JP4263703B2 - カラーフィルター用感光性樹脂組成物 - Google Patents
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しかし、顔料を高濃度化し、且つ小平均粒子径の顔料を分散した感光性樹脂組成物において、上記の一般公知の光重合開始剤だけを使用した場合、露光時の感度が悪く、現像後に未露光部の基板上及びブラックマトリックス上に残渣を生じることが多く、更にポストベークされた画素のパターンプロファイルの形状が不良となる問題点を抱えている。更に、一般公知の光重合開始剤は溶剤への溶解性が悪いために、作業上の困難性を増すという問題があった。
(A)アルカリ可溶性樹脂、
(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、
(C)下記構造式(I)で表されるビイミダゾール化合物(c-1)を含む光重合開始剤、
(D)有機溶剤及び
(E)着色剤を含有するカラーフィルター用感光性樹脂組成物であって、
該エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)100質量部に対して(c-1)の使用量が0.1〜70質量部、
該着色剤(E)の一次粒子の平均粒子径が10〜200nmであり、且つ、着色剤(E)の含有量がアルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して100〜800質量部であることを特徴とするカラーフィルター用感光性樹脂組成物を提供する。
本発明のアルカリ可溶性樹脂(A)は、1個又は1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体(a−1)5〜50質量部、及びその他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体(a−2)95〜50質量部を共重合させて得られる。上記の(a-1)、(a-2)の合計は100質量部となる。
スチレン、α-メチルスチレン、ビニルトルエン、クロロエチレン、メトキシスチレンなどの芳香族ビニル基化合物;
N-フェニルマレイミド、N-o-ヒドロキシフェニルマレイミド、N-m-ヒドロキシフェニルマレイミド、N-p-ヒドロキシフェニルマレイミド、N-o-メチルフェニルマレイミド、N-m-メチルフェニルマレイミド、N-p-メチルフェニルマレイミド、N-o-メトキシフェニルマレイミド、N-m-メトキシフェニルマレイミド、N-p-メトキシフェニルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミドなどのマレイミド類;
メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n-プロピルアクリレート、n-プロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリレート、n-ブチルアクリレート、n-ブチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、s-ブチルアクリレート、s-ブチルメタクリレート、t-ブチルアクリレート、t-ブチルメタクリレート、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、3-ヒドロキシプロピルアクリレート、3-ヒドロキシプロピルメタクリレート、2-ヒドロキシブチルアクリレート、2-ヒドロキシブチルメタクリレート、3-ヒドロキシブチルアクリレート、3-ヒドロキシブチルメタクリレート、4-ヒドロキシブチルアクリレート、4-ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、ドデシルメタクリレート、テトラデシルメタクリレート、ヘキサデシルメタクリレート、オクタデシルメタクリレート、エイコシルメタクリレート、ドコシルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類;
N,N−ジメチルアミノエチルアクリレート、N,N−ジメチルアミノエチルメタクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、N,N−ジブチルアミノプロピルアクリレート、N,t−ブチルアミノエチルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;
グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル類;
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル、メタリルグリシジルエーテルなどの不飽和エーテル類;
アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α-クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物;
アクリルアミド、メタクリルアミド、α-クロロアクリルアミド、N-ヒドロキシエチルアクリルアミド、N-ヒドロキシエチルメタクリルアミドなどの不飽和アミド類;
1,3-ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの脂肪族共役ジエン類などが挙げられる。
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノn-プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノn-ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノn-プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノn-ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテルなどの(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどの(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフランなどの他のエーテル類;
メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2-ヘプタノン、3-ヘプタノンなどのケトン類; 2-ヒドロキシプロピオン酸メチル、2-ヒドロキシプロピオン酸エチルなどの乳酸アルキルエステル類;
