JP2006126825A - 微小電気機械式変調素子及び微小電気機械式変調素子アレイ並びに画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】弾性変位可能に支持され双方向に変位する可動部27を備え、この可動部27が変調機能を有する微小電気機械式変調素子100であって、可動部27へ物理的作用力を加える駆動源を複数有し、駆動源により可動部27を第1の方向へ変位駆動させるに際し、可動部27が第1の方向に遷移している間に、駆動源により可動部27に対し第1の方向と異なる第2の方向に可動部の振動を抑制する物理的作用力が加えられる。
【選択図】図1
Description
図1は本発明に係る微小電気機械式変調素子の第1の実施の形態を表す概念図、図2は図1に示した微小電気機械式変調素子の制振の過程を(a)(b)(c)で表した動作説明図、図3はパルス波形が印加された可動部の挙動を表した説明図である。
本実施の形態による微小電気機械式変調素子(以下、単に「変調素子」とも称す。)100は、基本的な構成要素として、基板21と、基板21に空隙23を介して平行に配置される小片状の可動部27と、可動部27の両縁部から延出されるヒンジ29、29と、このヒンジ29、29を介して可動部27を基板21に支持するスペーサ31、31とを備える。このような構成により、可動部27は、ヒンジ29、29の捩れによって回転変位が可能となっている。
図4は2つの矩形パルス波形が印加される変形例1を表した説明図である。
なお、以下の各実施の形態及び各変形例において、同一の部材・部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略するものとする。
この変形例は、逆方向の複数のパルス波P2、P3が可動部27の接触直前に印加される。図では2つのパルス波P2、P3を例示するが、パルス波形は2つ以上であってもよい。
この変形例によれば、物理的作用力である静電吸引力が、異なる大きさ、異なるタイミングで加えられるようになり、多様な制動効果が得られるようになる。
この変形例は、パルス波P4が三角波となる。このように、パルス波は、三角波、正弦波、その他の波形であってもよい。
この変形例によれば、物理的作用力である静電吸引力が、矩形波では得られない急峻なタイミングで加えられるようになる。
この変形例は、逆方向の複数の三角パルス波P5、P6が可動部27の接触直前に印加される。図では2つの三角パルス波P5、P6を例示するが、三角パルス波形は2つ以上であってもよい。
この変形例によれば、急峻な静電吸引力が、異なる大きさ、異なるタイミングで加えられるようになる。
この変形例は、可動部27が停止部材に接触する直前に逆方向のパルス波P2が印加された後、可動部27が停止部材に接触してから反力によって停止部材から離反動するときに、順方向のパルス波P7が駆動電圧Vaに印加される。すなわち、可動部27を左回転方向(第1の方向)へ変位駆動した後、可動部27が右回転方向(第2の方向)へ遷移している間に、駆動源(第1アドレス電極35a、可動部27)により可動部27に対し第1の方向に物理的作用力が加えられる。
この変形例によれば、可動部27が第1の方向へ変位駆動され、変位の最終位置に到達した後、さらに、停止部材に当接することによる反力、或いは弾性力によって第2の方向へ遷移している間に、第1の方向の物理的作用力が可動部27に加えられることで、変位の最終位置から離反しようとする可動部27の移動がアクティブに制動される。
この変形例は、図7に示した変形例と、逆方向のパルス波P2と、順方向のパルス波P7とが逆の順番で印加される。すなわち、可動部27が接触して離反動する直後に順方向のパルス波P7が印加され、再び可動部27が停止部材に接触する直前に逆方向のパルス波P2が印加される。
この変形例によれば、可動部27が変位の最終位置に到達した後、停止部材に当接することによる反力、或いは弾性力によって第2の方向へ遷移している間に、第1の方向の物理的作用力が可動部27に加えられ、変位の最終位置から離反しようとする可動部27の移動がアクティブに制動される。また、この制動により静止させることのできなかった可動部27が再度停止部材へ接触しようとする直前に、逆方向のパルス波P2が印加されて可動部27が確実に静止される。
この変形例は、可動部27が停止部材に接触する直前に逆方向のパルス波P8が印加されると同時に、電圧を下げた順方向のパルス波P9が印加される。
この変形例によれば、可動部27が停止部材に接触する直前に、逆方向のパルス波P8によって制動がなされるとともに、その際の駆動電圧Vaがパルス波P9によってキャンセルされることで、可動部27がより大きな力で制動されることとなる。なお、この場合、図示ではパルス波P9を0Vまで下げているが、順方向のパルス波P9の低下電圧は、0Vでなくてもよい。
この変形例は、複数の逆方向のパルス波P2、P3が印加されると同時に、電圧を下げた順方向のパルス波P9、P10が印加される。
この変形例によれば、図9に示した変形例の作用が繰り返され、可動部27がより確実に制動されることとなる。
