーなどに用いられる無アルカリ性ガラス、ソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子などに用いられる光電変換素子基板(例えばシリコン基板)などが挙げられる。これらの基板は、一般には各画素を隔離するブラックマトリックスが形成されている。
現像液としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、珪酸ナトリウム、メタ珪酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8-ジアザビシクロ(5,4,0)-7-ウンデセンなどのアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.005〜5質量%、更に好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解させたアルカリ性水溶液が使用される。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像を行った後に水で洗浄し、更に圧縮空気や圧縮窒素で風乾させることによってパターンが形成される
その後、所定温度、例えば150〜250℃で、所定時間、例えばホットプレート上なら5分間〜60分間、オーブン中では30分間〜90分間加熱処理(ポストベーク)することにより、目的とする画素パターンを得ることができる。
各色(主に赤、緑、青の三色)についてこの工程を繰り返すことで、カラーフィルターを調製することができる。この上に、220℃〜250℃程度の真空下でITO(酸化インジウム錫)蒸着膜を形成して、必要に応じてITO膜にエッチングして配線形成した後、液晶配向膜用ポリイミドワニスを塗布して焼き付けて、液晶ディスプレー用のカラーフィルターが作られる。
以下、実施例及び比較例を挙げて本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。但し、本発明はこれらの実施例に何ら制約されるものではない。
〔アルカリ可溶性樹脂(A)の合成例〕
合成例A-1
窒素ガス雰囲気の下で、窒素ガス導入口、攪拌器、加熱器、冷却管及び温度計を備えた1000mlの4ツ口フラスコに、表1に示した通り、メタクリル酸単量体(以下「MAA」と称す)20質量部、ベンジルメタクリレート単量体(以下「BzMA」と称す)70質量部、スチレン単量体(以下「SM」と称す)10質量部、及び溶剤の3-エトキシプロピオン酸エチル(以下「EEP」と称す)200質量部を加えた。これらの単量体混合物の添加方法は、全部を一括添加とした。
4ツ口フラスコの内容物を攪拌しながらオイルバスの温度を100℃まで上げた後、表1に示した重合開始剤の2,2’-アゾビス-2-メチルブチロニトリル(以下「AMBN」と称す)4質量部を有機溶剤EEPに溶解させ、該溶液の5等分の量を1時間ごとに4ツ口フラスコ内に分割添加した。
重合中は反応温度を100℃に保ち、重合時間は6時間とした。重合完了後、重合生成物を4ツ口フラスコから取出して溶剤を脱揮し、アルカリ可溶性樹脂A-1を得た。
合成例A-2
単量体の種類及び使用量を変えた以外は、合成例A-1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び反応条件は表1に示す。
Figure 0004263703
〔光重合開始剤(C)の溶液の調製例〕
調製例C-1
温度23℃の恒温槽中に1000mlのビーカーを放置して、表2に示した通り、3-エトキシプロピオン酸エチル(以下「D-1」と称す)750質量部を注いでから、それぞれ2-(o-メチルフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体(以下「c-1-1」と称す)10質量部、2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルホリノ-1-アセトン(以下「c-2-1」と称す)60質量部、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(以下「c-3-1」と称す)10質量部を加えて、振動式攪拌器で10分間攪拌した。光重合開始剤の溶剤への溶解性の評価基準として、目測で未溶解物があるかどうか観察を行った。評価結果は「○」となった。
調製例C-2〜C-4
光重合開始剤の種類及び使用量を変えた以外、調製例C-1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表2に示す。
調製例C-5
光重合開始剤の種類及び使用量を変えた以外、調製例C-1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表2に示す。調製された該光重合開始剤の溶剤への溶解性評価結果は、「×」であった。
調製例C-6〜C-7
光重合開始剤の種類及び使用量を変えた以外、調製例C-1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表2に示す。
調製例C-8
光重合開始剤の種類及び使用量を変えた以外、調製例C-1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表2に示す。調製された該光重合開始剤の溶剤への溶解性評価結果は、「△」であった。
(光重合開始剤の溶剤への溶解性)
調製された光重合開始剤(C)の溶液について、目測方法で未溶解物があるかどうかを観察した。
○:未溶解物が無い。
△:未溶解物が少し有る。
×:未溶解物が大量に有る。
Figure 0004263703
〔感光性樹脂組成物の実施例及び比較例〕
実施例1
前記合成例で得られたアルカリ可溶性樹脂A-1100質量部(固形分)、表3に示したジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(以下「B-1」と称す)150質量部、前記調製例で得られた光重合開始剤の溶液(C-1)830質量部、及び表3に示した赤色顔料(以下「E-1」と称し、組成はC.I.177/C.I.254(30/70)で、日本大日精化社製で商品名は9803、その一次粒子の平均粒子径は63nm)300質量部からなる混合物に、溶剤の3-エトキシプロピオン酸エチル(以下「D-1」と称す)1,250質量部及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテート(以下「D-2」と称す)500質量部を加えた後、振動式攪拌器で溶解混合させてカラーフィルター用感光性樹脂組成物を調製した。得られたそれぞれの感光性樹脂組成物について、後記の各評価方法により評価を行った。各調合条件及び結果は表3に示す。