2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸メチル、2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸エチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2-ヒドロキシ-3-メチル酪酸メチル、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n-ブチル、酢酸n-プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸イソブチル、酢酸n-ペンチル、酢酸イソアミル、プロピオン酸n-ブチル、酪酸エチル、酪酸n-プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸n-ブチル、ピルビン酸メチルベート、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n-プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2-オキソ酪酸エチルなどの他のエステル類;
トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素化合物類;N-メチルピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミドなどのカルボン酸アミド類などが挙げられる。
本発明におけるエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは10〜500質量部、更に好ましくは30〜400質量部、最も好ましくは50〜300質量部である。
ベンゾフェノン類化合物の具体例としては、チオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、チオキサントン-4-スルフォン、ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなど;
α-ジケトン類化合物の具体例としては、ベンジル、アセチルなど;アシロイン類化合物としては、ベンゾインなど;アシロインエーテル類化合物としては、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなど;
アシルホスフィン酸化物類としては、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィン酸化物、ビス(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチルベンジルホスフィン酸化物など;キノン類は、アントラキノン、1,4-ナフトキノンなど;
ハロゲン化合物は、塩化フェナシル、トリブロモメチルフェニルスルフォン、トリス(トリクロロメチル)-s-トリアジンなど;過酸化物は、ジ-t-ブチルパーオキシドなどがそれぞれ挙げられる。
本発明のカラーフィルター用感光性樹脂組成物は、前記アルカリ可溶性樹脂(A)、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)、有機溶剤(D)及び後記の着色剤(E)を成分とするが、必要に応じて後記添加剤成分を配合することができる。
本発明における着色剤(E)の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは100〜800質量部で、更に好ましくは150〜500質量部、最も好ましくは260〜450質量部である。
(1)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)100質量部に対して光重合開始剤(c-1)の使用量は0.1〜70質量部、
(2)アルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して着色剤(E)の使用量は100〜800質量部、
(3)着色剤(E)の一次粒子の平均粒子径は10〜200nmである、
との三つの条件を満足する時に初めて、調製された感光性樹脂組成物を塗布した後に露光時に感度が良くて、現像処理を行った後に未露光部の基板上及びブラックマトリックス上に残渣を生じることがなく、ポストベークされた画素のパターンプロファイルの形状が良好で、且つ形成されたカラーフィルターの彩度及びコントラストが共に良好となる。
(0.55≦x)且つ(0.26≦y≦0.41)
(ii)緑色感光性樹脂層
(0.11≦x≦0.32)且つ(0.50≦y)
(iii)青色感光性樹脂層
(0.10≦x≦0.21)且つ(y≦0.20)
(i)赤色感光性樹脂層
(0.61≦x)且つ(0.29≦y≦0.37)
(ii)緑色感光性樹脂層
(0.12≦x≦0.29)且つ(0.56≦y)
(iii)青色感光性樹脂層
(0.11≦x≦0.19)且つ(y≦0.18)
ガラス、アルミナなどの充填剤;
ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどのアルカリ可溶性樹脂(A)以外の高分子化合物;
ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリ(2-メトキシエトキシ)シラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3-クロロプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシランなどの密着促進剤;
2,2-チオビス(4-メチル-6-t-ブチルフェノール)、2,6-ジ-t-ブチルフェノールなどの酸化防止剤;
2-(3-t-ブチル-5-メチル-2-ヒドロキシフェニル)-5-クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどの紫外線吸収剤;及びポリアクリル酸ナトリウムなどの凝集防止剤などが挙げられる。
合成例A-1
窒素ガス雰囲気の下で、窒素ガス導入口、攪拌器、加熱器、冷却管及び温度計を備えた1000mlの4ツ口フラスコに、表1に示した通り、メタクリル酸単量体(以下「MAA」と称す)20質量部、ベンジルメタクリレート単量体(以下「BzMA」と称す)70質量部、スチレン単量体(以下「SM」と称す)10質量部、及び溶剤の3-エトキシプロピオン酸エチル(以下「EEP」と称す)200質量部を加えた。これらの単量体混合物の添加方法は、全部を一括添加とした。