この変形例は、可動部27が停止部材に接触する直前に、逆方向のパルス波P1が印加されるが、その後に、一定の電圧Vb1が印加され続ける。つまり、逆方向のパルス波は、必ずしも通常時に0Vとしなくてもよい。
この変形例によれば、可動部27が接触した後に逆方向にバイアスされることとなる。したがって、小さな電圧差での可動部27の駆動が可能となる。
この変形例は、逆方向の複数のパルス波P2、P3が可動部27の接触直前に印加され、その間、及びその後も一定の電圧Vb1が印加され続ける。
この変形例によれば、確実な吸振効果が得られるとともに、小さな電圧差での可動部27の駆動が可能となる。
この変形例は、可動部27が停止部材に接触する直線に、逆方向のパルス波P1が印加され、その後に、一定の電圧Vb1が印加され続けるが、逆方向のパルス波P1が印加される前においても一定の電圧Vb1が振動抑制電圧Vbとして印加される。
この変形例によれば、可動部27が逆方向で常にバイアスされ、小さな電圧差での可動部27の駆動が可能となる。可動部27の振動は、常に順方向と逆方向との静電気力のつりあいであり、接触型の場合、pull-inして(引き込まれて)可動部27が接触状態を維持する範囲の逆方向の電圧であれば、常に印加しても問題はない。
図14は本発明に係る微小電気機械式変調素子の第2の実施の形態を表す概念図である。
本実施の形態による変調素子200は、可動部27のそれぞれの遷移方向に対して2つ以上の物理的作用力が設定可能に構成されている。すなわち、基板21上にはヒンジ29、29を中央に挟んで、その左右に主第1アドレス電極35a1、副第1アドレス電極35a2と、主第2アドレス電極35b1、副第2アドレス電極35b2とが設けられている。主第1アドレス電極35a1と可動部27には駆動電圧Va1が印加され、副第1アドレス電極35a2と可動部27には駆動電圧Va2が印加される。また、主第2アドレス電極35b1と可動部27には振動抑制電圧Vb1が印加され、副第2アドレス電極35b2と可動部27には振動抑制電圧Vb2が印加される。
図15は本発明に係る微小電気機械式変調素子の第3の実施の形態を表す概念図である。
本実施の形態による変調素子300は、可動部41の一端がヒンジ29、29、スペーサ31、31を介して基板21に支持固定されている。つまり、可動部41は、他端が自由端となった片持ち梁状に構成される。そして、基板21上には可動部41の自由端に対向して第1アドレス電極35aが設けられ、可動部41を挟んだ第1アドレス電極35aの反対側には図示しない対向基板に形成される第2アドレス電極35bが設けられている。
図16は本発明に係る微小電気機械式変調素子の第4の実施の形態を表す概念図である。
本実施の形態による変調素子400は、所謂、平行平板型の素子であって、導電性と可撓性を有する平板状の可動部43の両端が基板21上に形成した絶縁膜45に所定の間隙47を有して固定されている。この基板21の可動部43の下方には、絶縁膜45を介して、第1アドレス電極35aが配設されており、また、可動部43の上方には絶縁膜49を介して第2アドレス電極35bが配設されている。つまり、可動部43は、第1アドレス電極35aと第2アドレス電極35bとの間で両端が支持された両持ち梁状に構成されている。
図17は第1の実施の形態と同等の構成を有する微小電気機械式変調素子をシュミレーションによって動作確認した説明図である。
図1に示したような回転ヒンジ系マイクロマシン素子に対し、順方向の電位差をVa、逆方向の電位差をVbとして、シミュレーションによる可動部遷移後の振動について解析を行った。
この結果、時間t1後に、Va=V1の電位差を印加した場合の可動部は、大きく振動しているが、時間t1後にVa=V1の電位差を印加し、続いて時間t2〜t3の間にVb=V2の電位差を印加すると、可動部の振動が抑制されることがわかった。
図18は第1の実施の形態と同等の構成を有する微小電気機械式変調素子を実際に製作して動作確認した説明図である。
図1に示したような回転ヒンジ系マイクロマシン素子に対し、順方向の電位差をVa、逆方向の電位差をVbとして、実素子による可動部遷移後の振動について解析を行った。
その結果、図18(a)に示すように、時間t1後にVa=V1の電位差を印加した場合の可動部は大きく振動しているが、図18(b)に示すように、時間t1後にVa=V1の電位差を印加し、続いて時間t2〜t3の間にVb=V2の電位差を印加した場合は可動部の振動が抑制されていることがわかる(入力波形に遅れがあるのは用いたファンクションジェネレータの性能限界による)。
上記の各実施の形態及び変形例では、変調素子が接触型である場合を例に説明したが、本発明は、非接触型の変調素子に適用されても、上記と同様の作用・効果を奏するものである。
このような変調素子アレイでは、高速なスイッチング動作の可能となった変調素子100、200、300がアレイ化され、振動の鎮静化する時間の短縮が可能となり、従来より早いアドレス電圧の書込みが可能となる。
したがって、可動部が最終変位位置へ到達した後の振動が抑止され、振動鎮静化時間をなくし、或いは大幅に短縮することが可能となり、振動の収まるのを待つ必要がなく、アドレス電圧を書込むことができる。この結果、スイッチング動作を高速化して、駆動サイクルを短縮することができる。