〔評価方法〕
(1)感度
感光性樹脂組成物を回転塗布方法で100mm×100mmのガラス基板上に塗布し、先ずは圧力100mmHgの下で30秒間減圧乾燥を行ってから、温度80℃時間3分間でプレベークを行い、膜厚2.5μmのプレベーク塗膜を形成させた。光学濃度ランク付け表(Stouffer社製の Transparent Step Wedgeで、型番T2115、光学濃度ランク付け表上のランクは21ランク)を上記のプレベーク塗膜にぴったりと貼り付けて、20Wの高圧水銀ランプを用いて800mJ/cmの光量で照射した後に、温度23℃の現像液中に2分間浸漬して現像を行ってから純水で洗浄を行い、現像の状況を観察した。ランク数を、感度を判断する根拠とし、ランク数が多いほどその感度が高いことを表す。
○:ランク数9〜21。
△:ランク数7〜8。
×:ランク数1〜6。
(2)残渣
評価方法(1)で得られたプレベーク塗膜を用いて、所定のマスクを設置して紫外光線(露光機キャノンPLA-501F)300mJ/cmを用いて照射した。そして、温度23℃の現像液に浸漬して2分間現像し、純水で洗浄を行ってから、更に200℃で80分間ポストベークをした後、ガラス基板上に所要の感光性樹脂パターンを形成した。得られたパターンを、顕微鏡を通して観察し、未露光部分に残渣があるかどうか確認を行った。
○:残渣が無い。
△:残渣が少しある。
×:残渣が多い。
(3)画素パターンプロファイル(画素図案側面)
評価方法(2)で得られた感光性樹脂パターンについて、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いてエッジ側面の形状を観察した。
○:図1で表すように、感光性樹脂のパターン(12)のエッジ角θ(基板(14)の側壁角に対して)は0〜90度間である。
×:図2で表すように、感光性樹脂のパターン(22)のエッジ角θ(基板(14)の側壁角に対して)は90〜180度間である。
(4)色彩度
評価方法(1)で得られたプレベーク塗膜を用いて、紫外線(露光機キャノンPLA-501F)300mJ/cmの光量で該塗膜を照射した後に、温度23℃の現像液に浸漬して2分間現像を行ってから純水で洗浄して、更に200℃で80分間ポストベークを行い、ガラス基板上に膜厚2.0μmの感光性樹脂層を形成させた。
続いて比色計(大塚電子社製で、型番はMCPD)を用いてその彩度を測定した。測定方法は、C光源で該感光性樹脂層の比色座標(x,y)を測定して、以下の基準に基づき判断を行った。
(i)赤色感光性樹脂層
○:[(0.61≦x)且つ(0.29≦y≦0.37)]
△:[(0.55≦x)且つ(0.26≦y≦0.41)],但し、[(0.61≦x)且つ(0.29≦y≦0.37)]の範囲を差し引く。
×:[(0.49≦x)且つ(0.23≦y≦0.44)],但し[(0.55≦x)且つ(0.26≦y≦0.41)]の範囲を差し引く。
(ii)緑色感光性樹脂層
○:[(0.12≦x≦0.29)且つ(0.56≦y)]
△:[(0.11≦x≦0.32)且つ(0.50≦y)],但し、[(0.12≦x≦0.29)且つ(0.56≦y)]の範囲を差し引く。
×:[(0.10≦x≦0.35)且つ(0.45≦y)],但し、[(0.11≦x≦0.32)且つ(0.50≦y)]の範囲を差し引く。
(iii)青色感光性樹脂層
○:[(0.11≦x≦0.19)且つ(y≦0.18)]
△:[(0.10≦x≦0.21)且つ(y≦0.20)],但し、[(0.11≦x≦0.19)且つ(y≦0.18)]の範囲を差し引く。
×:[(0.09≦x≦0.23)且つ(y≦0.22)],但し、[(0.10≦x≦0.21)且つ(y≦0.20)]の範囲を差し引く。
(5)コントラスト(対比度)
図3A及び図3Bに示す方法により、コントラストを測定した。即ち、2枚の偏光板2A,2B間に評価方法(4)で得られた感光性樹脂層(以下「感光性樹脂層1」と称す)を置き、光源3から光を照射して、偏光板2A,感光性樹脂層1及び偏光板2Bを透過した光の光量(cd/cm2)を輝度計4(日本トプコン社製、型番は「BM-5A」)で測定した。図3Aに示すように、偏光板2Bの偏光方向を偏光板2Aの偏光方向と平行とした場合の光量A(パラレル)と、図3Bに示すように、偏光板2Bの偏光方向を偏光板2Aの偏光方向と垂直とした場合の光量B(クロス)とをそれぞれ測定し、コントラストを光量Aと光量Bとの比値(光量A/光量B)で算出した。
○:比値は500以上
△:比値は400〜500間
×:比値は400以下
実施例2
アルカリ可溶性樹脂(A)の種類、光重合開始剤(C)の溶液の種類及び使用量を変えた以外、実施例1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
実施例3
光重合開始剤(C)の溶液の種類及び使用量を変えた以外、実施例1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
実施例4
光重合開始剤(C)の溶液の種類及び使用量を変えた以外、実施例2と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
実施例5
アルカリ可溶性樹脂(A)の種類、溶剤(D)の種類及び使用量及び着色剤(E)の使用量を変えた以外、実施例1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
実施例6
アルカリ可溶性樹脂(A)の種類、溶剤(D)の種類及び使用量及び着色剤(E)の使用量を変えた以外、実施例2と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
実施例7