単量体の種類及び使用量を変えた以外は、合成例A-1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び反応条件は表1に示す。
調製例C-1
温度23℃の恒温槽中に1000mlのビーカーを放置して、表2に示した通り、3-エトキシプロピオン酸エチル(以下「D-1」と称す)750質量部を注いでから、それぞれ2-(o-メチルフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体(以下「c-1-1」と称す)10質量部、2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルホリノ-1-アセトン(以下「c-2-1」と称す)60質量部、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(以下「c-3-1」と称す)10質量部を加えて、振動式攪拌器で10分間攪拌した。光重合開始剤の溶剤への溶解性の評価基準として、目測で未溶解物があるかどうか観察を行った。評価結果は「○」となった。
光重合開始剤の種類及び使用量を変えた以外、調製例C-1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表2に示す。
光重合開始剤の種類及び使用量を変えた以外、調製例C-1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表2に示す。調製された該光重合開始剤の溶剤への溶解性評価結果は、「×」であった。
光重合開始剤の種類及び使用量を変えた以外、調製例C-1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表2に示す。
光重合開始剤の種類及び使用量を変えた以外、調製例C-1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表2に示す。調製された該光重合開始剤の溶剤への溶解性評価結果は、「△」であった。
調製された光重合開始剤(C)の溶液について、目測方法で未溶解物があるかどうかを観察した。
○:未溶解物が無い。
△:未溶解物が少し有る。
×:未溶解物が大量に有る。
実施例1
前記合成例で得られたアルカリ可溶性樹脂A-1100質量部(固形分)、表3に示したジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(以下「B-1」と称す)150質量部、前記調製例で得られた光重合開始剤の溶液(C-1)830質量部、及び表3に示した赤色顔料(以下「E-1」と称し、組成はC.I.177/C.I.254(30/70)で、日本大日精化社製で商品名は9803、その一次粒子の平均粒子径は63nm)300質量部からなる混合物に、溶剤の3-エトキシプロピオン酸エチル(以下「D-1」と称す)1,250質量部及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテート(以下「D-2」と称す)500質量部を加えた後、振動式攪拌器で溶解混合させてカラーフィルター用感光性樹脂組成物を調製した。得られたそれぞれの感光性樹脂組成物について、後記の各評価方法により評価を行った。各調合条件及び結果は表3に示す。
感光性樹脂組成物を回転塗布方法で100mm×100mmのガラス基板上に塗布し、先ずは圧力100mmHgの下で30秒間減圧乾燥を行ってから、温度80℃時間3分間でプレベークを行い、膜厚2.5μmのプレベーク塗膜を形成させた。光学濃度ランク付け表(Stouffer社製の Transparent Step Wedgeで、型番T2115、光学濃度ランク付け表上のランクは21ランク)を上記のプレベーク塗膜にぴったりと貼り付けて、20Wの高圧水銀ランプを用いて800mJ/cm2の光量で照射した後に、温度23℃の現像液中に2分間浸漬して現像を行ってから純水で洗浄を行い、現像の状況を観察した。ランク数を、感度を判断する根拠とし、ランク数が多いほどその感度が高いことを表す。
○:ランク数9〜21。
△:ランク数7〜8。
×:ランク数1〜6。
評価方法(1)で得られたプレベーク塗膜を用いて、所定のマスクを設置して紫外光線(露光機キャノンPLA-501F)300mJ/cm2を用いて照射した。そして、温度23℃の現像液に浸漬して2分間現像し、純水で洗浄を行ってから、更に200℃で80分間ポストベークをした後、ガラス基板上に所要の感光性樹脂パターンを形成した。得られたパターンを、顕微鏡を通して観察し、未露光部分に残渣があるかどうか確認を行った。
○:残渣が無い。
△:残渣が少しある。
×:残渣が多い。
評価方法(2)で得られた感光性樹脂パターンについて、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いてエッジ側面の形状を観察した。
○:図1で表すように、感光性樹脂のパターン(12)のエッジ角θ1(基板(14)の側壁角に対して)は0〜90度間である。
×:図2で表すように、感光性樹脂のパターン(22)のエッジ角θ2(基板(14)の側壁角に対して)は90〜180度間である。
評価方法(1)で得られたプレベーク塗膜を用いて、紫外線(露光機キャノンPLA-501F)300mJ/cm2の光量で該塗膜を照射した後に、温度23℃の現像液に浸漬して2分間現像を行ってから純水で洗浄して、更に200℃で80分間ポストベークを行い、ガラス基板上に膜厚2.0μmの感光性樹脂層を形成させた。
○:[(0.61≦x)且つ(0.29≦y≦0.37)]
△:[(0.55≦x)且つ(0.26≦y≦0.41)],但し、[(0.61≦x)且つ(0.29≦y≦0.37)]の範囲を差し引く。
×:[(0.49≦x)且つ(0.23≦y≦0.44)],但し[(0.55≦x)且つ(0.26≦y≦0.41)]の範囲を差し引く。
○:[(0.12≦x≦0.29)且つ(0.56≦y)]
△:[(0.11≦x≦0.32)且つ(0.50≦y)],但し、[(0.12≦x≦0.29)且つ(0.56≦y)]の範囲を差し引く。
×:[(0.10≦x≦0.35)且つ(0.45≦y)],但し、[(0.11≦x≦0.32)且つ(0.50≦y)]の範囲を差し引く。
○:[(0.11≦x≦0.19)且つ(y≦0.18)]
△:[(0.10≦x≦0.21)且つ(y≦0.20)],但し、[(0.11≦x≦0.19)且つ(y≦0.18)]の範囲を差し引く。
×:[(0.09≦x≦0.23)且つ(y≦0.22)],但し、[(0.10≦x≦0.21)且つ(y≦0.20)]の範囲を差し引く。