このように、メモリ回路を用いて素子を駆動すると、複数の変調素子のそれぞれを任意の駆動パターンで動作させることが容易にでき、より高速なアクティブ駆動が可能となる。なお、ここでは、図1の光変調素子アレイ100の構成を示したが、これに限らず、他の構成の変調素子であってもよい。
このような制御部が備えられた変調素子アレイでは、可動部が制御部によって駆動制御されることで、可動部が最終変位位置に到達する前に、可動電極と固定電極との間の電極間電圧の絶対値が減少、又は増加、或いは増減され、可動部が最終変位位置へ到達することで生じていた衝突による振動や、オーバーシュートが抑止可能となる。
上記の変調素子アレイを備えた画像形成装置では、振動をアクティブに減少でき、従来装置に比べ、駆動サイクルが短縮される。これにより、高速な感光材露光や、より高画素数のプロジェクタの表示が可能となる。また、露光光のオン・オフで階調制御がなされる画像形成装置(露光装置)では、オン・オフ時間の短縮が可能となることで、より高階調の実現が可能となる。
なお、上述した各電極への電圧駆動のタイミングや波形は、これに限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲であれば適宜変更が可能である。
35a…第1アドレス電極
35b…第2アドレス電極
100、200、300、400…微小電気機械式変調素子
P1〜P10…パルス波形
Claims (13)
- 弾性変位可能に支持され双方向に変位する可動部を備え、該可動部が変調機能を有する微小電気機械式変調素子であって、
前記可動部へ物理的作用力を加える駆動源を複数有し、
該駆動源により前記可動部を第1の方向へ変位駆動させるに際し、該可動部が前記第1の方向に遷移している間に、前記駆動源により前記可動部に対し前記第1の方向と異なる第2の方向に前記可動部の振動を抑制する物理的作用力が加えられることを特徴とする微小電気機械式変調素子。 - 前記可動部を前記第1の方向へ変位駆動した後、前記可動部が前記第2の方向へ遷移している間に、前記駆動源により前記可動部に対し前記第1の方向に物理的作用力が加えられることを特徴とする請求項1記載の微小電気機械式変調素子。
- 前記物理的作用力が、前記可動部の複数の作用点に加えられることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の微小電気機械式変調素子。
- 前記可動部が特定方向の変位の最終位置に到達するときに、該可動部の速度が略ゼロとなることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項記載の微小電気機械式変調素子。
- 前記駆動源により前記可動部を前記第1の方向及び前記第2の方向へ変位させる物理的作用力が、静電気力であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項記載の微小電気機械式変調素子。
- 前記物理的作用力が、縦軸を強度、横軸を時間としたパルス波形様に印加されることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項記載の微小電気機械式変調素子。
- 前記物理的作用力が、複数のパルス波形によって発生されることを特徴とする請求項6記載の微小電気機械式変調素子。
- 前記可動部のそれぞれの遷移方向に対して2つ以上の前記物理的作用力が設定可能に構成されたことを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか1項記載の微小電気機械式変調素子。
- 前記可動部が、特定方向の変位の最終位置に到達するに際し、停止部材に接触して停止されることを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか1項記載の微小電気機械式変調素子。
- 請求項1〜請求項9のいずれか1項記載の微小電気機械式変調素子を1次元又は2次元配列したことを特徴とする微小電気機械式変調素子アレイ。
- 前記微小電気機械式変調素子のそれぞれがメモリ回路を含む駆動回路を有し、前記可動部と、該可動部に対峙する少なくとも2つ以上の固定部とに設けられた電極のうち、いずれかの電極は前記駆動回路からの素子変位信号の入力される信号電極であり、他の固定部は共通電極であることを特徴とする請求項10記載の微小電気機械式変調素子アレイ。
- それぞれの前記可動部を変調駆動させる制御部が設けられたことを特徴とする請求項10又は請求項11記載の微小電気機械式変調素子アレイ。
- 光源と、
請求項10〜請求項12のいずれか1項記載の微小電気機械式変調素子アレイと、
前記光源からの光を前記微小電気機械式変調素子アレイに照射する照明光学系と、
前記微小電気機械式変調素子アレイから出射される光を画像形成面に投影する投影光学系とを備えたことを特徴とする画像形成装置。
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