着色剤(E)の種類を変えた以外、実施例1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
実施例8
着色剤(E)の種類を変えた以外、実施例2と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
比較例1
光重合開始剤(C)の溶液の種類及び使用量を変えた以外、実施例1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
比較例2
光重合開始剤(C)の溶液の種類及び使用量を変えた以外、実施例1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
比較例3
光重合開始剤(C)の溶液の種類及び使用量を変えた以外、実施例2と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
比較例4
着色剤(E)の使用量を変えた以外、実施例1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
比較例5
着色剤(E)の種類及び使用量を変えた以外、実施例2と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。但し、該感光性樹脂組成物は粘度が高すぎたため、基板上に塗布できなかった。
比較例6
着色剤(E)の種類及び使用量を変えた以外、実施例5と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
Figure 0004263703
比較例1、2は、(C)のC−5、C−6が本発明の範囲外、比較例3は、(C)のC−7が本発明の範囲外、比較例4、5は(E)の配合量が本発明の範囲外、比較例6は(E)の平均粒子径が本発明の範囲外である。

以上に述べたものは、本発明の比較的良好な実施例を取上げたものであり、それをもって本発明の実施範囲を限定するものではない。本発明の特許請求範囲及び発明説明書の内容に従って行ったあらゆる簡単な変更または修飾は、すべて本発明特許範疇に含まれるものと主張する。
感光性樹脂パターンのエッジ側面状態を示す図。 感光性樹脂パターンのエッジ側面状態を示す図。 図3Aは、感光性樹脂層のコントラストの測定方法の説明図、図3Bは、感光性樹脂層のコントラストの測定方法の説明図。
符号の説明
12 感光性樹脂パターン
14 基板
22 感光性樹脂パターン
1 感光性樹脂層
2A、2B 偏光板
3 光源
4 輝度計

Claims (2)

  1. (A)アルカリ可溶性樹脂、
    (B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、
    (C)下記構造式(I)で表されるビイミダゾール化合物(c-1)を含む光重合開始剤、
    (D)有機溶剤及び
    (E)着色剤を含有するカラーフィルター用感光性樹脂組成物であって、
    該エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)100質量部に対して(c-1)の使用量が0.1〜70質量部、
    該着色剤(E)の一次粒子の平均粒子径が10〜200nmであり、且つ、着色剤(E)の含有量がアルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して260〜450質量部であり、下記の評価方法により求められる画素パターンプロファイルのエッジ角が0〜90度間であることを特徴とするカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
    Figure 0004263703
    (Rは、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基を示す。)
    画素パターンプロファイルのエッジ角の評価方法:
    カラーフィルター用感光性樹脂組成物を回転塗布方法で100mm×100mmのガラス基板上に塗布し、先ずは圧力100mmHgの下で30秒間減圧乾燥を行ってから、温度80℃時間3分間でプレベークを行い、膜厚2.5μmのプレベーク塗膜を形成させた。
    上記プレベーク塗膜を用いて、所定のマスクを設置して紫外光線(露光機キャノンPLA-501F)300mJ/cm 2 を用いて照射した。そして、温度23℃の現像液に浸漬して2分間現像し、純水で洗浄を行ってから、更に200℃で80分間ポストベークをした後、ガラス基板上に所要の感光性樹脂パターンを形成した。
    上記感光性樹脂パターンについて、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いてエッジ側面の形状を観察した。
  2. 下記の評価方法により求められる色彩度が以下の範囲を満足することを特徴とする請求項1記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
    (i)赤色感光性樹脂層
    (0.61≦x)且つ(0.29≦y≦0.37)
    (ii)緑色感光性樹脂層
    (0.12≦x≦0.29)且つ(0.56≦y)
    (iii)青色感光性樹脂層
    (0.11≦x≦0.19)且つ(y≦0.18)
    色彩度の評価方法:
    カラーフィルター用感光性樹脂組成物を回転塗布方法で100mm×100mmのガラス基板上に塗布し、先ずは圧力100mmHgの下で30秒間減圧乾燥を行ってから、温度80℃時間3分間でプレベークを行い、膜厚2.5μmのプレベーク塗膜を形成させた。
    上記プレベーク塗膜を用いて、紫外線(露光機キャノンPLA-501F)300mJ/cm 2 の光量で該塗膜を照射した後に、温度23℃の現像液に浸漬して2分間現像を行ってから純水で洗浄して、更に200℃で80分間ポストベークを行い、ガラス基板上に膜厚2.0μmの感光性樹脂層を形成させた。
    続いて比色計(大塚電子社製で、型番はMCPD)を用いてその彩度を測定した。測定方法は、C光源で該感光性樹脂層の比色座標(x,y)を測定した。
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