図3A及び図3Bに示す方法により、コントラストを測定した。即ち、2枚の偏光板2A,2B間に評価方法(4)で得られた感光性樹脂層(以下「感光性樹脂層1」と称す)を置き、光源3から光を照射して、偏光板2A,感光性樹脂層1及び偏光板2Bを透過した光の光量(cd/cm2)を輝度計4(日本トプコン社製、型番は「BM-5A」)で測定した。図3Aに示すように、偏光板2Bの偏光方向を偏光板2Aの偏光方向と平行とした場合の光量A(パラレル)と、図3Bに示すように、偏光板2Bの偏光方向を偏光板2Aの偏光方向と垂直とした場合の光量B(クロス)とをそれぞれ測定し、コントラストを光量Aと光量Bとの比値(光量A/光量B)で算出した。
○:比値は500以上
△:比値は400〜500間
×:比値は400以下
アルカリ可溶性樹脂(A)の種類、光重合開始剤(C)の溶液の種類及び使用量を変えた以外、実施例1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
光重合開始剤(C)の溶液の種類及び使用量を変えた以外、実施例1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
光重合開始剤(C)の溶液の種類及び使用量を変えた以外、実施例2と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
アルカリ可溶性樹脂(A)の種類、溶剤(D)の種類及び使用量及び着色剤(E)の使用量を変えた以外、実施例1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
アルカリ可溶性樹脂(A)の種類、溶剤(D)の種類及び使用量及び着色剤(E)の使用量を変えた以外、実施例2と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
着色剤(E)の種類を変えた以外、実施例1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
着色剤(E)の種類を変えた以外、実施例2と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
光重合開始剤(C)の溶液の種類及び使用量を変えた以外、実施例1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
光重合開始剤(C)の溶液の種類及び使用量を変えた以外、実施例1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
光重合開始剤(C)の溶液の種類及び使用量を変えた以外、実施例2と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
着色剤(E)の使用量を変えた以外、実施例1と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
着色剤(E)の種類及び使用量を変えた以外、実施例2と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。但し、該感光性樹脂組成物は粘度が高すぎたため、基板上に塗布できなかった。
着色剤(E)の種類及び使用量を変えた以外、実施例5と同様な操作方法で進めた。詳しい配合及び評価結果は表3に示す。
14 基板
22 感光性樹脂パターン
1 感光性樹脂層
2A、2B 偏光板
3 光源
4 輝度計
Claims (2)
- (A)アルカリ可溶性樹脂、
(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、
(C)下記構造式(I)で表されるビイミダゾール化合物(c-1)を含む光重合開始剤、
(D)有機溶剤及び
(E)着色剤を含有するカラーフィルター用感光性樹脂組成物であって、
該エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)100質量部に対して(c-1)の使用量が0.1〜70質量部、
該着色剤(E)の一次粒子の平均粒子径が10〜200nmであり、且つ、着色剤(E)の含有量がアルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して260〜450質量部であり、下記の評価方法により求められる画素パターンプロファイルのエッジ角が0〜90度間であることを特徴とするカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
画素パターンプロファイルのエッジ角の評価方法:
カラーフィルター用感光性樹脂組成物を回転塗布方法で100mm×100mmのガラス基板上に塗布し、先ずは圧力100mmHgの下で30秒間減圧乾燥を行ってから、温度80℃時間3分間でプレベークを行い、膜厚2.5μmのプレベーク塗膜を形成させた。
上記プレベーク塗膜を用いて、所定のマスクを設置して紫外光線(露光機キャノンPLA-501F)300mJ/cm 2 を用いて照射した。そして、温度23℃の現像液に浸漬して2分間現像し、純水で洗浄を行ってから、更に200℃で80分間ポストベークをした後、ガラス基板上に所要の感光性樹脂パターンを形成した。
上記感光性樹脂パターンについて、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いてエッジ側面の形状を観察した。 - 下記の評価方法により求められる色彩度が以下の範囲を満足することを特徴とする請求項1記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
(i)赤色感光性樹脂層
(0.61≦x)且つ(0.29≦y≦0.37)
(ii)緑色感光性樹脂層
(0.12≦x≦0.29)且つ(0.56≦y)
(iii)青色感光性樹脂層
(0.11≦x≦0.19)且つ(y≦0.18)
色彩度の評価方法:
カラーフィルター用感光性樹脂組成物を回転塗布方法で100mm×100mmのガラス基板上に塗布し、先ずは圧力100mmHgの下で30秒間減圧乾燥を行ってから、温度80℃時間3分間でプレベークを行い、膜厚2.5μmのプレベーク塗膜を形成させた。
上記プレベーク塗膜を用いて、紫外線(露光機キャノンPLA-501F)300mJ/cm 2 の光量で該塗膜を照射した後に、温度23℃の現像液に浸漬して2分間現像を行ってから純水で洗浄して、更に200℃で80分間ポストベークを行い、ガラス基板上に膜厚2.0μmの感光性樹脂層を形成させた。
続いて比色計(大塚電子社製で、型番はMCPD)を用いてその彩度を測定した。測定方法は、C光源で該感光性樹脂層の比色座標(x,y)を測定した。
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